RU97106228A - Полупроводниковый датчик газов - Google Patents
Полупроводниковый датчик газовInfo
- Publication number
- RU97106228A RU97106228A RU97106228/25A RU97106228A RU97106228A RU 97106228 A RU97106228 A RU 97106228A RU 97106228/25 A RU97106228/25 A RU 97106228/25A RU 97106228 A RU97106228 A RU 97106228A RU 97106228 A RU97106228 A RU 97106228A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- gas
- sensitive layer
- gas sensor
- semiconductor
- electrodes
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims 6
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N Tin dioxide Chemical group O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000004706 metal oxides Chemical group 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims 1
Claims (4)
1. Полупроводниковый датчик газов представляет собой электроизолирующую подложку с размещенными на ней нагревателем и термодатчиком, электродами для газочувствительного слоя и газочувствительным слоем, помещенную с металлокерамический корпус, отличающийся тем, что на подложку из кремния, покрытую слоем диоксида кремния, нанесены нагреватель и термодатчик, выполненные из пластины с подслоем титана в виде резисторов типа "Меандр" и электроды встречно-штыревой конструкции для газочувствительного слоя, изготовленные из того материала, а газочувствительный слой представляет собой пленку металлооксидного полупроводника, нанесенного на встречно-штыревые электроды.
2. Полупроводниковый датчик газов по п.1, отличающийся тем, что на одном кристалле размещены две группы одинаковых электродов встречно-штыревой конструкции для газочувствительного слоя, включаемые по мостовой схеме.
3. Полупроводниковый датчик газов по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что газочувствительный слой представляет собой пленку двуокиси олова.
4. Полупроводниковый датчик газов по пп. 1-3, отличающийся тем, что на одном кристалле размещены два одинаковых тонкопленочных резистора типа "Меандр" для осуществления нагрева кристалла, измерения температуры и для использования кристалла в качестве термокондуктометрического датчика газов или для измерения скорости газовых потоков.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU97106228A RU2114422C1 (ru) | 1997-04-15 | 1997-04-15 | Полупроводниковый датчик газов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU97106228A RU2114422C1 (ru) | 1997-04-15 | 1997-04-15 | Полупроводниковый датчик газов |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2114422C1 RU2114422C1 (ru) | 1998-06-27 |
| RU97106228A true RU97106228A (ru) | 1998-10-10 |
Family
ID=20192079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU97106228A RU2114422C1 (ru) | 1997-04-15 | 1997-04-15 | Полупроводниковый датчик газов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2114422C1 (ru) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2835316B1 (fr) * | 2002-01-28 | 2004-09-17 | Dgtec | Detecteur de gaz sur substrat mince |
| RU2661611C1 (ru) * | 2017-12-06 | 2018-07-17 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) | Способ создания сенсорного элемента на основе микрорезонатора из пористого кремния для детекции паров взрывчатых веществ |
| RU196427U1 (ru) * | 2019-12-20 | 2020-02-28 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) | Керамический корпус для газочувствительного полупроводникового сенсора |
-
1997
- 1997-04-15 RU RU97106228A patent/RU2114422C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100351810B1 (ko) | 절대습도센서 | |
| KR970022254A (ko) | 저항온도계 | |
| GB2046921A (en) | Measuring sensor for determining the constituents of flowing gases | |
| JPS6491062A (en) | Mass air flow sensor | |
| DK1144968T3 (da) | Platintemperatursensor og fremgangsmåde til fremstilling af denne | |
| ES2312993T3 (es) | Dispositivo sensor de gas de pelicula semiconductora fina. | |
| RU97106228A (ru) | Полупроводниковый датчик газов | |
| EP0886137B1 (en) | A gas sensor with multiple exposed active elements | |
| JPH11354302A (ja) | 薄膜抵抗素子 | |
| RU2114422C1 (ru) | Полупроводниковый датчик газов | |
| RU2206082C1 (ru) | Полупроводниковый металлооксидный датчик газов | |
| JPH01313751A (ja) | ガスセンサ | |
| CN113767270A (zh) | 具有高灵敏度的差示量热计 | |
| RU2257567C1 (ru) | Твердотельный интегральный датчик газов | |
| JPH0220681Y2 (ru) | ||
| JP2548351B2 (ja) | 薄膜サーミスタ | |
| JPS6117410Y2 (ru) | ||
| JPS5965216A (ja) | 熱式流量計 | |
| JPS58102144A (ja) | ガスセンサ | |
| US20090052152A1 (en) | Electronic Sensor | |
| JPH0438425A (ja) | 熱式流量センサ | |
| RU93056436A (ru) | Датчик состава газа | |
| RU1786413C (ru) | Устройство дл определени концентрации газов | |
| JPH0428022Y2 (ru) | ||
| RU93013101A (ru) | Датчик состава газа |