RU99103350A - MONOCRYSTAL SILICON CARBIDE AND METHOD FOR ITS PREPARATION - Google Patents

MONOCRYSTAL SILICON CARBIDE AND METHOD FOR ITS PREPARATION

Info

Publication number
RU99103350A
RU99103350A RU99103350/12A RU99103350A RU99103350A RU 99103350 A RU99103350 A RU 99103350A RU 99103350/12 A RU99103350/12 A RU 99103350/12A RU 99103350 A RU99103350 A RU 99103350A RU 99103350 A RU99103350 A RU 99103350A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sic
crystal
polycrystalline
complex
single crystal
Prior art date
Application number
RU99103350/12A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2160227C2 (en
Inventor
Кития Танино
Original Assignee
Ниппон Пиллар Пэкинг Ко., Лтд.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP17090297A external-priority patent/JP3296998B2/en
Application filed by Ниппон Пиллар Пэкинг Ко., Лтд. filed Critical Ниппон Пиллар Пэкинг Ко., Лтд.
Application granted granted Critical
Publication of RU2160227C2 publication Critical patent/RU2160227C2/en
Publication of RU99103350A publication Critical patent/RU99103350A/en

Links

Claims (1)

1. Монокристаллический SiС, отличающийся тем, что комплекс, содержащий поликристаллический слой, состоящий из атомов Si и С, сформированный на поверхности основы из монокристаллического SiС, подвергнут термообработке, обеспечивающей превращение поликристаллов поликристаллического слоя в монокристалл и выращивание монокристалла, ориентированного в том же направлении, что и кристаллографическая ось монокристаллической основы.1. Single-crystal SiC, characterized in that the complex containing a polycrystalline layer consisting of Si and C atoms, formed on the surface of a single-crystal SiC base, is subjected to heat treatment, ensuring the conversion of polycrystalline polycrystalline layer into a single crystal and growing a single crystal oriented in the same direction, as the crystallographic axis of the single crystal base. 2. Монокристаллический SiС по п.1, отличающийся тем, что упомянутой основой из монокристаллического SiС, входящей в состав упомянутого комплекса, является монокристаллический α - SiC.
3. Монокристаллический SiС по п.1, отличающийся тем, что упомянутый поликристаллический слой, входящий в состав комплекса, является слоем поликристаллического β - SiC, выращенным на поверхности основы из монокристаллического SiС методом термохимического осаждения из паровой фазы.
2. Single-crystal SiC according to claim 1, characterized in that said base of single-crystal SiC, which is part of the complex, is single-crystal α-SiC.
3. Single-crystal SiC according to claim 1, characterized in that said polycrystalline layer, which is part of the complex, is a layer of polycrystalline β-SiC grown on the surface of a single-crystal SiC substrate by thermochemical vapor deposition.
4. Монокристаллический SiС по п. 3, отличающийся тем, что температура термохимического осаждения из паровой фазы упомянутого слоя поликристаллического β - SiC составляет 1300 - 1900°С. 4. Single-crystal SiC according to claim 3, characterized in that the temperature of thermochemical vapor deposition of the above-mentioned layer of polycrystalline β-SiC is 1300 - 1900 ° C. 5. Способ получения монокристаллического SiС, отличающийся тем, что наносят поликристаллический слой, состоящий из атомов Si и С, на поверхность основы из монокристаллического SiС, и подвергают упомянутый комплекс термообработке для превращения поликристаллов упомянутого поликристаллического слоя в монокристалл, обеспечивая тем, самым выращивание как единое целое монокристалла, ориентированного в том же направлении, что и кристаллографическая ось монокристаллической основы. 5. A method of producing single crystal SiC, characterized in that a polycrystalline layer consisting of Si and C atoms is deposited on the surface of a monocrystalline SiC substrate, and this complex is subjected to heat treatment to convert the polycrystals of the said polycrystalline layer into a single crystal, thereby providing the growth as a single The whole of the single crystal is oriented in the same direction as the crystallographic axis of the single-crystal base. 6. Способ получения монокристаллического SiС по п.5, отличающийся тем, что монокристаллический α - SiC используется в качестве упомянутой основы из монокристаллического SiС, входящей в состав упомянутого комплекса. 6. A method of producing single crystal SiC according to claim 5, wherein the single crystal α-SiC is used as said base of single-crystal SiC, which is part of the complex. 7. Способ получения монокристаллического SiС по п.5, отличающийся тем, что слой поликристаллического β - SiC, выращенный на поверхности упомянутой основы из монокристаллического SiС методом термохимического осаждения из паровой фазы, используется в качестве упомянутого поликристаллического слоя, входящего в состав упомянутого комплекса. 7. A method of producing single crystal SiC according to claim 5, characterized in that the polycrystalline β-SiC layer grown on the surface of the said single-crystal SiC base by the method of thermochemical vapor deposition is used as the said polycrystalline layer included in the said complex. 8. Способ получения монокристаллического SiС по п.7, отличающийся тем, что температура термохимического осаждения из паровой фазы упомянутого слоя поликристаллического β - SiC составляет 1300 - 1900°С. 8. The method of obtaining single crystal SiC according to claim 7, characterized in that the temperature of thermochemical vapor deposition of the above layer of polycrystalline β - SiC is 1300 - 1900 ° C. 9. Способ получения монокристаллического SiС по п.7, отличающийся тем, что термообработку упомянутого комплекса проводят при температуре, превосходящей температуру термохимического осаждения из паровой фазы при формировании упомянутого поликристаллического слоя, и при давлении насыщенного пара SiС. 9. A method of producing single crystal SiC according to claim 7, characterized in that the heat treatment of said complex is carried out at a temperature exceeding the temperature of thermochemical vapor deposition during the formation of said polycrystalline layer and at a pressure of saturated SiC vapor. 10. Способ получения монокристаллического SiС по п.9, отличающийся тем, что температура термообработки упомянутого комплекса составляет 1900-2400°С. 10. A method of producing single crystal SiC according to claim 9, characterized in that the heat treatment temperature of said complex is 1900-2400 ° C. 11. Способ получения монокристаллического SiС по п.9, отличающийся тем, что температура термообработки упомянутого комплекса составляет 2000-2200°С. 11. A method of producing single crystal SiC according to claim 9, characterized in that the heat treatment temperature of said complex is 2000-2200 ° C.
RU99103350/12A 1997-05-23 1998-05-20 Monocrystal silicon carbide and method of its production RU2160227C2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9/170902 1997-05-23
JP17090297A JP3296998B2 (en) 1997-05-23 1997-05-23 Single crystal SiC and method for producing the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2160227C2 RU2160227C2 (en) 2000-12-10
RU99103350A true RU99103350A (en) 2000-12-20

