RU99106815A - Способ обработки поверхности твердого тела - Google Patents

Claims (5)

1. Способ обработки поверхности твердого тела, заключающийся в том, что в рабочей камере, где установлена обрабатываемая деталь, создают вакуум, в газоразрядном промежутке зажигают разряд в импульсном режиме и осуществляют различные виды обработки поверхности детали в заданной последовательности импульсными ионно-плазменными потоками и/или импульсными потоками нейтральных частиц, отличающийся тем, что после окончания обработки поверхности одного вида обеспечивают переход к другому типу разряда и соответствующую обработку поверхности, причем при обработке поверхности при каждом из типов разряда значение плотности мощности разряда выбирают в числовом промежутке, в котором зависимость скорости процесса обработки от плотности мощности нелинейна.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что импульсные разряды являются комбинированными, образуемыми наложением на разряд на постоянном токе разряда импульсного с крутым передним фронтом, при котором время нарастания импульса составляет не более 10 - 15% от полной длительности импульса.

3. Способ по п.2, отличающийся тем, что для перехода от одного типа разряда к другому изменяют напряжение и плотность тока разряда соответственно в пределах 20 В - 100 кВ и 0,1 - 10⁴ А/см².

4. Способ по пп.2 и 3, отличающийся тем, что переход от одного типа разряда к другому осуществляют с помощью магнитного поля путем изменения его напряженности в пределах от 0 до 5000 эрстед.

5. Способ по пп.3 и 4, отличающийся тем, что в процессе обработки поверхности при каждом типе разряда устанавливают время импульса в пределах 10^-8 - 10^-3 сек и частоту следования импульса от одиночного до 10⁶ импульсов в сек.