CN111780691B - 自定心激光角度测量系统 - Google Patents
自定心激光角度测量系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111780691B CN111780691B CN202010663197.2A CN202010663197A CN111780691B CN 111780691 B CN111780691 B CN 111780691B CN 202010663197 A CN202010663197 A CN 202010663197A CN 111780691 B CN111780691 B CN 111780691B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- light
- laser
- emergent
- angle
- drift
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C1/00—Measuring angles
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明涉及一种自定心激光角度测量系统,属于光学技术领域,现有的方案会在已存在一个测角光电传感器,但是存在光束角度漂移的问题。本发明棱镜组由两个分光棱镜组成,标准分光棱镜(15)和镀有反射膜(13)的分光棱镜(14),当激光光束产生角度漂移量为θ(12)时,其产生的激光光束(2)经过分光棱镜(15)的分光面(17)分为两束,其中一束正常透射,另一束光传播至棱镜(14)的分光面(16)上,向下反射后被反射膜(13)反射。本发明中只需添加分光棱镜组,不需添加额外的光电传感器,就可以有效抑制激光器光束角度漂移对目标测量带来的测量误差,并且可降低成本,实现简单高效的测量。
Description
技术领域
本发明涉及一种自定心激光角度测量系统,属于光学技术领域。
背景技术
在激光角度测量系统中,激光光束是整个测量过程的基准,然而激光器在实际应用中,由于受到温度、震动等影响,会使激光光束产生一定的角度漂移,在对目标进行角度测量的过程中,此角度漂移量会与目标的角度变化量相互叠加,仅从输出结果来看,无法将两个角度区分开来,从而对目标的角度测量带来一定的误差。
本发明通过特制的分光棱镜组,将激光器产生的激光光束进行分光,通过对多束激光在相机感光面上的光斑位置关系进行对激光角度漂移的解算,从而进行角度补偿,达到提高测量精度的目的。
本发明则是在已存在一个测角光电传感器的基础上,通过添加额外的光电传感器来探测激光器光束角度漂移,达到降低光束角度漂移的影响。
发明内容
为了解决实际测量当中激光光束角度漂移的问题,本发明提供一种自定心激光角度测量系统,其中自定心功能主要由分光棱镜组完成,具体发明内容如下:
分光棱镜组由两个分光棱镜组成,标准分光棱镜和镀有反射膜的分光棱镜,当激光光束产生角度漂移量为θ时(假定角度顺时针为正,逆时针为负),其产生的激光光束经过分光棱镜的第二分光面分为两束,其中一束正常透射,形成出射光束,其角度偏转量与激光光束的角度漂移量大小相同,方向相同。另一束光传播至分光棱镜的第一分光面上,向下反射后被反射膜反射,透过第一分光面形成出射光,其角度偏转量与激光光束的角度漂移量大小相同,方向相反。出射光束经过成像透镜后在工业相机的感光面上形成右光斑,出射光形成左光斑,激光器光束无角度漂移时的光束所成的无漂情况下的光斑。
优选的,所述的激光器作为光源用于发射激光光束;
优选的,所述的反射镜安置在被测物上;
优选的,所述衰减片用于过滤环境光影响,并削弱激光光束的光强;所述的工业相机用于探测激光光斑。
优选的,所述的分光棱镜组,在一个测量方向上,至少安置一组分光棱镜组。
本发明具有以下有益效果:
本发明自定心激光角度测量系统,通过在激光角度测量系统中安置特制的分光棱镜组进行分光,使得在相机感光面上的两光斑几何中心的平均位置不受激光器光束角度漂移的影响,减小激光器光束漂移带来的误差,提高测量精度,本方法所需外部元件简单,测量方法简捷高效。
附图说明
图1是自定心激光角度测量系统原理图;
图2是分光棱镜组工作原理示意图。
具体实施方式
具体实施方式一:结合图1-图2说明本实施方式,本实施方式的自定心激光角度测量系统中,所述的分光棱镜组3包括标准分光棱镜15和镀有反射膜13的分光棱镜14;所述的分光棱镜组3在同一个测量方向上至少安置一组分光棱镜组3。
具体实施方式二:结合图1-图2说明本实施方式,本实施方式的自定心激光角度测量系统,还包括激光器1、反射镜6、成像透镜10、衰减片9和工业相机11;所述的激光器1发射出激光光束2正前方经过分光棱镜组3,光线经被设置在被测物体上的反射镜6反射到达衰减片9,再经过成像透镜10由工业相机11接收。
具体实施方式三:结合图1-图2说明本实施方式,本实施方式的自定心激光角度测量系统的使用方法为;激光光束2经过分光棱镜15的第二分光面17分为两束,其中一束正常透射,形成出射光束4,其角度偏转量与激光光束2的角度漂移量大小相同,方向相同;另一束光传播至分光棱镜14的第一分光面16上,向下反射后被反射膜13反射,透过第一分光面16形成出射光5,其角度偏转量与激光光束2的角度漂移量大小相同,方向相反;两束光经过安置在被测物表面上的反射镜6反射后,形成对应的第一反射光7和第二反射光8,两光束经过衰减片9削弱环境光影响,并降低光强,再经过成像透镜10将两束激光光束聚焦至工业相机11的感光面上,最后根据两光斑在工业相机感光面上的位置关系,求出目标的角度变化量。
具体实施方式四:结合图1-图2说明本实施方式,本实施方式的自定心激光角度测量系统的使用方法为;假定角度顺时针为正,逆时针为负的情况下,当激光光束产生角度漂移量为θ12时,其产生的激光光束2经过分光棱镜15的第二分光面17分为两束,其中一束正常透射,形成出射光束4,其角度偏转量与激光光束2的角度漂移量大小相同,方向相同;另一束光传播至分光棱镜14的第一分光面16上,向下反射后被反射膜13反射,透过第一分光面16形成出射光5,其角度偏转量与激光光束2的角度漂移量大小相同,方向相反;出射光束4经过成像透镜10后在工业相机11的感光面上形成右光斑19,出射光5形成左光斑21,激光器光束无角度漂移时的光束18所成的无漂情况下的光斑20,假定坐标向右为正,向左为负,无漂情况下的光斑中心在工业相机感光面上的坐标为X0,根据成像原理可知,右光斑中心的坐标
