SA518400565B1 - جهاز فحص مادة صلبة واستخدامه - Google Patents
جهاز فحص مادة صلبة واستخدامه Download PDFInfo
- Publication number
- SA518400565B1 SA518400565B1 SA518400565A SA518400565A SA518400565B1 SA 518400565 B1 SA518400565 B1 SA 518400565B1 SA 518400565 A SA518400565 A SA 518400565A SA 518400565 A SA518400565 A SA 518400565A SA 518400565 B1 SA518400565 B1 SA 518400565B1
- Authority
- SA
- Saudi Arabia
- Prior art keywords
- optical
- aaa
- layer
- optical objective
- energy level
- Prior art date
Links
- 239000007787 solid Substances 0.000 title claims description 97
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 59
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 230
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 125
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims description 108
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 56
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 56
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 39
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 28
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 24
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 claims description 15
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 11
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 9
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 8
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 claims description 7
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims description 7
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 6
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011707 mineral Substances 0.000 claims description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- ABYZSYDGJGVCHS-ZETCQYMHSA-N (2s)-2-acetamido-n-(4-nitrophenyl)propanamide Chemical compound CC(=O)N[C@@H](C)C(=O)NC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 ABYZSYDGJGVCHS-ZETCQYMHSA-N 0.000 claims 3
- 101100309447 Caenorhabditis elegans sad-1 gene Proteins 0.000 claims 2
- CWPWAQJHDDRCKP-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-trimethyl-2-(2,4,6-trimethylphenyl)benzene Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C)=C1C1=C(C)C=C(C)C=C1C CWPWAQJHDDRCKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- JCLFHZLOKITRCE-UHFFFAOYSA-N 4-pentoxyphenol Chemical compound CCCCCOC1=CC=C(O)C=C1 JCLFHZLOKITRCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 241000928106 Alain Species 0.000 claims 1
- 241001233887 Ania Species 0.000 claims 1
- 235000003197 Byrsonima crassifolia Nutrition 0.000 claims 1
- 240000001546 Byrsonima crassifolia Species 0.000 claims 1
- 241001319178 Cicia Species 0.000 claims 1
- 244000205754 Colocasia esculenta Species 0.000 claims 1
- 235000006481 Colocasia esculenta Nutrition 0.000 claims 1
- 101100169840 Drosophila melanogaster mahj gene Proteins 0.000 claims 1
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 claims 1
- 102100030931 Ladinin-1 Human genes 0.000 claims 1
- 101710177601 Ladinin-1 Proteins 0.000 claims 1
- 101100063504 Mus musculus Dlx2 gene Proteins 0.000 claims 1
- KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N Rosin Natural products O(C/C=C/c1ccccc1)[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O1 KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N 0.000 claims 1
- 102100033121 Transcription factor 21 Human genes 0.000 claims 1
- 101710119687 Transcription factor 21 Proteins 0.000 claims 1
- MOVRNJGDXREIBM-UHFFFAOYSA-N aid-1 Chemical compound O=C1NC(=O)C(C)=CN1C1OC(COP(O)(=O)OC2C(OC(C2)N2C3=C(C(NC(N)=N3)=O)N=C2)COP(O)(=O)OC2C(OC(C2)N2C3=C(C(NC(N)=N3)=O)N=C2)COP(O)(=O)OC2C(OC(C2)N2C3=C(C(NC(N)=N3)=O)N=C2)COP(O)(=O)OC2C(OC(C2)N2C(NC(=O)C(C)=C2)=O)COP(O)(=O)OC2C(OC(C2)N2C3=C(C(NC(N)=N3)=O)N=C2)COP(O)(=O)OC2C(OC(C2)N2C3=C(C(NC(N)=N3)=O)N=C2)COP(O)(=O)OC2C(OC(C2)N2C3=C(C(NC(N)=N3)=O)N=C2)COP(O)(=O)OC2C(OC(C2)N2C(NC(=O)C(C)=C2)=O)COP(O)(=O)OC2C(OC(C2)N2C3=C(C(NC(N)=N3)=O)N=C2)COP(O)(=O)OC2C(OC(C2)N2C3=C(C(NC(N)=N3)=O)N=C2)COP(O)(=O)OC2C(OC(C2)N2C3=C(C(NC(N)=N3)=O)N=C2)COP(O)(=O)OC2C(OC(C2)N2C(NC(=O)C(C)=C2)=O)COP(O)(=O)OC2C(OC(C2)N2C3=C(C(NC(N)=N3)=O)N=C2)COP(O)(=O)OC2C(OC(C2)N2C3=C(C(NC(N)=N3)=O)N=C2)COP(O)(=O)OC2C(OC(C2)N2C3=C(C(NC(N)=N3)=O)N=C2)CO)C(O)C1 MOVRNJGDXREIBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 235000013405 beer Nutrition 0.000 claims 1
- 238000004820 blood count Methods 0.000 claims 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims 1
- 229910052571 earthenware Inorganic materials 0.000 claims 1
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 claims 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 claims 1
- 238000000004 low energy electron diffraction Methods 0.000 claims 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims 1
- XOFYZVNMUHMLCC-ZPOLXVRWSA-N prednisone Chemical compound O=C1C=C[C@]2(C)[C@H]3C(=O)C[C@](C)([C@@](CC4)(O)C(=O)CO)[C@@H]4[C@@H]3CCC2=C1 XOFYZVNMUHMLCC-ZPOLXVRWSA-N 0.000 claims 1
- 210000000582 semen Anatomy 0.000 claims 1
- 238000004416 surface enhanced Raman spectroscopy Methods 0.000 claims 1
- KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N trans-cinnamyl beta-D-glucopyranoside Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OCC=CC1=CC=CC=C1 KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 134
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 62
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 47
- -1 rare-earth lanthanide Chemical class 0.000 description 32
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 31
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 30
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 27
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 25
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 23
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 23
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 21
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 17
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 16
- 239000005383 fluoride glass Substances 0.000 description 15
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 13
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 13
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 12
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 12
- 238000003556 assay Methods 0.000 description 11
- 210000002784 stomach Anatomy 0.000 description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 10
- 238000003705 background correction Methods 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 9
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 9
- 229910001512 metal fluoride Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 9
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 8
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 8
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 8
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 7
- UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N erbium Chemical compound [Er] UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 7
- RMSOEGBYNWXXBG-UHFFFAOYSA-N 1-chloronaphthalen-2-ol Chemical compound C1=CC=CC2=C(Cl)C(O)=CC=C21 RMSOEGBYNWXXBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 108020004414 DNA Proteins 0.000 description 6
- 102000053602 DNA Human genes 0.000 description 6
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 6
- 239000007850 fluorescent dye Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 239000002773 nucleotide Substances 0.000 description 6
- 125000003729 nucleotide group Chemical group 0.000 description 6
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 6
- 230000004044 response Effects 0.000 description 6
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 239000001046 green dye Substances 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- WCWKKSOQLQEJTE-UHFFFAOYSA-N praseodymium(3+) Chemical compound [Pr+3] WCWKKSOQLQEJTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000001044 red dye Substances 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 3
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 238000012163 sequencing technique Methods 0.000 description 3
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 3
- 229940090898 Desensitizer Drugs 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000005371 ZBLAN Substances 0.000 description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 2
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 2
- FPIPGXGPPPQFEQ-OVSJKPMPSA-N all-trans-retinol Chemical compound OC\C=C(/C)\C=C\C=C(/C)\C=C\C1=C(C)CCCC1(C)C FPIPGXGPPPQFEQ-OVSJKPMPSA-N 0.000 description 2
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920006125 amorphous polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000021615 conjugation Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002496 gastric effect Effects 0.000 description 2
- 239000000499 gel Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 150000007523 nucleic acids Chemical group 0.000 description 2
- 230000037361 pathway Effects 0.000 description 2
- 230000002186 photoactivation Effects 0.000 description 2
- 238000010672 photosynthesis Methods 0.000 description 2
- 230000029553 photosynthesis Effects 0.000 description 2
- 238000005381 potential energy Methods 0.000 description 2
- PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N praseodymium atom Chemical compound [Pr] PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 2
- 229920006126 semicrystalline polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 230000011664 signaling Effects 0.000 description 2
- 150000004760 silicates Chemical class 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 2
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 2
- XOMKZKJEJBZBJJ-UHFFFAOYSA-N 1,2-dichloro-3-phenylbenzene Chemical compound ClC1=CC=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1Cl XOMKZKJEJBZBJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVROLHVSYNLFBE-UHFFFAOYSA-N 2,3,6-trichlorobiphenyl Chemical compound ClC1=CC=C(Cl)C(C=2C=CC=CC=2)=C1Cl LVROLHVSYNLFBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ASJSAQIRZKANQN-CRCLSJGQSA-N 2-deoxy-D-ribose Chemical compound OC[C@@H](O)[C@@H](O)CC=O ASJSAQIRZKANQN-CRCLSJGQSA-N 0.000 description 1
- 101150012579 ADSL gene Proteins 0.000 description 1
- 102100020775 Adenylosuccinate lyase Human genes 0.000 description 1
- 108700040193 Adenylosuccinate lyases Proteins 0.000 description 1
- 108091093088 Amplicon Proteins 0.000 description 1
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 101100172879 Caenorhabditis elegans sec-5 gene Proteins 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001058146 Erium Species 0.000 description 1
- 108010043121 Green Fluorescent Proteins Proteins 0.000 description 1
- 240000008415 Lactuca sativa Species 0.000 description 1
- 241001024099 Olla Species 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101150107869 Sarg gene Proteins 0.000 description 1
- 241000209056 Secale Species 0.000 description 1
- 244000191761 Sida cordifolia Species 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052776 Thorium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052768 actinide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001255 actinides Chemical class 0.000 description 1
- 239000011717 all-trans-retinol Substances 0.000 description 1
- 235000019169 all-trans-retinol Nutrition 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 210000000941 bile Anatomy 0.000 description 1
- 238000012984 biological imaging Methods 0.000 description 1
- 238000004061 bleaching Methods 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000013481 data capture Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- SHJJIRWILPHYGV-UHFFFAOYSA-N erbium holmium Chemical compound [Ho].[Er] SHJJIRWILPHYGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZINJLDJMHCUBIP-UHFFFAOYSA-N ethametsulfuron-methyl Chemical compound CCOC1=NC(NC)=NC(NC(=O)NS(=O)(=O)C=2C(=CC=CC=2)C(=O)OC)=N1 ZINJLDJMHCUBIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- 238000013213 extrapolation Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000002795 fluorescence method Methods 0.000 description 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 1
- 238000009432 framing Methods 0.000 description 1
- 238000007306 functionalization reaction Methods 0.000 description 1
- 201000011243 gastrointestinal stromal tumor Diseases 0.000 description 1
- 230000007045 gastrulation Effects 0.000 description 1
- 230000008570 general process Effects 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000003128 head Anatomy 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910021644 lanthanide ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 239000005300 metallic glass Substances 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000007481 next generation sequencing Methods 0.000 description 1
- 108020004707 nucleic acids Proteins 0.000 description 1
- 102000039446 nucleic acids Human genes 0.000 description 1
- 238000012014 optical coherence tomography Methods 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000001782 photodegradation Methods 0.000 description 1
- 238000006303 photolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005375 photometry Methods 0.000 description 1
- 230000015843 photosynthesis, light reaction Effects 0.000 description 1
- 230000000243 photosynthetic effect Effects 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000003752 polymerase chain reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011176 pooling Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 1
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 1
- 230000005258 radioactive decay Effects 0.000 description 1
- 230000036647 reaction Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000026280 response to electrical stimulus Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 235000012045 salad Nutrition 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 239000008247 solid mixture Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 229910001428 transition metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010200 validation analysis Methods 0.000 description 1
- 238000012800 visualization Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/6428—Measuring fluorescence of fluorescent products of reactions or of fluorochrome labelled reactive substances, e.g. measuring quenching effects, using measuring "optrodes"
- G01N21/643—Measuring fluorescence of fluorescent products of reactions or of fluorochrome labelled reactive substances, e.g. measuring quenching effects, using measuring "optrodes" non-biological material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
- G01N21/6456—Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0289—Field-of-view determination; Aiming or pointing of a spectrometer; Adjusting alignment; Encoding angular position; Size of measurement area; Position tracking
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/44—Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
- G01J3/4406—Fluorescence spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
- G01N21/274—Calibration, base line adjustment, drift correction
- G01N21/278—Constitution of standards
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/6428—Measuring fluorescence of fluorescent products of reactions or of fluorochrome labelled reactive substances, e.g. measuring quenching effects, using measuring "optrodes"
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/6489—Photoluminescence of semiconductors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9515—Objects of complex shape, e.g. examined with use of a surface follower device
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
- G01J2003/1842—Types of grating
- G01J2003/1861—Transmission gratings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N2021/6417—Spectrofluorimetric devices
- G01N2021/6419—Excitation at two or more wavelengths
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/6428—Measuring fluorescence of fluorescent products of reactions or of fluorochrome labelled reactive substances, e.g. measuring quenching effects, using measuring "optrodes"
- G01N2021/6439—Measuring fluorescence of fluorescent products of reactions or of fluorochrome labelled reactive substances, e.g. measuring quenching effects, using measuring "optrodes" with indicators, stains, dyes, tags, labels, marks
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/02—Mechanical
- G01N2201/022—Casings
- G01N2201/0227—Sealable enclosure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/02—Mechanical
- G01N2201/024—Modular construction
- G01N2201/0245—Modular construction with insertable-removable part
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/12—Circuits of general importance; Signal processing
- G01N2201/127—Calibration; base line adjustment; drift compensation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Pathology (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
- Treatment Of Fiber Materials (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Heterocyclic Carbon Compounds Containing A Hetero Ring Having Nitrogen And Oxygen As The Only Ring Hetero Atoms (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Inspection Of Paper Currency And Valuable Securities (AREA)
Abstract
يتعلق الاختراع الحالي بتقديم جهاز فحص inspection apparatus حيث يشتمل على هدف ضوئي optical target يتضمن مادة مضيفة صلبة solid host material ومادة فلورية fluorescing material مضمنة في المادة المضيفة الصلبة. يكون للمادة المضيفة الصلبة طاقة فونون phonon energy محددة مسبقاً HOSTPE. تظهر المادة الفلورية مستوى طاقة أرضية ground energy مختار ومستوى طاقة تفعيل هدف target excitation (TE) منفصل عن مستوى الطاقة الأرضية بواسطة فجوة طاقة energy gap أولى تقابل طول موجي لانبعاث فلوري fluorescence emission محل اهتمام. يكون للمادة الفلورية مستوى طاقة تموضع أقل تالية next lower lying (NLL) بالنسبة لمستوى طاقة تفعيل هدف. يتباعد مستوى طاقة تموضع بفجوة طاقة ثانية FMEG2 أدنى من مستوى طاقة تفعيل هدف، حيث تكون نسبة FMEG2/HOSTPE هي ثلاثة أو أكثر. شكل1أ
Description
جهاز فحص مادة صلبة واإستخدامه
SOLID INSPECTION APPARATUS AND METHOD OF USE
الوصف الكامل خلفية الاختراع يحمي هذا الطلب أحقية طلب براءة الاختراع الأمريكية المؤقت رقم 443,675/62؛ المودع في 7 يناير» 2017 الذي تم تضمين محتوياته بالكامل في هذه الوثيقة كمرجع. تم استخدام الأهداف الضوئية Optical targets بشكل متكرر في المعايرة؛ المحاذاة والقياس في أنظمة ضوئية Loptical systems يتم استخدام الأهداف الضوئية؛ من بين أمور أخرى؛ عند تحديد دقة وكفاءة النظام الضوئي. على سبيل المثال؛ يظهر الهدف الضوئي أساس؛ يمكن أن يحدد optical مقدار التحلل الضوئي» عمق التركيز» الاتحراف الضوثئي والميكانيكي نه alll mechanical drift التشوه؛ الشذوذ بناءً على العدسات clens-based aberration الزيغ اللوني chromatism وما شابه ذلك. 0 مع ذلك؛ تواجه بعض الأهداف الضوئية الموجودة سابقاً قيود معينة. على سبيل (JU) تشتمل بعض الأهداف الضوئية الموجودة سابقاً على قنوات تنقل السوائل التي لها صبغة فلورية fluorescing dye الموجودة داخلهاء حيث تبث الصبغة تفلور fluorescence في طيف انبعاث spectra 11155100 مرغوب فيه. تشتمل بعض الأهداف الضوئية الموجودة سابقاً على منافذ دخول وخروج لسماح باستبدال الصبغة السائلة Jabs القنوات؛ حيث تسمح باستخدام مواد صبغة مختلفة 5 في هدف ضوئي مشترك عند نقاط زمنية مختلفة. مع ذلك؛ يزيد استخدام القنوات ومنافذ الدخول والخروج من التعقيد المائع fluidic complexity للهدف الضوئي. بالإضافة لذلك» يمكن اتباع عمليات خاصة حتى يتم تجنب دخول فقاعات الهواء داخل قناة الهدف الضوئي عند تغيير مواد الصبغة السائلة أو مرورها خلال القنوات. توجد حاجة لأدوات تساعد في المعايرة الدقيقة للمحاذاة والتحقق من صحة أنظمة الكشف الضوئي .optical detection systems 0 تم تضمين جميع محتويات الوثائق والمواد المشابهة المذكورة في هذا الطلب La في ذلك؛ لا للحصر؛ براءات الاختراع» طلبات براءات الاختراع؛ المقالات»؛ الكتب؛ الأطروحات؛ ومواقع الإنترنت» بغض النظر عن صيغة هذه الوثيقة والمواد المشابهة؛ في هذه الوثيقة بوضوح كمراجع.
في حالة أن واحدة أو أكثر من الوثائق والمواد المشابهة المضمنة تختلف عن أو تناقض هذا الطلب؛ بما في ذلك ولا للحصر التعبيرات المعرّفة؛ استخدام التعبيرء التقنيات الموصوفة؛ أو ما شابه cells يسود هذا الطلب. على النحو المستخدم في هذه الوثيقة؛ تكون للتعبيرات التالية المعاني المشار إليها.
يشير التعبير 'مادة مضيف صلبة "solid host material إلى مواد يكون لها بنية ذرية أو جزيئية atomic or molecular structure مجهزة في مصفوفة شعرية lattice أو مصفوفة matrix أخرى بحيث تظهر المادة المضيفة الصلبة طاقة فونون phonon energy محددة مسبقاً :110570. يمكن أن تشتمل مواد المضيف الصلبة على أي مادة بلورية corystalline material مادة شبه بلورية semi-crystalline material أو مادة غير متبلرة amorphous material قابلة للأشابة أو تضمين
0 بصورة أخرى باستخدام مادة فلورية fluorescing material كما هي موصوفة في هذه الوثيقة. على سبيل المثال» تمثل sale خزفية ceramic أحد أمثلة مادة بلورية. يمكن أن يمثل الزجاج sang البوليمرات polymers مواد غير بلورية أو شبه بلورية يمكن أن تكون مشابهة/ مضمنة مع مواد فلورية محل الاهتمام. يتم تحديد اختيار المادة المضيفة الصلبة (جزئياً على الأقل) بواسطة التطبيق الذي سيتم استخدام المادة المضيفة الصلبة فيه. على سبيل JU في عدة تطبيقات؛ يعتمد
5 اختيار المادة المضيفة الصلبة على خواصها الميكانيكية Ae) mechanical properties سبيل المثال» الصلابة) الاستقرار الكيميائي chemical stability / الخمول dinertness الخواص الحرارية thermal properties و/أو الخواص الضوئية .optical properties يمكن أن تكون الخواص المجهرية Microscopic properties مثل التجهيز الشعري dlattice arrangement البنية الكيميائية chemical structure وطيف الفونون phonon spectrum أيضاً ذات صلة عند اختيار المادة
0 المضيفة الصلبة. على سبيل المثال؛ تلعب البنية الشعيرية والكيميائية دوراً في التعبيرات عن نوع مادة الأشابة الخاصة والتركيز؛ بينما يعكس طيف الفونون الضوئي optical phonon spectrum التأثير الكمي quantum efficiency لانتقال معين عن طريق اضمحلال غير إشعاعي non- radiative decay يشير التعبير 'مادة تفلور” إلى واحدة أو أكشر من العناصر الكيميائية توليفات من العناصر
5 الكيميائية chemical elements أو مواد أخرى يتم إضافتها إلى المادة المضيفة الصلبة وحيث تتفلور» منفردة أو بالتعاون مع المادة المضيفة الصلبة؛ عند تفعيلها. على سبيل المثال» يمكن أن
تكون المادة المضيفة الصلبة مغروسة أو مشابة بواحدة أو أكثر من العناصر الكيميائية؛ Fie أيونات معدن انتقالي ctransition metal ions أيونات لانثانيد أرضي rare-earth lanthanide abs cons و/ أو أيونات أكتيدين ions عهندناءة. يمكن الإشارة إلى المادة الفلورية بمادة إشابة «dopant مثل عند إضافة أيونات معدن انتقالي؛ أيونات لانثانيد أرضي pal ¢ و/أو أيون أكتيدين إلى مادة مضيفة صلبة. يمكن أن تشتمل المادة الفلورية على عنصر واحد أو يمكن أن تشتمل على توليفة من العناصر (على سبيل المثال» مواد إشابة مشتركة 018دم20-00). يكون من المفهوم أنه؛ بالرغم من أن التعبير 'مادة تفلور" يشير إلى واحد أو أكثر من العناصر التي تمت إضافتها إلى salad) المضيفة الصلبة؛ في بعض الأمثلة على الأقل؛ يمكن أن لا يكون العنصر (العناصر) المضافة إلى المادة المضيفة الصلبة مستقل فلورباً بشكل مستقل عن المادة المضيفة الصلبة. بدلاً من ذلك؛ 0 يشكل واحد أو أكثر من العناصر sale فلورية عند التعاون مع المادة المضيفة الصلبة. اختيارياً؛ في الأمثلة البديلة؛ يمكن أن يتفلور العنصر (العناصر) المضاف إلى المادة المضيفة الصلبة بشكل مستقل عن المادة المضيفة الصلبة. اختيارياً» يمكن أن تمثل المادة الفلورية صبغة فلورية مضمنة داخل إيبوكسي («000. على سبيل مثال aT يمكن طلاء طبقة رقيقة فلورية fluorescent film على قمة هدف ضوئي بالإضافة إلى أو محل مادة إشابة فلورية داخل مادة
5 مضيفة صلبة. يشير التعبير 'نقاط كمية (QD) quantum dots إلى جسيمات شبه موصلة semiconductor particles صغيرة جداً (على سبيل المثال» بحجم عدد نانومترات) حيث يكون لها خواص Liga وإلكترونية optical and electronic properties تختلف عن خواص الجسيمات ١ لأكبر ٠ يتم تصميم النقاط الكمية لبث ضوءٍ بترددات معينة محل الاهتمام استجابة للكهرياء أو الضوء الواقع عليها. 0 يمكن ضبط ترددات الانبعاث عن طريق تغيير حجم النقطة؛ شكلها و/ أو المادة. في بعض الأمثلة؛ تحجز مواد شبه موصلة بحجم النانو nanoscale semiconductor materials بشكل محكم إما الإلكترونات electrons أو ثقوب الإلكترون electron holes على سبيل المثال» يمكن الإشارة إلى نقاط كمية أيضاً بذرات صناعية cartificial atoms يميز تعبير يؤكد على أن نقطة كمية تكون Ble عن جسم واحد داخل مجموعة؛ بين الحالات الإلكترونية electronic states كما هو الحال 5 مع الذرات أو الجزيئات طبيعية التكوين. يكون لنقاط كمية خواص إلكتروضوئية optoelectronic properties حيث تتغير كدالة من NUS من الحجم والشكل. تبث نقاط الكمية الأكبر (نصف قطر
6-5 نانو مترء على سبيل المثال) أطوال موجية أطول مما ينتج ألوان انبعاث مثل برتقالي أو أحمر. تبث نقاط الكمية الأصغر (نصف قطر 3-2 نانو مترء على سبيل المثال) أطوال موجية أقصر مما ينتج ألوان انبعاث مثل الأزرق والأخضر؛ بالرغم من أن الألوان والأحجام الخاصة تتغير بناءً على التركيبة الفعلية لنقاط الكمية.
يشتمل التعبير "جسم صلب" على أي ركيزة substrate غير سائلة؛ غير غازية يتم استخدامها لتطويق مادة فلورية. يكون أحد أمثلة الجسم الصلب هو مادة مضيفة صلبة يكون بها واحدة أو أكثر من مواد التفلور أو مضمنة بصورة أخرى داخل المادة المضيفة الصلبة. يشتمل مثال aT على الجسم الصلب على ركيزة غير سائلة؛ غير غازية لتطويق نقاط كمية. كما هو مستخدم في هذه الوثيقة؛ يتم استخدام التعبيرات النسبية أو المكانية Cel JAE Jie
Cala Calf 0 "أول"» CAB "علوي" و'سفلي" كتعبيرات اتجاه بالنسبة لجسم مرجعي؛ نقطة أو محور. وفقاً للأمثلة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة؛ يتم استخدام التعبيرات النسبية أو المكانية بالنسبة للجسم في المعدة عند الوضع بجوار جهاز الفحص. على سبيل المثال؛ يمكن slay) إلى البنيات؛ الأجزاء؛ و/ أو أسطح معدة الفحص التي تكون قريبة/ أقرب للجسم ب أقمة"؛ "علوية “..الخ. cial يمكن الإشارة إلى بنيات؛ أجزاء؛ و/ أو أسطح جهاز الفحص التي تكون
5 بعيدة/ أبعد عن الجسم ب Cbd CEE ..الخ. الوصف العام للاختراع وفقاً للأمتلة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة؛ يتم تقديم جهاز فحص inspection apparatus حيث يشتمل على هدف ضوئي يتضمن مادة مضيفة صلبة ومادة فلورية مضمنة في المادة المضيفة الصلبة. يكون للمادة المضيفة الصلبة طاقة فونون محددة مسبقاً :110570. تظهر المادة
Lyall 0 مستوى طاقة أرضية مختار ومستوى طاقة تفعيل هدف (TE) target excitation منفصل عن مستوى الطاقة الأرضية ground energy بواسطة فجوة طاقة energy gap أولى تقابل طول موجي لانبعاث فلوري محل -(FEWI) fluorescence emission wavelength of interest alaial يكون للمادة الفلورية مستوى طاقة تموضع أقل تالية (NLL) next lower lying بالنسبة لمستوىي طاقة تفعيل هدف. يتباعد مستوى طاقة تموضع أقل تالية بفجوة طاقة ثانية EMG) أدنى من
5 مستوى طاقة تفعيل هدف؛ حيث تكون نسبة FMuco/HOS Tee هي ثلاثة أو أكثر. اختيارياً» تكون نسبة :م:1711060:/11057 تساوي أو بين dan وعشرة. اختيارياً؛ تشتمل المادة
المضيفة الصلبة على واحد على الأقل من زجاج؛ بوليمرات غير متبلرة camorphous polymers مواد بلورية cerystalline materials بوليمرات شبه بلورية semi-crystalline polymers زجاج معدني 5 عنللماع» أو مادة خزفية .ceramic اختيارياً؛ تمثل المادة الفلورية أيون ion من واحد على الأقل من عنصر أرضي نادر rare-earth element أو عنصر معدن انتقالي transition .metal element 5 اختيارياً؛ يكون للمادة المضيفة الصلبة طاقة فونون قصوى أقل من أو تساوي ba 580 . اختيارياً؛ يكون للطول الموجي للانبعاث الفلوري | fluorescence emission
wavelength محل الاهتمام طول موجي مركزي عند أو أقل من 1000 نانو متر. اختيارياً» يمكن أن يشتمل الجهاز أيضاً على جسم به جيب لاستقبال الهدف الضوئي؛ حيث يشتمل الجسم على منطقة inset region cand موضوعة عند سطح علوي وتطوّق الجيب؛ وطبقة شفافة transparent layer |0 مثبتة في منطقة التبييت وموضوعة فوق الهدف الضوئي. اختيارياً؛ يشتمل الجسم على قناة تحيط جزئياً على الأقل الجيب؛ تقوم القناة باستقبال sale لاصقة Jay ll بطبقة محززة grating layer تشتمل القناة على مجموعة من جيوب تخفيف ضغط pressure relief pockets موزعة حول القناة. تكون جيوب تخفيف الضغط لتخفيف ضغط مستحث على الطبقة المحززة بواسطة المادة اللاصقة أثناء عملية تصلب .curing process اختيارياً؛ يمكن أن يشتمل الجسم أيضاً على بنيات دقيقة microstructures مشكلة على سطح واحدة على الأقل من الطبقة الشفافة أو الهدف الضوئي لتشكيل طبقة محززة. اختيارياًء يمكن أن يشتمل الجهاز أيضاً على جسم حجز هدف ضوئي به جيب لاستقبال الهدف الضوئي. يمكن تشكيل الجسم من ألومينيوم aluminum يتضمن سطح له انعكاسية لا تزيد عن حوالي 0. يمكن أن يشتمل الجسم على منطقة تبييت موضوعة على السطح العلوي وتطوّق الجيب. يمكن أن يشتمل الجهاز أيضاً على 0 طبقة محززة شفافة مثبتة في منطقة التبييت ويمكن أن تكون موضوعة فوق الهدف الضوئي ومتباعدة عن الهدف الضوئي بواسطة فجوة هامشية fringe gap كما هو مذكور del يمكن أن يشتمل الجسم على جيب لاستقبال الهدف الضوئي. يمكن أن يشتمل الجسم على عين نشر diffusion well موضوعة أسفل الجيب. يمكن أن تستقبل عين النشر ضوء التفعيل excitation Tight المار خلال الهدف الضوئي. يمكن أن تتضمن عين النشر قاع عين بها نهاية سطح تظهر 5 انعكاسية لا تزيد عن حوالي 720.0. يمكن أن يشتمل الجهاز أيضاً على تغطية مضادة للانعكاس anti-reflective coating مشكلة على سطح واحدة على الأقل من الطبقة الشفافة أو الهدف
الضوئي. اختيارياً» وفقاً لمثال بديل؛ يمكن أن يشتمل جهاز الفحص على هدف ضوئي وطبقة شفافة مقيدة مباشرةً فوق بعضها البعض بدون أي بنية جسم دعم إضافية. يمكن تجهيز البنيات الدقيقة عند الوصلة البينية بين الهدف الضوئي والطبقة الشفافة. يمكن أن تمثل البنيات الدقيقة واحد أو أكثر 5 .من الأنماط اللونية chrome patterns المشكلة على سطح علوي للهدف الضوئي و/ أو على سطح سفلي بالطبقة الشفافة. اختيارياً؛ وفقاً لمثال بديل؛ يمكن استخدام جهاز الفحص على هيئة جهاز فحص موضوع مباشرةً على خلية تدفق؛ بدلاً من التثبيت فوق معدة. اختيارياً؛ يمكن إهمال الطبقة الشفافة بالكامل. اختيارياً؛ يمكن استخدام الهدف الضوئي على هيئة جهاز فحص مستقل بدون طبقة شفافة أو أي بنيات دعم أخرى؛ مثل الجسم. 0 يكون من المفهوم أنه يمكن تجميع أي سمات لجهاز الفحص Usa بأي طريقة و/ أو تصميم مرغوب فيها. وفقاً للأمثلة في هذه الوثيقة؛ يتم تقديم وسيلة كشف ضوئي. تشتمل وسيلة الكشف الضوئي على هدف ضوئي؛ حيث يتضمن جسم صلب يطوّق sale فلورية. يوجّه الجسم ضوء التفعيل نحو الهدف الضوئي وستقبل انبعاث فلوري من الهدف الضوئي. يحرك المحرك الجسم إلى منطقة محل ااهتمام قريبة من الهدف الضوئي. تكون ذاكرة لتخزين تعليمات برنامج أيضاً عبارة عن جزءِ من وسيلة الكشف الضوئي. يقوم المعالج بتنفيذ تعليمات البرنامج لكشف انبعاث فلوري من الهدف الضوئي بالترافق مع واحدة على الأقل من محاذاة أو معايرة ضوئية optical alignment or calibration لمعدة. اختيارياً» يمكن أن يوجّه الجسم ضوء التفعيل على الهدف الضوئي. يمكن أن يوجّه المعالج 0 معلومات مرجعية من الانبعاث الفلوري. يمكن أن يستخدم المعالج المعلومات المرجعية بالترافق مع واحدة على الأقل من محاذاة أو معايرة ضوئية للمعدة. يمكن تثبيت الهدف الضوئي بشكل دائم عند موقع معايرة calibration location قريب من الجسم. يمكن فصل موقع المعايرة عن قنوات خلية التدفق Jas flow cell المعدة. اختيارياً» يشتمل الهدف الضوئي على مادة مضيفة صلبة ومادة فلورية مضمنة في المادة المضيفة الصلبة؛ يكون للمادة المضيفة الصلبة طاقة فونون محددة مسبقاً \HOSTpe 5 تظهر المادة الفلورية مستوى طاقة أرضية مختارء مستوى طاقة تفعيل هدف ومستوى طاقة تموضع أقل تالية يبعد بفجوة طاقة 114800 أدنى من مستوى طاقة تفعيل هدف»؛ حيث تكون
نسبة FMEco/HOS Ter هي ثلاثة أو أكثر.
