RU98110186A - Отводящее трубное устройство с двойными стенками для вакуумного насоса - Google Patents

Claims (20)

1. Отводящее устройство (28) с двойными стенками, содержащее первую концевую монтажную опору (86), вторую концевую монтажную опору (88), отличающееся тем, что имеет внутреннюю трубу (84), имеющую первый конец (96), присоединенный к внутреннему монтажному участку (100) первой концевой монтажной опоры, и второй конец (98), присоединенный к внутреннему монтажному участку (106) второй концевой монтажной опоры, и наружную трубу (82), окружающую внутреннюю трубу (84) и имеющую первый конец, присоединенный к наружному монтажному участку (112) первой концевой монтажной опоры, и второй конец, присоединенный к наружному монтажному участку (114) второй концевой монтажной опоры.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что внутренняя труба (84) имеет внутреннюю гофрированную поверхность, проходящую на существенной части длины внутренней трубы, причем гофрированная поверхность имеет множество поверхностей (94), которые наклонены вниз в направлении оси (87) внутренней трубы.

3. Устройство по п. 2, отличающееся тем, что каждая из труб (84; 82) - и наружная и внутренняя - выполнена из электрически не проводящего материала.

4. Устройство по п. 3, отличающееся тем, что каждая из труб (84, 82) - и наружная и внутренняя - выполнена из политетрафторэтилена.

5. Устройство по п. 3, отличающееся тем, что внутренняя гофрированная труба (84) присоединена к первой и второй концевым монтажным опорам с помощью выполненного без крепежных деталей соединительного средства (102, 108).

6. Устройство по п. 3, отличающееся тем, что дополнительно содержит первый уплотнительный элемент (116), расположенный между первым концом наружной трубы и наружным монтажным участком (112) первой концевой монтажной опоры (86), и второй уплотнительный элемент (120), расположенный между вторым концом наружной трубы и наружным монтажным участком (114) второй концевой монтажной опоры (88).

7. Соединение, содержащее вакуумное отводящее устройство, отличающееся тем, что содержит внутреннюю отводящую трубу (84), окруженную наружной отводящей трубой (82), причем внутренняя и наружная отводящие трубы жестко присоединены друг к другу, а соединение имеет первый и второй концы, выполненные с возможностью крепления к отводящей конструкции (86, 88).

8. Соединение по п. 7, отличающееся тем, что внутренняя труба (84) имеет внутреннюю гофрированную поверхность на существенной части длины внутренней трубы, причем гофрированная поверхность имеет множество поверхностей (94), которые наклонены вниз в направлении оси (87) внутренней трубы.

9. Соединение по п. 8, отличающееся тем, что каждая из труб (84, 82) - и наружная и внутренняя - выполнена из электрически не проводящего материала.

10. Соединение по п. 8, отличающееся тем, что каждая из труб (84, 82) - и наружная и внутренняя - выполнена из политетрафторэтилена.

11. Установка ионной имплантации (10), содержащая терминал (12), включающий находящийся под высоким напряжением корпус (20), в котором, по меньшей мере, частично размещены источник ионов (24), служащий для образования пучка ионов (29), направляющее устройство (14) для пучка, служащее для транспортирования пучка ионов, и вакуумный насос (36), предназначенный для вакуумирования направляющего устройства для пучка ионов, электрически заземленный наружный корпус (18), окружающий находящийся под высоким напряжением корпус (20), и не обладающее электрической проводимостью отводящее устройство (28), установленное между электрически заземленным наружным корпусом (18) и находящимся под высоким напряжением корпусом (20) и присоединенное к ним, причем, отличающаяся тем, что отводящее устройство содержит первую монтажную опору (86), вторую концевую монтажную опору (88), внутреннюю трубу (84), имеющую первый конец (96), присоединенный к внутреннему монтажному участку (100) первой концевой монтажной опоры, и второй конец (98), присоединенный к внутреннему монтажному участку (106) второй концевой монтажной опоры; и наружную трубу (82), окружающую внутреннюю трубу (84) и имеющую первый конец, присоединенный к наружному монтажному участку (112) первой концевой монтажной опоры, и второй конец, присоединенный к наружному монтажному участку (114) второй концевой монтажной опоры.

12. Установка по п. 11, отличающаяся тем, что внутренняя труба (84) имеет внутреннюю гофрированную поверхность, проходящую на существенной части длины внутренней трубы, причем гофрированная поверхность имеет множество поверхностей (94), которые наклонены вниз в направлении оси (87) внутренней трубы.

13. Установка по п. 12, отличающаяся тем, что каждая из труб (84, 82) - и наружная и внутренняя - выполнена из политетрафторэтилена.

14. Установка по п. 12, отличающаяся тем, что внутренняя гофрированная труба (84) присоединена к первой и второй монтажным опорам с помощью выполненного без крепежных деталей соединительного средства (102, 108).

15. Установка по п. 12, отличающаяся тем, что дополнительно содержит первый уплотнительный элемент (116), расположенный между первым концом наружной трубы и наружным монтажным участком (112) первой концевой монтажной опоры (86), и второй уплотнительный элемент (120), расположенный между вторым концом наружной трубы и наружным монтажным участком (114) второй концевой монтажной опоры (88).

16. Способ восстановления отводящего устройства (28) с двойными стенками, отличающийся тем, что включает внутреннюю трубу (84) одноразового применения, имеющую первый конец (96), присоединенный к внутреннему монтажному участку (100) первой концевой монтажной опоры (86), и второй конец (98), присоединенный к внутреннему монтажному участку (106) второй концевой монтажной опоры (88); и наружную трубу (82), имеющую первый конец, присоединенный к наружному монтажному участку (112) первой концевой монтажной опоры, и второй конец, присоединенный к наружному монтажному участку (114) второй концевой монтажной опоры, причем способ включает следующие операции: отсоединение наружной трубы (82) от наружных монтажных участков (112, 114) первой и второй концевых монтажных опор (86, 88), отсоединение одноразовой внутренней трубы (84) от внутренних монтажных участков (100, 106) первой и второй концевых наружных опор (86, 88), замену одноразовой внутренней трубы заменяющей внутренней трубой, и присоединение заменяющей внутренней трубы к внутренним монтажным участкам (100, 106) первой и второй концевых монтажных опор (86, 88); и повторное присоединение наружной трубы к наружным монтажным участкам (112, 114) первой и второй концевых монтажных опор (86, 88).

17. Способ по п. 16, отличающийся тем, что заменяющую внутреннюю трубу (84) выполняют с внутренней гофрированной поверхностью, проходящей на существенной части длины внутренней трубы, причем гофрированная поверхность имеет множество поверхностей (94), которые наклонены вниз в направлении оси (87) заменяющей внутренней трубы.

18. Способ по п. 17, отличающийся тем, что заменяющую внутреннюю трубу (84) выполняют из политетрафторэтилена.

19. Способ по п. 17, отличающийся тем, что заменяющую внутреннюю гофрированную трубу (84) присоединяют к первой и второй концевым монтажным опорам с помощью выполненного без крепежных деталей соединительного средства (102, 108).

20. Способ по п. 17, отличающийся тем, что дополнительно включает операцию уплотнения соединений, образованных наружной трубой и первой и второй концевыми монтажными опорами (86, 88), посредством установки первого уплотнительного элемента (116) между первым концом наружной трубы и наружным монтажным участком (112) первой концевой монтажной опоры (82), и установки второго уплотнительного элемента (120) между вторым концом наружной трубы и наружным монтажным участком (114) второй концевой монтажной опоры (88).