X1=X0+f·θ
左光斑中心的坐标
X2=X0-f·θ
其中f为成像透镜(10)的焦距,则两光斑中心的平均值
与激光器无角度漂移时的光斑中心一致,并且与漂移量θ无关,达到了自定心的目的。
Claims (3)
1.一种自定心激光角度测量系统,其特征在于:包括带有分光面的分光棱镜组(3),所述分光棱镜组(3)的相邻两个分光面呈直角设置,所述分光棱镜组(3)包括至少一组,每组包括标准分光棱镜(15)和镀有反射膜(13)的分光棱镜(14);还包括激光器(1)、反射镜(6)、成像透镜(10)、衰减片(9)和工业相机(11);所述的激光器(1)发射出激光光束(2)正前方经过分光棱镜组(3),光线经被设置在被测物体上的反射镜(6)反射到达衰减片(9),再经过成像透镜(10)由工业相机(11)接收;
激光光束(2)经过标准分光棱镜(15)的第二分光面(17)分为两束,其中一束正常透射,形成出射光束(4),其角度偏转量与激光光束(2)的角度漂移量大小相同,方向相同;另一束光传播至分光棱镜(14)的第一分光面(16)上,向下反射后被反射膜(13)反射,透过第一分光面(16)形成出射光(5),其角度偏转量与激光光束(2)的角度漂移量大小相同,方向相反;两束光经过安置在被测物表面上的反射镜(6)反射后,形成对应的第一反射光(7)和第二反射光(8),两光束经过衰减片(9)削弱环境光影响,并降低光强,再经过成像透镜(10)将两束激光光束聚焦至工业相机(11)的感光面上,最后根据两光斑在工业相机(11)感光面上的位置关系,求出目标的角度变化量。
2.根据权利要求1所述的一种自定心激光角度测量系统,其特征在于:所述的激光器(1)作为光源用于发射激光光束;所述衰减片(9)用于过滤环境光影响,并削弱激光光束的光强;所述的工业相机(11)用于探测激光光斑。
3.根据权利要求2所述的一种自定心激光角度测量系统的原理方法,其特征在于:假定角度顺时针为正,逆时针为负的情况下,当激光光束产生角度漂移量为θ(12)时,其产生的激光光束(2)经过标准分光棱镜(15)的第二分光面(17)分为两束,其中一束正常透射,形成出射光束(4),其角度偏转量与激光光束(2)的角度漂移量大小相同,方向相同;另一束光传播至分光棱镜(14)的第一分光面(16)上,向下反射后被反射膜(13)反射,透过第一分光面(16)形成出射光(5),其角度偏转量与激光光束(2)的角度漂移量大小相同,方向相反;出射光束(4)经过成像透镜(10)后在工业相机(11)的感光面上形成右光斑(19),出射光(5)形成左光斑(21),激光器光束无角度漂移时的光束(18)所成的无漂情况下的光斑(20),假定坐标向右为正,向左为负,无漂情况下的光斑中心在工业相机(11)感光面上的坐标为X0,根据成像原理可知,右光斑中心的坐标
X1=X0+f·θ
左光斑中心的坐标
X2=X0-f·θ
其中f为成像透镜(10)的焦距,则两光斑中心的平均值
与激光器无角度漂移时的光斑中心一致,并且与漂移量θ无关,达到了自定心的目的。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010663197.2A CN111780691B (zh) | 2020-07-10 | 2020-07-10 | 自定心激光角度测量系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010663197.2A CN111780691B (zh) | 2020-07-10 | 2020-07-10 | 自定心激光角度测量系统 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111780691A CN111780691A (zh) | 2020-10-16 |
CN111780691B true CN111780691B (zh) | 2022-01-28 |
Family
ID=72768796
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010663197.2A Active CN111780691B (zh) | 2020-07-10 | 2020-07-10 | 自定心激光角度测量系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111780691B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112683198B (zh) * | 2020-12-01 | 2023-02-21 | 江西省中久光电产业研究院 | 一种三自由度角度光电测量装置及其测量方法 |
CN117705009B (zh) * | 2024-02-05 | 2024-05-14 | 吉林珩辉光电科技有限公司 | 一种特殊零件角度测量装置及其测量方法 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01136057A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | 二次イオン質量分析方法 |
CN102176087A (zh) * | 2011-01-19 | 2011-09-07 | 哈尔滨工业大学 | 偏振光组合靶标共光路补偿的二维光电自准直方法与装置 |
JP2012018055A (ja) * | 2010-07-07 | 2012-01-26 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光装置 |