يمكن أن يمثل الجسم الصلب ركيزة تشتمل على مادة مضيفة صلبة مع المادة الفلورية المضمنة
داخل المادة المضيفة الصلبة. يمكن أن يمثل الجسم الصلب واحد على الأقل من إيبوكسي epoxy
أو بوليمر polymer يطوّق نقاط كمية حيث تبث التفلور في واحد أو أكثر من نطاقات الانبعاث
المحددة مسبقاً محل الاهتمام عند إسقاط الإشعاع بواسطة ضوء التفعيل.
في أحد الأمثلة؛ تشتمل وسيلة الكشف الضوئي أيضاً على تغطية مضادة للانعكاس مشكلة على
الهدف الضوئي.
يكون من المفهوم أنه يمكن تجميع أي سمات لوسيلة الكشف الضوئي Lg بأي طريقة مرغوب
فيها. علاوة على ذلك؛ يكون من المفهوم أنه يمكن استخدام أي توليفة من سمات وسيلة الكشف 0 الضوئي و/ أو جهاز الفحص Liga و/ أو أنه يمكن تجميع أي سمات من أي أو Cre SS هذه
السمات باستخدام أي من الأمثلة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة.
وفقاً للأمثلة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة؛ يتم تقديم طريقة. تحاذي الطريقة جسم معدة مع
هدف ضوئي يتضمن جسم صلب يطوّق مادة فلورية. توجّه الطريقة ضوء التفعيل على الهدف
الضوئي؛ تكشف انبعاث فلوري من الهدف الضوئي على هيئة معلومات مرجعية وتستخدم 5 المعلومات المرجعية بالترافق مع واحدة على الأقل من محاذاة أو معايرة ضوئية للمعدة.
اختيارياً» يمكن أن تشتمل الطريقة أيضاً على تركيز ضوء التفعيل على نقطة بؤرية يمكن أن يكون
أسفل سطح علوي للهدف الضوئي.
يمكن أن تشتمل عملية المحاذاة aligning operation على محاذاة الجسم مع منطقة محززة grating
(anal region بنية دقيقة موضوعة فوق الهدف الضوئي وتركيز ضوء التفعيل على نقطة بؤرية 0 أولى عند البنية الدقيقة؛ ومحاذاة الجسم مع منطقة غير محززة تكون خالية من البنية الدقيقة وتركيز
ضوء التفعيل على نقطة بؤرية ثانية تكون أدنى سطح علوي للهدف الضوئي. اختيارياً؛ يمكن أن
تشتمل المادة الفلورية على عنصر كيميائي حيث يشتمل على أيون من واحد على الأقل من إربيوم
erbium هولميوم holmium أو براسيوديميوم 010860070010070 وتشتمل المادة المضيفة الصلبة
على واحد على الأقل من سيليكات «Silicate جيرمانات «Germanate إنديوم-فلوريد indium (InFs) fluoride 5 » أو زجاج فلوريد معدن (ZBLAN) metal fluoride glass (أي « مواد زجاجية من
-(ZrF4-BaF>-LaF;-AlF3-NaF Jie «Lid metal fluoride فلوريد معدني
يكون من المفهوم أنه يمكن تجميع أي سمات للطريقة سوياً بي طريقة مرغوب فيها. علاوة على cell يكون من المفهوم أنه يمكن استخدام أي توليفة من السمات من الطريقة و/ أو وسيلة الكشف الضوئي و/ أو جهاز الفحص Lge و/ أو أنه يمكن تجميع أي سمات من أي أو جميع هذه السمات مع أي من سمات الأمثلة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة. 55 شرح مختصر للرسومات الشكل 1 يوضح شكل منظوري لجهاز فحص مكوّن وفقاً لمثال في هذه الوثيقة؛ حيث يتم عرض هدف ضوئي منفصل عن جسم يقوم باستقبال الهدف الضوئي. الشكل [ب يوضح منظر مستوي علوي لجسم مشكل وفقاً لمثال بديل. الشكل 1ج يوضح شكل منظوري لجهاز فحص مكوّن وفقاً لمثال بديل؛ حيث يتم عرض هدف 0 ضوئي وطبقة محززة منفصلة عن جسم يقوم باستقبال الهدف الضوئي والطبقة المحززة. الشكل 2 يوضح منظر مقطعي جانبي لجهاز الفحص من الشكل 1آ على امتداد الخط A2-A2 في الشكل of] مع الهدف الضوئي المركب وفقاً للأمثلة في هذه الوثيقة. الشكل 2ب يوضح منظر جانبي لنموذج للهدف الضوئي مع جسم موضوع عند موضع قياس أول وفقاً لمثال في هذه الوثيقة. الشكل 2ج يوضح منظر جانبي لنموذج للهدف الضوئي مع الجسم موضوع عند موضع قياس ثاني وفقاً لمثال في هذه الوثيقة. الشكل 2ب يوضح منظر مستوي علوي لجهاز الفحص مشكل وفقاً لأحد الأمثلة. الشكل 2ه يوضح منظر مقطعي جانبي لجهاز فحص مكوّن Wg لمثال بديل. الشكل 2و يوضح منظر مقطعي جانبي لجهاز فحص مكوّن وفقاً لمثال بديل. 0 الشكل 3 يوضح رسم بياني لنطاق طاقة energy band بالترافق مع أيون إربيوم ثلاثي التكافؤ (Er’Y) trivalent erbium ion يستخدم وفقاً للأمثلة في هذه الوثيقة. الشكل 3ب يوضح رسم بياني لمستوى طاقة أيون مرتبط بأيون براسيوديميوم DE التكافؤ (Pr**) trivalent prascodymium ion وفقاً للأمثلة في هذه الوثيقة. الشكل 3ج يوضح رسم بياني لمستوى طاقة أيون مرتبط بأيون هولميوم ثلاثي التكافق trivalent holmium ion 5 (7م16) وفقاً للأمثلة في هذه الوثيقة. الشكل 4 يوضح قياسات اختبار كثافة نموذجية تقابل ألوان انبعاث فلوري مختلفة مجمعة بالترافق
مع أهداف ضوئية مختلفة وفقاً للأمثلة في هذه الوثيقة. الشكل 5 يوضح نتائج اختبار مادة مضيفة صلبة حيث تكون مشكلة عن طريق إشابة زجاج فلوريد معدن مع تركيزات محددة مسبقاً من أيون إربيوم ثلاثي التكافؤ وفقاً للأمثلة في هذه الوثيقة. الشكل 16 يوضح منظر مقطعي جانبي لجهاز فحص مكوّن Wy لمثال بديل. الشكل 6ب يوضح منظر جانبي ial من جهاز فحص مكوّن Wy لمثال بديل.
الشكل 6ج يوضح منظر جانبي oad من جهاز فحص مكوّن وفقاً لمثال بديل. الشكل 7 يوضح رسم بياني إطاري لوسيلة كشف ضوئي مشكلة وفقاً لأحد الأمثلة. الشكل 8 يعرض منظر مفكك لمقياس تفلور دقيق نموذجي لأغراض توضيح تجهيز وظيفي للمكونات الضوئية المختلفة وفقاً للأمثلة في هذه الوثيقة.
0 الشكل 9 يوضح رسم بياني إطاري لمعدة كشف يمكن أن تستخدم جهاز فحص Wy للأمثلة في هذه الوثيقة. الشكل 10 يوضح تدفق عملية آلي نموذجي حيث يمكن أن يعمل باستخدام جهاز فحص وققاً للأمثلة في هذه adsl)
5 تصف الأمثلة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة عن أهداف ضوئية تستخدم أجسام صلبة باستخدام مادة فلورية داخلها. يمكن استخدام الهدف الضوئي لمعايرة الأجزاء الضوئية optics للأنظمة الضوئية بأساس فلوري باستخدام مستوى محدد مسبقاً للإحكام cally مثل في نطاق حجم النانو scale :220000666 أو نطاق ana الميكرو scale :01000868 ..الخ.؛ بناءً على الخاصية الضوئية optical property التي يتم قياسها. يقدم واحد أو أكثر من الأمثلة التي تم الكشف عنها
0 في هذه الوثيقة منافع كبيرة. على سبيل المثال؛ يكون نظام استهداف جسم صلب سهل التصنيع نسبياً بالمقارنة بأهداف بأساس قالب سائل liquid die تقليدي وأهداف مناظرة مائعة. يظهر نظام استهداف جسم صلب عمر تخزين طويل hss حيث لا تتسرب الأجزاء أو تتدهور ضوئياً بمرور الوقت. أيضاً؛ لا يتطلب نظام استهداف الجسم الصلب عمليات داخلية مخصصة وبالتالي يمكن شراءه من موردين بسهولة. Lad يتيح نظام استهداف الجسم الصلب انبعاث فلوري يكون ثابتاً
5 بمرور الوقت بدون تدهور ضوئي photo- degradation عند قدرة ضوئية dims حيث توفر إمكانية استخدام نظام استهداف جسم صلب لقياس القدرة ومعايرة القدرة لمصادر إضاءة المعدة
عندما تكون في المجال. يؤدي دمج الوظائف السابقة بشكل دائم في نظام متتابع إلى التمكن من مراقبة نظام بعيد لتحسين زمن تشغيل المعدة. يوضح الشكل 11 شكل منظوري لجهاز فحص 100 مشكل وفقاً لأحد الأمثلة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة. يشتمل جهاز الفحص 100 على جسم 102 به سحط علوي وسفلي 104« 106 يمتد بصفة عامة مستويين سوياً. يمكن أن يشتمل الجسم 102 على أركان مستديرة تنتقل بين الجوانب الجانبية 108 والطرف الأمامي والخلفي 110؛ 112. في المثال الحالي؛ يكون الجسم 2 بشكل مستطيل؛ بالرغم من إمكانية استخدام أشكال بديلة. يتم تشكيل جهاز الفحص 100 وتحديد أبعاده لتكون مثبتة داخل معدة تقوم بتنفيذ قياسات وتحليل ضوئية. على سبيل المثال؛ يمكن أن تكون المعدة Ble عن معدة متميعة instrument 125ل0110» بالرغم من أن الأمثلة التي تم 0 الكشف عنها في هذه الوثيقة يمكن استخدامها مع معدات ضوئية غير متميعة non-fluidic instruments لدعتامه. بالنسبة للأمثلة؛ يمكن استخدام جهاز الفحص 100 الموصوف في هذه الوثيقة بالترافق مع مواد متميعة دقيقة cmicro-fluidics مواد شبه موصلة «semiconductors تكنولوجيا حيوية biotechnology ومعدات صناعة مخصصة. على سبيل JU يمكن استخدام جهاز الفحص 100 لمحاذاة أداة شبه موصلة ]00 semiconductor مثل عناصر محاذاة aligners 5 وعناصر تدرج steppers مخفية؛ لمعايرة نظام رؤية لماكينة machine vision system لمراحل ضوئية في التطبيقات مثل التصوير المقطعي بالتماسك الضوئي optical coherence tomography وتصوير حيوي biological imaging بأساس فلوري. على سبيل مثال آخر؛ يمكن استخدام جهاز الفحص 100 بالترافق مع معايرة أدوات ضوئية مخصصة قياسية مثل المجاهر الفلورية .fluorescence microscopes يمكن استخدام الأمثلة في هذه الوثيقة بالترافق مع أنظمة تتابع الجيل التالي التي تستخدم طرق تفلور مختلفة. على سبيل (JU يمكن استخدام جهاز الفحص 100 بالترافق مع معدة (MINISEQ® معدة ©111520؛ معدة NEXTSEQ® ومعدة MISEQ® متاحة بواسطة 110177108 Inc. (San Diego, CA) و/أو بالترافق مع معدات متاحة بواسطة شركات أخرى. وفقاً لبعض الأمثلة على الأقل؛ يتيح جهاز الفحص 100 المعايرة الضوئية لمعدة بدون الحاجة لجسيمات 5 مرجعية فلورية fluorescent reference particles أو قوالب فلورية fluorescent dies (كما هو مستخدم على نحو تقليدي). توفر الجسيمات والقوالب المرجعية الفلورية التقليدية معايرة لقليل من
حاملات التألق fluorophores المستخدمة بشكل أكثر تكراراً (على سبيل (JU فلورسين وفيكويريثين (Phycoerythin مع ذلك؛ تعاني الجسيمات المرجعية والصبغات الفلورية التقليدية من استقرار حراري وضوثي thermal and photo-stability تسرب و/ أو فشل ميكانيكي. وفقاً للأمثلة المقدمة في هذه الوثيقة؛ يمكن استخدام جهاز الفحص 100 على هيئة هدف ضوئي تشخيصي بعيد مدمج. يمكن تثبيت جهاز الفحص 100 بشكل دائم داخل معدة ووضعه لتمكين كاشف داخل المعدة من تنفيذ قياسات ضوئية optical measurements بدون الحاجة لتحميل يدوي لأي أداة إضافية. يمكن استخدام جهاز الفحص 100( بواسطة المعدة؛ لتوفير معلومات تشخيصية عن بُعد بالترافق مع أنشطة مختلفة. على سبيل (JU يمكن أن تستخدم المعدة جهاز الفحص 0 لتنفيذ توجيه البيانات مثل توجيه في وظيفة نشر نقطة بمعدة؛ محاذاة بالليزر laser alignment 0 معايرة ضوئية coptical calibration وفعالية نقل ضوئية optical transmission efficiency على مدار عمر المعدة. يمكن تجميع البيانات آلياً بدون تدخل من المستخدم ورفعها إلى السحابة حتى يتم تنفيذ تصحيح أخطاء عن ad تنفيذ تشخيصات تنبؤية؛ والنقل عبر معدات متعددة. يمكن استخدام جهاز الفحص 100 لتقييم السمات المختلفة لنظام ضوئي بالمعدة؛ بالإضافة إلى سمات المراحل XYZ على سبيل المثال؛ إذا تم اكتشاف خالل بمحاذاة الليزر» يمكن 5 أن يقوم برنامج UT بتشغيل مرايا الإشارة لتوجيه الليزر إلى المحاذاة. وفقاً لبعض الأمثلة؛ يمكن أن يكون جهاز الفحص 100 مجمع ومشحون مع كل معدة؛ حيث تتضمن المعدة إطلاق برنامج Ma لتطبيق فحص يتحكم بالمعدة لتنفيذ اختبارات مختلفة بإستخدام جهاز الفحص 100. عند ضبط أبعاد جهاز الفحص 100 ليتم تحميله وتفريغه؛ يمكن تصميم جهاز الفحص 100 على هيئة معدة فحص بحجم كامل يمكن استخدامها لقياس المصفوفات 0 الضوئية. سوف تتزاوج معدة الفحص بالحجم الكامل مع حامل خلية تدفق flow cell واستخدامها لتقييم محاذاة حامل خلية التدفق. سوف تمتد معدة الفحص بالحجم الكامل للطول الكامل لخلية تدفق متعاقبة للتمكن من محاكاة تشغيل متسلسل. اختيارياً؛ يمكن خفض حجم جهاز الفحص 100 والتثبيت داخل المعدة عند موقع تدرج؛ مجاور لعدسات خلية التدفق. عند تثبيت جهاز الفحص 0 بشكل دائم داخل المعدة die) بصمة منخفضة)؛ يمكن أن تقوم المعدة بتنفيذ علميات الفحص 5 بدون الحاجة لتحميل وتفريغ جهاز الفحص 100. يمكن استخدام معدة الفحص بالبصمة المنخفضة لتنفيذ قياسات ضوئية.
يشتمل هدف ضوئي 120 على أسطح هدف علوية وسفلية 107 109 تكون مستوية بصفة عامة وموجهة موازية لبعضها البعض. يمتد جدار جانبي 105 حول الهدف الضوئي 120. في المثال الحالي؛ يكون للهدف الضوئي 120 بصفة عامة شكل مكعب مستطيلي؛ بالرغم من أنه من المعروف أنه يمكن استخدام الأشكال البديلة بناءة على تطبيق معين. كما تم شرحه في هذه الوثيقة؛ يمثل الهدف الضوئي 120 بنية جسم صلب يتضمن مادة مضيفة صلبة ومادة فلورية مضمنة داخل المادة المضيفة الصلبة. يمكن أن تكون المادة المضيفة الصلبة شفافة بالكامل أو جزئياً على الأقل. على سبيل JU) يمكن أن تعتمد درجة شفافية في المادة المضيفة الصلبة؛ Lia على كثافة مرغوب فيها لانبعاثات التفلور fluorescing emissions التي يتم بثها من الهدف الضوئي 0. على سبيل (JU) يمكن أن تمثل المادة المضيفة الصلبة ببنية أو ركيزة الجسم الصلب 0 ركيزة substrate زجاج أو مادة مضيفة صلبة أخرى لها خواص ميكانيكية وضوئية مرغوب فيها كما هو موصوف في هذه الوثيقة. بالنسبة لأحد الأمثلة؛ يمكن أن تكون sald) المضيفة الصلبة عبارة عن زجاج إنديوم - فلوريد. على سبيل المثال؛ يمكن أن تتضمن المادة المضيفة الصلبة واحد على الأقل من lay بوليمرات غير متبلرة؛ مواد بلورية؛ بوليمرات شبه بلورية؛ زجاج معدني؛ مادة خزفية وما شابه ذلك. يوضح 5 الجدول 1 أدناه أمثلة المواد المضيفة الصلبة التي يمكن استخدامها داخل بنية أو ركيزة الجسم الصلب. كما هو موضح في الجدول 1؛ يمكن أن تمثل المادة المضيفة الصلبة مواد زجاجية من فلوريد معدني ثقيل (على سبيل المثال؛ زجاج فلوريد معدن). يمكن أن يستخدم زجاج فلوريد معدن توليفات مختلفة مع فلوريد» مثل ZrFy يطد8 يما واه وكه11. اختيارياً» يمكن أن تكون المادة المضيفة الصلبة عبارة عن 177ه0. تظهر المواد المضيفة الصلبة أدنى مستويات طاقة فونون 0 قصوى. وفقاً لبعض ABN يمكن أن تظهر المادة المضيفة الصلبة طاقة فونون قصوى أقل من أو تساوي عدد موجات محدد مسبقاً. على سبيل مثال HAT يمكن أن تظهر المادة المضيفة الصلبة طاقة فونون قصوى تبلغ أو بين حوالي 370 سم وحوالي 525 سم”. يمكن تشكيل المادة المضيفة الصلبة من مواد أخرى تتضمن أدنى طاقة فونون قصوى وتظهر نطاقات طاقة متاحة عند مواقع محل اهتمام للحصول على تفلور داخل نطاقات انبعاث تقابل القنوات الضوئية محل 5 الاهتمام. الجدول 1
يمكن أن تكون المادة الفلورية عبارة عن عنصر أرضي نادر مثل أيونات أرضية نادرة: Tm (455 نانو متر)؛ أيون هولميوم ثلاثي التكافؤؤ )550 نانو «(Lie *1253 (540 نانو متر) Eu (611 نانو متر)ء Sm (550 نانو متر)ء أيون براسيوديميوم ثلاشي التكافؤ )488 590 نانو متر)؛ Dy )480 نانو متر و575 نانو متر)ء أو أيون as) ثلاثي التكافؤ (550 نانو متر و660 نانو متر)؛ عنصر من سلسلة أكتينيد عهندناهم: لا؛ أيونات معدن let (Tits awl *©..الخ. يمكن توزيع المادة الفلورية بطريقة منتظمة ومثبتة متجانسة في جميع أنحاء المادة المضيفة الصلبة؛ مثل لتشكيل زجاج إربيوم إنديوم-فلوريد. تبث المادة الفلورية في واحد أو أكثر من قنوات الانبعاث محل اهتمام. على سبيل المثال؛ يمكن أن تبث المادة الفلورية عند طول موجي
أقصر من 1000 نانو متر.
0 يمكن تجهيز المادة الفلورية بتركيزات مختلفة داخل المادة المضيفة الصلبة؛ حيث يتم التحكم بتركيز المادة الفلورية ala جزئياً على الأقل؛ على كثافة مرغوب فيها لانبعاث فلوري سيتم الحصول عليه استجابة لكثافة ضوء تفعيل excitation light متوقع. في المثال أعلاه؛ عندما تكون ركيزة المضيف Ble عن زجاج إنديوم - فلوريد مشاب بأيونات إربيوم ثلاثية التكافغؤ. يمكن توفير أيونات إربيوم ثلاثية التكافؤ بتركيز مادة إشابة عند أو بين حوالي 70.1 وحوالي 5710.0« على
5 سبل المثال» عند أو بين حوالي 70.5 وحوالي 76 جزءٍ ذري. على سبيل مثال AT يمكن أن يتراوح تركيز مادة إشابة أيونات إربيوم ثلاثية التكافؤؤ من حوالي 71.0 إلى 73.0 +/- 70.01 بالجزء الذري. تظهر المادة الفلورية كثافة انبعاث مختارة يمكن ضبطها عن طريق تعديل التركيبة. على سبيل المثال» يمكن أن تتغير كثافة الاتبعاث و/ أو اللون عن طريق تعديل تركيز المادة الفلورية» عن طريق إضافة sale إشابة ثانوية (على سبيل (JU) مادة إشابة مشتركة)؛ و/ أو عن
0 طريق تعديل تركيبة المادة المضيفة الصلبة. على سبيل (Jal يمكن أن تمثل sale إشابة أولى مادة إشابة أولية أو أيون catia في حين يمكن إضافة مادة إشابة ثانوية لزيادة أو خفض LES
انبعاث مادة الأشابة الأولى. تمثل مادة الأشابة الثانوية أيون زيادة الحساسية. يمكن أن يؤدي تجميع أكثر من مادة إشابة واحدة إلى تحسين كثافة التفلور. بواسطة الأشابة المشتركة مع أيون زيادة حساسية 100 sensitizer إضافي» يمكن زيادة كثافة الانبعاث بواسطة نقل الطاقة بين أيون زيادة الحساسية والأيون المنشط activator ion (على سبيل المثال؛ إربيوم). على سبيل المثال؛ يمكن استخدام YB أو Tm على هيئة أيون زيادة حساسية عند استخدام أيون إربيوم ثلاثي التكافؤ على هيئة الأيون المنشط. على سبيل (JU يمكن استخدام YF 3 Ho «Yb على هيئة أيونات زيادة الحساسية. اختيارياً» يمكن استخدام تجميع أكثر من مادة إشابة لخفض كتثافة تفلور واحد أو أكثر من نطاقات الانبعاث. بواسطة الأشابة المشتركة باستخدام أيون زيادة حساسية إضافي؛ يمكن خفض كثافة 0 الانبعاث عن طريق نقل الطاقة بين أيون زيادة الحساسية والأيون المنشط Ae) سبيل المثال؛ إربيوم). على سبيل المثال؛ يمكن أن تكون 10/80 مشابة بشكل مشترك في 7020 حيث يؤدي Jas الطاقة من Th إلى 20 إلى تغيرات بالانبعاث من الأحمر إلى الأخضر. على سبيل مثال آخرء يمكن أن تكون Tm مشابة بشكل مشترك باستخدام Th أو Ho لتعزيز إحلال الموجة المستمر (cw) continuous wave عند 1.5 ميكرون (ميكرو متر). تم وصف أمثلة توليفات 5 للإشابة المشتركة في: “Properties of the 1.5 and 2.3 um laser emissions of various Tm doped fluoride crystals codoped with Tb or Yb ions” المنشور في 26 OSA TOPS Vol. “Ultraviolet and visible emissions of Er** in KY(WOa4)2 ¢Advanced Solid-State Lasers single crystals co-doped with Yb** ions” المنشور في 115 Journal of Luminescence “Color-tunable properties of Eu** - and Dy** -codoped Y203 phosphor ¢(2005) 131-137 particles 0 المنشور في 7(1):556 ;2012 ¢Nanoscale Res Lett. والكتاب “Current Trends in Optical Amplifiers and Their Applications” المنقح بواسطة lly (Tien-Pei Lee تم تضمين جميع محتويات موضوعها بالكامل في هذه الوثيقة كمراجع. يمكن اختيار المادة المضيفة الصلبة ومادة الأشابة بحيث تظهر التوليفة نسبة مستوى طاقة مرغوب فيها. على سبيل (JU يمكن أن تظهر التوليفة نسبة مستوى طاقة ل (HOS Tee/PMer حيث :1057 تمثل طاقة الفونون القصوى للمادة المضيفة الصلبة § FMET تمثل نقل الطاقة بين مستوى طاقة انبعاث مستهدف ومستوى طاقة مجاور أقرب للمادة الفلورية.
وفقاً للأمثلة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة؛ تظهر المادة المضيفة الصلبة والمادة الفلورية نسبة مستوى طاقة ل FMeG/HOS Tre <= )<( 4؛ حيث :110571 تمثل طاقة الفونون للمادة المضيفة الصلبة 9 FMEg تمثل نقل الطاقة بين مستوي طاقة تفعيل هدف ومستوى طاقة تموضع أقل تالية للمادة الفلورية. على سبيل المثال؛ يتم تقديم الجدول 2 أدناه لعرض علاقة لفجوة طاقة مادة تفلور نموذجية :و7118 باستخدام مواد مضيفة صلبة مختلفة. على سبيل المثال» يمكن أن تمثل المادة الفلورية عنصر أيون إربيوم ثلاثي التكافؤ حيث يكون مستوى طاقة تفعيل هدف هو مستوى الطاقة Fon ويكون مستوى طاقة تموضع أقل تالية هو مستوى الطاقة op فجوة الطاقة بين مستوى الطاقة hog “Fo هو العدد الموجي 2900 سم”. في الجدول 2 تشتمل المواد المضيفة الصلبة النموذجية على سيليكات silicate جيرمانات وزجاج فلوريد معدن حيث يكون لها 0 أقصى طاقات فونون 1100 Fa 900 سم"؛ و500 ai على التوالي. تكون نسبة مستوى الطاقة لأيون إربيوم ثلاثي التكافؤ وسيليكات المواد المضيفة الصلبة؛ جيرمانات وزجاج فلوريد معدن (©:011:6:/11051) هي 3 4 و6؛ على التوالي» في حين تكون الفعاليات الكمية حوالي 70.22 14و90 على التوالي. تكون "الفعالية الكمية "(QE.) quantum efficiency هي نسبة عدد فوتونات التفلور المنبعثة إلى عدد فوتونات ضوء التفعيل الساقطة. وكما يتضح في 5 الجدول 2 تظهر زجاج فلوريد معدن درجة عالية من الفعالية الكمية بالمقارنة بسيليكات وجيرمانات لمادة التفلور الخاصة بأيون إربيوم ثلاثي التكافؤ. اختيارياً» يمكن أن تظهر سيليكات وجيرمانات فعالية كمية أعلى من الموضحة في الجدول 2 عند استخدام مادة تفلور مختلفة على هيئة مادة إشابة. بالنسبة لزجاج إنديوم-فلوريد مشاب بأيون إربيوم ثلاثي «GSN تكون نسبة مستوى الطاقة 6» تقابل الفعالية الكمية حوالي 790. يكون من المفهون أن مواد التفلور الأخرى سوف تظهر 0 فعاليات كمية مختلفة باستخدام المواد المضيفة الصلبة المدرجة. الجدول 2 المادة المضيفة طاقة فونون نسبة مستوى الطاقة الفعالية الكمية قصوى (FMEG/HOS Tek) لأيون إربيوم ثلاثي salsa
30 |e ew | مي
باستمرار الإشارة إلى الشكل 1أ؛ يمكن أن يشتمل الجسم 102 على ألومينيوم أو مادة أخرى لها خواص ميكانيكية وضوئية مشابهة. يمكن تشكيل الجسم 102 من خلال عملية طحن أو عملية تصنيع أخرى تظهر تفاوتات مرغوب فيها للحواف الناتئة المختلفة؛ الجدران؛ العيون؛. الخ. التي تمت مناقشتها في هذه الوثيقة. يشتمل الجسم 102 على منطقة تبييت 118 مجهزة عبر السطح العلوي 104. يتم تجهيز جيب مركزي 114 والقنوات 116 داخل مساحة داخلية لمنطقة التبييت 8. يتم تصميم الجيب المركزي 114 لاستقبال الهدف الضوئي 120. يمكن تثبيت الهدف الضوئي 120 Jah الجيب 114 بطرق مختلفة؛ مثل داخل sale لاصقة. اختيارياً» يمكن تشكيل الجيب 114 باستخدام سمات طرفية حيث تتعشق بشكل ثابت مع الجدران الطرفية للهدف الضوئي 0 (على سبيل المثال» بطريقة تجهيز بالضغط). يتم تصميم منطقة التبييت 118 لاستقبال طبقة 0 زجاجية (غير موضحة في Jal) 11( أو sale شفافة أخرى 1 (أي؛ الطبقة الشفافة) التي تغطي الهدف الضوئي 120 داخل الجيب 114. تستقبل القنوات 116 مادة لاصقة حيث ترتبط بطبقة الزجاج والجسم 102 بالتالي تغطي وتمنع التسرب غير المتأثر بالظروف الخارجية للهدف الضوئي 120 من البيئة الخارجية. وفقاً لبعض الأمثلة على (JAY) يمكن أن يكون لطبقة الزجاج بنيات دقيقة مشكلة عليهاء بالتالي تحدد طبقة محززة (Ao) سبيل المثال؛ 122 في الشكل 12( 5 اختيارياً» يمكن إزالة الطبقة الزجاجية بالكامل ويمكن كشف الهدف الضوئي 120 من السطح
العلويي 104 بالجسم 102. في المثال من الشكل 1أ؛ يتم إطالة الجيب المركزي 114 ووضعه ليمتد في اتجاه طولي على امتداد طول الجسم 102. يتم تشكيل القنوات 116 على امتداد الجوانب المتقابلة للجيب 114. تشتمل القنوات 116 على واحد أو أكثر من منافذ الإدخال/ الإخراج 117 في قاعها حيث تمتد من 0 قاع القنوات 116 إلى السطح السفلي 106 للجسم 102. يمكن استخدام منافذ الإدخال/ الإخراج 7 لحقن المادة اللاصقة داخل القنوات 116 بعد إدخال الزجاج العلوي في منطقة التبييت 118. olla يمكن استخدام الهدف الضوئي 120 على هيئة جهاز فحص مستقل بدون بنيات دقيقة أو أنماط أخرى مشكلة عليه أو مجهزة بالقرب منه. على سبيل (JE يمكن تثبيت الهدف الضوئي
0 ببساطة مباشرةً على خلية تدفق و/ أو داخل معدة بدون أي بنيات دعم أخرى. يوضح الشكل 1ب منظر مستوي علوي لجسم 202 مشكل وفقاً لمتال بديل. يشتمل الجسم 202 على سطح علوي 204 يتضمن منطقة تبييت 218 مشكله به. تكون منطقة التبييت 218 ضحلة وتمتد بعمق لأسفل داخل الجسم 202 حيث يقبل العمق العام سمك طبقة زجاجية (على سبيل المثال» طبقة محززة) سيتم استقبالها في منطقة التبيبت 218. في المثال من الشكل en] تكون منطقة التبييت 218 بصفة dale مريعة أو مستطيلة؛ بالرغم من إمكانية استخدام أشكال بديلة. علاوة على ذلك؛ في المثال من الشكل 1ب؛ يكون لمنطقة التبييت 218 عمق منتظم/ مشترك بصفة عامة يقابل سمك طبقة الزجاج. مع ذلك؛ يمكن أن يكون لمنطقة التبييت 218 أعماق مختلفة في مناطق مختلفة بهاء مثل عندما يكون من المرغوب فيه استخدام طبقة زجاجية ذات 0 أجزاء لها سماكات مختلفة و/ أو قطاع منفصلة لتشكيل طبقة الزجاج. يشتمل الجسم 202 أيضاً على جيب 214 متمركز بصفة Jah dale منطقة التبييت 218. يتم تشكيل الجيب 214 وضبط أبعاده لاستقبال الهدف الضوئي 120. يمتد الجيب 214 لعمق محدد مسبقاً أسفل عمق منطقة التبييت 218. يتم تجهيز قناة 216 داخل منطقة التبييت 218 ووضعها لتحيط إلى حدٍ كبير الجيب 214. تقابل القناة 216 بصفة عامة القناة 116 في الشكل dl 5 باستثناء أن القناة 216 تكون مستمرة في إحاطة الجيب 214. تشتمل القناة 216 على منافذ إدخال/ إخراج 217 تمثل ثقوب تمتد خلال الجسم 202 إلى سطحه السفلي. يمكن استخدام منافذ الإدخال/ الإخراج 217 للوصول إلى الحيز الداخلي لطبقة الزجاج بمجرد إدخالها ولإدخال المادة اللاصقة في القناة 216. في أحد الأمثلة؛ تشتمل القناة 216 أيضاً على مجموعة من جيوب تخفيف ضغط 221 موزعة 0 حول القناة 216. كما تم شرحه أدناه بتفصيل «GIST تخفف جيوب تخفيف الضغط 221 ضغط مستحث على طبقة الزجاج بواسطة سيليكون silicone لاصق مضاف إلى القناة 216. بتحديد «iS عند إدخال سيليكون في القناة 216 عن طريق منافذ الإدخال/ الإخراج 217؛ يجسّر السيليكون جزئياً على الأقل فوق الجيوب 221 بالتالي احتجاز كميات صغيرة من الهواء في كل من الجيوب 221. عند تصلب السيليكون؛ ينكمش السيليكون؛ بالتالي يدخل قوة سحب/ انكماش 5 على الطبقة المحززة ويطوّق جدران القناة 216. يشكل الهواء المحتجز داخل الجيوب 221 منطقة تخفيف أولى للسيليكون؛ بالتالي خفض قوة السحب الواقعة بواسطة السيليكون على الطبقة المحززة.
