RU99105210A - Геттерный насос, используемый на входе турбомолекулярного насоса и расположенный соосно вблизи него - Google Patents
Геттерный насос, используемый на входе турбомолекулярного насоса и расположенный соосно вблизи негоInfo
- Publication number
- RU99105210A RU99105210A RU99105210/06A RU99105210A RU99105210A RU 99105210 A RU99105210 A RU 99105210A RU 99105210/06 A RU99105210/06 A RU 99105210/06A RU 99105210 A RU99105210 A RU 99105210A RU 99105210 A RU99105210 A RU 99105210A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- getter
- cartridge
- pump according
- getter pump
- getter device
- Prior art date
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral Effects 0.000 claims 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims 1
Claims (7)
1. Геттерный насос, содержащий неиспаряемое геттерное устройство (20), выполненное в виде продолговатого нитевидного металлического элемента, имеющего спиральную или зигзагообразную форму и включающее покрытие, нанесенное посредством спекания пористого неиспаряемого геттерного материала, отличающийся тем, что геттерное устройство (20) расположено в кольцеобразной периферической зоне цилиндрического картриджа (10), соосно установленного внутри стального цилиндрического корпуса или короткой стойки (30), которые расположены между рабочей камерой, в которой необходимо создать вакуум, и турбомолекулярным насосом, причем геттерное устройство (20) нагревается за счет прямой подачи электропитания к нитевидному металлическому элементу.
2. Геттерный насос по п. 1, отличающийся тем, что геттерное устройство выполнено в виде цельного элемента, расположенного между двумя соседними наконечниками (22) и формирующего за счет изгибов (18, 18а) или зигзагообразных поворотов по существу цилиндрическую поверхность, расположенную вблизи и соосно внутренней поверхности картриджа (10).
3. Геттерный насос по п. 1, отличающийся тем, что геттерное устройство (20) образовано последовательностью элементов в зигзагообразном расположении, начинающихся и заканчивающихся на двух соседних выводах (22) для образования по существу цилиндрической поверхности вблизи внутренней поверхности картриджа (10), и соединяющихся вместе в областях поворота (18, 18а).
4. Геттерный насос по п. 2 или 3, отличающийся тем, что изгибы или точки поворота (18, 18а) закреплены поочередно на противоположных сторонах посредством прикрепляющих средств (16, 16а) к соответствующим фланцам или кольцам (12, 12а), которые установлены параллельно друг другу, вблизи противоположных оснований указанного картриджа (10).
5. Геттерный насос по п. 2 или 3, отличающийся тем, что наконечники 22 отделены друг от друга и расположены на незначительном расстоянии на одной и той же стороне картриджа (10), причем они выполнены в виде штырей.
6. Геттерный насос по п. 5, отличающийся тем, что цилиндрическая короткая стойка (30) представляет собой коробку (24) подачи питания с розеткой для вставки в нее штырей (22), при этом картридж (10) установлен внутри короткой стойки, имеющей выходы (26) для крепления электрических проводников, связанных с внешним источником питания.
7. Геттерный насос по п. 1, отличающийся тем, что содержит изолирующий входной клапан по направлению к рабочей камере, в которой необходимо создать вакуум, и изолирующий выходной клапан по направлению к турбомолекулярному насосу.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| ITMI97A001420 | 1997-06-17 | ||
| IT97MI001420A IT1292175B1 (it) | 1997-06-17 | 1997-06-17 | Pompa getter particolarmente adatta per l'uso a monte,in prossimita' e coassialmente ad una pompa turbomolecolare |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU99105210A true RU99105210A (ru) | 2001-01-10 |
| RU2199027C2 RU2199027C2 (ru) | 2003-02-20 |
Family
ID=11377378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU99105210/06A RU2199027C2 (ru) | 1997-06-17 | 1998-06-11 | Геттерный насос |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6074171A (ru) |
| EP (1) | EP0918934B1 (ru) |
| JP (1) | JP2000517031A (ru) |
| KR (1) | KR100544591B1 (ru) |
| CN (1) | CN1103871C (ru) |
| CA (1) | CA2263559A1 (ru) |
| DE (1) | DE69814312T2 (ru) |
| IT (1) | IT1292175B1 (ru) |
| RU (1) | RU2199027C2 (ru) |
| WO (1) | WO1998058173A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2520709C2 (ru) * | 2009-03-17 | 2014-06-27 | Саес Геттерс С.П.А. | Комбинированная откачивающая система, содержащая геттерный насос и ионный насос |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1302694B1 (it) * | 1998-10-19 | 2000-09-29 | Getters Spa | Dispositivo di schermatura mobile in funzione della temperatura trapompa getter e pompa turbomolecolare collegate in linea. |
| US6347925B1 (en) * | 2000-06-29 | 2002-02-19 | Beacon Power Corporation | Flywheel system with parallel pumping arrangement |
| US6931711B2 (en) * | 2002-09-03 | 2005-08-23 | Honeywell International Inc. | Methods and apparatus for removing gases from enclosures |
| ITTO20070447A1 (it) * | 2007-06-21 | 2008-12-22 | Vincenzo Commisso | Procedimento e mezzi per lo stampaggio di materie plastiche, elastomeri, termoindurenti, metalli e loro leghe mediante iniezione e pressofusione. |
| ITMI20121732A1 (it) | 2012-10-15 | 2014-04-16 | Getters Spa | Pompa getter |
| CN104728075B (zh) * | 2013-12-19 | 2017-02-08 | 北京有色金属研究总院 | 一种内加热型吸气剂元件和大抽速吸气剂泵 |
| CN104728076A (zh) * | 2013-12-23 | 2015-06-24 | 北京有色金属研究总院 | 一种新型结构的大抽速吸气剂泵 |
| TWI660125B (zh) | 2014-04-03 | 2019-05-21 | 義大利商沙斯格特斯公司 | 吸氣泵 |
| CN109681406B (zh) * | 2018-12-18 | 2020-02-18 | 有研工程技术研究院有限公司 | 一种内加热式吸气剂泵 |
| WO2020239975A1 (en) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | Edwards Limited | A turbomolecular pump, a vacuum pumping system and a method of evacuating a vacuum chamber |
| CN112012908A (zh) * | 2020-09-01 | 2020-12-01 | 宁波盾科新材料有限公司 | 一种吸气泵及使用该吸气泵的移动储罐 |
| CN117846986A (zh) * | 2024-01-02 | 2024-04-09 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种分子泵 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE133697C (ru) * | ||||
| DE2034633C3 (de) * | 1969-07-24 | 1979-10-25 | S.A.E.S. Getters S.P.A., Mailand (Italien) | Kartusche für eine Getterpumpe |
| US4137012A (en) * | 1976-11-03 | 1979-01-30 | S.A.E.S. Getters S.P.A. | Modular getter pumps |
| DD133697A1 (de) * | 1977-08-04 | 1979-01-17 | Juergen Liebich | Verdampfer fuer vakuum-getterpumpen |
| JP2756686B2 (ja) * | 1989-02-17 | 1998-05-25 | 株式会社大阪真空機器製作所 | ターボ分子ポンプ |
| US5483803A (en) * | 1993-06-16 | 1996-01-16 | Helix Technology Corporation | High conductance water pump |
| US5685963A (en) * | 1994-10-31 | 1997-11-11 | Saes Pure Gas, Inc. | In situ getter pump system and method |
| US5972183A (en) * | 1994-10-31 | 1999-10-26 | Saes Getter S.P.A | Getter pump module and system |
| US5935395A (en) * | 1995-11-08 | 1999-08-10 | Mitel Corporation | Substrate processing apparatus with non-evaporable getter pump |
-
1997
- 1997-06-17 IT IT97MI001420A patent/IT1292175B1/it active IP Right Grant
-
1998
- 1998-06-11 WO PCT/IT1998/000156 patent/WO1998058173A1/en active IP Right Grant
- 1998-06-11 KR KR1019997001152A patent/KR100544591B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-06-11 JP JP11504096A patent/JP2000517031A/ja not_active Ceased
- 1998-06-11 RU RU99105210/06A patent/RU2199027C2/ru not_active IP Right Cessation
- 1998-06-11 CA CA002263559A patent/CA2263559A1/en not_active Abandoned
- 1998-06-11 DE DE69814312T patent/DE69814312T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-06-11 CN CN98800825A patent/CN1103871C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1998-06-11 EP EP98929624A patent/EP0918934B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-01-21 US US09/234,546 patent/US6074171A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2520709C2 (ru) * | 2009-03-17 | 2014-06-27 | Саес Геттерс С.П.А. | Комбинированная откачивающая система, содержащая геттерный насос и ионный насос |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU99105210A (ru) | Геттерный насос, используемый на входе турбомолекулярного насоса и расположенный соосно вблизи него | |
| ES2502896T3 (es) | Dispositivo de plasma frío armónico y métodos asociados | |
| US4048667A (en) | Device for discharging static electricity | |
| RU99104158A (ru) | Двухдиапазонная спиральная антенна со связанными сегментами | |
| RU98122112A (ru) | Вихревой смеситель | |
| NZ329707A (en) | Gas treatment device includes a gas flow deflector having an asymmetric shape about the axis of the inlet port | |
| RU2199027C2 (ru) | Геттерный насос | |
| GB2062429A (en) | Electrical resistance heating element | |
| US20160273801A1 (en) | Energy efficient electric heater for air and other gaseous fluid | |
| RU98122368A (ru) | Насадочный элемент колонны | |
| ES483974A1 (es) | Perfeccionamientos en secadores del cabello y procedimiento para la construccion de un radiador para este secador | |
| ATE235299T1 (de) | Gastrockner | |
| CA1094627A (en) | Support ring for discharge tube in gas and/or vapour discharge lamp | |
| US20100078420A1 (en) | Electric heater for tumble dryers | |
| US1231750A (en) | Luminous electric heater. | |
| SU1350455A1 (ru) | Осушительный патрон дл хладагента | |
| JPH0338796Y2 (ru) | ||
| SU648804A1 (ru) | Индукционна вибросушилка дл сыпучих материалов | |
| RU93010908A (ru) | Электродный водонагреватель | |
| RU552823C (ru) | Турбомолекул рный двухпоточный насос горизонтального типа | |
| RU2151097C1 (ru) | Электроразрядная камера для получения озона | |
| RU98105298A (ru) | Электропечь сопротивления | |
| SU1613140A1 (ru) | Сепаратор газа | |
| SU1620118A1 (ru) | Адсорбер | |
| SU1151719A1 (ru) | Диффузор |