Family

ID=15913459

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU99103350/12A RU2160227C2 (en) 1997-05-23 1998-05-20 Monocrystal silicon carbide and method of its production

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6153165A (en)
EP (1) EP0921214B1 (en)
JP (1) JP3296998B2 (en)
DE (1) DE69825397T2 (en)
RU (1) RU2160227C2 (en)
WO (1) WO1998053125A1 (en)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3003027B2 (en) * 1997-06-25 2000-01-24 日本ピラー工業株式会社 Single crystal SiC and method for producing the same
CA2263339C (en) * 1997-06-27 2002-07-23 Kichiya Tanino Single crystal sic and process for preparing the same
JP3043689B2 (en) * 1997-11-17 2000-05-22 日本ピラー工業株式会社 Single crystal SiC and method for producing the same
JP4043003B2 (en) * 1998-02-09 2008-02-06 東海カーボン株式会社 SiC molded body and manufacturing method thereof
JP2884085B1 (en) * 1998-04-13 1999-04-19 日本ピラー工業株式会社 Single crystal SiC and method for producing the same
EP0967304B1 (en) 1998-05-29 2004-04-07 Denso Corporation Method for manufacturing single crystal of silicon carbide
JP3248071B2 (en) * 1998-10-08 2002-01-21 日本ピラー工業株式会社 Single crystal SiC
WO2001009412A1 (en) * 1999-07-30 2001-02-08 Nippon Pillar Packing Co., Ltd. Material for raising single crystal sic and method of preparing single crystal sic
JP3087070B1 (en) * 1999-08-24 2000-09-11 日本ピラー工業株式会社 Single crystal SiC composite material for semiconductor device production and method for producing the same
TW464977B (en) * 2000-11-03 2001-11-21 United Microelectronics Corp Method for peeling off silicon carbide layer
JP4716558B2 (en) 2000-12-12 2011-07-06 株式会社デンソー Silicon carbide substrate
US6706114B2 (en) * 2001-05-21 2004-03-16 Cree, Inc. Methods of fabricating silicon carbide crystals
TWI229897B (en) * 2002-07-11 2005-03-21 Mitsui Shipbuilding Eng Large-diameter sic wafer and manufacturing method thereof
JP3741283B2 (en) * 2003-03-10 2006-02-01 学校法人関西学院 Heat treatment apparatus and heat treatment method using the same
JP4418879B2 (en) * 2003-03-10 2010-02-24 学校法人関西学院 Heat treatment apparatus and heat treatment method
JP5415853B2 (en) * 2009-07-10 2014-02-12 東京エレクトロン株式会社 Surface treatment method
CN111416020A (en) * 2020-04-03 2020-07-14 晶科能源科技(海宁)有限公司 Method for improving efficiency of N-type single crystal cell