يتم فصل الجيب 214 والقناة 216 بواسطة حافة الناتئة للداخل 215 حيث؛ في المثال من الشكل [ب؛ تكون مستطيلة أيضاً. يكون من المعروف أنه يمكن تعديل أي من التصميمات المريعة أو المستطيلة الموضحة في الشكل 1ب لمماثلة الأشكال البديلة المتعددة. يتم تطويق القناة 216 على محيطها الخارجي بواسطة حافة ناتثة ledge خارجية 219. تشكل الحافة الناتئة الداخلية والخارجية 215 و219 رف يستقبل طبقة الزجاج.
عند التجميع؛ يتم إدخال الهدف الضوئي 120 داخل الجيب 214 ويمكن احتجازه داخلها باستخدام sale لاصقة؛ بواسطة التداخل الاحتكاكي frictional interference بين جدران الجيب 214 وجوانب الهدف الضوئي 120 وما شابه ذلك. بمجرد إدخال الهدف الضوئي 120 في الجيب 214 يتم إدخال طبقة الزجاج Jab منطقة التبييت 218 حتى الاستقرار على الحافة الناتثة الداخلية 0 والخارجية 215 219. وفقاً لبعض الأمثلة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة؛ تستقبل منطقة التبييت 218 طبقة شفافة (على سبيل (JU مشكلة من زجاج وبالتالي يشار لها أيضاً بطبقة الزجاج) حيث تعمل على هيئة طبقة محززة (على سبيل (JU) انظر 122 في الشكل 2ا). يتم إحكام الطبقة المحززة داخل منطقة التبييت 218 لمنع الملوثات من الدخول في الجيب 214 بعد اكتمال التجميع. على سبيل (JE) يمكن أن يمسح المستخدمين النهائيين جهاز الفحص بشكل 5 دوري باستخدام مواد التنظيف (Ae) سبيل المثال» كحول (alcohol لتنظيفه. تستخدم الأمثلة في هذه الوثيقة sale لاصقة مقاومة للكحول يتم حقنها داخل القناة 216 لربط الطبقة المحززة بالجسم Gua 202 تحفظ المادة اللاصقة العين عند التعرض للكحول. على سبيل JU يمكن أن تكون المادة اللاصقة عبارة عن سيليكون حيث يكون مستقر بشكل كبير في الكحول؛ حيث تميل المواد اللاصقة المتصلبة بالأشعة فوق البنفسجية (UV) ulta-violet إلى الانكسار في الكحول. يتم حقن 0 السيليكون حتى يتم ملء القنوات 116. مع ذلك؛ يمكن أن يظهر السيليكون 'إطلاق غاز
die "outgassing التصلب. تفصل الأمثلة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة الجيب 214 والهدف الضوئي 120 عن المنتجات الثانوية بعملية إطلاق الغاز. ولتنفذ ذلك؛ بمجرد إدخال الطبقة المحززة في منطقة التبييت 218 والاستقرار على الحافة الناتئة الداخلية والخارجية 215 219؛ يتم تشكيل حاجز 5 إطلاق غاز 213 حول الوصلة البينية بين الطبقة المحززة والحافة الناتثة الداخلية 215. يتم تشكيل حاجز إطلاق غاز 211 Lad حول الوصلة البينية بين الطبقة المحززة والحافة الناتئة
الخارجية 219. يمكن تشكيل حواجز إطلاق الغاز 213 215 عن طريق حقن أداة خلال واحد أو أكثر من منافذ الإدخال/ الإخراج 217 وترسيب حجم محدد مسبقاً من مادة لصق الحاجز على امتداد حافة الوصلة البينية بين الطبقة المحززة والحافة الناتثة الداخلية 215 وعلى امتداد Lila الوصلة البينية بين الطبقة المحززة والحافة الناتئة الخارجية 219. على سبيل المثال» يمكن أن تكون مادة لصق الحاجز عبارة عن مادة لاصقة منخفضة اللزوجة (على سبيل (Jal 300 سنتي بويز) متصلبة بالأشعة فوق البنفسجية. بعد الانتظار لفترة زمنية محددة مسبقاً؛ تتفتل مادة لصق الحاجز عبر الحافة الناتثة الداخلية والخارجية 215 و219 لتشكيل طبقات الربط الرفيعة بين الحافة dsl) الداخلية 215 الحافة الناتثة الخارجية 219 والطبقة المحززة (مشار لها بواسطة الخطوط المتقطعة 211 213 على هيئة حواجز إطلاق الغاز «(outgassing barriers سوف تكون الطبقة 0 المحززة في حالة محررة الضغط ومسحوب لأسفل إلى الحواف الناتثة الداخلية والخارجية 215؛ 9. يحفظ التصلب بالأشعة فوق البنفسجية في هذه الحالة الطبقة المحززة مسطحة ووضعها بشكل ملائم بدون استخدام أي عناصر مشبك تثبيت clamping fixtures حيث يمكن أن تسبب ميل الطبقة المحززة. على نحو إضافي يمنع حاجز إطلاق الغاز 213 عند الحافة الناتئة الداخلية
5 أي إطلاق غاز من السيليكون من الوصول إلى داخل الجيب 214. 5 يوضح الشكل 1ج شكل منظوري لجهاز فحص 250 مشكل وفقاً لمثال بديل. يشتمل Shes الفحص 250 على جسم 252( هدف ضوئي 270 وطبقة محززة 272. يشتمل الجسم 252 على جيب 264 متمركز بصفة dale داخل منطقة تبييت 268. يتم تشكيل وضبط أبعاد الجيب 264 لاستقبال الهدف الضوئي 270. يتم تجهيز القناة 266 داخل منطقة التبييت 268 وضبط موضعها لتحيط إلى aa كبير الجيب 264. تشتمل القناة 266 على منافذ إدخال/ إخراج 267. تتضمن 0 منطقة التبييت 268 حافة ناتثة داخلية 265 وحافة db خارجية 269 تكون مجهزة بطريقة مشتركة المستوى وموضوعة لاستقبال سطح سفلي بالطبقة المحززة 272. يتم تشكيل الجسم 252 بطريقة لحفظ مقدار تسطح مرغوب فيه في الطبقة المحززة 272. يكون حفظ مقدار تسطح مرغوب فيه في الطبقة المحززة 272 مفيداً حيث تستخدم بعض المعايرات الضوئية منطقة مسطحة للنمط اللوني chrome pattern عند تصلب السيليكون؛ يمكن أن ينكمش حيث يمكن أن يسحب الطبقة 5 المحززة 272 لأسفل داخل القناة 266 ما لم يتم تصحيح ذلك بصورة أخرى. إذا تم سحب الطبقة المحززة 272 داخل القنوات 266 يمكن أن ينحني gia مركز الطبقة المحززة 272 لأعلى داخل
المنطقة فوق الهدف الضوئي 270. (Ladd يمكن أن يؤدي تثبيت الزجاج العلوي (الطبقة المحززة 2) في موضعها أثناء تصلب sald) اللاصقة إلى إمالة الطبقة المحززة 272 بطريقة تصبح سائدة عند تصلب المادة اللاصقة في هذه الحالة. وفقاً للأمثلة في هذه الوثيقة؛ يتم حفظ السطح العلوي للطبقة المحززة 272 باستخدام مقدار تسطح/ تصميم مستوي flatness/planar geometry مرغوب فيه. ولتنفيذ ذلك» يتم تجهيز القناة 266 باستخدام مجموعة من جيوب تخفيف ضغط 271 موزعة حول القناة 266. تخفف جيوب تخفيف الضغط 271 ضغط مستحث على الطبقة المحززة 272 بواسطة سيليكون لاصق مضاف إلى القناة 266 أثناء عملية التصلب. تمنع بعض من الأمثلة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة؛ عند التصلبء سحب الطبقة المحززة 272 لأسفل sll Jats 266. المواد اللاصقة المتصلبة 0 بالأشعة فوق البنفسجية (الحواجز 211 213 في الشكل 1ب) الطبقة المحززة 272 أسفل كلا جانبي القناة 266 بالتالي تجنب إمالة Sl) خفض إلى حدٍ كبير إمالة) الطبقة المحززة 272. يتم خفض القدرة على Al الطبقة المحززة 272 Lad عن طريق ترك gia من القناة 266 غير Mie بحيث يمكن أن ينكمش السيليكون بدون سحب على الطبقة المحززة 272. يمكن تحقيق هذا عن طريق تكوين جيوب دورية 271 (ثقوب) في قاع القناة 266. عند تدفق سيليكون خلال القناة 5 266 يتم احتجاز الهواء داخل الجيوب 271. عند تصلب السيليكون» تكون فقاعات الهواء حرة للاتساع داخل القناة 266 مع انكماش السيليكون. يكون من الأكثر سهولة سحب فقاعة الهواء داخل القناة 266 عن سحب الطبقة المحززة 272 لأسفل إلى القناة 266 بحيث لا تتشوه الطبقة المحززة 272 أثناء التصلب. Lal يمكن أن يشتمل الجسم 252 على واحد أو أكثر من سمات التثبيت 251 مثل فتحات 0 مجهزة عند أطرافه المتقابلة. تستقبل سمات التثبيت 251 مكون تزاوج mating component على المعدة لضبط موضع جهاز الفحص 250 عند موقع مرغوب فيه. في المثال من الشكل 1ج؛ تمثل سمات التثبيت 251 ثقوب تستقبل أسنان مقابلة. يمكن استخدام سمات التثبيت البديلة أو الإضافية. سوف يتم وصف عملية عامة لتجميع جهاز الفحص 250. يتم إدخال الهدف الضوئي 270 في 5 الجيب 264. في المثال من الشكل 1ج؛ تشتمل الأطراف المتقابلة بالجيب 264 على تجاويف 3 تساعد في إدخال sale لاصقة. على سبيل المثال؛ يمكن إدخال أداة Ae) سبيل المثال؛
محقنة) محملة بمادة لاصقة داخل التجاويف 263 عند أطراف الهدف الضوئي 270. يتم إدخال مادة لاصقة من الأداة والسماح بتفتل/ تدفق» من خلال قوة شعرية ccapillary force على امتداد سطح سفلي بالهدف الضوئي 270 عبر الحواف الناتثة بالجيب السفلي 259 جزئياً على الأقل. تسحب القوى الشعرية الهدف الضوئي 270 مقابل قاع الحواف الناتثة للجيب 259 بالتالي حفظ الهدف الضوئي 270 عند عمق مرغوب فيه داخل الجيب 264. اختيارياً؛ عندما تمثل المادة اللاصقة sale لاصقة متصلبة بالأشعة فوق البنفسجية؛ يمكن إدخال ضوء الأشعة فوق البنفسجية عند هذه النقطة لتصلب المادة اللاصقة. يتم تحميل الطبقة المحززة 272 على منطقة التبييت 268؛ مع محيط منطقة canal 268 يتاخم محيط خارجي للطبقة المحززة 272. يشتمل الجسم 252 على واحد أو أكثر من التجاويف 249 0 حول محيط منطقة capil) 268 بحيث؛ بمجرد وضع الطبقة المحززة 272 في موضعهاء؛ يتم توزيع التجاويف 249 حول محيط الطبقة المحززة 272. بمجرد تثبيت الطبقة المحززة 272 داخل منطقة التبييبت 268 يمكن استخدام lal توزيع مادة لاصقة adhesive dispensing tool (على سبيل المثال» موزع مادة لاصقة هوائي pneumatic adhesive dispenser محمل باستخدام حقنة) لإدخال كمية متحكم بها من مادة لاصقة عند واحدة أو أكثر من النقاط حول محيط الطبقة المحززة 5 272. على سبيل (JB) يمكن إدخال قمة حقنة في التجاويف 249 عند أركان الطبقة المحززة 2. يتم إدخال كمية محددة مسبقاً من المادة اللاصقة. يتم سحب المادة اللاصقة؛ من خلال القوى الشعرية؛ على امتداد الوصلة البينية بين الطبقة المحززة 272 والحافة الناتئة الخارجية 269. تسبب القوة الشعرية تفتل/ تدفق المادة اللاصقة على امتداد الحافة الخارجية 269؛ بدون تدفق فوق جزء من الطبقة المحززة 272 القريب من الهدف الضوئي 270. تسحب القوى الشعرية الطبقة 0 المحززة 272 مقابل الحافة all) الخارجية 269 بالتالي حفظ الطبقة المحززة 272 عند عمق مرغوب فيه داخل منطقة التبييت 268. اختيارياً؛ عندما تمثل المادة اللاصقة sale لاصقة متصلبة بالأشعة فوق البنفسجية؛ يمكن إدخال ضوءٍ الأشعة فوق البنفسجية عند هذه النقطة لتصلب المادة اللاصقة. على نحو إضافي أو بديل؛ يمكن إدخال المادة اللاصقة على الحافة الناتئة الداخلية 265. يمكن 5 إدخال المادة اللاصقة في الحافة الناتئة الداخلية 265 قبل أو بعد إدخال الطبقة المحززة 272 في منطقة التبييت 268. على سبيل المثال» يمكن وضع واحدة أو أكثر من قطرات المادة اللاصقة
على الحافة الناتئة الداخلية 268 قبل إدخال الطبقة المحززة 272. اختيارياً؛ يمكن استخدام أداة توزيع sale لاصقة لإدخال المادة اللاصقة إلى الحافة الناتثة الداخلية 265 بعد إدخال الطبقة المحززة 272. على سبيل (JU يمكن إدخال dd حقنة عن طريق واحد أو أكثر من منافذ الإدخال/ الإخراج 267 ويمكن أن تدخل الحقنة كمية محددة مسبقاً من Bale لاصقة. يتم سحب المادة اللاصقة؛ عن طريق قوى شعرية؛ على امتداد الوصلة البينية بين الطبقة المحززة 272 والحافة An الداخلية 265. تسبب القوة الشعرية تفتل/ تدفق المادة اللاصقة على امتداد الحافة Ll) الداخلية 265؛ بدون تدفق فوق eda من الطبقة المحززة 272 القريب من Bagh الضوئي 0. تسحب القوى الشعرية الطبقة المحززة 272 مقابل الحافة الناتئة الداخلية 265؛ بالتالي حفظ الطبقة المحززة 272 عند عمق مرغوب فيه داخل منطقة التبييت 268. (Lyla) عندما تمثل 0 المادة اللاصقة مادة لاصقة متصلبة بالأشعة فوق البنفسجية؛ يمكن إدخال ضوء الأشعة فوق البنفسجية عند نفس النقطة لتصلب المادة اللاصقة. يتم إدخال sale لاصقة (على سبيل المثال؛ سيليكون) في القناة 266 عن طريق واحد أو أكثر من منافذ الإدخال/ الإخراج 267. على سبيل oJ) يمكن استخدام منافذ الإدخال/ الإخراج 267 عند واحد أو أكثر من أركان القناة 266 على هيئة مدخل لإدخال sale لاصقة؛ بينما تشكل منافذ 5 الإدخال/ الإخراج 267 عند واحد أو أكثر من أركان القناة 266 مخرج لتدفق الهواء للتفريغ من القناة 266. كما تم شرحه code مع تدفق المادة اللاصقة خلال القناة 266؛ وتتحرك المادة اللاصقة فوق الجيوب 271. توفر الجيوب 271 في النهاية تخفيف هواء للانكماش مع تصلب المادة اللاصقة. يوضح الشكل 2 منظر مقطعي جانبي لجهاز الفحص 100 من الشكل 11 على امتداد Lal 0 2م-2م في الشكل ol مع تركيب الهدف الضوئي 120. يوضح الشكل 2 الهدف الضوئي 120 مركب Jah الجيب 14 1 وطبقة شفافة؛ تمثل طبقة محززة 122( مثبتة داخل منطقة التبييت 8. يمكن أن يكون بالطبقة المحززة 122 مناطق مختلفة سيتم استخدامها بالترافق مع أنواع مختلفة من عمليات المحاذاة و/ أو اختبارات المعايرة. على سبيل المثال؛ كما تمت مناقشته أدناه بالترافق مع الشكل 2ب؛ يمكن أن تتضمن الطبقة المحززة 122 واحد أو أكثر من Els تمثل مناطق عندها يتم وضع الجسم (200 في الشكل 2ب) لتجميع المعلومات بالترافق مع عمليات مختلفة. على سبيل المثال» يمكن أن تشتمل الطبقة المحززة 122 على واحدة أو أكثر من ألواح
جودة التصوير» ألواح التوزيع؛ ألواح cdi) عناصر alin) وما شابه ذلك. يتم وضع الجسم بالنسبة للألواح المختلفة لتجميع المعلومات بالترافق مع تنفيذ اختبارات مختلفة. يمكن استخدام الطبقة المحززة 122 أيضاً لمراقبة انتظام وضبط موضع الجانب المكاني للتفعيل. يمكن تشكيل الطبقة المحززة 122 من ركيزة dlls نظيفة (على سبيل المثال؛ زجاج) باستخدام بنيات دقيقة مختلفة 123 مجهزة عليها ومشكلة في واحد أو أكثر من الأنماط المحددة مسبقاً. يتم تجهيز البنيات الدقيقة 3 في واحد أو أكثر من الألواح/ المساحات؛ التي يتم وضع الجسم عندها بالترافق مع عمليات واختبارات معايرة مقابلة. تم وصف أمثلة عمليات واختبارات المعايرة المختلفة أدناه بالترافق مع الشكل 10. على سبيل المثال» يمكن أن تشتمل البنية الدقيقة 123 على كروميوم chromium أو تركيبة غير شفافة أخرى» Cum تظهر التركيبة مقدار عدم شفافية مرغوياً فيه (على سبيل المثال؛ 0 غير شفافة جزئياً أو بالكامل) لضوء التفعيل و/ أو واحد أو أكثر من نطاقات الانبعاث الفلوري محل الاهتمام. على سبيل المثال» يمكن ترسيب طبقة من الكروميوم بواسطة تقنيات مختلفة على سطح الطبقة المحززة 122؛ باستخدام مناطق مختلفة من أنماط مختلفة لتشكيل الكروميوم (يشار لها أيضاً ب "لون "chrome و"نمط لون") سيتم استخدامه بالترافق مع عمليات محاذاة و/ أو معايرة مختلفة كما تم وصفها في هذه الوثيقة. يمكن تشكيل البنية الدقيقة 123 باستخدام أنماط مختلفة؛ 5 مثل أشرطة؛ نقاط ثقوب نقطية وما شابه ذلك. اختيارياً؛ يمكن تجهيز البنية الدقيقة 123 على هيئة طبقة صلبة باستخدام النمط المحدد مسبقاً الممثل بواسطة فتحات أو فجوات خلال البنية الدقيقة 123 التي تشكل القنوات؛ الثقوب النقطية؛ وما شابه ذلك. يمكن تجهيز البنية الدقيقة 123 على سطح علوي و/ أو سفلي بالطبقة المحززة 122( حيث يتم تصميم السطح العلوي والسفلي بالنسبة لجسم المعدة. على سبيل المثال؛ يمثل السطح العلوي السطح الذي يكون قريب من الجسم؛ 0 في حين يمثل السطح السفلي السطح الذي يكون بعيد عن الجسم. على نحو بديل؛ يمكن تشكيل نمط البنية المحززة مباشرة على الركيزة الفلورية الصلبة (على سبيل المثال؛ انظر الشكل 2ه) لتشكيل بنية متجانسة. في هذا المثال؛ تكون البنية المحززة في تلامس مع الهدف الضوئي 120 حيث تزيد من إقران إضاءة التفعيل بالهدف الضوئي وبالمثل تزيد من إقران تفلور الهدف الضوئي 0 بالبنية المحززة بحيث تحقق كثافة الضوء المنبعث مستوى مرغوب فيه (على سبيل المثال؛ 5 يكون الأقصى). اختيارياً؛ يمكن إهمال الطبقة المحززة 122 بالكامل. اختيارياً؛» يمكن تعديل تباعد
بين الطبقة المحززة 122 والهدف الضوئي 120 لتوفير انحرافات كروية.
في المثال الموضح في الشكل 2( تشتمل البنية الدقيقة 123 على منطقة محززة أولى وثانية 117 تكون منفصلة بواسطة منطقة مركزية 119. تكون المنطقة المركزية 119 خالية من البنيات الدقيقة 123. كما هو موضح في الشكل 2 يمكن تشكيل تغطية مضادة للانعكاس 121 على سطح واحدة على 5 الأقل من الطبقة الشفافة (طبقة محززة 122) أو الهدف الضوئي 120. يمكن تشكيل التغطية المضادة للانعكاس anti-reflective coating 121 على أي سطح يواجه فجوة هامشية بين الطبقة المحززة 122 والهدف الضوئي 120. في أحد الأمثلة؛ يتم وضع التغطية المضادة للانعكاس 121 على سطح الهدف الضوئي 120. في مثال آخر؛ يتم وضع التغطية المضادة للانعكاس 121 على سطح الطبقة المحززة 122؛ بما في ذلك على البنيات الدقيقة 123. في مثال AT أيضاً؛ يتم 0 وضع التغطية المضادة للانعكاس 121 على سطح الهدف الضوئي 120 وعلى سطح الطبقة المحززة 122؛ Ly في ذلك على البنيات الدقيقة 123. ولتشكيل أحد أمثلة التغطية المضادة للانعكاس 121؛ يمكن وضع مادة مضادة للانعكاس على سطح الهدف الضوئي 120 حيث سيواجه الفجوة الهامشية 124 عند وضع الهدف الضوئي 120 داخل الجيب 114. ولتشكيل مثال آخر للتغطية المضادة للانعكاس 121؛ يمكن تشكيل البنيات 5 الدقيقة 123 على سطح الطبقة الشفافة (أي؛ طبقة محززة 122)؛ dan ذلك يمكن وضع المادة المضادة للانعكاس على السطح. يمكن تضمين التغطية (التغطيات) المضادة للانعكاس 121 لخفض أو إزالة التداخل الضوئي الذي يمكن أن يحدث من الضوءٍ المنعكس بين سطح الهدف الضوئي 120 والطبقة المحززة 122 داخل الفجوة الهامشية 124. كنتيجة cold) يمكن خفض أو إزالة الأنماط of الهوامش المتداخلة ضوئياً 20 .من الصور التي تم الحصول عليها عند استخدام الجهاز والوسيلة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة. بالرغم من عرض التغطيات المضادة للانعكاس 121 على هيئة طبقات أحادية؛ يكون من المفهوم أنه يمكن استخدام طبقة واحدة أو يمكن استخدام طبقات متعددة لتحقيق التأثير المضاد للانعكاس المرغوب فيه. على سبيل (JU) يمكن رص الطبقات المتعددة حتى يتم تحقيق أدنى انعكاس أو بدون انعكاس عند نطاق الانبعاث/ الطول الموجي (الأطوال الموجية) محل الاهتمام. على سبيل «Jal يمكن أن تظهر تغطية مضادة للإنعكاس متعددة الطبقات 121 من 70 انعكاس إلى 71
انعكاس عند الأطوال الموجية المتراوحة من حوالي 520 نانو متر إلى حوالي 700 نانو ie ويمكن أن تظهر من 70 انعكاس إلى حوالي 75 انعكاس عند الأطوال الموجية المتراوحة من حوالي 500 نانو متر إلى حوالي 520 نانو مترء ويمكن أن تظهر أيضاً من 70 انعكاس إلى حوالي 79 انعكاس عند الأطوال الموجية المتراوحة من حوالي 700 نانو متر إلى حوالي 1000 نانو متر. وعليه؛ يمكن أن لا تكون الخواص المضادة للانعكاس للتغطية (التغطيات) المضادة للانعكاس 121 متشابهة للأطوال الموجية المختلفة؛ Sarg أن تتغير بناءً على التطبيق الذي سيتم استخدام الجهاز أو الوسيلة به. تشتمل أمثلة المواد المضادة للانعكاس المناسبة التي يمكن استخدامها لتشكيل التغطية (التغطيات) المضادة للانعكاس 121 على أي sale شفافة لها مؤشر انعكاسية refractive index مساوي للجذر 0 التربيعي لمؤشر الانعكاسية للركيزة (على سبيل المثال؛ الهدف الضوئي 120 أو الطبقة المحززة 2) التي يتم وضع المادة عليها. تشتمل بعض أمثلة المواد المضادة للانعكاس على ماغنسيوم فلوريد magnesium fluoride (72ع118)؛ فلورو بوليمرات fluoropolymers جسيمات سيليكا بحجم النانو بمسام بحجم الميزو emesoporous silica nanoparticles طبقات سيليكا silica متناوية ومادة بمؤشر انعكاسية أعلى؛ أو مواد مضادة للانعكاس أخرى تظهر الخواص المضادة للإنعكاس 5 المرغوب فيها ضمن نطاق/ الأطوال الموجية للانبعاث المرغوب فيه المستخدم. في المثال الحالي؛ يتم تشكيل منطقة التبييت 118 باستخدام حافة تبييت ناتئة 126 وجدار تبييت 7 حيث تكون مشكلة داخل الجسم 102. تتباعد حافة التبييت الناتئة 126 مسافة محددة مسبقاً أسفل السطح العلوي 104 للجسم 102 وتمتد للداخل بواسطة مسافة محددة مسبقاً. تحدد حافة التبييت الناتئة 126 عمق منطقة التبييت 118 حيث يقابل العمق سمك الطبقة المحززة 122. 0 على سبيل (JU) يمكن أن تمتد حافة التبييت الناتثئة 126 للداخل بمقدار مسافة كافية لدعم الطبقة المحززة 122. بالنسبة لأحد ALY) يمكن وضع مادة لاصقة على امتداد حافة التبييت All) 126 لحفظ الطبقة المحززة 122 في موضع مرغوب فيه. يمكن أن يكون لحافة التبييت الناتئة 126 طول يكون محدد جزئياً للسماح للمادة اللاصقة بالانتشار عبر حافة التبييت الناتئة 6 بدون التدفق الزائد داخل الجيب 114. يتم تشكيل وضبط أبعاد جدار الحافة الناتئة 127 5 ليمتد حول محيط منطقة التبييت 118. يتم تشكيل منطقة التبييت 118 بشكل مستمر داخل الجيب 114
يتم تحديد إطار الجيب 114 وتحديده بواسطة حافة الجيب الناتثة pocket ledge 128 وجدار الجيب 129. تتباعد حافة الجيب الناتئة 128 مسافة محددة مسبقاً أسفل حافة التبييت الناتثة inset ledge 126 وتمتد للداخل بواسطة مسافة محددة مسبقاً. على سبيل JU يمكن أن تمتد حافة الجيب الناتئة 128 بمسافة كافية لدعم الهدف الضوئي 120. بالنسبة لأحد الأمثلة؛ يمكن وضع sae 5 لاصقة على امتداد حافة الجيب الناتئة 128 لحفظ الهدف الضوئي 120 في موضع مرغوب فيه. يمكن أن تمتد حافة cual) الناتئة 128 للداخل بواسطة طول يكون محدد Lia للسماح للمادة اللاصقة بالانتشار عبر حافة الجيب الناتئة 128 بدون التدفق الزائد داخل عين نشر 130. يتباعد الجيب 114 للداخل داخل الجسم 102 بحيث يتمركز الجيب 114 داخل الجسم 102 لمنع المادة
اللاصقة من الوصول تحت المنطقة المركزية 119 بالهدف الضوئي 120. 0 يتم تشكيل وضبط أبعاد جدار الجيب 129 ليقابل شكل الهدف الضوئي 120. يكون لجدار الجيب 9 ارتفاع يمتد من حافة الجيب الناتثة 128 إلى حافة التبييت الناتثة 126. يكون الارتفاع 9 لجدار الجيب 129 عبارة عن مسافة محددة مسبقاً أكبر من ارتفاع 1120 للهدف الضوئي 0 بحيث؛ عند إدخال الهدف الضوئي 120 وتثبيته بشكل قوي مقابل حافة الجيب الناتئة 128؛ يتم وضع سطح علوي للهدف الضوئي 120 أسفل مستوى حافة التبييت الناتئة 126. يتم وضع السطح العلوي للهدف الضوئي 120 أسفل مستوى حافة التبييت الناتئة 126 بسمك فجوة هامشية 4. تقابل الفجوة الهامشية 124 مسافة بين السطح العلوي للهدف الضوئي 120 (أو تغطية مضادة للانعكاس 121 عليه) وسطح سفلي للطبقة المحززة 122 (أو تغطية مضادة للانعكاس 1 عليها). تكون الفجوة الهامشية 124 كبيرة Lay يكفي لتجنب الهوامش المتداخلة Interference fringes يمكن أن تظهر الهوامش المتداخلة عند تلامس الطبقة المحززة 122 والهدف الضوئي 0 120 مباشرةً مع بعضها البعض عند واحدة أو أكثر من النقاط. تكون الفجوة الهامشية 124 كبيرة بما يكفي لتجنب التلامس المباشر بين الهدف الضوئي 120 والطبقة المحززة 122. تكون الفجوة الهامشية 124 صغيرة بما يكفي لتجنب دخول الخواص الضوئية السلبية مع مرور الضوءٍ بين الطبقة المحززة 122 والهدف الضوئي 120. على سبيل (JU إذا تم تكوين الفجوة الهامشية 4 كبيرة بشكل غير مناسب»؛ يمكن فقد كمية زائدة من الضوء أثناء المرور خلال الفجوة 5 الهامشية 124. تتجنب الفجوة الهامشية 124 الفقد غير المناسب للضوءٍ داخل الفجوة الهامشية 4 مع مرور الضوء بين الطبقة المحززة 122 والهدف الضوئي 120. على سبيل المثال» يمكن