CN102538689A (zh) * | 2011-12-29 | 2012-07-04 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 光学系统定心定位装置及其使用方法 |
CN104501715A (zh) * | 2014-12-05 | 2015-04-08 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种激光对中仪接收系统及方法 |
CN106052631A (zh) * | 2016-05-10 | 2016-10-26 | 哈尔滨理工大学 | 一种基于自准直原理测量三维小角度的方法 |
EP3096116A1 (en) * | 2006-10-02 | 2016-11-23 | Precision Energy Services, Inc. | Spectroscope and method for performing spectroscopy utilizing an adaptive optical element |
WO2017035005A1 (en) * | 2015-08-21 | 2017-03-02 | Ultrafast Systems Llc | Automated delay line alignment |
CN107255451A (zh) * | 2017-07-07 | 2017-10-17 | 浙江理工大学 | 角度补偿式激光外差干涉位移测量装置及方法 |
EP3420881A1 (en) * | 2017-06-28 | 2019-01-02 | Karl Storz Imaging, Inc. | Endoscope lens arrangement for chief ray angle control at sensor |
CN109579777A (zh) * | 2019-01-11 | 2019-04-05 | 哈尔滨工业大学 | 双光源高精度抗干扰大工作距自准直装置与方法 |
CN110044847A (zh) * | 2019-05-16 | 2019-07-23 | 南开大学 | 一种不受光源漂移影响的全内反射式折射率传感方法 |
CN110095091A (zh) * | 2019-05-13 | 2019-08-06 | 哈尔滨理工大学 | 一种小角度测量仪及其测量方法 |
CN111142254A (zh) * | 2020-02-13 | 2020-05-12 | 之江实验室 | 分离式调控角度漂移与位置漂移的激光束指向稳定装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5186129B2 (ja) * | 2006-08-25 | 2013-04-17 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 溝パターンの深さの測定方法および測定装置 |
CN104613900B (zh) * | 2014-12-05 | 2017-08-22 | 郑州轻工业学院 | 一种全光路光漂补偿的高精度滚转角测量方法与装置 |
JP7408265B2 (ja) * | 2017-06-13 | 2024-01-05 | 株式会社キーエンス | 共焦点変位計 |
-
2020
- 2020-07-10 CN CN202010663197.2A patent/CN111780691B/zh active Active
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01136057A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | 二次イオン質量分析方法 |
EP3096116A1 (en) * | 2006-10-02 | 2016-11-23 | Precision Energy Services, Inc. | Spectroscope and method for performing spectroscopy utilizing an adaptive optical element |
JP2012018055A (ja) * | 2010-07-07 | 2012-01-26 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光装置 |
CN102176087A (zh) * | 2011-01-19 | 2011-09-07 | 哈尔滨工业大学 | 偏振光组合靶标共光路补偿的二维光电自准直方法与装置 |
CN102538689A (zh) * | 2011-12-29 | 2012-07-04 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 光学系统定心定位装置及其使用方法 |
CN104501715A (zh) * | 2014-12-05 | 2015-04-08 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种激光对中仪接收系统及方法 |
WO2017035005A1 (en) * | 2015-08-21 | 2017-03-02 | Ultrafast Systems Llc | Automated delay line alignment |
CN106052631A (zh) * | 2016-05-10 | 2016-10-26 | 哈尔滨理工大学 | 一种基于自准直原理测量三维小角度的方法 |
EP3420881A1 (en) * | 2017-06-28 | 2019-01-02 | Karl Storz Imaging, Inc. | Endoscope lens arrangement for chief ray angle control at sensor |
