RU96122058A - Газоразрядное устройство - Google Patents

Claims (5)

1. Газоразрядное устройство, содержащее аксиально симметричную камеру, по меньшей мере с одной торцевой стенкой, узел ввода в камеру высокочастотной энергии, соосно установленный на внешней стенке камеры, и магнитную систему, обеспечивающую создание внутри камеры стационарного магнитного поля, напряженность которого уменьшается в радиальном направлении к оси симметрии камеры и в продольном направлении от области размещения узла ввода высокочастотной энергии, отличающееся тем, что узел ввода энергии выполнен в виде проводника зигзагообразной периодически повторяющейся симметричной формы, расположенного на торцевой и боковой стенках камеры, а магнитная система приспособлена для создания магнитного поля, напряженность которого в продольном направлении спадает к торцевой части камеры, противоположной области размещения узла ввода энергии.

2. Газоразрядное устройство по п.1, отличающееся тем что поперечный размер камеры превышает ее продольный размер.

3. Газоразрядное устройство по п. 1 или 2, отличающееся тем, что камера снабжена газовводом, установленным на торцевой стенке камеры со стороны области размещения узла ввода энергии.

4. Газоразрядное устройство по любому из пп.1- 3, отличающееся тем, что оно снабжено монтажным фланцем, на котором закреплена камера, при этом в нем выполнены гермовводы электрических выводов узла ввода энергии и газоввода камеры, а также элементы разъемного соединения для крепления к установочному фланцу.

5. Газоразрядное устройство по п. 4, отличающееся тем, что гермовводы состоят из двух втулок, уплотняющей шайбы, установленной между торцами втулок, и уплотняющего болта, установленного соосно с одной из втулок.