أن يكون للفجوة الهامشية 124 سمك أو بين حوالي 10 ميكرو متر وحوالي 100 ميكرو مترء و» في أحد الأمثلة. سمك حوالي 30 ميكرو متر (+/- 20 ميكرو متر). اختيارياً» يمكن أن يكون للفجوة الهامشية 124 سمك مختلف بشرط أن يبقى مقدار فقد الضوء داخل حدود فقد ضوءٍ محددة مسبقاً (على سبيل (J أقل من أو تساوي حوالي 720 من كثافة الضوء القادم). اختيارياً» يمكن أن تواجه الطبقة المحززة 122 والهدف الضوئي 120 أدنى مقدار تلامس متحكم به حيث يمكن أن تدخل هوامش تداخل صغيرة بدون تأثير غير مناسب على استخدام الهدف الضوئي 120. كما هو مذكور أعلاه؛ يمكن خفض أو إزالة الهوامش المتداخلة أيضاً عن طريق تضمين التغطية المضادة للانعكاس 121 على واحد أو كلاً من الهدف الضوئي 120 والطبقة المحززة 122. اختيارياً؛ يمكن تجهيز مائع مطابقة مؤشر index matching fluid أو إيبوكسي مطابقة مؤشر index matching epoxy 0 لملء الفجوة الهامشية 124 لخفض احتمالية التحرك بين الطبقة المحززة 2 والهدف الضوئي 0 بمرور الوقت. يمكن أن تواجه مركبات إيبوكسي epoxies مطابقة مؤشر معينة على الأقل تغيرات طفيفة في اللون (Ae) سبيل المثال؛ زوال اللون) بمرور الوقت وهو أمر غير مرغوباً فيه في تطبيقات معينة على الأقل. أيضاً؛ توجد احتمالية تسرب مائع مطابقة المؤشر خارج الفجوة الهامشية 124 بمرور الوقت. ونتيجة لذلك؛ توجد احتمالية أن موائع و/ أو 5 مركبات إيبوكسي مطابقة مؤشر معين على الأقل يمكن أن تسبب تغيير كثافة الانبعاث الفلوري بمرور الوقت. على سبيل المثال؛ بمرور الوقت يمكن أن يسبب مائع أو إيبوكسي المطابقة تقليص طفيف بكثافة ضوء التفعيل المؤثر على الهدف الضوئي 120 و/ أو كثافة الانبعاث الفلوري الذي يقاطع الفجوة الهامشية 124. وفقاً cl في أمثلة معينة على الأقل؛ يمكن أن يمثل استخدام الهواء داخل الفجوة الهامشية 124 سمة واحدة على الأقل لحفظ كثافة ثابتة للتفلور المنبعث من جهاز الفحص 100. علاوة على ذلك يمكن أن تؤدي إضافة مائع أو إيبوكسي مطابقة مؤشر إلى إدخال خطوة زائدة/ تعقيد زائد على عملية التصنيع التي لم تكن موجودة بصورة أخرى عند ملء الفجوة الهامشية 124 بالهواء. يتم توصيل الجيب 114 بعين نشر 130 موضوعة أسفل الجيب 114 (بعيداً عن الجسم 200 الوضح في الشكل 2ب)؛ وأسفل الهدف الضوئي 120 عند الإدخال في الجيب 114. يتم وضع 5 عين النشر 130 أسفل الجيب 114 وتتمركز داخل الهدف الضوئي 120. يتم تصميم عين النشر 0 لاستقبال equal) الذي يمر خلال الهدف الضوئي 120. يصبح الضوءٍ بشكل تدريجي خارج
نقطة التركيز أو منتشر عندما يكون egal مستعرض على عين النشر 130 حتى ملامسة قاعدة عين well base 132. عند تداخل الضوء مع قاعدة العين 132؛ ينتشر الضوء إلى درجة مرغوب فيها كافية لتجنب التبييض الضوئي لقاعدة العين 132. يكون للجيب 114 ارتفاع حيث يتم ضبط أبعاده لتوفير مسافة مرغوب فيها (على سبيل المثال» أقصى مسافة) بين نقطة بؤرية للضوء (داخل الهدف الضوئي 120) ging سفلي بالجسم 120. تشتمل عين النشر 130 على قاع عين 132 حيث يمكن أن يكون مجهز بطبقة نهائية أو تغطية سواء بأساس صبغي لمساعدة تجنب التبييض الضوئي وللتحكم بالانعكاسية لتكون ضمن مستوى مرغوب فيه (على سبيل (J) أقل من أو يساوي حوالي 76). على سبيل المثال يمكن أن تمثل الطبقة النهائية السوداء بأساس صبغي تغطية سوداء إلكتروليتية electrolytic blackening 0 باستخدام أملاح معدنية غير ANOBLACK™ EC Js inorganic metallic salts Ligne المتاحة بواسطة Anoplate Corp. of Syracuse, N.Y . وفقاً للأمثلة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة؛ يتم تجهيز طبقة النهاية السدواء باستخدام صبغة؛ وليس لون صبغي؛ حيث يكون للألوان السوداء جزيئات كبيرة (بالنسبة لحجم الجسيم للصبغات) حيث تكون أكثر عرضة للانكسار بمرور الوقت مع التعرض إلى ضوء التفعيل. يتم تشكيل الصبغات؛ المستخدمة لتشكيل الطبقة النهائية 5 السوداء؛ وفقاً لبعض الأمثلة على الأقل؛ من جزيئات أصغر تكون أقل عرضة لضوء التفعيل ولا Hui بمرور الوقت. بالنسبة لأحد ARN) يمكن أن تكون الصبغة عبارة عن أكسيد تيكل nickel oxide أسود غني بالفوسفور Cus phosphorous يشكل طبقة نهائية سوداء؛ له حجم جسيم صغير نسبياً حيث لا يكون عرضة للانكسار بواسطة ضوء التفعيل وبالتالي حفظ انعكاسية ثبتة نسبياً. أيضاً؛ يمكن اختيار الصبغة لتوفير تفلور منخفض في التغطية لأن تفلور مبدئي منخفض في 0 التغطية سوف يعني أن تفلور التغطية coating fluorescence سوف لن يهبط بمرور وقت كثير. اختيارياً» يمكن تغطية أجزاء أخرى مختلفة من سطح الجسم 102 (على سبيل المثال؛ الأسطح العلوية و/ أو السفلية 104 106( الجوانب الجانبية 108 و/ أو الأطراف الأمامية والخلفية 110؛ 2 باستخدام الطبقة النهائية أو التغطية). يوضح الشكل 2ب منظر جانبي لنموذج للهدف الضوئي 120 مع وضع الجسم 200 عند موضع 5 قياس أول وفقاً لمثال في هذه الوثيقة. الشكل 2ج يوضح منظر جانبي لنموذج للهدف الضوئي 0 مع وضع الجسم 200 عند موضع قياس ثاني وفقاً لمثال في هذه الوثيقة. يوضح الشكلين
2ب و2ج الجسم 200 موضوع عند موقع قياس أول وثاني؛ على التوالي؛ بالنسبة لجهاز الفحص 0. توضح نماذج الشكلين 2ب و2ج الجسم 102( الهدف الضوئي 120 الطبقة المحززة 2. وعين النشر 130 من بين بنيات أخرى؛ بالرغم من تبسيط التوضيح؛ لم يتم توضيح الفجوة الهامشية 124 وسمات الشكل 12 الأخرى بالتفصيل. في الشكل 2ب؛ يتم وضع جهاز الفحص 200 قرب المنطقة المركزية 119 بالطبقة المحززة 122؛ مثل بالترافق مع تنفيذ عمليات قياس التفعيل. عند وضع الجسم 200 داخل المنطقة المركزية 9؛ يتجنب ضوء التفعيل 202 البنيات الدقيقة 123 في المناطق المحززة 115 117. يوجّه الجسم 200 ضوءٍ التفعيل 202 داخل جهاز الفحص 100؛ حيث يتم تركيز ضوءٍ التفعيل 202 على نقاط بؤرية مختلفة بناءً على القياس الخاص الذي يتم تنفيذه. على سبيل المثال؛ بالترافق مع 0 عملية قياس الإطار (تقابل الشكل 2ب)؛ يركز الجسم 200 ضوءٍ التفعيل 202 على نقطة بؤربة 4 تكون أدنى السطح العلوي 107 للهدف الضوئي 120 (على سبيل (Jal 50 ميكرو متر). يتحكم الجسم 200 بفتحة زاوية 208 للحصول على درجة مرغوب فيها من التركيز عند النقطة البؤرية 204 وللحصول على درجة مرغوب فيها من الانتشار/ خلل التركيز diffusion/defocus عند أعماق أكبر داخل الهدف الضوئي 120 وبعد ذلك. يستقبل الجسم 200 انبعاث فلوري ينبعث 5 من السطح العلوي 107 للهدف الضوئي 120 داخل المنطقة المركزية 119. أثناء التشغيل؛ يمكن إجراء قياسات بأساس غير محزز (Ao) سبيل (JE قياس كثافة ضوئية (optical intensity عن طريق وضع الجسم 200 فوق المنطقة 119. على سبيل المثال؛ يمكن تنفيذ القياس بالأساس غير المحزز بالترافق مع تصوير موضع إضاءة ضوء التفعيل بالنسبة لمجال رؤية كاميرا كشف. يتم وضع النقطة البؤرية 204 أسفل السطح العلوي 107 لإزالة الخدوش؛ 0 الغبارء بصمات الأصابع وما شابه ذلك من المستوى البؤري focal plane مثل الحطام؛ الخدوش والعيوب في سطح الهدف الضوئي 120؛ بحيث سوف لن يكون لتأثيرات التداخل المحتملة هذه أي تأثير أو لها تأثير بسيط نسبياً على القياس. يتم مناقشة العمليات الأخرى بالترافق مع الشكل 10 التي يمكن أن تستخدم الصور التي تم الحصول عليها من المنطقة 119. يتم بث ضوء التفعيل من الجسم 200 وينتقل خلال الطبقة المحززة 122 وداخل الهدف الضوئي 5 120 بدون المرور خلال البنيات الدقيقة 123. واستجابة لذلك؛ ينتج الهدف الضوئي 120 انبعاثات تفلور من داخل الهدف الضوئي 120 الذي يعود خلال المنطقة 119 ويصطدم بالجسم
Cua .0 يتم إعادة توجيه الانبعاثات الفلورية خلال العناصر البصرية الداخلية إلى واحد أو أكثر من الكواشف. يركز الجسم 200 ضوءٍ التفعيل عند نقطة بؤرية تكون موضوعة أسفل سطح الهدف الضوئي 0 بواسطة مسافة محددة مسبقاً. على سبيل (JU) يمكن وضع النقطة البؤرية focal point 204 من حوالي 20 ميكرو متر إلى حوالي 100 ميكرو متر أسفل السطح 107 للهدف الضوئي 120. على سبيل مثال آخرء يمكن وضع النقطة البؤرية 204 عند حوالي 50 ميكرو متر أسفل السطح 107 للهدف الضوئي 120. يتم نشر ضوءٍ التفعيل داخل ia سفلي للهدف الضوئي 0 أسفل النقطة البؤرية 204 لإحداث انبعاث فلوري عبر منطقة كبيرة نسبياً داخل الهدف الضوئي 120 بالتالي تقديم مسح منتظم نسبياً. تزيل بعض الأمثلة على الأقل أو تخفض إلى حدٍ كبير الأثار السلبية للخدوش؛ الحطام؛ بصمات الأصابع وما شابه ذلك على السطح 107 للهدف 0 الضوئي 120 و/ أو طبقة محززة 122 عن طريق وضع النقطة البؤرية 204 أسفل السطح 107 للهدف الضوئي 120 والتحكم بالفتحة الزاوية 208. في الشكل 2ج؛ يتم وضع جهاز الفحص 200 قريب من إحدى المناطق المحززة 115 117؛ مثل بالترافق مع تنفيذ عملية قياس محززة. عند وضع الجسم 200 قريب من إحدى المناطق المحززة 115( 117( يصطدم ضوءٍ التفعيل 202 بالبنيات الدقيقة 123؛ jars خلال الفجوات أو 5 الفتحات بينها. يركز الجسم 200 ضوءٍ التفعيل 202 على نقطة بؤرية 206 تقابل السطح السفلي للطبقة المحززة 122. يتحكم الجسم 200 بفتحة زاوية 210 للحصول على درجة مرغوب فيها من التركيز عند النقطة البؤرية 206 وللحصول على درجة مرغوب فيها من الانتشار/ خلل التركيز عند أعماق أكبر داخل الهدف الضوئي 120 ويعد ذلك. تقابل النقطة البؤرية 206 أيضاً موضع البنيات الدقيقة 123. يستقبل الجسم 200 انبعاث فلوري ينبعث من الهدف الضوئي 120 داخل 0 منطقة محززة مقابلة 115( 117. وفقاً لبعض الأمثلة على الأقل؛ يمكن أن يأتي كل أو جزءِ من الانبعاث من حجم علوي للهدف الضوئي 120» في حين لا يأتي أي انبعاث أو يأتي a أقل منه من الحجم المتبقي للهدف الضوئي 120. أثناء التشغيل؛ يتم الحصول على قياسات بأساس محزز عن طريق وضع الجسم 200 فوق واحدة أو كلاً من منطقة محززة أولى وثانية 115 و117. يتم بث ضوءٍ التفعيل من الجسم 200 ينتقل 5 خلال المناطق المحززة 115؛ 117 وداخل الهدف الضوئي 120. ينتشر ضوء التفعيل أو يبعد عن المركز خلف النقطة البؤرية 206 بمعدل محدد بواسطة الفتحة الزاوية 210 عند أعماق أكبر
داخل الهدف الضوئي 120. واستجابة لضوء التفعيل؛ تنتج المنطقة المقابلة للهدف الضوئي 120 انبعاثات تفلور تنبعث من السطح العلوي 107 وتصطدم بالسطح السفلي (والبنيات الدقيقة 123) للطبقة المحززة 122. تمر الانبعاثات الفلورية بين البنيات الدقيقة 123 على الطبقة المحززة 122 وتمر لأعلى حتى تصطدم بالجسم 200. يتم إعادة توجيه الانبعاثات الفلورية خلال العناصر البصرية الداخلية إلى واحد أو أكثر من الكواشف ويتم معالجتها وفقاً لذلك. إلى حد مرور ضوءٍ التفعيل خلال الهدف الضوئي 120( يظهر ضوء التفعيل درجة إزالة التركيز المرغوب فيها عند المرور خلال عين النشر 130 قبل ملامسة قاع العين 132. تكون كثافة ضوء التفعيل التي تلامس قاع العين 132 أقل من dad حدية محددة مسبقاً وعليه؛ تجنب احتمالية تغيير الخواص
الضوئية لقاع العين 132 بمرور الوقت.
0 مع مرور ضوء التفعيل خلف البنيات الدقيقة 132( يتباعد ضوءٍ الليزر في مساحة أكبر حيث يسبب توهج sha كبير نسبياً من الهدف الضوئي 120 عند تفلور الانبعاث. وفقاً لذلك» تكون الكاميرات داخل المعدة قادرة على تجميع قياسات النمط اللوني من أجزاء البنيات الدقيقة 132 التي يمكن وضعها جانبياً على أي جانب للنقطة البؤرية 206, بالتالي تتيح انتظام إضاءة محسن لقياسات النمط اللوني .chrome pattern measurements
5 يمكن تجهيز الجسم 200 بفتحة عددية كبيرة؛ بحيث؛ كلما تحرك الجسم 0 بعيداً عن سطح الطبقة المحززة 122؛ كلما أصبح مصدر التفعيل خارج التركيز. يحيد ليزر التفعيل مع تحرك ضوء التفعيل بعيداً عن النقطة البؤرية 206. يعتمد المعدل؛ الذي عنده يحيد/ يتركز ضوء التفعيل؛ Lia على الفتحة العددية بالجسم 200. وفقاً لبعض الأمثلة على الأقل؛ يتم إزالة تركيز ضوءٍ التفعيل إلى حدٍ كبير مع خروج ضوء التفعيل من السطح السفلي للهدف الضوئي 120. يستمر
0 ضوء التفعيل في الحيود الإضافي (يصبح أكثر بُعداً عن البؤرة) مع مرور ضوء التفعيل عبر عين النشر 130. في وقت اصطدام ضوء التفعيل بقاع العين 132 يتم إزالة تركيز/ حيود ضوء التفعيل إلى درجة مرغوب فيها لتقييد كثافة الطاقة المصطدمة بأي نقطة على قاع العين 132 إلى أقل من القيمة الحدية للكثافة intensity threshold المرغوب فيها. La, للأمثلة في هذه الوثيقة؛ يتجنب الجسم 200 وجهاز الفحص 100 التدهور الضوئي غير
5 المبرر للجسم 102 (على سبيل (JU تقليص التبييض الضوئي (photo bleaching عن طريق نشر خطوط ليزر التفعيل فوق مساحة كبيرة (على سبيل (Jal 2.3 مم في 7 و0.53 مم في
L(Y بالإضافة لذلك؛ تتجنب بعض الأمثلة التفلور الذاتي غير المبرر (على سبيل المثال؛ تقليص) البنيات على الجسم 102( جزئياً» عن طريق التحكم بتركيز ضوء التفعيل بحيث يتم إزالة تركيز ضوء التفعيل بمقدار مرغوب فيه (مقاس عند أقل من حوالي 71.5 من إشارة إربيوم إنديوم -فلوريد) عند اصطدام ضوءٍ التفعيل بأسطح الجسم 102.
5 بالإضافة IN تؤدي عين النشر 130( والمسافة بين النقطة البؤرية 206 وقاع العين 132؛ إلى خفض احتمالية التفلور الذاتي ©©81110-11010:656©0. يمكن أن ينتج التفلور الذاتي من قاع العين 2 واستجابة لاستقبال ضوءٍ التفعيل. إلى مدى بث قاع العين 132 أي طاقة «las تصبح طاقة التفلور هذه مشتتة إلى حدٍ كبير في حين تنتقل خلال عين النشر 130 بدون التأثير على الخواص محل الاهتمام للهدف الضوئي 120.
0 اختيارياً؛ وفقاً لبعض الأمثلة على الأقل؛ يمكن ضبط أبعاد طول الهدف الضوئي 120 بطريقة مرغوب فيها بالنسبة للبنيات الدقيقة 123 داخل المناطق المحززة 115 117. على سبيل (Jud يمكن أن يكون من المرغوب فيه التحكم بموضع الجسم 200 بحيث؛ عند تنفيذ القياسات فوق المحزز (يقابل الشكل 2ج)؛ لا يصطدم ضوء التفعيل داخل الفتحة العددية 210 بجدار الجيب 9.
ly 5 للأمثلة في هذه الوثيقة؛ يظهر جهاز الفحص 100 مصدر تفلور يبقى ثابتاً إلى حدٍ كبير على مدار فترة زمنية كبيرة. على سبيل المثال» لا يظهر جهاز الفحص 100 فقد ملحوظ لكثافة التفلور ويبقى مستقراً إلى حدٍ كبير على الأقل ل 104000 عملية فحص (حيث تقابل كل عملية فحص عملية إضاءة واحدة على الأقل للهدف الضوئي بواسطة ضوء التفعيل). على سبيل مثال OAT يمكن أن يظهر جهاز الفحص 100 تغيير لا يزيد عن حوالي 73 في كثافة الانبعاث الفلوري
20 خلال على الأقل 106000 عملية فحص. بصفة عامة ST « يظهر جهاز الفحص 100؛ عند التشكيل وفقاً للأمثلة الموصوفة في هذه الوثيقة؛ انخفاض لا يزيد عن Mga 72 في كثافة الانبعاث الفلوري على مدار عمر مفيد لمعدة مقابلة معها يتم استخدام جهاز الفحص 100. يوضح الشكل 2ب منظر مستوي علوي لجهاز الفحص مشكل وفقاً لأحد الأمثلة. يتم تجهيز الطبقة المحززة (122 في الشكل 2( والبنيات الدقيقة في الألواح/ المساحات المختلفة التي سيتم
5 استخدامها بالترافق مع أنواع اختبار مختلفة. تقابل المناطق داخل الصناديق المرمزة ب 281 و283 في الشكل 2ب (بما في ذلك أي مناطق فرعية محددة داخل الصناديق 281 و283) المساحات
التي يتم بها تجهيز اللبنيات اللونية/ البنيات الدقيقة على الطبقة المحززة. يكون من المفهوم أن هذه المساحات يمكن أن تكون لونية ذات ثقوب منقطة. تمثل أي منطقة خارج المناطق المرمزة ب 281 أو 283 (على سبيل المثال؛ المنطقة بين 281 أو 283 والمحيط أو بين 281 و283) مساحات نظيفة بدون وضع لون/ بنيات دقيقة. يكون من المفهوم أن المساحة داخل علامات زائد يمكن أن تكون عبارة عن مساحات نظيفة بدون وضع لون/ بنيات دقيقة. يشتمل جهاز الفحص على عناصر إسناد ذاتية التمركز auto centering fiducials علوية وسفلية 280( 282 حيث يتم استخدامها بالترافق مع عملية ضبط مركز آلية لمعدة تصوير. يتم تجهيز لوح جودة تصوير 284 للاستخدام مع اختبار جودة تصوير quality test 101486. يتم تجهيز لوح تشوه distortion tile 286 لاستخدامه بالترافق مع اختبار تشوه test 018)010000. يتم تجهيز لوح
0 نظيف clear tile 288 للاستخدام مع عملية تصحح مجال موحد الإضاءة ومسطح. يتم تجهيز مساحة نظيفة 290 للاستخدام مع قياسات خط الليزر Waser line يتم تجهيز حافة سكين knife edge أفقية 292 وحافة سكين رأسية 4 بالترافق مع فحص موضع بقعة ليزر Jaser spot يتم تجهيز نمط ثقوب نظيفة عند اللوح 296 الذي سيتم استخدامه بالترافق مع قياس وظيفة نقل التعديل. lanl يمكن تجهيز مساحات لوح إضافية؛ أقل أو بديلة.
5 يوضح الشكل 2ه منظر مقطعي جانبي لجهاز فحص 300 مشكل وفقاً لمثال بديل. يماثل جهاز الفحص 300 جهاز الفحص 100 من الشكل 2 بطرق مختلفة؛ مع الاختلافات التي تم مناقشتها هنا فيما يلي. يشتمل جهاز الفحص 300 على جسم 302 حيث يستقبل هدف ضوئي 320 في جيب 314. يشتمل الجيب 314 على حافة جيب ناتئة 328 حيث تحفظ الهدف الضوئي 320 فوق عين نشر 330 وعند عمق محدد مسبقاً داخل الجسم 302. يتم إدخال طبقة شفافة 322
0 (على سبيل (JU مشكلة من زجاج) في منطقة تبييت 318 محددة داخل الجسم 302. تحفظ حافة خارجية ناتثئة 326 الطبقة الشفافة 322 مسافة محددة مسبقاً فوق الهدف الضوئي 320 داخل فجوةٍ هامشية 324 بينها. يشتمل الهدف الضوئي 320 على البنيات الدقيقة 323 المشكلة على سطحها العلوي. يتم فصل البنيات الدقيقة 323 عن الطبقة الشفافة 322 بواسطة الفجوة الهامشية 324. تشكل البنيات الدقيقة 323 طبقة محززة على سطح الهدف الضوئي 320 حيث
5 يكون منفصل ومميز عن الطبقة الشفافة 322. اختيارياً» يمكن إهمال الطبقة الشفافة 322 بالكامل. اختيارياً» يمكن تعديل التباعد بين الطبقة الشفافة 322 والهدف الضوئي 320 لتوفير
انحرافات كروية. وفقاً لذلك؛ يمكن تصنيع جهاز الفحص 300 عن طريق طباعة النمط اللوني (بنية دقيقة 323( مباشرةً على السطح العلوي للهدف الضوئي 320 بدلاً من قاع الطبقة الشفافة 2. بالرغم من عدم العرض؛ يمكن أن يشتمل المثال الموضح في الشكل 2ه أيضاً على التغطية المضادة للانعكاس 121 على سطح الطبقة الشفافة 322 الذي يواجه الفجوة الهامشية 324 و/ أو على سطح الهدف الضوئي 320 وعلى البنيات الدقيقة 323 المشكلة على الهدف الضوئي 320. يمكن استخدام أي أمثلة للمادة (المواد) المضادة للانعكاس التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة في هذا المثال. يتم ضبط سمك الطبقة الشفافة 322 لتعويض الاتحراف الكروي في نظام التصوير. إذا تم تصميم 0 نظام التصوير باتحراف كروي صفري؛ فإنه يمكن إهمال الطبقة الشفافة 322 بالكامل ويمكن طباعة النمط اللوني على قمة الهدف الضوئي 320. إذا كان لنظام التصوير انحراف كروي La) أنه يكون مصمم للنظر خلال سمكن معين من الزجاج)؛ فإن الطبقة الشفافة 322 يمكن استخدامها حتى إذا تم طباعة النمط اللوني على الهدف الضوئي 320. اختيارياً؛ يمكن إهمال الفجوة الهامشية 4 بالكامل» بحيث يرتكز الهدف الضوئي 320 مباشرةً على paling مقابل سطح علوي للهدف 5 الضوئي 320. يوضح الشكل 2و منظر مقطعي جانبي لجهاز فحص 350 مشكل وفقاً لمثال بديل. لا يتضمن جهاز الفحص 350 جسم منفصل (مثل الجسم 302 أو الجسم 102؛ الموصوف أعلاه). يشتمل جهاز الفحص 350 على هدف ضوئي 356 وطبقة شفافة 352 مقيدة مباشرةً على بعضها البعض. يتم تجهيز البنيات الدقيقة 353 عند الوصلة البينية بين الهدف الضوئي 356 والطبقة 0 الثفافة 352. يمكن أن Jia البنيات الدقيقة 353 واحد أو أكثر من الأنماط اللونية المشكلة على سطح علوي للهدف الضوئي 356 و/ أو على سطح سفلي بالطبقة الشفافة 352. على سبيل (Jal يمكن استخدام جهاز الفحص 350 في الأمثلة التي بها يتم وضع جهاز الفحص 350 yal على خلية تدفق؛ بدلاً من التثبيت فوق معدة. على نحو إضافي أو بديل؛ يمكن تثبيت جهاز الفحص 350 أيضاً داخل المعدة. 5 اختيارياً؛ يمكن إهمال الطبقة الشفافة 352 بالكامل. على سبيل (Jl) أي من الأهداف الضوئية ¢120 320 356 الموصوفة في هذه الوثيقة على هيئة جهاز فحص مستقل بدون مكونات جسم
إضافية أو الطبقات الشفافة المجهزة معها. اختيارياً» يمكن استخدام الأهداف الضوئية 120 320 و356 على هيئة جهاز فحص مستقل بدون البنيات الدقيقة أو الأنماط الأخرى المشكلة عليها أو المجهزة بالقرب منها. على سبيل JU يمكن تثبيت الأهداف الضوئية 120« 320 و356 ببساطة Bile على خلية تدفق و/ أو داخل معدة بدون أي بنيات دعم أخرى.
يوضح الشكل 3 رسم بياني لمستوى طاقة بالترافق مع مادة فلورية يستخدم وفقاً للأمثلة في هذه الوثيقة. الرسم البياني لمستوى الطاقة يوضح الطاقة (Ma) على امتداد المحور الرأسي والانتقالات البديلة الموزعة عبر المحور الأفقي. يتم توضيح مستوى طاقة أرضي 302, GIL مع مستويات طاقة مرتفعة 304 - 309, يمكن أن يرتفع إليها إلكترون من أيون الإربيوم ثلاثي التكافؤ عند التفعيل. على سبيل المثال» يمكن أن يمتص إلكترون من أيون الإربيوم طاقة حوالي 186800 سم"
0 + مما يجعل الإلكترون يتحرك من مستوى الطاقة isn الأرضي 302 إلى مستوى طاقة تفعيل هدف “Sap 308. على سبيل مثال «AT يمكن أن يمتص إلكترون أيون إربيوم طاقة حوالي 0 سم مما يجعل الإلكترون يتحرك من مستوى الطاقة 1,50 الأرضي 302 إلى مستوى طاقة تفعيل هدف ‘Fon مختلف 307. تمتص إلكترونات أيون الإربيوم الطاقة من ضوء التفعيل dag ذلك تتحرك إلى مستوى طاقة تفعيل هدف المقابل 307 308. بمجرد تحرك الأيونات إلى
5 مستوى طاقة تفعيل هدف مرتفع مقابل؛ بعد ذلك تفرّغ الأيونات الطاقة الممتصة؛ في صورة فوتون؛ وتعود إلى مستوى الطاقة الأرضية 302. يتم فصل مستوى طاقة تفعيل هدف عن مستوى الطاقة الأرضية بواسطة فجوة طاقة أولى :71400 تقابل طول موجي لانبعاث فلوري محل اهتمام. على سبيل (JU) يمكن أن تكون طول موجي لانبعاث فلوري محل اهتمام عبار عن طول موجي لانبعاث أحمرء uma أزرق أو غير ذلك. بعد ذلك يستقبل الفوتون المفرّغ بواسطة الجسم على
0 ميئة انبعاث التفلور. يعتمد لون الانبعاث الفلوري على طاقة الفوتون التي تقابل فجوة الطاقة الأولى 0 . عندما ينتقل أيون من مستوى طاقة تفعيل هدف 307 إلى مستوى الطاقة الأرضية 302 يكون للفوتون المفرّغ المقابل طاقة حوالي 15000 سم حيث تكون قابلة للكشف على هيئة طول موجي لانبعاث فلوري محل اهتمام 650 نانو متر (مرئي على هيئة انبعاث تفلور أحمر). عندما ينتقل أيون من مستوى طاقة تفعيل الهدف 308 إلى مستوى الطاقة الأرضية 302 يكون للفوتون
5 المفرّغ المقابل طاقة حوالي 86800 aul حيث يكون قابل للكشف على هيئة انبعاث طول موجي للتفلور محل اهتمام حوالي 532 نانو متر (مرئي على هيئة انبعاث تفور أخضر).