CN107255451A (zh) * | 2017-07-07 | 2017-10-17 | 浙江理工大学 | 角度补偿式激光外差干涉位移测量装置及方法 |
CN109579777A (zh) * | 2019-01-11 | 2019-04-05 | 哈尔滨工业大学 | 双光源高精度抗干扰大工作距自准直装置与方法 |
CN110095091A (zh) * | 2019-05-13 | 2019-08-06 | 哈尔滨理工大学 | 一种小角度测量仪及其测量方法 |
CN110044847A (zh) * | 2019-05-16 | 2019-07-23 | 南开大学 | 一种不受光源漂移影响的全内反射式折射率传感方法 |
CN111142254A (zh) * | 2020-02-13 | 2020-05-12 | 之江实验室 | 分离式调控角度漂移与位置漂移的激光束指向稳定装置 |
Non-Patent Citations (6)
Title |
---|
High resolution and stability roll angle measurement method for precision linear displacement stages;Jin, T等;《REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS》;20170228;第88卷(第2期);全文 * |
三维视觉传感技术进展;范剑英 等;《兵工自动化》;20000615(第2期);25-28、33 * |
共光路三自由度激光测量系统;伍婷婷 等;《光电工程》;20170815;第44卷(第8期);811-817、839 * |
四自由度激光测量系统的优化;尹宗涛 等;《工具技术》;20190520;第53卷(第5期);120-122 * |
基于基线漂移模型的气体光谱自动基线校正;王昕 等;《光谱学与光谱分析》;20181215(第12期);300-305 * |
提高激光准直精度的途径;党敏 等;《光子技术》;20061230(第4期);12-15、33 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111780691A (zh) | 2020-10-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6825923B2 (en) | Laser alignment system with plural lasers for impingement on a single target | |
JP2913984B2 (ja) | 傾斜角測定装置 | |
CN100535767C (zh) | 一种调焦调平测量方法和装置 | |
CN111780691B (zh) | 自定心激光角度测量系统 | |
US7708204B2 (en) | Laser alignment apparatus | |
EP1134548A2 (en) | Laser alignment system with plural lasers for impingement on a single target | |
CN111721235B (zh) | 一种光电式边缘检测系统及其检测方法 | |
US20230417532A1 (en) | Interferometer displacement measurement system and method | |
CN205942120U (zh) | 一种带有偏振分束元件的自准光路系统 | |
JP2006189389A (ja) | 光学式厚さ測定方法および装置 | |
CN109358435B (zh) | 一种双远心镜头垂直度的调整装置和调整方法 | |
CN106094234A (zh) | 一种带有偏振分束元件的自准光路系统 | |
CN106932173A (zh) | 高精度大口径光栅五自由度拼接精度的测量方法 | |
CN113624158B (zh) | 一种视觉尺寸检测系统及方法 | |
CN104460247A (zh) | 对准装置及方法 | |
US3619070A (en) | Method and apparatus for measuring thickness | |
CN205898079U (zh) | 一种基于双折射元件的偏振合束自准直光路系统 | |
TW201821860A (zh) | 調焦調平裝置 | |
JP2002005617A (ja) | 光学式測定装置 | |
JPS61140802A (ja) | 裏面反射光を防止した光波干渉装置 | |
SU1359670A1 (ru) | Оптико-электронное устройство дл измерени угловых отклонений объекта | |
JPS6262208A (ja) | 距離測定装置および距離測定方法 | |
CN107561016B (zh) | 一种激光探测气体浓度的系统 | |
JPH0219403B2 (zh) | ||
JPS60128330A (ja) | 薄膜の屈折率測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Liu Bo Inventor after: Liu Che Inventor after: Dong Enpeng Inventor after: Geng Wenlei Inventor before: Liu Bo Inventor before: Dong Enpeng Inventor before: Geng Wenlei |
|
CB03 | Change of inventor or designer information | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |