RU96122058A - Газоразрядное устройство - Google Patents

Газоразрядное устройство

Info

Publication number
RU96122058A
RU96122058A RU96122058/09A RU96122058A RU96122058A RU 96122058 A RU96122058 A RU 96122058A RU 96122058/09 A RU96122058/09 A RU 96122058/09A RU 96122058 A RU96122058 A RU 96122058A RU 96122058 A RU96122058 A RU 96122058A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
chamber
gas
energy input
discharge device
input unit
Prior art date
Application number
RU96122058/09A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2121729C1 (ru
Inventor
Т.Б. Антонова
Г.Э. Бугров
С.Г. Кондранин
Е.А. Кралькина
В.Б. Павлов
А.Ф. Александров
А.А. Рухадзе
Original Assignee
Т.Б. Антонова
Г.Э. Бугров
С.Г. Кондранин
Е.А. Кралькина
В.Б. Павлов
А.Ф. Александров
А.А. Рухадзе
Filing date
Publication date
Application filed by Т.Б. Антонова, Г.Э. Бугров, С.Г. Кондранин, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, А.Ф. Александров, А.А. Рухадзе filed Critical Т.Б. Антонова
Priority claimed from RU96122058A external-priority patent/RU2121729C1/ru
Priority to RU96122058A priority Critical patent/RU2121729C1/ru
Priority to EP97913505A priority patent/EP0892983B1/en
Priority to KR1019970060941A priority patent/KR100261314B1/ko
Priority to US09/101,922 priority patent/US6040547A/en
Priority to AU50688/98A priority patent/AU5068898A/en
Priority to JP10523497A priority patent/JP3128139B2/ja
Priority to PCT/KR1997/000225 priority patent/WO1998022969A1/en
Priority to DE69725295T priority patent/DE69725295T2/de
Publication of RU2121729C1 publication Critical patent/RU2121729C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU96122058A publication Critical patent/RU96122058A/ru

Links

Claims (5)

1. Газоразрядное устройство, содержащее аксиально симметричную камеру, по меньшей мере с одной торцевой стенкой, узел ввода в камеру высокочастотной энергии, соосно установленный на внешней стенке камеры, и магнитную систему, обеспечивающую создание внутри камеры стационарного магнитного поля, напряженность которого уменьшается в радиальном направлении к оси симметрии камеры и в продольном направлении от области размещения узла ввода высокочастотной энергии, отличающееся тем, что узел ввода энергии выполнен в виде проводника зигзагообразной периодически повторяющейся симметричной формы, расположенного на торцевой и боковой стенках камеры, а магнитная система приспособлена для создания магнитного поля, напряженность которого в продольном направлении спадает к торцевой части камеры, противоположной области размещения узла ввода энергии.
2. Газоразрядное устройство по п.1, отличающееся тем что поперечный размер камеры превышает ее продольный размер.
3. Газоразрядное устройство по п. 1 или 2, отличающееся тем, что камера снабжена газовводом, установленным на торцевой стенке камеры со стороны области размещения узла ввода энергии.
4. Газоразрядное устройство по любому из пп.1- 3, отличающееся тем, что оно снабжено монтажным фланцем, на котором закреплена камера, при этом в нем выполнены гермовводы электрических выводов узла ввода энергии и газоввода камеры, а также элементы разъемного соединения для крепления к установочному фланцу.
5. Газоразрядное устройство по п. 4, отличающееся тем, что гермовводы состоят из двух втулок, уплотняющей шайбы, установленной между торцами втулок, и уплотняющего болта, установленного соосно с одной из втулок.
RU96122058A 1996-11-18 1996-11-18 Газоразрядное устройство RU2121729C1 (ru)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU96122058A RU2121729C1 (ru) 1996-11-18 1996-11-18 Газоразрядное устройство
AU50688/98A AU5068898A (en) 1996-11-18 1997-11-18 Gas discharge device
KR1019970060941A KR100261314B1 (ko) 1996-11-18 1997-11-18 고주파와 자기 시스템을 이용한 가스 방전 장치
US09/101,922 US6040547A (en) 1996-11-18 1997-11-18 Gas discharge device
EP97913505A EP0892983B1 (en) 1996-11-18 1997-11-18 Gas discharge device
JP10523497A JP3128139B2 (ja) 1996-11-18 1997-11-18 ガス放電装置
PCT/KR1997/000225 WO1998022969A1 (en) 1996-11-18 1997-11-18 Gas discharge device
DE69725295T DE69725295T2 (de) 1996-11-18 1997-11-18 Gasentladungsvorrichtung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU96122058A RU2121729C1 (ru) 1996-11-18 1996-11-18 Газоразрядное устройство