يوضح الشكل 3 أيضاً انتقالات مستوى طاقة إضافية يمكن أن تظهر بواسطة أيون إربيوم ثلاثي التكافؤ. يكون لكل من مستويات الطاقة 308-304 مستوى واحد مقابل لطاقة تموضع الأقل التالي. وفقاً للأمثلة في هذه الوثيقة؛ يتم اختيار المادة المضيفة الصلبة والمادة المتفلورة جزئياً على الأقل بناءً على فجوة الطاقة بين واحد أو أكثر من مستويات طاقة تفعيل هدف (على سبيل المثال؛ 308) ومستوى طاقة التموضع الأقل التالي le) سبيل المثال» 307). يمثل مستوى الطاقة Fon 7 مستوى طاقة تموضع أقل تالية بالنسبة لمستوى طاقة *S3 308. يمثل مستوى الطاقة Topp 6 مستوى طاقة تموضع أقل تالية بالنسبة لمستوى طاقة 4832 307. يمكن أن ترتفع الإلكترونات Electrons إلى مستويات الطاقة 304؛ 305 و306؛ وعندما تعود إلى مستوى الطاقة الأرضية 302 تقوم بتفريغ الفوتونات photons التي بها كمية طاقة مقابلة. يكون 0 لللفوتونات المفرغة أثناء الانتقال من مستويات الطاقة 304 — 306 أطوال موجية مقابلة 1520 نانو «ie 975 نانو sie و800 نانو ie على التوالي. بالإضافة لذلك؛ يمكن أن ينتقل إلكترون بين مستويات الطاقة المرتفعة المتوسطة 304 — 308. عند انتقال إلكترون بين مستويات الطاقة المرتفعة المتجاورة أو الوسيطة؛ يتم تفريغ فوتون باستخدام كمية طاقة مقابلة؛ حيث تقابل الاختلاف بين مستويات الطاقة المرتفعة البادئة والنهائية. يوضح الشكل 3ا أطوال موجية نموذجية يمكن أن 5 تكون مرئية بالترافق مع فوتونات منبعثة عند انتقال الإلكترونات بين مستويات طاقة مرتفعة مختلفة. على سبيل (JU) يمكن انتقال عند مستوى الطاقة 308 إلى أي مستويات طاقة 307 306 305 و304؛ في هذه الحالة يمكن أن يكون لفوتون مفرّغ طول موجي 3230 نانو ie 0 نانو مترء 1210 نانو مترء و840 نانو مترء على التوالي. كمثال آخر؛ عند انتقال إلكترون عند مستوى الطاقة 307 إلى مستوى طاقة مرتفع وسطي آخر 306 - 304؛ سوف يكون 0 لللفوتون المفرّغ المقابل طول موجي 3450 نانو مترء 1940 نانو مترء و1132 نانو sie على التوالي. سوف يبث الفوتون المفزغ التفلور عند لون يقابل الطول الموجي للفوتون. تقترح العديد من الأمثلة؛ ولكن ليس جميعهاء الموصوفة في هذه الوثيقة استخدام جهاز فحص بالترافق مع نظام متميع يستخدم انبعاثات تفلور في نطاقات الانبعاث المحددة مسبقاً محل الاهتمام. على سبيل المثال؛ يمكن أن تتمركز نطاقات الانبعاث عند طول موجي يقابل انبعاث 5 فلوري أخضر و/ أو يقابل انبعاث فلوري أحمر. عند تركيز نطاقات الانبعاث محل الاهتمام حول الأطوال الموجية التي تقابل الانبعاثات الحمراء أو الخضراء؛ يكون الجزء المقابل من الرسم البياني
للطاقة من الشكل 13 محل اهتمام. بتحديد ST عندما يكون انبعاث أخضر محل اهتمام؛ يكون من المرغوب فيه الانتقال بين مستويات طاقة التفعيل المستهدفة والأرضي 308 و302. عندما يكون الانبعاث الأحمر محل اهتمام؛ يكون من المرغوب فيه الانتقال بين مستويات طاقة التفعيل المستهدفة والطاقة الأرضية 307 و302. في المثال الحالي؛ لا تكون الانتقالات بين توليفات مستوى الطاقة الأخرى في الرسم البياني من الشكل 3 محل اهتمام بالترافق مع معدة تستخدم نطاقات الانبعاث الحمراء و/ أو الخضراء محل اهتمام. يكون من المفهوم أن المناقشة السابقة هي أحد الأمثلة؛ وأنه يمكن اقتراح الأمثلة الأخرى لتكون ضمن اختصاص الكشف الحالي. على نحو إضافي أو بديل؛ يمكن أن تكون نطاقات الانبعاث الأخرى محل اهتمام. على سبيل المثال؛ يمكن أن تستخدم معدة نطاق انبعاث مرتبط ب 800 نانو je 0 و/ أو 975 نانو متر. Lovie يكون لنطاق انبعاث محل اهتمام طول موجي مركز حوالي 800 نانو متر و/ أو 975 نانو مترء تكون انتقالات الطاقة بين المستويات 306 و302؛ والمستويات 305 5 302 محل اهتمام . بصفة عامة؛ يمكن أن لا تكون نطاقات الطاقة energy bands فوق 0 نانو متر نمطياً محل اهتمام بالترافق مع المعدات المتميعة ofluidics instruments حيث يتم إزالة التفلور بالترافق مع تنفيذ تحليل تتالي sequencing analysis نمطي لا يستخدم روابط 5 الطاقة فوق 1000 نانو متر. وفقاً لذلك» يمكن أن لا يكون الانتقال بين مستوى الطاقة المرتفع الأول 304 ومستوى الطاقة الأرضية 302 محل اهتمام أو مفيداً بالترافق مع معدة للموائع. وفقاً للأمثلة في هذه الوثيقة؛ يتم تحقيق التفلور من المادة الفلورية بواسطة التفعيل الضوئية لمستوى طاقة وضع أعلى (يشار له أيضاً بمستوى طاقة تفعيل هدف) بواسطة مصدر صمام بث ليزر أو ضوء laser or light emitting diode (ط128). بعد عملية التفعيل الضوئية؛ يحدث الاضمحلال 0 إلى مستويات طاقة الوضع الأقل داخل الأيون الملوث impurity fon بواسطة عمليتي نقل طاقة متنافستين: اضمحلال إشعاعي decay ©8012117» مع انبعاث فوتونات مقابلة (تفلور) واضمحلال غير إشعاعي decay 007-12012176 بواسطة انبعاث الفونون الضوئي optical phonon emission إلى البنية الشهرية المطوقة. يعتمد معدل الاضمحلال غير الإشعاعي على تداخل الإقران coupling interaction بين الشعرية المطوقة وأيون الملوثات؛ هبوط مضاعف باستخدام عدد 5 الفونونات المنبعثة. ونتيجة لذلك؛ يكون للعمليات غير الإشعاعية التي تتضمن عدد كبير من الفونونات المنبعثة احتمالية حدوث منخفضة. يتم وصف احتمالية الانتقال غير الإشعاعية بين
مستوبي الطاقة بشكل كاف بواسطة معادلة اضمحلال أسية :exponential decaying function (Wop = Cexp(-0AE)[n(T)+1]° حيث © ay هي توابت مخصصة للمادة المضيفة الصلبة؛ AE هي فجوة الطاقة التي تفصل مستويي الطاقة؛ n(T) هي عدد إشغال occupation number بوز = أينشتاين Bose-Einstein عند درجة الحرارة؛ 1 وم هي العدد الأدنى للفونونات المطلوية لتمديد فجوة الطاقة. بصفة عامة؛ يمكن تقليص الاضمحلال غير الإشعاعي بواسطة عمليات متعددة الفونون عن طريق اختيار مضيفين باستخدام طاقات فونون قصوى منخفضة. على سبيل المثال؛ لملاحظة التفلور المرئي عند حوالي 660 نانو ie من الانتقال أيون aga) ثلاثي التكافؤ - Fon ise يكون من الضروري تقليص الاضمحلال غير الإشعاعي بين مستوى Fon حالة الوضع الدنيا التالية؛ gp بما أن فصل الطاقة بين مستويات Fon — Top يكون ~ 2900 bas » يكون
0 من المميز اختيار مادة مضيف باستخدام طاقة فونون قصوى أقل من أو تساوي حوالي 580 سم (تقابل الاتبعاث الحفزي ل 5 أو أكثر من الفونونات). بالإضافة للانبعاث المفضل في منطقة الطول الموجي الأحمر؛ يؤدي اختيار مادة مضيفة لفونون منخفض أيضاً إلى تحسين الانبعاث الأخضر من الحالة المثارة أيون إربيوم ثلاثي التكافؤؤ 4S التي من أجلها يهبط مستوى طاقة التموضع الأقل التالي (“Fon) عند حوالي 3100 سم" أدنى منها.
5 يكون للمادة المضيفة الصلبة طاقة فونون محددة مسبقاً ,110570؛ في حين تظهر المادة الفلورية مستوى طاقة أرضية مختار ومستوى طاقة تفعيل هدف منفصل عن مستوى الطاقة الأرضية بواسطة فجوة طاقة أولى تقابل طول موجي لانبعاث فلوري محل اهتمام. في المثال من الشكل 3ا؛ يكون طول موجي لانبعاث فلوري محل اهتمام هو الطول الموجي للانبعاث الأخضر و/ أو الأحمر. يكون للمادة الفلورية مستوى طاقة تموضع أقل تالية بالنسبة لمستوى طاقة تفعيل هدف.
0 يتباعد مستوى طاقة تموضع أقل تالية بفجوة طاقة ثانية 174:02 أدنى من مستوى طاقة تفعيل هدف حيث تكون نسبة :م2/11057م:111/4 هي ثلاثة أو أكثر. اختيارياً؛ تكون نسبة FMiuGo/HOS Tee عند أو بين أربعة وعشرة. يكون من المفهوم أن الشكل 3 يمثل أحد أمثلة رسم بياني لمستوى طاقة مرتبط بمادة تفلور قوية يمكن أن تكون مشابة Jah مادة مضيفة صلبة. كما تمت مناقشته في هذه الوثيقة؛ يمكن استخدام
مواد التفلور البديلة على هيئة مواد إشابة. على سبيل (JU يوضح الشكل 3ب رسم بياني لمستوى طاقة أيون مرتبط بأيون براسيوديميوم ثلاشي GALS ويوضح الشكل 3ج رسم بياني
لمستوى طاقة أيون مرتبط بأيون هولميوم ثلاثي التكافؤ. توضح الرسومات البيانية في الشكلين 3ب و3ج مستويات طاقة أرضية؛ مستويات طاقة تفعيل هدف ومستويات طاقة مرتفعة وسيطة؛ بالإضافة إلى الأطوال الموجية المرتبطة بالفوتونات المنبعثة بواسطة إلكترون عند الانتقال بين cil gia الطاقة المقابلة. بالاستمرار مع المثال السابق؛ تعتمد المجموعة الفرعية من انتقالات مستوى الطاقة التي تكون محل اهتمام على نطاق الانبعاث محل اهتمام. بالنسبة لأيون براسيوديميوم ثلاثي التكافؤ (الشكل 3ب)؛ سوف يؤدي انتقال بين مستوى طاقة تفعيل هدف 300 ومستوى الطاقة الأرضية OH انبعاث فوتون له طول موجي بين 515 و548 نانو متر (حيث يتضمن النطاق محل اهتمام عند 532 نانو متر). بالنسبة لأيون براسيوديميوم ثلاثي التكافؤ». سوف يؤدي انتقال بين مستوى طاقة تفعيل هدف 300 ومستوى طاقة وسيط 374 إلى 0 بث فوتون له طول موجي بين 597 نانو متر و737 نانو متر (حيث يتضمن النطاق محل اهتمام عند 660 نانو متر). وفقاً لذلك» يمكن أن تمثل أيون براسيوديميوم ثلاثي التكافؤ اختيار محتمل لمادة فلورية سيتم إشابتها في مادة مضيفة صلبة. في المثال من الشكل 3ب؛ عندما يكون مستوى طاقة تفعيل هدف هو FP يكون مستوى طاقة التموضع الأقل التالي هو 0!. بالنسبة لأيون هولميوم ثلاثي التكافؤ (الشكل 3ج)؛ سوف يؤدي انتقال بين مستوى طاقة تفعيل 5 هدف Fy ومستوى الطاقة الأرضية Tg إلى بث فوتون له طول موجي حوالي 544 نانو متر (حيث يكون قريب من نطاق الطول الموجي محل الاهتمام عند 532 نانو متر). يؤدي الانتقال بين مستوى طاقة تفعيل الهدف 352 ومستوى الطاقة الوسيط 17" إلى بث فوتون له طول موجي حوالي 6 نانو متر (حيث يكون قريب من النطاق محل الاهتمام عند 660 نانو متر). وفقاً «IN أيون هولميوم ثلاثي التكافؤ يمكن أن يمثل اختيار محتمل لمادة فلورية سيتم إشابتها في مادة مضيفة 0 صلبة. في المثال من الشكل 3ج؛ عندما يكون مستوى طاقة تفعيل الهدف هو د55؛ يكون مستوى طاقة التموضع الأقل التالي هو SFs يوضح الشكل 4 مثال للكثافات التي تم إظهارها لألوان انبعاث فلوري مختلفة. يخطط المحور الرأسي كثافة الطاقة؛ في حين يخطط المحور الأفقي تركيز (بنسبة مئوية) Bald فلورية مشابة في مادة مضيفة صلبة. بالنسبة للنقاط المرجعية؛ تقابل نقطة البيانات 402 كثافة مقاسة أثناء تفعيل 5 صبغة بلون أخضر سائلة؛ في حين تقابل نقطة البيانات 404 كثافة مقاسة أثناء تفعيل صبغة حمراء سائلة. عند إضاءة الصبغة الخضراء السائلة باستخدام ليزر (Janis تبث الصبغة الخضراء
السائلة تفلور في طيف الطاقة الخضراء بكثافة حوالي 1650 عدد. عند إضاءة الصبغة الحمراء السائلة باستخدام ليزر تفعيل» تبث الصبغة الحمراء السائلة تفلور في طيف الطاقة الحمراء بكثافة حوالي 1150 عدد. يوضح الشكل 4 أيضاً قياسات بيانات منفضة بالترافق مع الأهداف الضوئية بالحالة الصلبة؛ أي تقاط البيانات 410 — 416. تقابل نقاط البيانات 410 و 414 الكثافة المقاسة أثناء تفعيل الهدف الضوئي بحالة صلبة حيث بها يتم إشابة زجاج إنديوم فلوريد مضيف بأيون إربيوم ثلاثي التكافؤ عند تركيز 72.5. تقابل نقاط البيانات 412 416 الكثافة المقاسة أثناء تفعيل الهدف الضوئي بحالة صلبة حيث به يتم إشابة زجاج إنديوم فلوريد مضيف بأيون إربيوم ثلاثي التكافؤ عند تركيز حوالي 74. كما يتضح من الشكل of يبث هدف ضوئي بحالة صلبة مشاب 72.5 تفلور في 0 طيف الطاقة الأخضر عند حوالي 650 عدد وببث تفلور في طيف الطاقة الأحمر عند حوالي 0 عدد. يبث هدف ضوئي بحالة صلبة مشاب 74.0 تفلور في طيف الطاقة الأخضر عند حوالي 500 عدد Ging تفلور في طيف الطاقة الأحمر عند حوالي 2350 عدد. من بيانات الاختبار السابقة؛ يمكن تحديد تركيزات ale إشابة ag) ثلاثية GALAN بناءً على كثافة التفلور المرغوب فيها. على سبيل المثال؛ عندما يكون من المرغوب فيه للهدف الضوئي أن يبث تفلور في 5 طيف الطاقة الأحمرء يمكن أن يكون من المرغوب فيه زيادة تركيز Bale إشابة أيون إربيوم ثلاثية التكافؤ إلى 73.5 أو أكثر (على سبيل (Jal 74 74.5). عندما يكون من المرغوب فيه للهدف الضوئي أن يبث تفلور في طيف الطاقة الأخضرء يمكن أن يكون من المرغوب فيه خفض تركيز ale إشابة أيون إربيوم ثلاثية التكافؤ إلى بين حوالي 71.5 وحوالي 72. علاوة على ذلك؛ من بيانات الاختبار السابقة؛ يمكن تحديد تركيزات مادة إشابة إرييوم ثلاثية 0 اتتكافؤ Lexie يكون من المرغوب فيه للهدف الضوئي أن يبث تفلور في اثنين أو أكثر من أطياف الطاقة بكثافة متساوية Ao) سبيل المثال؛ في أطياف الطاقة الخضراء والحمراء). على سبيل المثال» يمكن أن يكون من المرغوب فيه حفظ تركيز Bale إشابة أيون الإربيوم ثلاثية التكافؤ بين حوالي 71.25 وحوالي 72. على سبيل مثال آخرء يمكن أن يكون تركيز مادة إشابة أيون إربيوم ثلاثي التكافؤ بين حوالي 71.3 وحوالي 71.5 Jala زجاج إنديوم فلوريد. يوضح الشكل 5 نتائج 5 اختبار مادة مضيفة صلبة حيث تكون مشكلة عن طريق إشابة زجاج فلوريد معدن باستخدام حوالي 2 تركيز وحوالي 75 تركيز من أيون إربيوم ثلاثي التكافؤ. يخطط الشكل 5 كثافة على امتداد
المحور الرأسي لانبعاثات التفلور والطول الموجي للانبعاث على امتداد المحور الأفقي. يظهر التركيز 72 والتركيز 75 من أيونات الإرييوم تصاعد كثافة intensity spike مركز حوالي 550 نانو متر. يظهر التركيز 72 و75 من الإربيوم أيضاً تصاعد كثافة ثانوي عند حوالي 660 نانو متر.
في المثال من الشكل 4؛ تمثل أيونات إربيوم ثلاثية التكافؤ sabe تفلور نشطة. pli) يمكن إضافة واحد أو أكثر من العناصر الإضافية على هيئة مادة إشابة مشتركة إلى المادة المضيفة الصلبة. يمكن استخدام مادة إشابة مشتركة لزيادة أو خفض كتثافة الانبعاث لمادة التفلور النشطة (على سبيل المثال؛ إربيوم). يوضح الشكل 6 منظر مقطعي جانبي لجهاز فحص 600 مشكل وفقاً لمثال بديل. يشتمل جهاز
0 الفحص 600 على جسم 602 يحمل هدف ضوئي 620 في جيب 614. يتم وضع طبقة محززة 2 فوق الهدف الضوئي 620 قريب من جسم (غير موضح). تشتمل الطبقة المحززة 622 على البنيات الدقيقة 623 المشكلة في أنماط محددة مسبقاً على سطح سفلي بالطبقة المحززة 622. يمكن أن يكون الهدف الضوئي 620 منفصل عن الطبقة المحززة 622 بواسطة فجوة هامشية 4. يشتمل الهدف الضوئي 620 على أسطح مستهدفة علوية وسفلية 607 609 حيث تكون
5 مستوية بصفة عامة وموجهة موازية لبعضها البعض. يشتمل الهدف الضوئي 620 على جسم صلب يتضمن مجموعة من نقاط كمية 621 مضمنه داخله. يمكن تشكيل الجسم الصلب من إيبوكسي؛ بوليمرات ومواد أخرى يمكن أن تطوق مجموعة من الأجسام المنفصلة (على سبيل المثال؛ النقاط الكمية 621) وتحمل الأجسام المنفصلة في تجهيز ثابت. يتم توزيع النقاط الكمية 1 إلى حدٍ كبير بشكل منتظم في جميع أنحاء الهدف الضوئي 620؛ بحيث؛ عند إسقاط
0 الإشعاع بواسطة ضوءٍ تفعيل؛ يمكن أن تتفلور النقاط الكمية 621 في واحد أو أكثر من نطاقات الانبعاث المحددة مسبقاً محل الاهتمام. يمكن استخدام جهاز الفحص 600 بنفس الطريقة على هيئة معدة الفحص الأخرى الموصوفة في هذه الوثيقة. اختيارياً؛ يمكن تشكيل النقاط الكمية 621 على هيئة نقاط كمية من سيليكون؛ مثلاً للتمكن من ضبط الطول الموجي.
5 يوضح الشكل كب جزءِ من جهاز فحص 640 مشكل وفقاً لمثال بديل. يشتمل جهاز الفحص 0 على طبقة محززة 662 وجسم 642. يتم حفظ هدف ضوئي 660 داخل الجسم 642 ويعشق
مباشرةً الطبقة المحززة 662. تشتمل الطبقة المحززة 662 على البنيات الدقيقة 663 المشكلة على سطحها الخلفي أو السفلي (بالنسبة لجسم). يحيط الهدف الضوئي 660 ويمنع التسرب بدون التأثر بالظروف الخارجية باستخدام البنيات الدقيقة 663. يشتمل الهدف الضوئي 660 على نقاط كمية 1 موزعة في جميع الأنحاء. يتم تجهيز النقاط الكمية 661 أيضاً داخل المناطق 665 بين البنيات الدقيقة 663. على سبيل (Jal يمكن تشكيل الهدف الضوئي 660 من إيبوكسي؛ بوليمر أو تركيبة أخرى سوف تتدفق داخل وتملء الفجوة (الفجوات) 665 بين البنيات الدقيقة 663 وسوف
تطوؤق بشكل غير متأثر بالظروف الخارجية داخلها مجموعة موزعة من النقاط الكمية 661. يوضح الشكل 6ج جزءِ من جهاز فحص 670 مشكل ly لمثال بديل. يشتمل جهاز الفحص 670 على طبقة محززة 682 وجسم 672 وهدف ضوئي 680 حيث يحمل داخله الجسم 672. يعشق
0 الهدف الضوئي 680 مباشرةً الطبقة المحززة 682 ويملاً الفجوات 685 بين البنيات الدقيقة 683 المشكلة على الجانب الخلفي/ السفلي للطبقة المحززة 682. في المثال من الشكل 6ج؛ يتم حفظ نقاط كمية 681 داخل الفجوات 685 وتجميعها لتوضع بالقرب من وتطوّق البنيات الدقيقة 683. يكون eda من الهدف الضوئي 680 البعيد عن البنيات الدقيقة 683 خالي إلى حدٍ كبير من نقاط كمية 681.
5 في أمثلة الأشكال 16 - 6ج؛ يمكن تكوين النقاط الكمية 621 661؛ 681 لتبث تفلور مركز حول واحد أو أكثر من الأطوال الموجية محل الاهتمام بناءًة على نطاق الانبعاث أو نطاقات الانبعاث محل الاهتمام. على سبيل (JU) يمكن تكوين ha من النقاط الكمية 621؛ 661؛ 681 لبث تفلور عند طول موجي حوالي 532 نانو متر؛ في حين يمكن تكوين جزء آخر من النقاط الكمية 621« 661 681 لبث تفلور عند طول موجي حوالي 660 نانو متر. اختيارياً» يمكن تكوين
0 النقاط الكمية 621 661» 681 لبث أطوال موجية أخرى بدلاً من أو بالإضافة إلى الأمثلة السابقة. اختيارياً» يمكن تجهيز المادة المتفلورة على هيئة بوليمر عضوي. اختيارياً؛ يمكن أن تمثل المادة المتفلورة صبغة فلورية مضمنة داخل إيبوكسي. على سبيل مثال AT يمكن طلاء طبقة رقيقة فلورية على قمة هدف ضوئي بالإضافة إلى أو بدلاً من مادة إشابة فلورية داخل مادة مضيفة
5 صلبة. التطبيقات
يمكن استخدام الأمثلة في هذه الوثيقة بالترافق مع المعدات المستخدمة للبحث الحيوي أو الكيميائي or chemical research 10108:601؛ La في ذلك تنفيذ عدد كبير من التفاعلات المتحكم بها. يمكن تنفيذ التفاعلات وفقاً لبروتوكول محدد مسبقاً بواسطة الأنظمة الآلية التي يكون لها على سبيل (Jul عناصر متميعة؛ وعناصر ضوئية؛ وعناصر إلكترونية مناسبة. يمكن استخدام النظام» على سبيل المثال؛ لتوليد منتج حيوي أو كيميائي للاستخدام التالي أو لتحليل due لكشف خواص/ خصائص معينة للعيئة. عند تحليل عيئة في بعض الحالات؛ يمكن توصيل جزءِ كيميائي يتضمن ملصق قابل للتعريف (Ao) سبيل (JU ملصق فلوري (fluorescent label إلى غرفة حيث يتم وضع العينة وريطها بشكل انتقائي بجزء كيميائي آخر من العينة. يمكن ملاحظة أو تأكيد هذه التفاعلات عن طريق تفعيل الملصقات باستخدام الإشعاع وكشف انبعاثات الضوءٍ من الملصقات. 0 يمكن تجهيز هذه الانبعاثات الضوئية أيضاً بواسطة وسائل cal مثل تألق كيميائي. تستخدم بعض الأنظمة المعروفة وسيلة متميعة؛ مثل خلية تدفق؛ تتضمن قناة تدفق (على سبيل المثال» غرفة داخلية) محددة بواسطة واحد أو أكثر من الأسطح الداخلية لخلية التدفق. يمكن تنفيذ التفاعلات على الأسطح الداخلية. يتم وضع خلية التدفق نمطياً بالقرب من تجميعة ضوئية تتضمن وسيلة لتصوير العينة داخل قناة التدفق. يمكن أن تتضمن التجميعة الضوئية عدسة شيئية و/ أو 5 وسيلة تصوير جسم صلب (على سبيل المثال» وسيلة مقترنة بالشحنة charge-coupled device (CCD) أو شبه موصل أكسيد معدن تكميلي complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) في بعض الحالات؛ لا يتم استخدام العدسة الشيئية ويتم وضع وسيلة تصوير الجسم الصلب مباشرة بجوار خلية التدفق لتصوير قناة التدفق. يمكن استخدام أي مثال على جهاز الفحص الموصوف في هذه الوثيقة مع الأنظمة؛ والطرق؛ والتجميعات والأجهزة المختلفة التي تكشف التفاعلات المرغوب فيها في عينة للتحليل الحيوي أو الكيميائي. على سبيل المثال» في تقنية تخليق بالتتابع sequencing-by-synthesis (535)؛ يكون بواحد أو ST من أسطح قناة التدفق مصفوفات من مجموعات حمض نووي nucleic acid (على سبيل المثال؛ أمبليكونات النسيلة (clonal amplicons التي يتم تشكيلها خلال تفاعل سلسلة بوليمراز (PCR) polymerase chain reaction قنطرة. بعد توليد المجموعات؛ يتم تحويل الأحماض 5 اننووية 'للصورة الخطية" لتوفير الحمض النووي دي أوكسي ردبوزي Deoxyribonucleic acid (DNA) قياسي واحد .(sstDNA) single stranded Deoxyribonucleic acid ولاستكمال دورة
التتابع cycle 600606108؛ يتدفق عدد من مكونات التفاعل داخل قناة التدفق وفقاً لجدول محدد مسبقاً. على سبيل JL كل دورة تتابع تتضمن تدفق واحد أو أكثر من النيوكليوتيدات nucleotides (على سبيل المثال؛ A 7؛ 6؛ ©) داخل قناة التدفق لتمديد الحمض النووي دي أوكسي رببوزي قياسي واحد بواسطة قاعدة واحدة. يمكن أن يضمن فاصل قابل للعكس reversible terminator 5 مرتبط بالنيوكليوتيدات تضمين نيوكليوتيد واحد بواسطة الحمض النووي دي أوكسي ريبوزي قياسي واحد بالحلقة. يكون لكل نيوكليوتيد ملصق تفلور فريد يبث لون عند إثارته (على سبيل (JU) أحمرء أخضر؛ أزرق؛ وما شابه ذلك) حيث يتم الاستخدام لكشف النيوكليوتيد المقابل. باستخدام النيوكليوتيدات المضمنة حديثاً؛ يتم سحب المجموعات المتعددة في al قنوات (أي؛ واحد لكل ملصق فلوري). بعد التصوير؛ يتدفق مكون تفاعل Hal داخل قناة التدفق Gall 0 الكيميائي للملصق الفلوري والفاصل القابل للعكس من الحمض النووي دي أوكسي ريبوزي قياسي واحد. بعد ذلك يكون الحمض النووي دي أوكسي رببوزي قياسي واحد جاهز للدورة الأخرى. وفقاً cli يتم إمداد عدد من مكونات التفاعل المختلفة إلى قناة التدفق لكل دورة. يمكن أن تتضمن دورة تتالي واحدة عدة دورات؛ Jie 100؛ 300؛ أو أكثر. يمكن تكوين جهاز الفحص لبث تفلور عند الألوان المستخدمة بواسطة الملصقات الفلورية في التحليل. يمكن استخدام جهاز الفحص عند نقاط مختلفة قبل و/ أو أثناء دورة التتالي. في بعض الأمثلة؛ توفر التفاعلات المرغوب فيها إشارات ضوئية يتم كشفها بواسطة تجميعة ضوئية optical assembly يمكن استخدام جهاز الفحص للتحقق (pe للتأكيد صحة؛ لمعايرة؛. الخ. التجميعة الضوئية. يمكن أن تكون الإشارات الضوئية عبارة عن انبعاثات ضوئية من ملصقات أو يمكن أن تكون عبارة عن ضوء انبعاث منعكس أو منكسر بواسطة العينة. على سبيل 0 المثال؛ يمكن استخدام التجميعة الضوئية لتنفيذ أو مساعدة تنفيذ بروتوكول التتالي sequencing 0001 الذي تتوالى به الحمض النووي دي أوكسي (Sau) قياسي واحد داخل خلية تدفق. وفقاً للأمثلة في هذه الوثيقة؛ يمكن استخدام جهاز الفحص مع وسيلة مسح ضوئي optical scanning device وخرطوشة مائع fluidic cartridge يمكن استخدامها لإمداد عينة وكواشف إلى الجهاز. يمكن أن تتضمن خرطوشة المائع مبيت housing يحمي مكونات المائع المختلفة Jie 5 خزانات؛ وصلات مائع؛ مضخات؛ صمامات وما شابه ذلك. يمكن دمج خلية تدفق داخل الخرطوشة المتميعة في موضع حيث تكون في اتصال بالمائع مع الكواشف داخل المبيت. على
سبيل المثال» يمكن أن يكون بالمبيت فتحة خلالها يتم كشف وجه خلية التدفق بحيث يمكن أن تتداخل ضوئياً مع وسيلة المسح الضوئي عند وضع خرطوشة المائع داخل وعاء الخرطوشة. تتضمن الوسيلة واحد أو أكثر من مقاييس التفلور الدقيق .microfluorometers يوضح الشكل 7 رسم بياني إطاري لوسيلة كشف ضوئي 700 (يشار لها أيضاً بكاشف) مشكلة وفقاً لأحد الأمثلة. يشتمل الكاشف 700 على واحد أو أكثر من المعالجات 730 التي تنكّذ تعليمات malin مخزنة داخل ذاكرة 732 لتنفيذ العمليات الموصوفة في هذه الوثيقة. يوجّه المعالج 730 واحد أو أكثر من المحركات 734 لتحريك الجسم 701 في الاتجاه 7 ولتحريك الكاشف 700 في الاتجاه XY يتم وضع الكاشف 700 بالقرب من خلية تدفق 770 بها طبقة علوية 771 وطبقة سفلية 773 تكون منفصلة بواسطة قناة معبأة بالمائع 775. في التصميم الموضح؛ تكون الطبقة 0 العلوية 771 شفافة للضوءٍ ويتم تركيز الكاشف 700 على مساحة 776 على السطح الداخلي 772 للطبقة العلوية 771. في تصميم بديل؛ يمكن تركيز الكاشف 700 على السطح الداخلي 774 للطبقة السفلية 773. يمكن أن يشتمل واحد أو كلاً من السطحين 772 774 على سمات مصفوفة سيتم كشفها بواسطة الكاشف 700. يشتمل الكاشف 700 على جسم 701 يكون مصمم لتوجيه إشعاع التفعيل من مصدر إشعاع 702 5 إلى خلية التدفق 770 ولتوجيه انبعاث من خلية التدفق 770 إلى كاشف 708. في المخطط النموذجي؛ يمر إشعاع التفعيل من مصدر الإشعاع 702 خلال عدسة 705 ثم خلال وسيلة تقسيم حزمة 706 وبعد ذلك خلال الجسم في طريقه إلى خلية التدفق 770. في المثال الموضح؛ يشتمل مصدر الإشعاع 702 على صمامين ثنائيين لبث ضوءٍ 703 و704؛ حيث تنتج إشعاع عند أطوال موجية مختلفة عن بعضها البعض. يتم التقاط إشعاع الانبعاث من خلية التدفق 770 0 بواسطة الجسم 701 وبتم عكسه بواسطة وسيلة تقسيم الحزمة beam splitter 706 خلال عناصر ضوئية مكيفة 707 Mg الكاشف 708 Ae) سبيل المثال؛ مستشعر شبه موصل أكسيد معدن تكميلي). تعمل وسيلة تقسيم الحزمة 706 على توجيه إشعاع الانبعاث في اتجاه يكون متعامد على مسار إشعاع التفعيل. يمكن تحريك موضع الجسم 701 في الاتجاه 7 لاستبدال تركيز مقياس التفلور الدقيق. يمكن تحريك الكاشف 700 للخلف olds في الاتجاه 7 لالتقاط صور لمساحات 5 متعددة بالسطح الداخلي 772 للطبقة العلوية 771 بخلية التدفق 770. يمكن وضع جهاز الفحص من الأشكال 1-11 2 2-02 « و6أ-6ج عند موضع محدد مسبقاً
داخل خلية التدفق 770. (blast يمكن وضع جهاز الفحص عند موضع محدد مسبقاً مجاور لخلية التدفق 770 ضمن نطاق الجسم 701. يمكن تحريك الجسم 701 إلى جهاز الفحص (Jd
خلال و/ أو بعد دورة تتالي» بالترافق مع أنواع مختلفة من الاختبارات. يعرض الشكل 8 منظر مفكك لمقياس تفلور دقيق نموذجي لأغراض توضيح تجهيز وظيفي للمكونات الضوئية المختلفة. يتم عرض مصدرين للتفعيل؛ بما في ذلك صمام بث ليزر أو ضوء أخضر (LEDG) green light emitting diode وصمام بث ليزر أو ضوءٍ red light eal emitting diode (12018). يمر كل من ضوء التفعيل/ الإشعاع خلال عدسة تجميع صمام بث ليزر أو ضوء أخضر (ل6) وعدسة تجميع صمام بث ليزر أو ضوء أحمر (Td) على التوالي. تعكس مرآة مضاعفة fold mirror صمام بث ليزر أو ضوءٍ (م1) إشعاع التفعيل الأخضر إلى 0 موحد مزدوج اللون combiner dichroic (و5) حيث يعكس إشعاع التفعيل اللأأخضر خلال مرشح تفعيل excitation filter (و2)؛ ثم خلال وحدة تقسيم حزمة بصمام ليزر ثنائي )35( ثم خلال عائق مجال تفعيل (FS) ثم خلال مجموعة عدسة إسقاط إشعاع excitation projection lens (ل2) إلى تفعيل/ انبعاث AUS اللون excitation/emission dichroic (و4) حيث يعكس إشعاع التفعيل الأخضر خلال مجموعة عدسة شيئية ثابتة (ل3) ومجموعة عدسة شيئية متحركة (ل4) 5 إلى سطح خلية تدفق. يمر إشعاع التفعيل الأحمر من عدسة مجمع collector lens صمام بث ليزر أو ضوء الأحمر (ل7) إلى الموحد (AUS اللون (و5) بعد ذلك يتبع إشعاع التفعيل الأحمر نفس مسار إشعاع التفعيل الأخضر إلى سطح خلية التدفق . كما هو موضح في الشكل 8؛ يتم تشغيل التركيز عن طريق تحريك مجموعة العدسة الشيئية المتحركة (ل4) لأعلى ولأسفل (أي؛ على امتداد الاتجاه (ض). يمر انبعاث من سطح خلية التدفق ليعود خلال مجموعة العدسة 0 الشيئية المتحركة (ل4)؛ وبعد ذلك خلال مجموعة العدسة الشيئية الثابتة (ل3) إلى وحدة التفعيل/ الانبعاث ثنائي اللون (و4) حيث يمر إشعاع الانبعاث إلى مجموعة عدسة إسقاط الانبعاث (ل1) خلالها إلى مرشح الانبعاث (و1) وبعد ذلك إلى مستشعر صورة شبه موصل أكسيد معدن تكميلي (ق1). يتم توجيه صمام ليزر ثنائي (LD) أيضاً عن طريق مجموعة عدسات إقران صمام ليزر ثنائي (ل5) إلى وحدة تقسيم حزمة صمام ليزر ثنائي (و3) حيث تعكس إشعاع صمام الليزر 5 الثنائي خلال عائق مجال التفعيل (FS) مجموعة عدسة إسقاط التفعيل (ل2)؛ sang التفعيل/ الاتبعاث ALS اللون (و4)» مجموعة العدسة الشيئية الثابتة stationary objective lens (ل3)
