RU98110707A - Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов - Google Patents

Claims (4)

1. Способ определения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов, заключающийся в освещении объекта плоскопараллельным пучком белого света и регистрации интерференции пучков, отраженных от двух поверхностей объекта, отличающийся тем, что вышеуказанные пучки преобразуют в два пространственно когерентных, распространяющихся в одном общем направлении под малым углом γ друг к другу, а затем в области переложения пучков с помощью пространственно-чувствительного многоэлементного фотоприемника регистрируют интерференционную картину, измеряют расстояние между центрами крайних полос δy и определяют оптическую толщину объекта tn₀.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что преобразование вышеуказанных пучков осуществляют с помощью двухлучевого интерферометра, а оптическую толщину объекта tn₀ определяют по формуле

где γ - угол схождения пучков в двухлучевом интерферометре.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что преобразование вышеуказанных пучков осуществляют на бипризму Френеля, а оптическую толщину объекта tn₀ определяют по формуле
tn₀ = δysinγ(n-1),
где γ - преломляющий угол бипризмы Френеля;
n - показатель преломления вещества бипризмы Френеля.

4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что преобразование вышеуказанных пучков осуществляют с помощью бизеркала Френеля, а оптическую толщину объекта tn₀ определяют по формуле
tn₀ = δy·sinγ,
где γ - угол между бизеркалами Френеля.