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4590130A (en) * 1984-03-26 1986-05-20 General Electric Company Solid state zone recrystallization of semiconductor material on an insulator
DE4234508C2 (en) * 1992-10-13 1994-12-22 Cs Halbleiter Solartech Method for producing a wafer with a monocrystalline silicon carbide layer
JP3003027B2 (en) * 1997-06-25 2000-01-24 日本ピラー工業株式会社 Single crystal SiC and method for producing the same
CA2263339C (en) * 1997-06-27 2002-07-23 Kichiya Tanino Single crystal sic and process for preparing the same
JP3043689B2 (en) * 1997-11-17 2000-05-22 日本ピラー工業株式会社 Single crystal SiC and method for producing the same
JP2884085B1 (en) * 1998-04-13 1999-04-19 日本ピラー工業株式会社 Single crystal SiC and method for producing the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU99103350A (en) MONOCRYSTAL SILICON CARBIDE AND METHOD FOR ITS PREPARATION
RU99106418A (en) SIC MONOCRYSTAL AND METHOD FOR ITS PRODUCTION
RU99105847A (en) SIC MONOCRYSTAL AND METHODS OF ITS OBTAINING
RU2160329C1 (en) Sic single crystal and method of its production
RU98120936A (en) SINGLE-CRYSTAL SIC AND METHOD FOR ITS PRODUCTION
RU97110653A (en) METHOD FOR REDUCING THE FORMATION OF MICROTUBULES AT EPITAXIAL GROWTH OF SILICON CARBIDE AND THE SILICON OBTAINED BY THE SILICON CARBIDE STRUCTURES
RU2160227C2 (en) Monocrystal silicon carbide and method of its production
CN101985773A (en) Seed crystal treatment method and silicon carbide mono-crystal growing method
KR100287793B1 (en) SINGLE CRYSTAL SiC AND PROCESS FOR PREPARING THE SAME
CN109137076A (en) A kind of fixed device of seed wafer and its application method of growth single-crystal silicon carbide
KR980700460A (en) PROCESS AND DEVICE FOR SUBLIMATION GROWING SILICON CARBIDE MONOCRYSTALS
EP0964081A3 (en) Single crystal SiC and a method of producing the same
RU99112120A (en) SIC SILICON SILICON CARBIDE AND METHOD OF ITS PRODUCTION (OPTIONS)
RU98121013A (en) SINGLE-CRYSTAL SIC AND METHOD FOR ITS PRODUCTION
RU2154698C2 (en) Monocrystalline sic and method of preparation thereof
JPH031485Y2 (en)
JP2981879B2 (en) Single crystal SiC and method for producing the same
JPH0442911Y2 (en)
JPH08245299A (en) Method for growing silicon carbide crystal
JPH0645519B2 (en) Method for growing p-type SiC single crystal
JPH06191998A (en) Method for growing silicon carbide single crystal and device for growing the same
JPH1112100A (en) Single crystal sic and its production
JPH07330493A (en) Method for growing 4h type silicon carbide single crystal
JP3087030B2 (en) SiC composite, method for producing the same, and single crystal SiC
JP2936481B1 (en) Single crystal SiC and method for producing the same