RU552823C

RU552823C - Турбомолекул рный двухпоточный насос горизонтального типа

Info

Publication number: RU552823C
Authority: RU
Inventors: В.Я. Черный; Л.В. Доброхотов; Б.Г. Гальперин; В.П. Мелюхов
Original assignee: ЦКБ машиностроени
Priority date: 1975-06-13
Filing date: 1975-06-13
Publication date: 1993-10-30

Description

С/2 CJ

Изобретение относитс к вакуумной технике.

Известен турбомолекул рный насос, содержащий корпус с патрубком, по оси которого расположен ротор. В нижней части корпуса насоса имеютс значительные поверхности , не используемые при работе насоса .

Известен также турбомолекул рный двухпоточный насос горизонтального типа, содержащий корпус с центральной сферической частью, имеющей входной патрубок, и сопр женными с ней с противоположных сторон цилиндрическими част ми, по оси которых установлен ротор.

Такой насос вл етс наиболее близким к предлагаемому изобретению по технической сущности и достигаемому результату. Однако и в этом насосе велики неиспользуемые поверхности, и, кроме того, он сложен в изготовлении.

Цель изобретени - уменьшение габаритов насоса.

Это достигаетс тем, что в предлагаемом насосе сопр жение сферической и цилиндрических частей корпуса выполнено по встречно наклоненным под острым углом плоскост м и центр сферической части расположен выше оси ротора.

На фиг. 1 схематически изображен предлагаемый насос, продольный разрез; на фиг. 2 - вид по стрелке А на фиг. 1; на фиг. 3 - насос в аксонометрии, общий вид.

Предлагаемый турбомолекул рный двухпоточный насос содержит корпус с центральной сферической частью 1, имеющей

Claims

Формулаизобретёни

ТУРБОМОЛЕКУЛЯРИЫЙ ДВУХПОТОЧ- 40 НЫЙ НАСОС ГОРИЗОНТАЛЬНОГО ТИПА, содержащий корпус с центральной сферической частью, имеющий входной патрубок , и сопр женными с ней с противоположных сторон цилиндрически- 45

входной патрубок 2, и сопр женными с ней с противоположных сторон цилиндрическими част ми 3 и 4, по оси которых установлен ротор 5. Сопр жение сферической 1 и цилиндрических 3 и 4 частей корпуса выполнено по встречно наклоненным под острым углом а плоскост м 6 и 7, и центр сферической части 1 расположен выше оси ротора 5. На цилиндрических част х 3 и 4 корпуса

размещены электронагреватели 8 и 9 и патрубки 10 и 11 дл подачи продувочного воздуха .

В результате того, что площадь входа сферической части 1 постепенно уменьшаетс от верхней части к низу корпуса и в нижней части его близка к нулю, что в точности соответствует распределению входного газового потока в этой части насоСа, поверхности входа минимальны. Следоватёльно , загр знение этой части насоса от газовыделений из стенок минимально.

Кроме того, все сварные швы легко доступны , и поэтому их качественное ис1полнение и тщательна зачистка не представл ют

трудности, что способствует высокой вакуумной гигиене в корпусе насоса.

Благодар тому, что центральна часть корпуса выполнена сужающейс книзу, внутри него можно установить большее количество дисков, при этом на цилиндрических част х 3 и 4 свободно размещаютс нагреватели 8 и 9 и патрубки 10 и 11 дл подачи продувочного воздуха. Это позвол ет уменьшить габариты насоса без изменеНИИ производительности.

ми част ми, по оси которых установлен ротор , отличающийс тем, что, с целью уменьшени габаритов, сопр жение сферической и цилиндрической частей корпуса выполнено по встречно наклоненным под острым углом плоскост м и центр сферической части расположен выше оси ротора.

ffudA

IPUS.2