ومجموعة العدسة الشيئية المتحركة translating objective lens (ل4) إلى خلية التدفق. يمكن وضع جهاز الفحص من الأشكال 1-11 2 2-02 « و6أ-6ج عند موضع محدد مسبقاً داخل خلية التدفق. اختيارياً؛ يمكن وضع جهاز الفحص عند موضع محدد مسبقاً مجاور لخلية التدفق ضمن نطاق مقياس التفلور الدقيق. يمكن تحريك مقياس التفلور الدقيق إلى جهاز الفحص قبل» خلال و/ أو بعد دورة تتالي» بالترافق مع أنواع مختلفة من الاختبارات. يوضح الشكل 9 رسم بياني إطاري لمعدة كشف يمكن أن تستخدم جهاز فحص وفقاً للأمثلة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة. توجد لوحة دائرة استقراء مطبوعة (PCB) printed circuit board في رأس قراءة read head وتكون متصلة بلوحة دائرة استقراء مطبوعة رئيسية حيث تكون مضمنة نمطياً داخل Cue جهاز الكشضف detection apparatus housing في الأمثلة البديلة؛ يمكن وضع 0 لوحة دائرة استقراء مطبوعة الرئيسية خارج المعدة. يمكن توصيل البيانات بين لوحة دائرة استقراء مطبوعة الاستقراء ولوحة دائرة استقراء مطبوعة الرئيسية عن طريق خط إشارة تفريقية منخفضة الفولطية (LVDS) Low-voltage differential signaling يمكن تصميم خط إشارة تفريقية منخفضة الفولطية لتوصيل بيانات الصورة من لوحة دائرة استقراء مطبوعة الاستقراء إلى لوحة دائرة استقراء مطبوعة الرئيسية؛ والعليمات إلى وحدة التحكم بالكاميرا من لوحة دائرة استقراء مطبوعة 5 الرئيسية إلى لوحة دائرة استقراء مطبوعة الاستقراء . في المثال من الشكل 9 يتم توصيل لوحة دائرة استقراء مطبوعة الرئيسية أيضاً بحاسوب شخصي (PC) personal computer للتحليل الرئيسي خارجي عن طريق موصلات ناقل تسلسلي عام SS UF 3.0 (USB) universal serial bus أو موصلات مناسبة أخرى ٠ في بعض الأمثلة يمكن وضع حاسوب التحليل الرئيسي داخل مبيت جهاز الكشضف. مع ذلك؛ وضع حاسوب التحليل 0 الرئيسي خارج المعدة يسمح بالاستخدام القابل للتبديل لمجموعة متنوعة من الحواسيب التي سيتم استخدامها لتطبيقات مختلفة؛ صيانة مريحة لحاسوب التحليل الرئيسي عن طريق الاستبدال بدون الحاجة لمقاطعة نشاط جهاز الكشف وبصمة صغيرة لجهاز الكشف. يمكن استخدام أي من مجموعة الحواسيب المختلفة؛ بما في ذلك؛ على سبيل المثال؛ حاسوب سطح مكتب؛ حاسوب محمول؛ أو خادم يحتوي على معالج في اتصال تشغيلي مع ذاكرة يمكن الوصول إليها وتعليمات 5 لتنفيذ الطرق المنفذة بواسطة الحاسوب الموصوفة في هذه الوثيقة. يتم توصيل لوحة دائرة استقراء مطبوعة الرئيسية بشاشة عرض بلورة سائلة (LCD) liquid crystal display للاتصال بمستخدم
من البشر. يمكن استخدام واجهات مستخدمة بينية أخرى أيضاً. في بعض الأمثلة؛ يمكن أن تشتمل واجهة مستخدم بينية على شاشة عرض (على سبيل المثال؛ شاشة عرض بلورة سائلة) لعرض أو طلب معلومات من مستخدم ووسيلة إدخال لمستخدم (على سبيل المثال؛ لوحة مفاتيح) لاستقبال مدخلات مستخدم. في بعض الأمثلة؛ تكون الشاشة ووسيلة الإدخال من المستخدم هي نفس الجهاز. على سبيل المثال؛ يمكن أن تشتمل واجهة المستخدم البينية على شاشة حساسة للمس touch-sensitive display مصممة لكشف وجود لمس من شخص وأيضاً تحديد موقع اللمس على الشاشة. مع ذلك؛ يمكن استخدام وسائل إدخال المستخدم الأخرى؛ مثل فأرة» لوحة اللمس؛ لوحة مفاتيح؛ طبقة المفاتيح» ماسح ضوئي محمول باليد؛ نظام تعرف على الصوت cyoice-recognition system نظام تعرف على الحركة «motion-recognition system 0 وما شابه ذلك. تشتمل لوحة دائرة استقراء مطبوعة الاستقراء على وسائل إرسال لنقل البيانات من مستشعرات مستقلة (أي»؛ كواشف) إلى خط إشارة تفريقية منخفضة الفولطية» منظم تحويل switching regulator 3.3 فولطء منظم تحويل 5 فولط»؛ ومحركات فصل صمام بث ليزر أو ضوء لمصادر إشعاع التفعيل صمام بث ليزر أو ضوءٍ. تشتمل لوحة دائرة استقراء مطبوعة الرئيسية على معالج 5 مصفوفة بوابة قابلة للبرمجة تحقل (FPGA) field programmable gate array مصمم لاستقبال بيانات الصورة من إشارة تفريقية منخفضة الفولطية. يتم توصيل منظم إطار دي دي آر 3 دي آي ام ام DIMM 00183 إلكترونياً بمعالج مصفوفة بوابة قابلة للبرمجة لحقل. تشتمل لوحة دائرة استقراء مطبوعة الرئيسية أيضاً على منظم تحكم حراري ودائرة تحكم لمواتير تحريك مختلفة مثل موتور محور 77؛ موتور ذو خرطوشة؛ موتور ذو صمام؛ وموتور ذو مضخة. 0 يمكن وضع جهاز الفحص من الأشكال 1أ-1ج؛ 2-12 « و6أ-6ج عند موضع محدد مسبقاً بالنسبة لجهاز الكشف من الشكل 9. يمكن تحريك جهاز الكشف إلى جهاز الفحص قبل؛ خلال و/ أو بعد دورة تتالي» بالترافق مع أنواع مختلفة من الاختبارات. يمكن تقييم أي مجموعة متنوعة من خصائص وحدة تصوير نمطية باستخدام جهاز الفحص الموصوف في هذه الوثيقة. تم عرض أمثلة متعددة أدناه في سياق اختبار معدة تتالي باستخدام 5 جهاز فحص. سوف يكون من المفهوم أنه يمكن تنفيذ اختبارات مشابهة للأنظمة التحليلية الأخرى باستخدام جهاز فحص مختلف. علاوة على ذلك؛ لا يتم تقديم تفاصيل كل اختبار بالضرورة في
كل التطبيقات حيث سوف تتضح لأولئك المهرة في المجال عند تطبيق المبادئ المبسطة أدناه للأنظمة التحليلية البديلة وجهاز الفحص. يوضح الشكل 10 مثال على قياسات واختبارات مختلفة يمكن تنفيذها باستخدام جهاز فحص مكون وفقاً للأمثلة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة. وفقاً للأمثلة في هذه الوثيقة؛ تحاذي الطريقة من الشكل 10 جسم معدة مع هدف ضوئي يتضمن جسم صلب يطوّق مادة فلورية. توجّه الطريقة من الشكل 10 ضوء التفعيل على الهدف الضوئي؛ تكشف انبعاث فلوري من الهدف الضوئي على هيئة معلومات مرجعية وتستخدم المعلومات المرجعية بالترافق مع واحدة على الأقل من محاذاة أو معايرة ضوئية للمعدة. يتم مناقشة أنواع مختلفة من المعلومات المرجعية هنا. تشتمل الأمثلة غير الحصرية للمعلومات المرجعية على المعلومات المسجلة عند كل من العمليات في الشكل 10 (كما 0 .تمت مناقشتها هنا فيما يلي). بالرغم من وصف العمليات من الشكل 10 بترتيب»؛ يكون من المفهوم أن العمليات يمكن تنفيذها بترتيبات بديلة. أيضاًء يكون من المفهوم أنه يمكن إلغاء واحدة أو أكثر من العمليات من الشكل 0 بالكامل. عند 1002؛ يقوم واحد أو أكثر من المعالجات بالمعدة بتوجيه المواتير motors لتعديل ميل سطح خلية التدفق التي تحمل الهدف الضوئي وخلايا التدفق المتوالي لتنفيذ التشغيل ذاتي الإمانة auto tilt operation خلال التشغيل ذاتي الإمالة؛ تحدد وتسجل المعدة إحداثيات الموتور المائل النهائية. عند 1004؛ يقوم واحد أو أكثر من المعالجات بالمعدة بتوجيه المواتير لتعديل الموضع XY لسطح خلية التدفق لتنفيذ تشغيل ذاتي التمركز. خلال التشغيل ذاتي التمركز؛ تسجل المعدة موضع مرحلة XY للعنصر (العناصر) الإسنادي على جهاز الفحص. يتم استخدام مواضع العناصر الإسنادية لمراقبة الاتحراف في المرحلة XY لموضع المعدة و/ أو سطح خلية 0 اتتدفق عند إدخال خلية تدفق في المعدة. عند 1006؛ تحصل المعدة على واحدة أو أكثر من الصور بنظام الإطار لخطوط الليزر وتعدّل مواضع XY لخط الليزر وفقاً لذلك. بالترفق مع ذلك؛ يتم تحريك الجسم إلى مساحة نظيفة فوق معدة الفحص وتعديلها لتركيز عمق محدد مسبقاً داخل الهدف الضوئي (على سبيل المثال» 100 ميكرو متر أسفل سطح الهدف الضوئي). يتم التقاط الصور بالنظام الإطاري Frame-mode images 5 التي تتضمن خطوط الليزر. يتم تعديل الموضع XY لخطوط الليزر ويتم التقاط الصور الإضافية بالنظام الإطاري. يتم إعادة العملية حتى تحقيق موضع XY مرغوب فيه لخطوط الليزر.
عند 1008؛ تقوم المعدة بتجميع فترة التأخير وصورة (TDI) time delay and integration gel لمساحة نظيفة على جهاز الفحص وتعديل موسع حزمة beam expander بالمعدة لتحقيق إضاءة موحدة. على سبيل (JB يمكن الحصول على صورة فترة التأخير وصورة الدمج عند لوح نظيف على جهاز الفحص باستخدام الجسم المركز بعمق محدد مسبقاً داخل الهدف الضوئي. يمكن تعديل موسع الحزمة بتكبير الليزر حتى الحصول على انتظام إضاءة مختار. عند 1010( يحدد واحد أو أكثر من المعالجات بالمعدة ما إذا كان توحيد الإضاءة وموضع خط الليزر يحقق قيم حدية أو مواصفات محددة مسبقاً. عندما لا يحقق توحيد الإضاءة وموضع خط الليزر القيمة الحدية/ المواصفة؛ يعود التدفق إلى 1006 حيث يتم إعادة العمليات عند 1006 و1008. على نحو بديل؛ عندما يحقق توحيد الإضاءة وموضع خط الليزر القيم الحدية/ المواصفات؛ يستمر التدفق إلى
0 1012. بعد العمليات عند 1006 و1008؛ تسجل المعدة المواضع النهائية لمحركات توجيه pointing actuators الليزر XY ومحركات موسع تكبير الحزمة zoom beam expander actuators تسجل المعدة Load توحيد الإضاءة النهائي»؛ مواضع خط الليزر في الاتجاهات (خ) و(ذ)؛ عرض خط الليزر وإشعاع الكاميرا بالنسبة لخطوط الليزر. عند 1012؛ يقيس واحد أو أكثر من المعالجات بالمعدة قابلية تكرار النموذج البؤري. بالترفق مع
5 ذلك؛ يتم تحريك الجسم إلى لوح جودة صورة على جهاز الفحص»؛ وتحصل المعدة على نماذج تركيز وتختبر قابلية تكرار الموضع ذاتي التركيز autofocus position repeatability عند 1012« تسجل المعدة موضع بقعة التركيز الذاتي عند أفضل موضع (ض) للبؤرة؛ كثافات الليزر ذاتي التركيز» نطق الالتقاط ذاتي «Sal اكتساب التركيز الذاتي»؛ ضوء شارد ذاتي التركيز وقابلية تكرار موضع (ض) ذاتي التركيز.
0 عند 1014( يقيس واحد أو أكثر من المعالجات بالمعدة جودة الصورة والمحاذاة الضوئية وبحفظ معايرة تعويض ميل الكاميرا. عند قيام معدة بالإمالة الذاتية لخلية تدفق متوالي؛ يقوم النظام بتعديل مواتير إمالة معينة لضبط أسطح تصور خلايا التدفق موازية لاتجاه الانتقال للمرحلة (خ). يقصد باتجاه الانتقال للمرحلة XY أن يكون عمودياً على المحور الضوئي للجسم. مع ذلك؛ يمكن أن تحدث اختلافات طفيفة. أثناء التصنيع؛ يمكن إمالة الجسم والكاميرا بحيث يكون سطح التصوير
5 على نفس مستوى صورة خلية الدفق غير المائلة بشكل ملائم. مع ذلك؛ يمكن أن تحدث تعديلات بمرور الوقت ويمكن إدخال انحراف. يمكن استخدام جهاز الفحص لقياس ميل الكاميرا. ولتنفذ
ذلك؛ يقوم واحد أو أكثر من المعالجات بتجميع كومة من الصور خلالية مركزة لمصفوفة ثقوب منقطة وتحليل الصور لتحديد ميل الطبقة اللونية chrome layer (البنيات الدقيقة) بالنسبة لميل الكاميرا. تفيس المعدة ميل الطبقة اللونية باستخدام واحدة أو كلاً من بقع التركيز الذاتي و/ أو من خلال كومات التركيز. يتم تحديد Und بين ميل الكاميرا وميل الطبقة اللونية وتصحيحه عن طريق قياس زاوية الطبقة اللونية. على سبيل (JU يمكن قياس زاوية الطبقة اللونية عن طريق تنفيذ كومات تركيز خلالي متعددة عند إحداثيات (خ) مختلفة ومقارنة موضع (ض) بأفضل تركيز عند كل إحداث (خ). على نحو إضافي أو بديل» يمكن قياس زاوية الطبقة اللونية بواسطة كشف موضع (ض) بالطبقة اللونية عند مواقع X متعددة باستخدام نظام التركيز الذاتي للمعدة instrument autofocus system يمكن تنفيذ معايرة ميل الكاميرا عند كل بداية لكل دورة تتالي» مع
0 تعديل مواتير ALY) للتعويض بناءً على نتائجه. عند قياس جودة الصورة والمحاذاة الضوئية؛ تضع المعدة الجسم فوق لوح جودة الصورة المجهز على جهاز الفحص. يتم تشكيل لوح جودة الصورة باستخدام مصفوفة من ثقوب منقطة خلال بنية لونية أو بنية دقيقة أخرى (على سبيل المثال؛ 1 ميكرو متر ثقوب منقطة على 3 ميكرو متر نمط سداسي الخطوة). يقوم نظام التصوير داخل المعدة بتجميع مجموعة من الصور حيث يتم تعديل 5 الجسم في الموضع (ض) بين واحدة أو SASH من الصور. مع تحريك الجسم في الموضع 7 بين الصور» تدخل الثقوب المنقطة وتخرج من البؤرة. يتم تحليل مجموعة من الصور ذات المواضع الشيئية المختلفة لتحديد الصورة التي لها جودة بؤرة مرغوب فيها (على سبيل المثال» أفضل بؤرة). على سبيل (JB يمكن أن يحدد النظام كيفية تركيز الثقوب المنقطة بإحكام بين مجموعة الصور المتراصة؛ حيث تظهر إشارة لجودة الصورة (على سبيل (Jal عرض كامل عند نصف الحد 0 الأقصى). على سبيل مثال آخرء عن طريق تحديد الموضع (ض) الذي عنده يكون للتقوب المنقطة أفضل بوّرة عند نقاط مختلفة عبر مجال الرؤية؛ يمكن أن يقيّم النظام الانتقال اللوني المحوري بين ألوان انبعاث مختلفة (على سبيل (JUN أحمر وأخضر)؛ انحناء المجال؛ ميل الكاميرا Gacy المجال المفيد. عند 1014( تسجل المعدة جودة الصورة (اف دبليو اتش ام 41) التلون المحوري caxial chromatism انحناء المجال field curvature وعمق المجال 5 المفيد. تسجل المعدة Lad أفضل موضع (ض) للبؤرة. تسجل المعدة أيضاً ميل الكاميرا بالنسبة
للمرحلة (خ) ويعوؤض موتور الإمالة ميل الكاميرا.
عند 1016 يقوم واحد أو أكثر من المعالجات بالمعدة بتنفيذ معايرة تصحيح تشوه عن طريق قياس التشوه وحفظ معاملات تصحيح التشوه. عند تصوير خلايا تدفق النمطء حيث يتكون كل مجموعة عند موقع معروفة؛ يمكن أن يكون من المميز تعوبض التشوه الضوئي في نظام التصوير حتى يمكن للمعدة معرفة أي يجب أن تظهر المجموعات داخل الصورة. يمكن استخدام جهاز الفحص لمعايرة تصحيح التشوه عند بداية دورة تتالي. ولتنفيذ ذلك؛ يتم وضع الجسم فوق لوح تصحيح التشوه. يشتمل لوح تصحيح التشوه على ثقوب منقطة موضوعة بتفاوت موضع محدد مسبقاً عبر مجال الرؤية بالكامل (على سبيل المثال؛ 10 نانو متر)؛ بالتالي توفير مصفوفة ثقوب منقطة pinhole array مع تباعد ثقب منقط محدد مسبقاً متناسق. يتم تحليل الصورة لتحديد الانتقالات بين المواضع المجاورة للثقوب المنقطة عبر مجال الرؤية. يتم بعد ذلك تحليل الانتقال» متل عن Gob 0 تجهيز متعدد الحدود لانتقال التقوب المنقطة؛ حيث تشير الحدود المتعددة إلى أين يجب أن تظهر المجموعات في الصور التالية التي تما لحصول عليها من خلال عملية تتالي. عند 1016؛ تسجل المعدة معاملات للحدود المتعددة لتصحيح التشوه؛ التكبير الضوئي coptical magnification دوران سطح خلية التدفق ودوران المرحلة 7. عند 1018 يقوم واحد أو أكثر من المعالجات بالمعدة بتنفيذ قياس بقعة ليزر ذاتية التركيز لموضع 5 واحد أو أكثر من أشعة الليزر في الاتجاه (ذ). بالترافق مع فحص موضع بقعة الليزر ذاتية التركيز» يتم وضع الجسم عند أفضل بؤرة فوق حافة السكين الأفقية حيث تظهر انتقالات Bala بين المساحات النظيفة والمساحات اللونية. تكون بقعة الليزر ذاتية التركيز لامعة فوق مساحات لونية ومعتمة فوق المساحات النظيفة. يتم التقاط مسح فترة التأخير وصورة الدمج باستخدام الكاميرا الحمراء و/أو الخضراء . يتم استخدام الصور لتعريف مكان وضع مجالات الكاميرا للرؤية لكل 0 نطاق انبعاث محل اهتمام بالنسبة لحافة السكين الأفقية. يتم بعد ذلك وضع الجسم مبدثياً فوق المساحة اللونية ويعد ذلك يتقدم ببطء لأسفل في الاتجاه (ذ) حتى تختفي بقعة الليزر؛ وهو ما يحدث عندما تكون بقعة الليزر لم تعد موجهة على جزءٍ من اللون وبدلاً من ذلك تكون موجّه بالكامل على المساحة النظيفة بالقرب من حافة السكين الأفقية. يمكن بعد ذلك أن يحدد النظام موضع بقعة تركيز ذاتي في الاتجاه لا بالنسبة لمجال الرؤية للكاميرا الحمراء والخضراء. عند 5 1018 تسجل المعدة موضع بقعة الليزر ذاتية التركيز في الاتجاه )3( بالنسبة لمجال الرؤية لنطاقات الانبعاث محل الاهتمام (على سبيل المثال؛ بالنسبة لمجالات الرؤية الحمراء والخضراء).
عند 1020 يقوم واحد أو أكثر من المعالجات بالمعدة بتنفيذ قياس بقعة ليزر ذاتية التركيز autofocus laser spot measurement لموضع واحد أو أكثر من أشعة الليزر في الاتجاه (خ). بالترافق مع فحص موضع بقعة الليزر ذاتية التركيز» يتم وضع الجسم فوق حافة السكين الرأسية حيث تظهر انتقالات حادة بين المساحات النظيفة والمساحات اللونية. تكون بقعة الليزر ذاتية التركيز لامعة فوق المساحات اللونية ومعتمة جداً فوق المساحات النظيفة. يتم التقاط مسح فترة التأخير وصورة الدمج باستخدام الكاميرا الحمراء و/ أو الخضراء. يتم استخدام الصور لتحديد مكان وجود مجال رؤية الكاميرا لكل نطاق انبعاتث محل اهتمام بالنسبة لحافة السكين الرأسية. يتم وضع الجسم مبدئياً فوق المساحة اللونية ويعد ذلك يتقدم ببطء تدريجياً لأسفل في الاتجاه (خ) حتى تختفي بقعة الليزر؛ وهو ما يحدث عندما لم تعد بقعة الليزر موجهة على جزءٍ من اللون ويدلاً من
0 ذلك تكون موجهة بالكامل على المساحة النظيفة بالقرب من حافة السكين الرأسية. يمكن بعد ذلك أن يحدد النظام موضع بقعة ذاتية التركيز في الاتجاه (خ) بالنسبة لمجال الرؤية للكاميرا الحمراء والخضراء. عند 1020؛ تسجل المعدة موضع بقعة الليزر ذاتية التركيز في الاتجاه (خ) بالنسبة لمجال الرؤية لنطاقات الانبعاث محل الاهتمام (على سبيل المثال؛ بالنسبة لمجالات الرؤية الحمراء والخضراء).
5 عند 1022 يمكن أن يقوم واحد أو أكثر من المعالجات بالمعدة بتنفيذ معايرة تصحيح مجال مسطح correction calibration 1202-5810. بالترفق مع ذلك؛ تحرّك المعدة الجسم إلى لوح نظيف وتركز الجسم لمسافة محددة مسبقاً أسفل سطح الهدف الضوئي؛ عند تنفيذ معايرة تصحيح المجال المسطح. تشتمل معايرة تصحيح المجال المسطح على الحصول على صور تصحيح المجال المسطح. يحتسب واحد أو أكثر من المعالجات فعالية الإرسال الضوئي لنظام التصوير ويحفظ
0 معاملات تصحيح المجال المسطح بالترفق مع ذلك. تعتمد عمليات الاستدعاء الأساسية من خلال التتالي على كثافة المجموعات داخل الصورة. يمكن أن يؤثر عدم التوحيد في الكثافة عبر مجال الرؤية على الاستدعاء الأساسي. يمكن أن تقوم المعدة بشكل موحد بإضاءة المجموعات داخل خلية تدفق لتقليص الأخطاء؛ مع ذلك»؛ لا يكون عملياً دائماً تحقيق إضاءة موحدة على نحو كامل. يتم معايرة اكتساب وتعويض البيكسلات في الكاميرا خلال التصنيع؛ مع ذلك يوجد احتمال أن
5 معايرة بيكسلات الكاميرا يمكن أن تتغير بمرور الوقت و/ أو مع درجة الحرارة. لتنفيذ معايرة تصحيح المجال المسطح؛ يتم وضع الجسم فوق مساحة نظيفة من معدة الفحص وتركيزها عند
عمق محدد مسبقاً داخل الهدف الضوئي Ae) سبيل (JU) 100 ميكرو متر). يتم الحصول على قياس لتوفير خط أساس منتظم لكثافة الصورة. بعد cell عند بداية واحدة أو أكثر من دورات التتالي» يمكن أن تعوؤض المعدة عدم توحيد الإضاءة ويتغير اكتساب وتعويض بيكسلات الكاميرا عن طريق تنفيذ معايرة تصحيح المجال المسطح.
تشتمل معايرة تصحيح المجال المسطح على الحصول على صور لمساحة نظيفة بجهاز الفحص المركز على عمق محدد مسبقاً داخل الهدف الضوئي مع إغلاق غالق الليزر (لإنتاج صورة مظلمة) ومع الليزر على قدرات ليزر متعددة للحصول على صور عند أعداد مختلفة من الكثافة (على سبيل المثال» حوالي 500؛ حوالي 1000؛ حوالي 1500 حوالي 2000 حوالي 2500 حوالي 3000 وحوالي 3500 عدد من الكثافة) في الصور. على سبيل المثال» ويمكن أن تكون
0 الصورة حوالي 1.4 مم طول بحيث يمكن أن تحديد متوسط تأثير الغبار؛ بصمات الأصابع؛ .. الخ. عن طريق إيجا متوسط كل البيكسلات في أبعاد المسح (ذ). بالنسبة لكل من 3200 بيكسل (في أبعاد الكاميرا بدون (pall تستخدم المعدة قراءة الظلام وقراءات الكثافة المختلفة وتجهز حدود متعددة للبيانات لتمييز استجابة ذلك البيكسل (توليفة من مقدار الضوءٍ المعرّض للتجميع مع الاستجابة الضوئية لذلك البيكسل من الكاميرا). عند التقاط صور للمجموعات من خلال التتالي؛
5 تستخدم المعدة الاستجابة متعددة الحدود المقاسة لكل بيكسل وتعدّل كثافة هذا البيكسل في صورة المجموعة لجعل الصورة بالكامل مكافئة لما يمكن الحصول عليه باستخدام Belial موحدة بشكل كامل واكتساب وتعويض البيكسل المنتظم بشكل كامل. عند 1022؛ تسجل المعدة فعالية الإرسال الضوئي والمعاملات متعددة الحدود للمجال المسطح لكل أو gia على الأقل من البيكسلات في واحد أو كلاً من الاتجاهات (خ) وإذ).
0 عند 1024( يفحص واحد أو أكثر من المعالجات بالمعدة اختراق المرشح والضوء المرجعي. بالترفق مع ذلك؛ تحرّك المعدة الجسم إلى لوح لوني صلب على جهاز الفحص dawg اختبار اختراق المرشح. على سبيل المثال؛ (Sa تشكيل لوح اختراق المرشح على هيئة منطقة لونية صلبة حيث تظهر على هيئة مرآة. يتم تصميم نظام تصوير المعدة لترشيح كل ضوء الليزر من الاصطدام بالكاميرا. ولذلك» عند وضع الجسم فوق لوح اختراق المرشح؛ يمكن أن يتوقع النظام اكتشاف عدم
5 وجود ضوءٍ عند الكاميرا. عند كشف الضوء عند الكاميراء يمكن أن يكون مصدرها عوامل مختلفة. على سبيل (JU يمكن أن تقوم المرشحات الضوئية بفصل غير ملائم بالترشيح لكل لضوء
الليزر. على نحو إضافي أو بديل؛ يمكن تفعيل الملوثات في المسار الضوئي بواسطة ضوءٍ تفعيل الليزر والتفلور في نطاق الانبعاث محل الاهتمام (على سبيل المثال؛ الأحمر أو الأخضر). عندما لا يعمل المرشح الضوئي بشكل ملائم أو توجد ملوثات في المسار الضوئي؛ يمكن أن تؤدي كلا الحالتين إلى مستوى مرجعي Me يتم اكتشافه بواسطة الكاميرا. يمكن اتخاذ التدابير التصحيحية المختلفة. عند 1024؛ تسجل المعدة معلومات اختراق المرشح؛ معلومات الضوء المرجعي وما شابه ذلك. عند 1026؛ يقيس واحد أو أكثر من المعالجات موضع مرحلة XY بشكل متكرر. بالترفق مع ذلك؛ تحرّك المعدة الجسم إلى عنصر الإسناد ذاتي التمركز وتنفذ اختبار موضع مرحلة XY بشكل متكرر. تحرك المعدة المرحلة (خ) و(ذ)عدة مرات من كل اتجاه إلى عنصر الإسناد ذاتي التمركز 0 وبعد لك تحرك تلتقط صورة لعنصر الإسناد ذاتي التمركز. بشكل مثالي؛ يمكن أن يظهر عنصر الإسناد ذاتي التمركز عند نفس الموضع تماماً في الصورة بعد كل تحرك. تشير تحركات عنصر الإسناد في الصورة إلى ضبط موضع غير مثالي لمرحلة XY تسجل المعدة الموضع بشكل Sue في الاتجاهات (خ) و(ذ). تسجل المعدة أيضاً التخلفية Hysteresis الظاهرة في الاتجاهات (خ) وإذ). عند 1028؛ يسجل واحد أو أكثر من المعالجات كل النتائج المجمعة في العملية 5 السابقة عند موقع تشخيص بعيد. بعد ذلك؛ تستمر المعدة مع عملية تتالي. بالترافق مع العمليات السابقة؛ يمكن توجيه المعدة لتنفيذ عمليات تشخيص عن بُعد. عن طريق تجميع وتحليل صور جهاز الفحص بشكل دوري (على سبيل (JU عند بداية كل دورة تتالي «(sequencing run يمكن أن تراقب المعدة تنفيذ نظام التصوير بمرور الوقت. يمكن تخزين النتائج على محرك صلب محلي و/أو رفعه إلى خادم بعيد أو خادم سحابة. يمكن مراقبة معلومات 0 التشخيص لمراقبة صحة نظام تصوير المعدة ولتعريف الاتجاهات في كفاءة المعدة بمرور الوقت. إن وجدت أي سمات لنظام التصوير تميل نحو الفشل؛ يمكن تحديد تسلسل إصلاحات قبل فشل المعدة بالفعل. سوف يزيد هذا من وقت المستهلك. (liad عندما تظهر أسئلة عن أي معدة تواجه المشاكل باستخدام نظام التصوير؛ يمكن تجميع بيانات المحاذاة لتحديد ما إذا كانت أي سمة من نظام التصوير قد تغيرت. سوف يزيل هذا بسرعة نظام التصوير حيث يمثل سبب جذري محتمل لشاكل كثير أو يمكن أن يشير إلى مشكلة معينة بنظام التصوير. إن لم ترفع المعدة المعلومات إلى السحابة؛ سوف يمكن لمهندس dead ميدانية توجيه البيانات بمرور الوقت لمراجعة النتائج
التاريخية المخزنة على المحرك الصلب المحلي. علاوة على ذلك؛ لا تتناسب كثافة التفلور مع تركيز مادة الأشابة. عن طريق التحكم بتركيز مادة الأشابة Ae) سبيل المثال؛ حوالي 71.1 +/- 70.01)؛ يمكن أن يتحكم جهاز الفحص بالتفلور المقاس إلى تفاوت مرغوب فيه (على سبيل المثال؛ +/- 70.6 في الأحمر و+/- 70.1 في الأخضر). سوف يوفر قياس كثافة جهاز الفحص عند سرعة مسح معينة وقدرة ليزر معينة على أحد المعدات معلومات قياس تشير إلى كثافة للتوقع على جميع المعدات المشابهة إلى حدٍ كبير. يمكن استخدام قياس كثافة التفلور من جهازا لفحص للإشارة إلى ما إذا كانت المعدة تعمل بشكل ملاثم (على سبيل المثال؛ توفير قدرة ليزر ملائمة موصلة إلى خلية التدفق؛ كمية ملائمة من spa التفلور المجمع والمنقول إلى الكاميراء ..الخ.). بافترارض أن خصائص الانبعاث لجهاز الفحص A 0 تتغير بمرور الوقت؛ سوف يشير أي تغيير في HES التفلور المقاسة بمرور عمر المعدة إلى أنه إما لم يتم توصيل قدرة الليزر الملائمة إلى خلية التدفق أو لم يتم توصيل كل ضوء التفلور إلى الكاميرا. يكون من المفهوم أن العمليات أعلاه تمثل أمثلة غير حصرية لعمليات مختلفة يمكن تنفيذها باستخدام جهاز الفحص. يمكن تنفيذ العمليات التي تمت مناقشتها أعلاه بالكامل بشكل مستقل عن 5 بعضها بعض وعند نقاط زمنية مختلفة. يشتمل مثال غير حصري للتشخيص والقياس عن بُعد حيث يمكن تنفيذه بشكل آلي باستخدام جهاز فحص على: فعالية النقل الضوئي؛ جودة الصورة (العرض الكامل لنصف الحد الأقصى)؛ ميل الكاميرا؛ التلون المحوري؛ انحناء المجال» عمق المجال المفيد؛ التشوه؛ التضخيم» مواضع خط الليزر XY وأعماق الخط» توحيد Bela) دوران الكاميرا بالنسبة لخطوط الليزر» موضع (ض) ذاتي التركيز لمعاملات تصحيح المجال المسطح 0 بشكل متكررء موضع بقعة ذاتية التركيز عند أفضل بؤّرة؛ موضع بقعة ذاتية التركيز بالنسبة لمجال الرؤية الأحمر والأخضر؛ كثافة الليزر ذاتي التركيز؛ نطاق الالتقاط ذاتي التركيز؛ اكتساب التركيز الذاتي» الضوء الشارد ذاتي التركيز» موضع (ض) بأفضل بؤرة؛ إحداثيات موتور ذاتي الإمالة Autotilt motor بعد الإمالة الذاتية؛ التخلفية في (خ) و(ذ)؛ الوضع بشكل متكرر في (خ) وإذ)؛ دوران سطح خلية التدفق» اتجاه انتقل مرحلة (ذ)؛ موقع مرحلة XY لعنصر إسناد بيرد (BIRD 5 مواضع مشغلات توجيه الليزر؛ ومواضع مشغلات موسع الحزمة بتكبير الليزر. Uy للأمثلة في هذه الوثيقة؛ يمكن أن تشتمل طريقة فحص على روتين لضبط تيارات مصدر
تفعيل لكثافة صورة ملائمة. يمكن أن يشتمل الروتين على خطوات متعاقبة لضبط موضع جهاز الفحص في وحدة تصوير نمطية بحيث يتم كشف مساحة مفتوحة بالقناة (أي؛ بدون البنيات الدقيقة) ضبط تعرض الكاميرا إلى 1 Ae ثانية وتيارات صمام بث ليزر أو ضوء إلى 730؛ التقاط صورة مظلمة باستخدام 1 Ale ثانية تعرض ويدون صمامات بث ليزر أو ضوء؛ التقاط صورة في القنوات الضوئية الحمراء والخضراء باستخدام تعرض 1 مللي ثانية؛ احتساب متوسط كثافة الصور؛ وتعديل تيارات صمام بث ليزر أو ضوءٍ لتصدم كثافة مرغوب فيها 2500 عدد مع تعرض 1 مللي ثانية. يتم حفظ تيارات صمام بث ليزر أو ضوءٍ عند هذه القيم لباقي الاختبارات. يمكن أن تستخدم كل الاختبارات التالية diel تعرض مختلفة بناءً على التصميم الهندسي لنمط البنية الدقيقة. على سبيل المثال» يمكن اكتشاف ألواح الإسناد وألواح التوحيد (تفتقر للبنيات الدقيقة) 0 باستخدام تعرض 1 Me ثانية؛ يمكن كشف ألواح التركيز الذاتي باستخدام تعرض 4 مللي ثانية؛ يمكن كشف ألواح جودة الصورة باستخدام تعرض 150 Ae ثانية؛ ويمكن اكتشاف ألواح اختراق المرشح (مطلية بالكامل بالمعدن على السطح الداخلي للزجاج العلوي) باستخدام تعرض 500 مللي ثانية. La للأمثلة في هذه الوثيقة؛ يمكن أن تشتمل طريقة فحص على روتين لمعايرة مصدر تفعيل. (Kay 5 تنفيذ الروتين كما يلي.. يتم تحربك المرحلة XY لمعدة إلى لوح تركيز ذاتي. يتم توليد كومة تركيز خلالي في اللون الأحمر ويتم احتساب ارتفاع أفضل تركيز (ض) (على سبيل JB) يكون حجم الخطوة 6 ميكرو مترء يكون زمن التعرض 4 مللي ثانية ويكون نطاق الاجتياح 108 ميكرو متر). بعد ذلك يتم تحريك المرحلة (XY لوح مجاور لتجميع صور الليزر. يتم تنفيذ هذا لتخفيف خطر عيوب التصنيع في جهاز الفحص عندما لا يتم إزالة كل اللون من داخل فتحة 0 مربعة 500 ميكرون في لوح التركيز الذاتي. يمكن أن يؤدي هذا العيب إلى جعل كثافة بقعة الليزر لامعة جداً عند لوح التركيز الذاتي. بعد ذلك تجمّع العملية صور التركيز الخلالي لليزر (باستخدام إعدادات قياسية لتوليد نموذج بؤرة) ويتم فحص daly AES الليزر. يكون ana الخطوة خلال هذه القياسات 2 ميكرون مع نطاق 7 يكون +/-18 ميكرون. بعد ذلك يتم تعديل زمن التعرض لليزر حتى تكون بقع أيه اف AF هي 2000+/-200 عدد ل 'البقعة الأكثر لمعان" (داخل +/-18 5 ميكرون من أفضل بؤرة حمراء). إذا تم اختيار "حفظ المعايرات" على واجهة المستخدم البينية؛ فإنه يتم تخزين زمن تعرض الليزر للاستخدام للتتالي.
