Claims (2)
1. Полупроводниковый датчик давления, содержащий пьезомост, сформированный на упругой мембране кремниевого чувствительного элемента, к которой приложен измеряемый перепад давлений, каждое плечо пьезомоста включает хотя бы один тензорезистор, плечи объединены в общей точке, подключенной к нулю или напряжению питания датчика, причем в ней сходятся тензорезисторы с разными знаками приращения сопротивления при изменении давления, каждое плечо имеет измерительный выход от другого вывода объединенных в общей точке тензорезисторов и вход питания, а также термокорректор, имеющий два вывода опорных напряжений с различными температурными градиентами и дифференциальный усилитель сигнала давления на операционном усилителе с резисторами, отличающийся тем, что для каждого плеча пьезомоста введен управляемый источник питания плеча, выполненный на операционном усилителе, инверсный вход которого подключен к измерительному выходу плеча пьезомоста, прямой вход подключен к одному из выводов опорного напряжения термокорректора, а выход - к входу питания этого плеча и к одному из входов дифференциального усилителя сигнала давления.1. A semiconductor pressure sensor containing a piezoelectric bridge formed on an elastic membrane of a silicon sensor, to which a measured pressure difference is applied, each arm of the piezoelectric bridge includes at least one strain gauge, the shoulders are combined at a common point connected to zero or a voltage of the sensor, and in it Strain gages with different signs of increment of resistance converge when the pressure changes, each arm has a measuring output from the other output of the strain gages united at a common point and the input a thermocorrector, which has two outputs of the reference voltages with different temperature gradients and a differential amplifier of the pressure signal on the operational amplifier with resistors, characterized in that for each arm of the piezoelectric bridge a controlled power supply of the arm is made, made on the operational amplifier, the inverse input of which is connected to measuring output of the piezoelectric bridge arm, the direct input is connected to one of the terminals of the reference voltage of the thermal corrector, and the output is connected to the power input of this arm and to one of the inputs differential pressure signal amplifier.
2. Полупроводниковый датчик давления по п.1, термокорректор которого содержит операционный усилитель с резисторами и термомост, один измерительный вывод которого через резистивный делитель соединен с прямым входом операционного усилителя, а второй - через резистор с инверсным входом, отличающийся тем, что между инверсным входом и выходом усилителя включен резистивный делитель, отвод которого является первым выводом термокорректора, а выход усилителя является вторым выводом термокорректора. 2. The semiconductor pressure sensor according to claim 1, the thermal corrector of which comprises an operational amplifier with resistors and a thermal bridge, one measuring output of which is connected through a resistive divider to the direct input of the operational amplifier, and the second through a resistor with an inverse input, characterized in that between the inverse input and the amplifier output includes a resistive divider, the tap of which is the first output of the thermal corrector, and the output of the amplifier is the second output of the thermal corrector.