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2121729C1 RU2121729C1 (ru) 1998-11-10
RU96122058A true RU96122058A (ru) 1999-01-20

Family

ID=20187334

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU96122058A RU2121729C1 (ru) 1996-11-18 1996-11-18 Газоразрядное устройство

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6040547A (ru)
EP (1) EP0892983B1 (ru)
JP (1) JP3128139B2 (ru)
KR (1) KR100261314B1 (ru)
AU (1) AU5068898A (ru)
DE (1) DE69725295T2 (ru)
RU (1) RU2121729C1 (ru)
WO (1) WO1998022969A1 (ru)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2151438C1 (ru) * 1999-09-23 2000-06-20 Бугров Глеб Эльмирович Плазменный источник ионов с ленточным пучком (варианты)
US7096660B2 (en) * 2002-05-20 2006-08-29 Keady John P Plasma impulse device
ATE438434T1 (de) * 2003-04-14 2009-08-15 Cook Inc Ablagekatheter/schleuse mit grossem durchmesser
ATE378085T1 (de) * 2003-04-28 2007-11-15 Cook Inc Flexible einführschleuse mit unterschiedlichem durometer
US8834684B2 (en) 2009-04-14 2014-09-16 Rf Thummin Technologies, Inc. Method and apparatus for excitation of resonances in molecules
WO2011116187A1 (en) 2010-03-17 2011-09-22 Rf Thummim Technologies, Inc. Method and apparatus for electromagnetically producing a disturbance in a medium with simultaneous resonance of acoustic waves created by the disturbance

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2235086A (en) * 1989-06-01 1991-02-20 Ion Tech Ltd Ion beam source
US5429070A (en) * 1989-06-13 1995-07-04 Plasma & Materials Technologies, Inc. High density plasma deposition and etching apparatus
CA2049876C (en) * 1990-08-31 1998-02-10 Harold R. Kaufman Capacitively coupled radiofrequency plasma source
US5279669A (en) * 1991-12-13 1994-01-18 International Business Machines Corporation Plasma reactor for processing substrates comprising means for inducing electron cyclotron resonance (ECR) and ion cyclotron resonance (ICR) conditions
JPH0636695A (ja) * 1992-07-13 1994-02-10 Nissin Electric Co Ltd 高周波イオン源装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5072157A (en) Excitation device suitable for exciting surface waves in a discharge tube
KR100623140B1 (ko) 고압 방전램프를 갖는 조명 장치
CN100349252C (zh) 无电极照明系统
CA1336706C (en) Apparatus for ozone generation
CA2087562A1 (en) Laser apparatus
RU2002125111A (ru) Плазменный ускоритель
RU96122058A (ru) Газоразрядное устройство
KR100304235B1 (ko) 다중전극코로나방전오염물제거장치
EP1304725A3 (en) Electrodeless discharge lamp using microwave energy
US6294869B1 (en) High intensity light irradiation apparatus
Ohsato et al. Megahertz operation of voltage-fed inverter for HID lamps using distributed constant line
RU2121729C1 (ru) Газоразрядное устройство
CA2341884A1 (en) Electronic ballast for discharge lamp with dielectrically impeded discharges
KR930011778A (ko) 무전극 고강도 방전 램프용 저 손실 l-c 구동회로
RU2027678C1 (ru) Устройство для бактерицидной обработки жидкости
SU1032269A1 (ru) Безэлектродна люминесцентна лампа
RU94009675A (ru) Магнетрон
CN216161688U (zh) 一种自动激励微波气体放电设备
FR2600520B1 (fr) Appareil de generation d'ondes de choc de frequence elevee dans un liquide pour la destruction a distance de cibles, telles que des concretions dont la connectique d'alimentation en courant electrique est disposee a l'interieur d'un element tubulaire limitant ou empechant les fuites electromagnetiques
CN216122971U (zh) 一种基于微波非线性器件的高效设备
GB2211658A (en) High pressure discharge lamp
RU96119166A (ru) Высоковольтный импульсный конденсатор
SU1241306A1 (ru) Безэлектродна люминесцентна лампа
MY126311A (en) Inverter-controlled sealed compressor
SU1617671A1 (ru) СВЧ-устройство дл обработки материалов