Li, للأمثلة في هذه الوثيقة» يمكن أن تشتمل طريقة على اختبار معايرة كاشف. بالنسبة لأحد الأمثلة؛ يمكن تنفيذ الاختبار كما يلي. يتم الحصول على صور جهاز الفحص عندن 4 كثافات صمام بث ليزر أو ضوءٍ مختلفة: (1) مظلمة (إصمامات بث ليزر أو ضوء (lie (2) كثافة متوسطة منخفضة؛ (3) كثافة متوسطة مرتفعة؛ و(4) كثافة لامعة (حوالي 3000 عدد). عند التقاط هذه الصورء يتم تحريك المرحلة XY بين كل صورة. يتم استخدام كل الألواح عند الاختيار لتحديد متوسط أي تفلور غير موحد (بسبب الحطام أو بصمات الأصابع فوق الفحص). لا توجد حاجة لتطبيق تصحيحات الكاميرا على أي اختبارات تالية يتم اختيارها. البيانات الختامية سوف يكون من المفهوم أنه يمكن تضمين سمات مختلفة من الكشف الحالي مثل طريقة؛ نظام؛ 0 وسط قابل للقراءة بواسطة حاسوب»؛ و/ أو منتج برنامج حاسوب. يمكن أن تأخذ سمات الكشف الحالي صورة أمثلة أجهزة؛ أمثلة برامج (بما في ذلك برنامج أساسية ثابتة؛ برنامج ثابت resident ¢software شفرة دقيقة ¢micro-code ..الخ.) ٠ أو أمثلة تجمع سمات برنامج وجهاز يمكن الإشارة Lad) جميعاً بصفة عامة في هذه الوثيقة ب 'دائرة"» 'وحدة نمطية"؛ أو 'نظام". علاوة على ذلك؛ يمكن أن تأخذ طرق الكشف الحالي صورة منتج برنامج حاسوب على وسط تخزين يمكن استخدامه 5 بواسطة حاسوب به شفرةٍ برنامج يمكن استخدامها بواسطة حاسوب مضمنة في الوسط. يمكن استخدام أي وسط قابل للاستخدام بواسطة حاسوب مناسب لسمات البرنامج الخاصة بالكشف الحالي. يمكن أن يكون وسط قابل للاستخدام بواسطة حاسوب أو قابل للقراءة بواسطة حاسوب؛ على سبيل المثال وليس الحصرء عبارة عن وسط مغناطيسي» ضوئيء كهرومغناطيسي؛ أشعة تحت الحمراء cinfrared أو نظام شبه موصل؛ Glen وسيلة؛ أو وسط نشر. يمكن أن يشتمل 0 الوسط القابل للقراءة بواسطة حاسوب على أمثلة مؤقتة. يمكن أن تشتمل الأمثلة الأكثر تحديداً (قائمة غير حصرية) لوسط قابل للقراءة بواسطة حاسوب على بعض أو كل مما يلي: وصلة كهربية بها واحد أو أكثر من الأسلاك؛ شريط كمبيوتر متنقل» قرص صلب؛ ذاكرة وصول عشوائي «(RAM) random access memory ذاكرة قراءة فقط «(ROM) read-only memory ذاكرة قراءة فقط قابلة للبرمجة والمسح EPROM) erasable programmable read-only memory أو ذاكرة 5 ومضية (Flash memory ؛ ألياف ضوئية coptical fiber ذاكرة قراءة فقط بقرص compact gels (CD-ROM) disc read-only memory متنقل» وسيلة تخزين ضوئي coptical storage device
وسط إرسال transmission medium مثل تلك التي تدعم الإنترنت Internet أو الإنترانت cintranet أو وسيلة تخزين مغناطيسي. يلاحظ أن وسط قابل للاستخدام بواسطة الحاسوب computer-usable medium أو وسط قابل للقراءة بواسطة الحاسوب | computer-readable medium يمكن أن يكون مجرد ورقة أو وسط مناسب AT يمكن عليه طباعة البرنامج؛ حيث يمكن التقاط البرنامج بشكل إلكتروني؛ عن طريق؛ على سبيل JU مسح ضوئي للورقة أو الوسط AY ء ثم تجميعه؛ تفسيره؛ أو معالجته بصورة أخرى بطريقة مناسبة؛ حسب الضرورة؛ ويعد ذلك تخزينه داخل ذاكرة حاسوب. في سياق هذه الوثيقة؛ يمكن أن يكون وسط قابل للاستخدام بواسطة حاسوب أو قابل للقراءة بواسطة حاسوب Ble عن أي وسط يمكن أن يحتوي He يخزن؛ يوصّل؛ ينشرء أو ينقل البرنامج للاستخدام بواسطة أو بالترافق مع نظام؛ أو len أو وسيلة تنفيذ 0 التتعليمات. يمكن أن تكون شفرة البرنامج لتنفيذ عمليات الطرق والجهاز المذكورة في هذه الوثيقة مكتوية بلغة برمجة programming language الناشئة من جسم مثل C++ «Smalltalk Java أو ما شابه ذلك. مع ذلك؛ يمكن أن تكون شفرة البرنامج لتتفيذ عمليات الطرق والجهاز المذكورة في هذه الوثيقة أيضاً مكتوبة بلغات برمجة إجرائية تقليدية؛ Jie لغة برمجة ©" أو لغات برمجة مشابهة. يمكن 5 1 تنفيذ شفرة البرنامج بواسطة معالج؛ دائرة مدمجة مخصصة لتطبيق application specific (ASIC) integrated circuit أو مكونات أخرى تنفذ شفرة البرنامج. يمكن الإشارة إلى شفرة البرنامج ببساطة بتطبيق برنامج يكون مخزن داخل ذاكرة (مثل الوسط القابل للقراءة بواسطة حاسوب الذي تمت مناقشته أعلاه). يمكن أن تجعل شفرة البرنامج المعالج (أو أي وسيلة متحكم بها بواسطة المعالج) ينتج واجهة بينية رسومية لمستخدم graphical user interface (0177'). 0 يمكن إنتاج الواجهة البينية الرسومية للمستخدم graphical user interface بصرياً على وسيلة عرض» ويمكن أن يكون للواجهة البينية الرسومية للمستخدم أيضاً سمات صوتية. يمكن أن تعمل شفرة البرنامج؛ مع ذلك؛ في أي وسيلة متحكم بها بواسطة معالج «processor-controlled device Jie حاسوب؛ ld مساعد رقمي شخصي؛ cil تلفاز» أو أي وسيلة متحكم بها بواسطة معالج باستخدام المعالج و/ أو معالج إشارة رقمي digital signal processor 5 يمكن أن تكون شفرة البرنامج منفذة محلياً و/ أو عن بُعد. يمكن أن تكون شفرة البرنامج» على سبيل المثال» مخزنة بالكامل أو جزئياً داخل ذاكرة محلية الوسيلة المتحكم بها بواسطة معالج. يمكن
أن تكون شفرة البرنامج» مع cll أيضاً مخزنة جزئياً على الأقل عن بُعد؛ ويتم الوصول إليهاء وتحميلها على الوسيلة المتحكم بها بواسطة معالج. يمكن أن يقوم حاسوب مستخدم؛ على سبيل المثال» بالكامل بتنفيذ شفرة البرنامج أو تنفيذ جزئياً فقط شفرةٍ البرنامج. يمكن أن تكون شفرة البرنامج عبارة عن حزمة برنامج مستقلة تكون Liga على الأقل على حاسوب مستخدم و/ أو منفذة جزثياً على حاسوب بعيد أو بالكامل على حاسوب بعيد أو خادم. في السيناريو الأخير» يمكن أن يكون الحاسوب البعيد متصل بحاسوب المستخدم عن طريق شبكات الاتصال. يمكن تطبيق الطرق والجهاز المذكورة في هذه الوثيقة بغض النظر عن بيئة الشبكة. يمكن أن تكون شبكة الاتصالات communications network عبارة عن شبكة كابلات تعمل في نطاق تردد radio-frequency domain sal)! 5[ أو نطاق بروتوكول الإنترنت Internet Protocol (10). يمكن of تشتمل شبكة الاتصالات؛ مع ذلك؛ أيضاً على شبكة حوسبة موزعة؛ مثل الإنترنت (في بعض الأحيان على نحو بديل تعرف ب "الشبكة العالمية ("World Wide Web إنترانت» شبكة منطقة محلية «(LAN) local-arca network و أو شبكة منطقة واسعة wide-area network (17/17). يمكن أن تشتمل شبكة الاتصالات على كابلات متحدة المحور coaxial cables أسلاك نحاسية (copper wires خطوط ألياف ضوئية optic lines تط5» و أو خطوط هجينة متحدة 5 المحور .hybrid-coaxial lines يمكن أن تشتمل شبكة الاتصالات أيضاً على أجزاء لاسلكية باستخدام أي eda من الطيف الكهرومغناطيسي electromagnetic spectrum وأي مقياس نقل إشارة signaling standard (مثل عائلة مقاييس أي إيه إيه إيه 802 802 (IEEE جي اس ام [GSM سي دي ام أيه [CDMA تي دي ام ايه TDMA أو أي مقياس خلوي | cellular standard و/ أو نطاق آي اس ام (ISM يمكن أن تتضمن شبكة الاتصالات أيضاً أجزاء خطوط 0 قدرة؛ حيث بها يتم توصيل الإشارات عن طريق أسلاك الكهرياء. يمكن تطبيق الطرق والجهاز المذكورة في هذه الوثيقة على أي شبكة اتصالات لاسلكية/ سلكية؛ بغض النظر عن التكوين المادي؛ التصميم المادي؛ أو مقياس (مقاييس) الاتصالات. يتم وصف سمات معينة للكشف الحالي بالإشارة إلى طرق وخطوات طريقة مختلفة. سوف يكون من المفهوم أن كل خطوة طريقة يمكن تنفيذها بواسطة Bi البرنامج و/ أو بواسطة تعليمات الآلة. 5 يمكن أن تنشئ شفرة البرنامج و/ أو تعليمات الآلة وسيلة لتنفيذ الوظائف/ الإجراءات المحددة في الطرق.
يمكن أن تكون شفرة البرنامج مخزنة Load داخل ذاكرة قابلة للقراءة بواسطة حاسوب يمكن أن توجه المعالج؛ الحاسوب؛ أو جهاز معالجة بيانات قابل للبرمجة آخر للعمل بطريقة معينة؛ بحيث تقوم شفرة البرنامج المخزنة داخل الذاكرة القابلة للقراءة بواسطة حاسوب بإنتاج أو تحويل منتج صنع بما في ذلك وسائل التعليمات التي تنفذ سمات مختلفة لخطوات الطريقة.
يمكن تحميل شفرة البرنامج أيضاً على حاسوب أو جهاز معالجة بيانات قابل للبرمجة آخر لتنفيذ مجموعة من الخطوات التشغيلية لإنتاج عملية منفذة بواسطة معالج/ حاسوب بحيث توفر شفرة البرنامج خطوات لتنفيذ الوظائف/ الإجراءات المختلفة الموصوفة في طرق الكشف الحالي. يتم استخدام التعبيرات "إلى حدٍ كبير" و"حوالي" المستخدمة في جميع أنحاء هذا الكشف؛ بما في ذلك عناصر الحماية؛ لوصف وإحصاء التقلبات الصغيرة؛ Jie بسبب اختلافات في المعالجة. على
سببيل المثال؛ يمكن أن تشير إلى أقل من أو تساوي +75؛ مثل أقل من أو تساوي 724 Jie أقل من أو تساوي +71 مثل أقل من أو تساوي +70.5؛ مثل أقل من أو تساوي +70.2؛ Jie أقل من أو تساوي +70.1؛ مثل أقل من أو تساوي +70.05. يقصد بالتعبيرات 'يشتمل"؛ 'يتضمن"؛ 'يحتوي على “..الخ.؛ ومتغيراتها؛ التي يتم استخدامها في المواصفة وعناصر الحماية في هذه الوثيقة أن تكون بنطاق مفتوح؛ تتضمن ليس فقط العناصر 5 المذكورة؛ ولكن أيضاً تشتمل على أي عناصر إضافي. تعني الإشارة في جميع أنحاء المواصفة إلى "أحد JU CYT آخر؛ CJ وما إلى ذلك؛ أن عنصر معين Ae) سبيل المثال» سمة؛ بنية؛ و/ أو خاصية) الموصوف بالترافق مع المثال يتم تضمينه في مثال واحد على الأقل موصوف في هذه الوثيقة؛ ويمكن أو لا يمكن أن يظهر في الأمثلة الأخرى. بالإضافة SIN يكون من المفهوم أن العناصر الموصوفة لأي مثل يمكن تجميعها بأي طريقة مناسبة في الأمثلة 0 المختلفة ما لم يشير السياق بوضوح إلى خلاف ذلك. يجب أن يكون من المفهوم أن كل التوليفات من المفاهيم السابقة والمفاهيم الإضافية التي تمت مناقشتها بتفصيل أكبر أدناه (بشرط أن هذه المفاهيم لا تكون متعارضة بالتبادل) تكون مقترحة لتكون جزء من الموضوع المبتكر الذي تم الكشف عنه في هذه الوثيقة. بالتحديد؛ تم اقتراح كل التوليفات من الموضوع الحالي المحمي الذي يظهر عند نهاية هذا الكشف كجزءِ من الموضوع 5 المبتكر الذي تم الكشف عنه في هذه الوثيقة. يجب أن يكون من المفهوم أيضاً أن التعبيرات المستخدمة بشكل صريح التي يمكن أن تظهر أيضاً في أي كشف مضمن كمرجع يجب منحها
المعنى الأكثر تماشياً مع المفاهيم الخاصة التي تم الكشف عنها في هذه الوثيقة. يكون من المفهوم أن النطاقات المقدمة في هذه الوثيقة تتضمن النطاق المكور وأي قيمة أو نطاق فرعي داخل النطاق المذكور. على سبيل المثال؛ يجب تفسير نطاق ممثل بواسطة يساوي أو يكون بين أربعة وعشرة (4 إلى 10)؛ بأنه يتضمن ليس فقط الحدود المذكورة بوضوح من 4 إلى 10؛ ولكن أيضاً يتضمن القيم المستقلة» Jie حوالي 6» 7.5» 9 ..الخ.؛ والنطاقات الفرعية؛ Jie من حوالي 5 إلى حوالي 8؛ ..الخ. بالرغم من وصف أمثلة متعددة بالتفصيل؛ يكون من المفهوم أن الأمثلة التي تم الكشف عنها يمكن تعديلها. بالتالي؛ يعتبر الوصف السابق غير حصري. قائمة التتابع: 0 "' رسم بياني لمستوى طاقة أيون 8:23 "ب" الطاقة (سم-1) Tg نانومتر د" سم 1- "و" رسم بياني لمستوى طاقة أيون pr’ 5 .و" رسم بياني لمستوى طاقة أيون Ho" ETU "J Te" نانومتر نقل اشاعي 'ط". الطاقة (1/سم) 'ي" النتفلور باستخدام Brinf وإثارة أحادية اللون 0 'ك" تركيز مادة إشابة Br )7( "ل" زجاج فلور Er: ZBLAN "a مرشح طويل المسار 542 نانومتر ان EiZBLAN "س" الكثافة المقاسة (أعداد) 5 "ع" الكثافة sang) ذرية) 'ف" ._ الطول الموجي (نانومتر)
اص" خطي (Er-Inf) أخضر فقط) 'ق"' خطي (Er-Inf) أحمر فقط) 'ر" 0 532 ناونمتر تفعيل لش" 1 مللي ثانية دمج ات" أخضر فقط Er-Inf "اث" أحمر فقط Er-Inf "خ" الكثافة المتساوية لا" صبغة خضراء سائلة 'ض" صبغة حمراء سائلة 0 “71 مسح 'ب1" LD fa تركيز 'د1" FC 'ه[' LEDG
LEDR و1 5
Lig 24 إمداد "1
LCD lg
DDR3 "lL
PC "14 USB3.0SSIF "lJ 0 م1" USB3.0SSI/F 1" متوسط (X3) بيانات الصورة س1" MB4 51ل1/ثانية ع1" MB4 751/ثانية 5 اف1" EPGA + معالج PCB "= رئيسي
'ق1" محرك ذو موتور 'ر 1" وحدة تحكم حرارية لش 1" RFID I/F ات1" محور Y "I 5 موتور ذو خرطوشة "خ1”. مواتير ذات صمام 13" مواتير ذات مضخة "Toa سخان عينات 2" 1260 إلى الكاميرات تسلسل للتحكم بالمحور 7 عناصر تفعيل الكاميرا 0 "ب2" X708 ميجا مليون بيكسل Aol 'ج2' LVDS M24 24 فولط "2a" استقراء PCB 24" محرك فصل LED D/AX2 "23 5 27" محول 5 فولط (X DS90CR217 ( 14b-6lvds8 "2k" في2" "708 محرك محور 7 + بسلسة محسنة أو متعدد الهبوط وحدة تحكم ذات "JB 0 ك2" محول 303 فولط ل2" 4 LEDs عند 8 أمبير 24 مستشعر ان2". مستشعر صورة "س2" 3.3 فولط 5 ع2 تصمم 126 'ف2" عنصر تفعيل .. الخ
FS "2 =" ق2' لا 2 نعم 0 معالج 732 ذاكرة 4 محركات 2 ذاتي الإمالة 4 ذاتي التمركز 6 انتقاط صور allay إطاري لخطوط الليزر وتعديل مواضع خط الليزر Xy حسب الضرورة 0 1008 التقاط صورة TDI للمساحة الواضحة وتعديل موسع الحزمة لتحقيق إضاءة منتظمة 0 هل تناسق الإضاءة يحقق المواصفة؟ 2 قم بقياس نموذج التركيز بشكل متكرر 4 قم بقياس جودة الصورة والمحاذاة الضوئية. احفظ معايرات تعويض ميل الكاميرا 6 قم بقياس التشوه واحفظ معاملات تصحيح التشوه 5 1018 قم بقياس موضع بقعة التركيز التلقائي لليزر في 7 0 قم بقياس موضع بقعة التركيز التلقائي لليزر في X 2 التقط صور لتصحيح المجال المسطح؛ احسب فعالية Jail) الضوئي لنظام التصوير واحفظ معاملات تصحيح المجال المسطح 4 قم بقياس اختراق المرشح 0 1026 قم بقياس موضع مرحلة XY بشكل متكرر 8 قم بتسجيل كل النتائج على موقع التشخيص البعيد وتقدم بتشغيل متتالي
Claims (1)
- عناصر الحماية 1- جهاز فحص inspection apparatus يشتمل على: هدف ضوئي optical target يتضمن مادة مضيفة صلبة solid host material ومادة فلورية fluorescing material مضمنة في المادة المضيفة الصلبة solid host material يكون للمادة المضيفة الصلبة 43a solid host material فونون phonon energy محددة مسبقاً (HOS Tre جسم به جيب لاستقبال الهدف الضوئي optical target حيث يشتمل الجسم على منطقة تبييت موضوعة عند سطح علوي وتطوّق الجيب؛ و طبقة شفافة مثبتة في منطقة التبييت وموضوعة فوق الهدف الضوئي ‘optical target حيث يشتمل الجسم على قناة تحيط جزئياً على الأقل الجيب؛ تقوم القناة باستقبال مادة لاصقة للريبط بطبقة محززة grating layer حيث تشتمل القناة على مجموعة من جيوب تخفيف ضغط 0 موزعة حول القناة» جيوب تخفيف الضغط لتخفيف ضغط مستحث على الطبقة المحززة grating layer بواسطة المادة اللاصقة أثناء lee تصلب ‘curing process حيث تظهر المادة الفلورية fluorescing material مستوى طاقة أرضية مختار ومستوى طاقة تفعيل هدف (TE) target excitation منفصل عن مستوى الطاقة ا لأرضية بواسطة فجوة طاقة أولى تقابل طول موجي لانبعاث فلوري محل اهتمام fluorescence emission wavelength of interest «(FEWI) 5 يكون للمادة الفلورية fluorescing material مستوى طاقة تموضع أقل تالية next lower (NLL) lying بالنسبة لمستوى طاقة تفعيل هدف target excitation مستوى طاقة تموضع متباعد بفجوة طاقة ثانية 1711802 أدنى من مستوى طاقة تفعيل هدف target excitation حيث تكون نسبة :110/1101 هي ثلاثة أو أكثر. 2- الجهاز وفقاً لعنصر الحماية 1؛ حيث تكون نسبة FMEGY/HOS Trg تساوي أو بين أربعة وعشرة. 3- الجهاز وفقاً لعنصر الحماية 1 حيث تشتمل المادة المضيفة الصلبة solid host material على واحد على الأقل من زجاج؛ بوليمرات غير متبلرة camorphous polymers مواد بلورية cerystalline materials 5 بوليمرات شبه بلورية csemi-crystalline polymers زجاج معدني ؛ أو sale— 8 6 — خزفية. 4- الجهاز وفقاً لعنصر الحماية 1؛ حيث تمثل المادة الفلورية fluorescing material أيون من واحد على الأقل من عنصر أرضي نادر أو عنصر معدن transition metal element JE)5- الجهاز وفقاً لعنصر الحماية 1 Gua يكون للمادة المضيفة الصلبة solid host material طاقة فونون phonon energy قصوى أقل من أو تساوي 580 ba . 6>- الجهاز وفقاً لعنصر الحماية 1 حيث يكون للطول الموجي للانبعاث الفلوري محل الاهتمام fluorescence emission wavelength of interest 0 طول موجي مركزي عند أو أقل من حوالي 0 تناو متر. 7- الجهاز Uy لعنصر الحماية 1؛ حيث يشتمل الجسم Lad على عين نشر موضوعة أسفل الجيب ؛ تقوم عين النشر diffusion well باستقبال ضوءٍ تفعيل المار خلال الهدف الضوئي coptical target 5 تشتمل عين النشر diffusion well على قاع عين بها نهاية سطح تظهر انعكاسية لا تزيد عن حوالي 0م., 8- الجهاز وفقاً لعنصر الحماية 1؛ تشتمل Load على بنيات دقيقة مكونة على سطح واحدة على الأقل من الطبقة الشفافة transparent layer أو الهدف الضوئي optical target لتشكيل طبقة 0 محززة .grating layer 9- الجهاز Gay لعنصر الحماية 1؛ يشتمل Load على تغطية مضادة للإنعكاس anti-reflective 8ه مكونة على سطح واحدة على الأقل من الطبقة الشفافة transparent layer أو الهدف الضوئي -optical target— 9 6 — a الي L$ ¥., . Pa” 0" i y ¥ " “i oF | A¥ Ear PP a حك ارا ليت Ney SIN 2 i FY ا أ اش اح م YAN لاض ١ 9 ٍ pe ov a | م : - .£ 3 3 ١ 1 * 0 ّ : 7 3 > : : 3 0 71 م ا Nee ا ا : م ا A Fo EN ea ب اا ل ا Ae د 3 اين م 4 FES p % 1 * x: & & 3 8 الا ل ف 6 0 “أ ام ال لض ضر متم ىر رض / اس ل رك ترم ITE eS أ رك رم أ ل م ب م م و ري pa & died & ry لا دا را اا آم أ را SASS SSS SS Lg ; 2d hd 5 و م 0 ; & . ا آم ل مر مي ا را كنا ا Fad & Sy 3 م & اد A b dl FE ار وار بصع 2 ااا ا اا ' Ny L $= SoA Taw 0 ثم أن الي الي ا ٍ مساق المي ْ Ne Teel <r ERE | / Ny x % fis : a x id k 0 3 0 ال اليد Ro & ا > iN t شكل ؟!* ب Fad tr A A A ا ا ل RAR ARRAY = SNR RI ل BLN SSN ا SE NER BE SN YS NS RN re ® 8 HS ¥ 3 1 0 : ا H ¥ FPR as > = : Lo 3 * بال 1 3 ode WE ا & > ا 8 on م A اي 8 حب 1 :8 د H 1 حي 5 ok ؟ 1 i ee H 1 ا +8 No, 3 5 8 x 1 3 . aaa 4 H ; $Y Not : : » N لحنت ب ب 5 x 3 : ¥ : ٍ 2 أي § Sa 1 T H 3 i x § ال : ¥ : | 8 hs : : 3 k 3 4 Hy cE § : ¥ H : H ¥ ¥ 3 8 : : 8 ¥ B 3 bd & 1 § . ~ nen + : x x k <5 < ; N 1 1 ¥ pS 3 aa’ 8 % i N 1 8: SE 30: on 0 8 8 : 1 H ¥ 1 § Ng ba x 1 SEN : 3 ا 0 1 H 8 + 3 1 : § : H : + t HN 3 : : [4 ¥ § 8 H 3 : Se H 8 0 B 1 RB + H 1: i y 3 he r 1 § 3 ; 1 : be Fa 8 NERY ; t : x 3 8 LIA b Bi 3 8 ّ : ¥ 3 3 ب دا 0 جا ; + : % V ل : 8 3 ; 3 J. ¥ k 3 H 8 1 3 8 8 3 8 ٠ x ا ki iN H SIE: ¥y ; & Xd 9 : : So § 8 oR ; B J. iy i v ] i i RIA, ; 3 1 8 0 : : 8 + : § : BS 0 1 § § 0 : ¥ ; 3 : ا الجا 7# ؟: 1 H ا 1 H 8 : ¥ % 3 : » : : H ¥ : RESTRICT.J 8 3 k H H ; 0 : + x 1 H : ; 3 3 5 : ki Sec.R © ] ¥ ] حب : ¥ 1 0 : 1 : : [4 + 1 k Hl > ¢ J 3 RN 3 : A H ES ل 3 3 08 N 3 1 اي 1 ¥ : 58 8 الم 8 x 3 H = ; Fé : 8 H 1 § 8 ; 8 : Hl 3 3 H he : ل : N + 3 H ¥ i § 3 الا أل RB [ : H N TTT: H 1 ry % 8 1 H 3 بالل bs 1 3 3 ; HOR Hy 8 © 3 in ke > : 8 2 v ] ro k h 1 we H 8 v ] : bi Sone 08 8: 1 .: : 3 3 H Rn a Re eh ees Eh re I ae 5 3 ki § 3 ji IS b 0 1 Nod 8 Ned 3 ا ki 8 : + H : : A 5 [3 1 : : a 3 جِ Fo sug FAL ذا اللا SO . pS ل a bs yl إل اتا © 1 نا ¥ Eo 3 0 لو«»» 1 ا 8 : & 7 ؟ ال 5 8 : i 1 6 1 & ed i ين لي 1 ج : ES ¥ iS ¥ ¥ ج: H ابي ااه ري له an a لول اج جاه جا تجا لاوم Re A 4 وام يا sw RN AS باجا بو اجا جه ww RA Sd % ge اا wer 10 متيل ل *— 7 1 — التي م ٍ 0 pa 0 & “Ng, i ny 1 / /) / A ب م 5 A Fd vd ya 2 0 م Zs THF a 4 AA Ff 23 NR 7 EF Rd A & as i FE ما و FF Pe £8 ¢ yd | mod في ما A ~~ TN ب FRA wal’ J SUI 1 الا سا ا * = & & : # TR EN RL 8 ¥ § § نح لاا يا LES / AN إ لح ANY TSS JA er ١ و لجسل التي ااا ال اال my ص AST > ا الس 8# انج ل WHE SAY ; EAN ان EY Ws لسار SY Aa ل م الثم 07 اذى ره لاق فى لا MS الم م م ا Lh بس I~ wi A $e ih الك 2 : > Ko 2 Fd 2 4 J A & 7 ا : "7 a SS Ty % Fo Fre AS IS Ta & he EN م of BF K fot { ot ; mang tl (ar 3 £ & تاد اا fod Co 0 7 (= no aN ayy 7 NA HL 4 3 ا 2 3 ey & سخ (7 ~ 7 A Fa 3 ie, \ . $5 £ & rt at ak ~~ مكر/ر 3 سبلت 0 # & a, [aN 7 ا ا ارهن" زب اس 1 gE x § : 18 aTEs 1# diay, | TY Fred 00 3 3 8 pens % ¥ 3 Frm NY wy 0 a 0 tre, الل ا 3 : : : x 0 PEE TTT ل 1 “3 a ١ Sof | | ا : foods LRA 3 Keo RT TS TURAN: لاد تح تا : § TRE SITTIN BONNE ا ا IR Sa اد § FIR Te و الود ديج : ¥ YE § 8 3 PoE TIE, 1 § EE NI 3 ¥ Rega ES i : ig 3 I ICL E J NAN i Ed fy : TTT ER sed § RE EIR 7 الام قد ¥ JUNE § LEE 0 ال 4 دح : 1 اج : 3 Son Hy RI Ny FE SNC EE Anadis i LOE § ١ 3 ال RR الات امنا 1 ne : 5 il A AANA NASA AD "م > جب . 4 * 0 ¥ Fo ee ag ف 011111 8 4 7 3 & 8 8 : 1 »م ٍ ا اا 1¥ K 5 ل ANN ا } Ela IE نأ is RAY § i] hi 3 Vee ابل تام 7“ : ل 3 5 8 : 1 LEE Cd } . + We wo BE اا مس 5 5 * يأ k % ¥ ¥ £ Menon I 1: ان 3 + 0 I A A i, re a SNF 0 & 3 one x 8 : : :. HN 1 SX : : i 1 EE لمسويي. ا : \ 8 Ry kL: N 5 H Na S$ ل : 0 0 $3 3 #45 0 : 8 1 8 FS Nm Tad © iN a. 59 ليلا : <> 3 3 يور جدود يها 1 ممم aac مسح N § 5 % Tr ¥ 1 اشر : 8 ب 1 . 1 3 CIE i! Cos ) شيا A LAS + يخ ف« : : قي 4 Bt FRUIT: SOVIET SA § 23 i bd المح ه١ ٍ 5 i “8 i 2 . Yr VEY 1 ا E Yo. £ 3 1 3 ¥ ¥ FE wa ¥ ® 8 3 0 EY § 3 oR NTI # ER & YN Se § لج ms rs 3 Ro ALARA LA EEA AAS - احا AE AE AN : 8 ¥ x hls 5 5 ب : : § TE EA VE اللا الخ 0 الو الج ااا أ سا i KAT 3 te Rt A eed ne § ; § 3 ك3 : : 8 Che" 8 * ا عم وسيسسسسس ْ Ex tess BEE ْ ادك 85 ال : : ٍْ 7 1 ا i 0" المسسسسا A Y A t 3 'ْ — ض اب | Jon 3 الا انُه أو سس EY ااا 0 يسيسيسس , a eee FAR : SE سه SA سباي Lf AF لاا a سسا LF pe ل الس ا ب ل اا مع لم حص دم طق وفيا 1 TAY يي تق ل تو ا اد ند لذ د اذ الور ات 0ل : ان 5 ا Fo ae : ب mm = 4 ¥ NESE 5 ' : : ْ i" Po | : ; شكل ¥ =٠ 7 4 ٠ ro yy Yi yy rosin eis ب 1 OAS NRT. 1 ل ' 3 WAN 1 يؤرلا سح ba ¥ i | aL ل ا ae EE Ne Sore ; : + ¥ ®Yr. | : ¥ § § SA ب" ) #سن 0 Rak 0 :ٍ | إٍْ & SEE NRE N LSE EY SEN a مج جح 1 ¥ 1 سبي ل ف ¥ &YE. 2% i 18.5 oe? a ® tise 1 ا ْ rox al Fa ¥ Y ٍ ين ved و١ شكل x 3 4 م3. مدت لتم ردت لت لوقا لاقو اااي EE rrr 2 الحم AOR aaa aaa don a mes mes eee omen sees Caan alain Ana aan anaes aan هج TT a ER naan ER rn an EE nn Rn RR RE an SRR rR an ER nd A : 8 1 H wv Eis الم & J i . in . 3 Tp Fomor i DO II Ce : 1 EERE i ‘ 1 ا حي لل 1 : : ١ 0 Lee B50 EH i SE re Sr en Se Re Pee i eg جا SE SETTLE § EEE i wd i 1 : مسن ا i RARE FREI RS TT Pod ks a { On FR a : A : H [J « ou ¥ 1 i peeaild 85 6 اج REE 8 8 ا ل 1 1 1 tins gg 1 H le 5 : الا لاسي ا EE ¥ 5 gd NB An RRR i 8 R Norge |? HIER 11: جا اد خية H H Fy FN Fd Aa 17: بج ا جما 8 ES Pid Borer ig ال 58 , i 1 0 ب ميا الاي م 383 co nt we aid 1 H EIR + + RRR RAL aaa ا عي SS لا المح 3 3 H bY bl x be HE ERA A) N 1 LEE ] > NE Sh Fc Hi 0 ا ا ا 3 <3 wR : i Hl 1 تح 0 aa VEY ERE TE - ; 8 HN ® 8 | 7 ا ANSE ييل 3 HE 3 8 م . ee { HN 1 ف > ES Yo 3 58 c AN ب" 1 LE ar ب" ب ل i £ H i ie ا soso - semen إٍْ 1 | بي 3 3 by H ; 1 N [ENE { Fag i 3 13 Ra + i 8: § 8 i WARY 3 SWE 1 1 0 i { POE و i EI . 1" 0“ 0: *ٍ i H 1 1 EA SER i N i i i 1 i Sh i 1 ا : إْ Lo 1 i | 1 } Pod 0 اوس 1 i i Pod 1 ES | ] i * HE AE CARAT TT مس بالسمسللسمس سس SET +13. ania cata الاج 1 ] ب8 8 Bi HEEA . Ap ok ; : الت اا ا ا ا ROUT ااا ااا RTO Fk 0 3 EY I الا FE 9 احا 0 : 3 4 1 ا 8 3 H : : : : SN 3 : § ; ل 3 £3 58 i : 3 ; 1 § 3 : 1 : : 2 31 A. i : : EX Hy : : ; EE : ل : : 108 4 3 3 8 : EI 3 4 1 3 : i 1 3 8 ; k : 3 “8 3 k د 3 2 3 4 RE لاست حي بالا الح للحا ااا حت ست يت الل TURN TES تكسن محر SLCERRE جين “SERRE: SEN ايحي لدت اللي ل hy 8 : 0 2 Sh ا 3 : i ; + ; EO k Aa we 1 * joi 1 Eben id 3 3 ny: Xe Wn 2 3 نه يي ص 8 : ؟ 3 بن :30.2 ابن 0 TE ين لبد المح HK} a : علا 2 : 1 | © 0 0 3 he] 3 as : § : R ؟ + : يي 4 8 10 : 5 : 2 3 3 ؟ 0 4 3 < 8 Ni : ES 4 هذ EE 3 ؟ TN: دا x » j oe : a RF oe i 1 Eos 2 BE { x : ا «»ك : قا ES 1 FF ابا 0 0 ا : ل 8:3 جل = 3 يد 0 0 ES “bok yo : ; ; ا 0 i م ل ريج ب : ؟ . : Xf # : : ل 8 : Lo 0 > : : he ا ¥ : i i : + Ja ةق ا > 3 4 8 EF 3 Ba 3 1 : gx 3 ; 3 : 3 ؟ g : £ 3 N : be : i : 1 1 0 : 3 § 3 3 ; : 8 : : ا ؟: 31 0 0: 4 Soh Ly 84 0 cro Bash J: EE: CG EER: WET. SRN, JU: EN bd الححنت 3 8 3 3 : ٍ ا ل 9 ا > od 1 ا RX 5 3 : ; ا : 1. 1 : ا ¥ k 8 : ; RF : ا k 3 3 8 3 0 1 N : ؟: SE § FE 3 : ; SE ؟ & : 8 © : :؟ 8 8 ؟ 801 3 8 : ْ ب ليد ندا با ؟ Sos ee R 00000 i wr 0 5 جحل جد سحت جد لاحر : ee SL SERS IA Maa a a at : RAMA SY ا 1 امم : RRA ا ا ل : : 1 © 8 5 8 : 5 1 & : ps 8 3 Ra 3 ] ge اجاج : 6 io oti Rds a 5 us 1 ع جايح مم ال تت ا ل ا ا ا ال ا حا احا ل تت اح 0 TE A 8 نا0 . 88 § 2 k ob Bs ATS JE TTI. TE STUUR. JL UO SOOO UU FUUUE IU AOUUUC SY SUUUCtTUUUUTUR SONY 4 1 3 ; RIN § 5 3 : ٍْ : 3 5 33 اجو § 3 Y 0 ب 8 إ 3 البوإلا 8 8».رت : : ٍؤ لس 3 4# اا Ea AR RN : 3 جد SARE EA المج م - IE 2[ * % 8 % : 07 1 ٍ ميد ]3 i 5 ; : : ا :ْ ا ع 52 ; EI ال ا 37 )1 NE EI دا بالتتسفستسسسسسيسيس تقر الا E 3 ow Ze ; اس ¥ & > Fem ; go a م E ose EY = ب 0 تب ب 1 : k “a, ا" 3 = PR Cn an يبيب يي 0 يقي احا نك = جب لين FF اجييسسسسسسس متسيس اجسس تسو سان انار ا تن i * Ca g: نهد ب § 8 اما NE EI ا i [ELT IN ب مدير 0 0 STTREEN—— obi aie Ho ل ل w (: ا ا ال 1 08 ty FY 3 ل ] Rh x E BEERS | 1 i ا :ْ 3 k ¥ 3 § et : إٍْ : : 1 AE : Smt 5 وو i 1 : ص + أ سس عد pm مد أ Low ERA Sf ! ا ل ا ا RR 43 3 bo 1 0 0 يذ 0 ; 1 i | 3 3 : الم زر حمطا een حا pL Rl لت للح د EY ¥ La aps Lo EE N 3 k | 3 ْ ' 1 : ٍ : 4 أ ا“ | oes > اا جوج جا امول جب باج جيه امجح مجح جح يج RRNA جججججه جم Sas hE a لمججب مج مج جل + Lo > & adh x نا ابن مكل أن8 5 يي £3 BF يداي ER سس الت ااا الكت ال د اتاد اتاد الا 3 E ١ k 3 N 1 8 RS E R 3 3» = Ny k 8 pi N ¥ 3 N E ; 3 N ] § ¥ ¥ hy g R 3 3 4 0 BN E R 3 8 & 1 ٍْ : } Temi EY S00 N k 8 8 Too RAR A EA & On N k k 3 3 : Ta 1 : i N 1 اي وت لحت ان نا لمم الل حي ال مستت دي مستت ده الس دحت الح ل RS g R bh} 5 > 4 N E E 3 3 Le * N : ; N N ¥ N k 0 "ع 8 N ان 0 : £5 % § اي ؟ N E 0 3 N oF x N k م k 3 تن ؟ : N : 2 oF ; N § ] N : 2 : N NE 2 N : 8 ; N 3 ¥ © N k ry : 3 aN x Xx N g k 3 3 1 4 & 8 CN Sissies sa ond oan x وجح الح اتح لحو ات لاح حا تججج< 2 Ex: x § 4 0 : ; NES : 1 لت 8 8 N E ; ا H Bd & ‘ol N ; 1 : : i * FR a و ٍ ل § k NN 3 ¥ المي AEN N : : Ra N i 3 a 3 k x R م 9 2 Ek So BN E 1 9 3 ¥ ie 8 : ب k . بس ٍ 3 م ؟ مكح ¥ 3:5 8 ا # 8 N : k N 8 i oe - EL Sa: CME LU Ui داكي a SE awa N k R oT 3 3 + ال 8 N E Rk لايع + 8 ا E k ose 8 w hy E 5 0 3 3 » 3 1 ٍْ ا ERE I i Sr ا N E ا SE YP N 3 نح N ; Sees pk ¥ N k 58 mv 3 N : : ES vp i 0 ٍْ 1 Fee 4 ا مسح ا : - N - : 3 cobain 0. الا ¥ I 1 RI mn 20 indy ل ee 8 تي : اح ال ال ا ل siti د 0 N 1 H ; 3 ¥ + + 0 3 AAA N E 8 « Bp الح عي RK SE soe 2 2 0 الاك ات الات ادا حا 5 N ; ; : Lr N : ; : 1 ال 1 ٍْ : { 0 i £33 hy g R y 8 3 hy E R 3 3» د hy E R y 8 = hy E R 3 3» py. hy E R 3 8 = hy E R y RN} = 8“ ًّ R bs 8 = a 3 : : N Ny i ® ; Reeves 3 : SR x oa % } : : ااا با 3 8 TE TIE Sr SE SE 5 TE SE ةا تا ا A اج i 1 RI RR el ie ea عع ع مووي جو وو i,hbilnniini § $0 8 8 BoE R نا Ey مما EP ot se FE RE اي gD + wo - EICERRRRe 3 8 ب ¥ 5 RSIS 3 eB المسسسسسسسس ا ا سسسسسسمل g Breve ال ا Fi GE oy ] حا خاي og ok + RoR ل اح أن ل ا ا AA AA AANA ES جيب 3 ل SN | IX ees) 3 8 : REN Fo SNE 3 REY جات ؟ NH تتت تت تت تحت توت حت تحت سسحتت تلن SSS 8 88 2 RE x خا Foy امم جه جه جه مجه الس أ لت ل لل ا A ام د ات تح لل ا لجلا 292د»ا لجح دج اج باع Nee بلاج لمك 8 ع ال ان # ل كل٠ 7 9 ٠ باد #4 الخ وى ل ْ نتم 3 Ln “0 1 \ #0 : = a {EERE 3 SE 7 اانا $ BRR BN) i : Ey 8# = = To Wo 8 9 & 8 ES oe # Tw TR Ey } " ٠ ' NE ER !للخ *#دد»ه« د« با ا« & By #*# NE NC Lg : . : on, Ey [ : 34 i 2 >84 i: % ¥ 3 ا Iv شكل 1 AST Fahad EE ب وا لني 77 ل ولا 8 0 ¥ : مس يس سي سيا 1 Lo ا#ي*# IRR ie wi | * t 2 و.لتها le al a wl a WW wa B® NEE BE NE Sh أ > - ا الل ب ا ا ا ْ #داجة »#ء هه Bm ا« « BRN ل ا “147 8 * fe شكل “ب EL A W 3 i ب TAY سن 8 ف TAF ni 3 Fi 0 ساس لسو ا نا 0 0 دعن ا a Vint ا Ye tae de tse a ١ ْ ليتنبتبسسسسيني با a 10 0 اما & شكل 1ج— 0 8 — Faw 1 0 ملا ا م 8 ل LE ¥ Ve RO & + ¥ : اي ke 4 : x محم ا Ew هي ١ .مي NE A ا | اليا اد نم سس << << ين i 1 : ْ ا Uwe : 1 ; ERECTA ntl : & Cp ¥ 8 | | | :سسحت H N بي 0 BEE الس :ْ re الال 1 “بسب OW : | ا ee : ا قي [1 oe RENE JO ْ يها بلاس er Cd IN VA | | مسا ِ ممست :ْ سي BE SOU Sp J ب أأسببسس ا ٍْ ل ا ل "" k a E 5 ال د + 3 ١بلاسايه ا عنس \ of تلأس اي 8 JR EY; 0: الي ا I IIs aS 3 iro ححا I V A: So vy حت م ريي NR SA Pr YN ار ااا ااا لاسا الل اللا ا & يي بلالا شكل أ ألا امم ti ل sa OY ١ } ” ye 1 ١ ; d % 0 3 oF 0 . ال 0 م سلس وا ERI x - 3 : م 8 الأ" أ رض * لخ سل ول Ref % & : 1 الس الل hd Po 1 ol Soy 2 roa 1 * 5 3 سم اروم ها لا اث عض اا + © £3 ES : لما 0 !] : في ان SE JR BY حم ل ال Wg 1 ب Ei ii Se C1 8 1 م نأ أي i $F RIE 0 | يخ Nett SERRE ب : 6 د ص ا ريا 1 7 FE 3% 3s Jv ال LL . SE ER SE 55 we” i: % 8 ال بت 1 تعن ا امسا سس 0 رهسا متت ترا ا ا ا دFri الي ١ : 0 2 ب م i": 5 0 م - 8 AAA NAA A AANA A AAR ب ْ & dd CRE } ا احا ا اس 1 3 8 ER vg RE 0 لل كم سد AA ججح جا الس اس ik go N ا )' Pay dd EE i WR سي ّ إ مطل ا sg] ; pS i Co ا 1 | | 7 rl سدح اع اح : ابا السط حي Po :ل 0 0 : a mdf Ri ITI, i lt NT... i bod % iin boa الي ون تايا ا ل 4 ال اج اا ف Somseaad مجحب 0 1 I 3 Ty لجس ميج i aw Ha ; 3 8 ol : 0 ا قا أ لا 0 Ea: 7 SAN TE EE EE I ها # ا a > x 1 ْ > I yg i Vid : a) A : ; ERR اححدت تت اد ". 0" k fining د ننس ' ا ا ا 4 mm . nN ARAN NIA NA wl” a | IN aaa اجر ل:« 3 : Pow 1 1 ios yy N bl H ! \ } 1 i i i i a 1 م 8 ا 1 Ea 3 SESE, JEU 1 ا ْ ss عجر ملا ْ | : THT ; H اليل ايليا REN : N RE] 3 [I — | Th kg Hl ep grea 3 ; sansa N 1 : ; ب i a N Tr ; 0 8 3 ve 3 Freres 0 i : 3 25 H 3 asp 8 Cd 1 ب" ْ جب 1 يجنا الس يا سح . ii انم ا ا 1 : لاك | اليا الي اال : > Bl 1 سح ا لعا Dp الك 3. sad 1 ! : : HE Fors > ; لإا a a ممسسسشة 1 oF 8 1 1 8 oR FERRER 1 EAN df 1 ا نر ل يخ ا الم ليست 0. ّ حي اجو ا Sanat A 310 1 EN § 1 ١ّ Xo - 1 با سي ey aah Nea : "١ 1 Vm ; لبر ا a ال 2a ee 3 3 na L LER" J 1 احم << اا ا Trg | aaa ات سسسب انس Bed اله 3 حو ااام 3 NLL FI. — 1 1 ا ا tg i ROE الال EN اا ل الجا الي 3 3 :1 نكا i SEE {I م 1 i i | i 8 ؟ © i 8 ؟ SI i § 8 © § uF \ 3 8 FE EEE UVES SFU.SW شكل؟LIT LN. ا 4 را لاا ا اا اا تجح يت جيه اس اجاج ‘ i H 2 اا SN ER و تت تت د ل ل اا aoe R 4 { : ا 1 Fi i ليطا ومسب 1 i Boman N N > 1 ال SOR | ECU Hy i : 1 1 : : 8 N > و جل 3 امات ا ا ا ‘ 3 i FEN 3 RE 3 i lt : i الوه تا ست ع حا ا 3 3 Ray 3 : 3 oy 4 3 ؟ 1 TN # x اتيت اا ب يس أ ب Aa ARE الس د : أ ا ا ا اا ا ااا اااEo. N i vod 1 3 ios 3 + bE 3 : ححا الماع wi % 3 ا 1 : : الحا امسا ا vod 0000© EUR SUR OS TR |: i الممطم شت الج ججح جحت جات ناا تا اا جا 1 ١ 0 8 LIE A ¢ “ i ce 8 الل * و 8 J SEA: ST, x, RA AAA AAA AA AAA ARRAN FRAT 2% E = 3 : : i { bo pees {Ey i i اا IE bated Cae E id 3 3 0 3 3 Lo Lod i ا ال لحت احج الت تجلا 4 4 H > 3 ل i 8 3 t § i i : 5 3 TR 1 : omnis moses bins sss § i 1 الا اا i { R : § { : شكل ٠٠١لاله الهيلة السعودية الملضية الفكرية ا Sued Authority for intallentual Property RE .¥ + \ ا 0 § 8 Ss o + < م SNE اج > عي كي الج TE I UN BE Ca a ةا ww جيثة > Ld Ed H Ed - 2 Ld وذلك بشرط تسديد المقابل المالي السنوي للبراءة وعدم بطلانها of سقوطها لمخالفتها ع لأي من أحكام نظام براءات الاختراع والتصميمات التخطيطية للدارات المتكاملة والأصناف ع النباتية والنماذج الصناعية أو لائحته التنفيذية. Ad صادرة عن + ب ب ٠. ب الهيئة السعودية للملكية الفكرية > > > فهذا ص ب 101١ .| لريا 1*١ v= ؛ المملكة | لعربية | لسعودية SAIP@SAIP.GOV.SA
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US201762443675P | 2017-01-07 | 2017-01-07 | |
| PCT/US2017/065606 WO2018128753A1 (en) | 2017-01-07 | 2017-12-11 | Solid inspection apparatus and method of use |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SA518400565B1 true SA518400565B1 (ar) | 2021-10-26 |
Family
ID=62782869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SA518400565A SA518400565B1 (ar) | 2017-01-07 | 2018-12-02 | جهاز فحص مادة صلبة واستخدامه |
Country Status (17)
| Country | Link |
|---|---|
| US (3) | US10261018B2 (ar) |
| EP (1) | EP3535567B1 (ar) |
| JP (2) | JP6651656B1 (ar) |
| KR (2) | KR102304495B1 (ar) |
| CN (2) | CN109313136B (ar) |
| AU (2) | AU2017390166B2 (ar) |
| BR (2) | BR112018077001B1 (ar) |
| CA (2) | CA3166392C (ar) |
| IL (2) | IL270722B (ar) |
| MX (1) | MX2019007948A (ar) |
| MY (1) | MY196658A (ar) |
| NZ (1) | NZ767004A (ar) |
| RU (1) | RU2701875C1 (ar) |
| SA (1) | SA518400565B1 (ar) |
| SG (2) | SG11201811333RA (ar) |
| TW (2) | TWI772752B (ar) |
| WO (1) | WO2018128753A1 (ar) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11255793B2 (en) | 2017-03-20 | 2022-02-22 | Mgi Tech Co., Ltd. | Biosensors for biological or chemical analysis and methods of manufacturing the same comprising a plurality of wells formed by a metal or metal oxide layer |
| CN118045644A (zh) * | 2017-09-19 | 2024-05-17 | 深圳华大智造科技股份有限公司 | 晶片级测序流通池制造 |
| US10859371B2 (en) * | 2017-11-28 | 2020-12-08 | Koh Young Technology Inc. | Apparatus for inspecting substrate and method thereof |
| TW202138867A (zh) | 2019-12-06 | 2021-10-16 | 美商伊路米納有限公司 | 提供參數估計的裝置和方法 |
| TW202138866A (zh) | 2019-12-06 | 2021-10-16 | 美商伊路米納有限公司 | 從影像中估計值的裝置和方法 |
| RU2752577C1 (ru) * | 2020-12-30 | 2021-07-29 | Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство здравоохранения Российской Федерации | Устройство для тестирования и настройки системы визуализации микрообъектов и способ его изготовления |
| US20220252514A1 (en) * | 2021-02-10 | 2022-08-11 | Star Voltaic, LLC | Fluorescent solid-state materials for optical calibration and methods thereof |
| US20220280935A1 (en) * | 2021-03-05 | 2022-09-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | System and method for detecting biomolecules |
| WO2023239917A1 (en) | 2022-06-09 | 2023-12-14 | Illumina, Inc. | Dependence of base calling on flow cell tilt |
| CN117250207B (zh) * | 2023-11-17 | 2024-01-30 | 四川睿杰鑫电子股份有限公司 | 一种柔性电路板检测装置及检查方法 |
Family Cites Families (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1518678A1 (ru) * | 1987-07-22 | 1989-10-30 | Предприятие П/Я Р-6681 | Инвертированный микроскоп-фотометр |
| US6242114B1 (en) * | 1994-07-05 | 2001-06-05 | Optical Coating Laboratory | Solid fluorescence reference and method |
| AU3963595A (en) * | 1994-12-08 | 1996-06-26 | Molecular Dynamics, Inc. | Fluorescence imaging system employing a macro scanning objective |
| US6891627B1 (en) * | 2000-09-20 | 2005-05-10 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Methods and systems for determining a critical dimension and overlay of a specimen |
| US7011794B2 (en) | 2002-11-25 | 2006-03-14 | Immunivest Corporation | Upon a cartridge for containing a specimen sample for optical analysis |
| US20070014694A1 (en) * | 2003-09-19 | 2007-01-18 | Beard Nigel P | High density plate filler |
| US20050079102A1 (en) * | 2003-10-14 | 2005-04-14 | Staton Kenneth L. | Interrogation apparatus |
| JP4445745B2 (ja) * | 2003-11-21 | 2010-04-07 | オリンパス株式会社 | 内視鏡装置 |
| DE102004047593A1 (de) | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Referenzkörper für Fluoreszenzmessungen und Verfahren zur Herstellung desselben |
| US7355657B2 (en) * | 2004-12-14 | 2008-04-08 | Coherent, Inc. | Laser illuminated projection displays |
| DE102005049364B4 (de) * | 2005-03-18 | 2023-05-25 | BAM Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung | Multifunktionelle Kalibriereinrichtung und Kit sowie ihre Verwendungen zur Charakterisierung von Lumineszenzmesssystemen |
| EP1904826B1 (en) * | 2005-07-14 | 2019-02-20 | Battelle Memorial Institute | Systems and methods for biological and chemical detection |
| KR101206031B1 (ko) * | 2006-01-25 | 2012-11-28 | 삼성전자주식회사 | 변조 가능한 외부 공진기형 면발광 레이저 및 이를 채용한디스플레이 장치 |
| US7829162B2 (en) * | 2006-08-29 | 2010-11-09 | international imagining materials, inc | Thermal transfer ribbon |
| WO2008052667A1 (de) * | 2006-10-31 | 2008-05-08 | Bayer Materialscience Ag | Verfahren und vorrichtung zur detektion von fehlstellen in einem transparenten festkörper |
| US8410446B2 (en) * | 2007-02-02 | 2013-04-02 | Hitachi Metals, Ltd. | Fluorescent material, scintillator using same, and radiation detector using same |
| WO2008136812A2 (en) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Fluorescence detection enhancement using photonic crystal extraction |
| TW200940684A (en) * | 2008-03-10 | 2009-10-01 | Nikon Corp | Fluorescent film, film-forming method therefor, multilayer dielectric film, optical element, optical system, imaging unit, instrument for measuring optical characteristics, method of measuring optical characteristics, exposure apparatus, exposure met |
| GB0904934D0 (en) * | 2009-03-23 | 2009-05-06 | Geneseqe As | Method and apparatus for detecting molecules |
| US8803332B2 (en) * | 2009-09-11 | 2014-08-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Delamination resistance of stacked dies in die saw |
| JP5839648B2 (ja) * | 2010-04-27 | 2016-01-06 | 株式会社日立製作所 | 太陽電池を用いた発電方法及び太陽電池発電システム |
| KR101799518B1 (ko) | 2011-05-03 | 2017-11-21 | 삼성전자 주식회사 | 형광 검출 광학계 및 이를 포함하는 다채널 형광 검출 장치 |
| US20130015651A1 (en) * | 2011-07-15 | 2013-01-17 | Honeywell International Inc. | Luminescent phosphor compounds, articles including such compounds, and methods for their production and use |
| JP2013205015A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Hitachi Ltd | 光検査装置およびその方法 |
| CN204832037U (zh) * | 2012-04-03 | 2015-12-02 | 伊鲁米那股份有限公司 | 检测设备 |
| DE102012106890A1 (de) * | 2012-07-30 | 2014-01-30 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Dreidimensionale Darstellung von Objekten |
| CN104781729A (zh) * | 2012-09-17 | 2015-07-15 | 麦考瑞大学 | 增强稀土掺杂颗粒中的上转换发光 |
| CN103063650A (zh) * | 2012-12-17 | 2013-04-24 | 江汉大学 | 改进的原子基态能级检测装置 |
| CA2930802C (en) * | 2013-08-28 | 2017-01-17 | Illumina, Inc. | Optical alignment tool |
| US9993819B2 (en) * | 2014-12-30 | 2018-06-12 | Stmicroelectronics S.R.L. | Apparatus for actuating and reading a centrifugal microfluidic disk for biological and biochemical analyses, and use of the apparatus |
| CN104614347A (zh) * | 2015-01-04 | 2015-05-13 | 中国科学院物理研究所 | 一种半导体材料能隙中间态能级的测量方法 |
| US10018571B2 (en) * | 2015-05-28 | 2018-07-10 | Kla-Tencor Corporation | System and method for dynamic care area generation on an inspection tool |
| US9816941B2 (en) * | 2016-03-28 | 2017-11-14 | Saudi Arabian Oil Company | Systems and methods for constructing and testing composite photonic structures |
-
2017
- 2017-12-05 TW TW109105493A patent/TWI772752B/zh active
- 2017-12-05 TW TW106142546A patent/TWI689720B/zh active
- 2017-12-11 JP JP2018566892A patent/JP6651656B1/ja active Active
- 2017-12-11 KR KR1020207012270A patent/KR102304495B1/ko active IP Right Grant
- 2017-12-11 KR KR1020187036987A patent/KR102107210B1/ko active IP Right Grant
- 2017-12-11 MY MYPI2018002644A patent/MY196658A/en unknown
- 2017-12-11 RU RU2018145068A patent/RU2701875C1/ru active
- 2017-12-11 WO PCT/US2017/065606 patent/WO2018128753A1/en active Application Filing
- 2017-12-11 CN CN201780039055.5A patent/CN109313136B/zh active Active
- 2017-12-11 IL IL270722A patent/IL270722B/en unknown
- 2017-12-11 BR BR112018077001-9A patent/BR112018077001B1/pt active IP Right Grant
- 2017-12-11 CA CA3166392A patent/CA3166392C/en active Active
- 2017-12-11 BR BR122020025291-0A patent/BR122020025291B1/pt active IP Right Grant
- 2017-12-11 CA CA3022953A patent/CA3022953C/en active Active
- 2017-12-11 NZ NZ767004A patent/NZ767004A/en unknown
- 2017-12-11 SG SG11201811333RA patent/SG11201811333RA/en unknown
- 2017-12-11 EP EP17890531.1A patent/EP3535567B1/en active Active
- 2017-12-11 AU AU2017390166A patent/AU2017390166B2/en active Active
- 2017-12-11 SG SG10202011202RA patent/SG10202011202RA/en unknown
- 2017-12-11 CN CN202010219231.7A patent/CN111323402A/zh active Pending
- 2017-12-11 MX MX2019007948A patent/MX2019007948A/es unknown
- 2017-12-11 US US15/837,901 patent/US10261018B2/en active Active
-
2018
- 2018-10-31 IL IL262705A patent/IL262705B/en active IP Right Grant
- 2018-12-02 SA SA518400565A patent/SA518400565B1/ar unknown
-
2019
- 2019-03-01 US US16/290,332 patent/US10830700B2/en active Active
- 2019-08-29 AU AU2019222891A patent/AU2019222891B2/en active Active
-
2020
- 2020-01-22 JP JP2020008355A patent/JP6920485B2/ja active Active
- 2020-11-04 US US16/949,572 patent/US11442017B2/en active Active
Also Published As
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SA518400565B1 (ar) | جهاز فحص مادة صلبة واستخدامه | |
| US7714303B2 (en) | Methods and systems for analyzing fluorescent materials with reduced authofluorescence | |
| KR100822365B1 (ko) | 아세톤 평면 레이저 유도 형광 기법을 이용한 유동장 내의 유동체 농도 분포 측정 장치 및 그 방법 | |
| CN103712125A (zh) | 光源模块以及分析样品的分析仪器 | |
| US8895941B2 (en) | Laminated glass sheet depth profile determination | |
| CN112088298B (zh) | 使用光致发光光谱的用于oled制造的计量 | |
| RU2800574C1 (ru) | Способ настройки оптического детекторного прибора | |
| NZ747901B2 (en) | Solid inspection apparatus and method of use | |
| Razgoniaeva et al. | Improving the spectral resolution in fluorescence microscopy through shaped-excitation imaging | |
| Lizotte | Reducing beam shaper alignment complexity: diagnostic techniques for alignment and tuning |