SE425280B - Anordning for att settta en roterande vakuumkammare av en kryostat i forbindelse med en fast vakuumpump - Google Patents

Anordning for att settta en roterande vakuumkammare av en kryostat i forbindelse med en fast vakuumpump

Info

Publication number
SE425280B
SE425280B SE7802335A SE7802335A SE425280B SE 425280 B SE425280 B SE 425280B SE 7802335 A SE7802335 A SE 7802335A SE 7802335 A SE7802335 A SE 7802335A SE 425280 B SE425280 B SE 425280B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
rotating part
valve
vacuum
fixed
opening
Prior art date
Application number
SE7802335A
Other languages
English (en)
Other versions
SE7802335L (sv
Inventor
P-H Burnier
Original Assignee
Bbc Brown Boveri & Cie
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Bbc Brown Boveri & Cie filed Critical Bbc Brown Boveri & Cie
Publication of SE7802335L publication Critical patent/SE7802335L/sv
Publication of SE425280B publication Critical patent/SE425280B/sv

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K55/00Dynamo-electric machines having windings operating at cryogenic temperatures
    • H02K55/02Dynamo-electric machines having windings operating at cryogenic temperatures of the synchronous type
    • H02K55/04Dynamo-electric machines having windings operating at cryogenic temperatures of the synchronous type with rotating field windings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L27/00Adjustable joints, Joints allowing movement
    • F16L27/08Adjustable joints, Joints allowing movement allowing adjustment or movement only about the axis of one pipe
    • F16L27/087Joints with radial fluid passages
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/005Details of vessels or of the filling or discharging of vessels for medium-size and small storage vessels not under pressure
    • F17C13/006Details of vessels or of the filling or discharging of vessels for medium-size and small storage vessels not under pressure for Dewar vessels or cryostats
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2203/00Vessel construction, in particular walls or details thereof
    • F17C2203/03Thermal insulations
    • F17C2203/0391Thermal insulations by vacuum
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0323Valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2223/00Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel
    • F17C2223/01Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel characterised by the phase
    • F17C2223/0146Two-phase
    • F17C2223/0153Liquefied gas, e.g. LPG, GPL
    • F17C2223/0161Liquefied gas, e.g. LPG, GPL cryogenic, e.g. LNG, GNL, PLNG
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2227/00Transfer of fluids, i.e. method or means for transferring the fluid; Heat exchange with the fluid
    • F17C2227/01Propulsion of the fluid
    • F17C2227/0128Propulsion of the fluid with pumps or compressors
    • F17C2227/0135Pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2270/00Applications
    • F17C2270/05Applications for industrial use
    • F17C2270/0509"Dewar" vessels
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E40/00Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
    • Y02E40/60Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S505/00Superconductor technology: apparatus, material, process
    • Y10S505/825Apparatus per se, device per se, or process of making or operating same
    • Y10S505/888Refrigeration
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S505/00Superconductor technology: apparatus, material, process
    • Y10S505/825Apparatus per se, device per se, or process of making or operating same
    • Y10S505/888Refrigeration
    • Y10S505/899Method of cooling

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Sealing Devices (AREA)
  • Containers, Films, And Cooling For Superconductive Devices (AREA)

Description

x!! ro ~fl BO \w \n LLO 7802335-5 2 att kondenseras på väggarna (så kallad köldpumpning). Om den läckande gasen å andra sidan består av helium kommer befintligt vakuum ofrán- komligen att förstöras.
För att undvika sistnämnda olägenhet föredrages i vissa fall permanent pumpnina. ëàdan pumpning är emellertid ej utan risker.
Rummet under vakuum avgränsas i detta fall av ett roterande parti, ett fast till pumpen anslutet parti och två roterande tätningar, som förbinder nämnda två partier (en enda tätning kunde användas i änden, av maskinens axel, men detta parti är redan upptaget av en anordnine för överföring av helium). Man måste sålunda upprätthålla vakuum i ett tillräckligt stort anslutningsparti till pumpen, varvid tätningar- na har relativt stor diameter och arbetar med stor periferihastighet.
Risk fär läckage i de roterande tätningarna föreligger alltid, och ställer sig mycket besvärliga att avhjälpa.
Uppfinningen har till syfte att åstadkomma en anordning för att eliminera nämnda nackdelar.
T nñmndn nytta åstadkommer uppfinninwen en anordnínm För att sätta den roterande vakuumkammaren av en kryostat i förbindelse med en fast vakuumpump anordnad att upprätthålla ett vakuum i kammaren, vilken anordning omfattar en till vakuumpumpen ansluten fast del, en med den fasta delen koaxiell roterande del försedd med en utsug- ningsöppning, och minst ett mellan den fasta och den roterande delen insatt tätningsorgan. Anordnineen kännetecknas av att den har minst en ventil som roterar med den roterande delen och som vid normal temperatur och korrekt vakuum i kammaren tillslnter utsugningsöpp- ningen, och organ för att avlägsna ventilen från utsugninesöppningen och sätta vakunmkammaren i färbindelse med pumpen när nämnda vakuum i kammaren är otillräckligt.
Uppfinninqen beskríves nedan i form av utföringsexempel och med hänvisning till åtföljande ritning, som visar en anordning en- ligt uppfinningen i halvt axialsnitt.
Anordningen omfattar på känt sätt en roterande del l, i vars inre skall upprätthñllas i ett bestämt vakunm. Delen 1 kan exempel- vis vara axeln av en roterande elektrisk maskin såsom en turbogena- rator med supraledande rotorlindningar. Vidare omfattar anordningen en fast del 2, som koaxiellt omger den roterande delen 1 och som exempelvis kan vara ett lagerhus. Den roterande delen l är på känt sätt försedd med en utsugninesöppning 3. Den festa delen 2 kan på känt sätt vara förbunden med en vakuumpunp (ej visad) via ett rör 4.
Två roterande tätningar 5 tillfïrsäkrnr på känt sätt tätning mellan 90 Q5 40 7802335-5 den roterande delen l och den festa delen 9.
Den fasta delen 2 kan exempelvis bestå av två väsentligen cv1ind~ riska delar ?a och ?b som är fäste vid varandra med skruvar G över en mellanliggande tätninqsrine V i delarnas anslutningsplan.
Enligt uppfinningen är anordnad en ventil 8 som roterar med den roterande delen l och som normalt stänger förbindelsen mellan vakuvn- pumpen och vakuumkammaren i den roterande delen 1. Ventilen 8 kan vare anordnad för att direkt tillsluta utsuaninmsöppninqen 3. Då dere emellertid vanligen har relativt stor dimension i axiell riktning av den roterande delen 1, skulle ett sådant arrangemang kräva relativt stor axiell förflyttning av ventilen 8 för fullständig tillslutning av öppningen 5. iv denna anledning är mellan den roterande delen l och den fasta delen Q anordnad en ringformad cvlindrisk semlingsdel 9, vilken är monterad på den roterande delen l för rotation med denne" Samlingsdelen 9 är avtätad mot den roterande delen l exempelvis medelst två tätninssringar 10 (O-ringar) anordnade i vardera änden av öppningen 3. iv tillverkningskäl är semlingsdelen 9 lämpligen utförd i två delar 9a och 9b. Delen 9b, som bildar den inre cvlind- riska väggen av samlingsdelen 9, har en öppning ll mitt för utsug- ningsöppningen 3. Mellan delarna 9a och 9b av samlíngsdelen 9 är i en ände av samlinmsdelen 9 anordnad en rinfiformad öppning 12. ventilen Q är ringformad och är axiellt rörligt monterad rela- tivt den roterande delen 1. Wör ändamålet är ventilen utformad med ett cylindriskt parti 8e anordnat för axiell förskjutning mellan tvâ rader av kulor lä och 14 5 ett spår upptaget i ett block 1% på axi- ellt avstånd från samlingsrinçen 9. Blocket 15 är anordnat att ro- tera med den roterande delen 1. Ventílen 8 har vidare ett radielltl parti Rb i form av en ringformad skiva med en bearbetad yta vänd mot samlingsringen Q. Wvå koncentriska tätningsrinqar 16 och 17 (O-ringsrf uppteges i spår på den mot samlingsringen vända sidan av ventilen 8 för ansïttning mot ïndväggen 9c av samlingsringen 9 på två sidor av öppningen 12 för att tillsluta denna öppning. Ventilen 8 tryckes till det med punktstreckade linjer visade läget medelst minst en fjäder 18, som delvis upptages i det cylindriska partiet 8a av ventilen 8 och som i en ände anligger mot bottnen av spåret i blocket 15.
För att ventilen 8 vid behov skall kunna öppnas är den utförd av magnetiskt material och anordnad att manövreras medelst en fast manäverspole 19 belägen i den fasta delen 2. När spolen 19 tillföras ström via en elektronisk styrkrets (ej visad) alstrar den ett magnet- fält som attraherar ventilen 8 mot verkan av fjädrarna 18 och avlägs- lO MN \J'| 7802335-5 4 nar ventilen från ändväggen Qc av samlinesringen 9, så att öppningen 12 frilägges och utsuyninæsöpnningen 5 sättes i förbindelse med rö- ret 4.
Manöverspoler kan även vara monterad på den roterande delen 1.
De två tätningarna 5 är lämpligen utförda som roterande tät- ninaar av skivkopplingstyp. Sådana tätninasr är kända. De står nor- malt i overksamt läge under påverkan av en fjäder och kan sättas i aktivt läge exempelvis under påverkan av en elektromaanet eller ge- nom hydraulisk eller pneumatisk påverkan.
Den beskrivna anordningen arbetar på följande sätt. Det antages att vakuumkammaren (den värmeisolerande fickan kring maskinens supra- ledande lindninnar) är tillsluten nenom ventilen 8. Om det vaknum, som skall upprättbållas i vakuumkammaren (värmeisoleringsfickan), enligt indikerinfi medelst en vakuum-meter visar sig sjunka, manövre- ras tätningarna 5 till aktivt läge och vakuumpumpen startas. Då unge- far samma vakuum råder på båda sidor om ventilen 8, öppnas denna ee- nom magnetspolen 19 och vakuumpumpningen påbörjas. När detta vakuum är tillräckligt, brytes strömmen till spolen 19 så att ventilen 8 åter stänger genom påverkan av fjädrarna 18, varjämte tätningarna urkopplas och pumpen stoppas.
Så länge korrekt vakuum föreligger, tjänstgör de fasta tät- ningarna 16 och 1? på ventilen 8 i stället för de roterande tät- ningarna 5, varigenom livslängden av tätningarna 5 ökas.
Såsom framnàr av ovanstående, förenar uppfinningen fördelarna av tidigare kända lösningar utan att ha deras nackdelar.
Efter önskan kan de roterande skivkopplingstätninaarna 5 er- sättas av roterande tätningar med stor livslängd, vilka arbetar nn- der permanent inkoppling, såsom är fallet i tidigare kända tätninas- anordningar. Härigenom ökas driftsäkerheten, i det att maskinen ar- betar med dubbla tätningar (ventil plus roterande tätningar) så länge korrekt vakuum upprätthålles.
Uppfinningen är ej bunden till ovan beskrivna exempel. Modifi- eringar är möjliæa inom uppfinningens ram. Det är sålunda möjligt att i stället för den rinsformade öppningen 12 anordna en eller flera cirkulära öppningar i ändvëggen 90 av samlingsringen 9, varvid en särskild ventil är ansluten till varje öppning och samtliga ven- tiler är inbördes kopplade för samtidig manöver.

Claims (4)

10 20 30 5) 7802335-5 Patentkrav
1. Anordning för att sätta en roterande vakuumkammare av en kryostet i förbindelse med en fast vakuumpump anordnad ett upprätt- hålla ett vakuum i kammaren, omfattande en till vaknumpumpen anslu~ ten fast del, en med den fasta delen koaxiell roterande del försedd med en utsugningsöppning, och minst ett mellan den fasta och den ro- terande delen insatt tätningsorçan, k ä n n e t e o k n a d av att anordningen har minst en ventil (8) som roterar med den roterande delen (1) och som vid normal temperatur och korrekt vakuum i kammaren tillsluter utsuqningsöppningen (3), och organ (19) för att avlägsna ventilen från utsugningsöppninqen och sätta vakuumkammeren i förbin~ delse med pumpen när nämnda vakuum i kammaren är otillräckligt,
2. Anordning enliqt krav 1, av ett den omfattar en cylindrisk samlingsrinq (Q) anordnad mellan den fasta (2) och den roterande delen för rotation med den sistnämnda till vil- ken den är tätt ansluten, vilken samlingsring (9) i sin inre cylind- riska vägg (9b) har en öppning (11) belägen mitt för utsugningsöpp- ningen (F) i den roterande delen_(1) och i en (9c) av sina ändväggar har en andra ringformad öppning (12), varvid ventilen (8) är rinn- formad och monterad för axiell förflyttnine relativt den roterande delen (1) och omfattar ett parti i form av en ringformad skiva (Bb) försedd med två koncentriska tätningsringar för ensättning mot änd- väegen (9c) ev sfimlinesringen (9) på båda sidor ev den andra rine« k ä n n e t e c k n a d formade öppningen (12).
3. 5. Anordning enligt krav 9, ventilen (8) är anordnad att aviellt tryckas mot ändväggen (9c) medelst minst er fjäder (14) som stöder mot ett till den roterande delen (1) fast anslutet axiellt anslag (15).
4. Anordninï enlifit krav Ö eller Z, k 3 n n e t e c k n a d av att ventilen (R) består av mngnetiskt material och att den kan avlägsnas från ändväggen (9c) genom verkan av magnetfältet från en k 3 n n e t e c k n e d av att fast manäverspole (19) uppburen av den festa delen (2). ANFURDA PUBLIKATIONER:
SE7802335A 1977-03-03 1978-03-01 Anordning for att settta en roterande vakuumkammare av en kryostat i forbindelse med en fast vakuumpump SE425280B (sv)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR7706188A FR2382638A1 (fr) 1977-03-03 1977-03-03 Perfectionnements aux dispositifs maintenant le vide dans l'enveloppe d'un cryostat tournant

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SE7802335L SE7802335L (sv) 1978-09-04
SE425280B true SE425280B (sv) 1982-09-13

Family

ID=9187487

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE7802335A SE425280B (sv) 1977-03-03 1978-03-01 Anordning for att settta en roterande vakuumkammare av en kryostat i forbindelse med en fast vakuumpump

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4211087A (sv)
CA (1) CA1086291A (sv)
CH (1) CH625367A5 (sv)
DE (2) DE2807897C2 (sv)
FR (1) FR2382638A1 (sv)
GB (1) GB1594293A (sv)
SE (1) SE425280B (sv)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2856128C3 (de) * 1978-12-27 1981-08-13 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Kühlmittelanschlußkopf für eine elektrische Maschine, die einen um eine Achse drehbar gelagerten Läufer mit einer von einem Kühlmittel tiefzukühlenden, supraleitenden Wicklung enthält
FR2717550B1 (fr) * 1994-03-17 1996-06-07 Europ Propulsion Vanne cryogénique intégrale sous vide.
US6708503B1 (en) * 2002-12-27 2004-03-23 General Electric Company Vacuum retention method and superconducting machine with vacuum retention

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2164823A1 (de) * 1971-12-27 1973-06-28 Linde Ag Vorrichtung zum zu- und abfuehren eines tiefkalten gases
CH573182A5 (sv) * 1973-06-27 1976-02-27 Kraftwerk Union Ag
US4117694A (en) * 1977-02-09 1978-10-03 Belmore Richard J Rotatable refrigerated valve

Also Published As

Publication number Publication date
DE2807897C2 (de) 1986-12-11
CA1086291A (en) 1980-09-23
SE7802335L (sv) 1978-09-04
GB1594293A (en) 1981-07-30
DE7805538U1 (de) 1979-02-15
FR2382638B1 (sv) 1980-12-05
CH625367A5 (sv) 1981-09-15
DE2807897A1 (de) 1978-09-07
FR2382638A1 (fr) 1978-09-29
US4211087A (en) 1980-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3898799A (en) Device for bleeding-off compressor air in turbine jet engine
US4013384A (en) Magnetically driven centrifugal pump and means providing cooling fluid flow
US4850812A (en) Integrated motor pump combination
CN109563890B (zh) 粘性离合器和关联的电磁线圈
US4184090A (en) Rotary magnetic isolation coupling
US5547350A (en) Modular shaftless compressor
JP2020074676A (ja) モジュールモータと磁気ベアリングとのアセンブリ、およびその製造方法
CN110418893B (zh) 离心泵机组
JP7513306B2 (ja) イオンビームエッチング用回転プラットフォーム
CN106300798A (zh) 一种无轴封的多极感应式永磁调速机泵动力传输系统
SE425280B (sv) Anordning for att settta en roterande vakuumkammare av en kryostat i forbindelse med en fast vakuumpump
US2718193A (en) Motor-pump unit
US9845894B2 (en) Cleaning of rotary valves
US4560895A (en) Electric motor equipped with inner blocking brake
EP0898081B1 (en) Turbomolecular Pump
US7948192B2 (en) Dual redundant variable field permanent magnet dynamoelectric machine
US3005467A (en) Multi-port valve
CN107956816A (zh) 切换式或双速发动机配件
US2794129A (en) Combined air turbine control valve mechanism and generator
US2902943A (en) Rotary low pressure gas pump and method of operating the same
US11399460B1 (en) Blade rotation system
GB1578012A (en) Sliding vane rotary compressor or pump
US3089573A (en) Electromagnetically operated clutch-brake
US2604904A (en) Rotary valve
US4250713A (en) Apparatus for conducting liquid helium between a transporter and an electric machine