RU96114657A - Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц (его варианты) - Google Patents
Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц (его варианты)Info
- Publication number
- RU96114657A RU96114657A RU96114657/09A RU96114657A RU96114657A RU 96114657 A RU96114657 A RU 96114657A RU 96114657/09 A RU96114657/09 A RU 96114657/09A RU 96114657 A RU96114657 A RU 96114657A RU 96114657 A RU96114657 A RU 96114657A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electrodes
- microparticles
- louvre
- options
- plasma
- Prior art date
Links
- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 title claims 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims 3
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 title claims 3
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 title 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 230000001681 protective Effects 0.000 claims 1
Claims (3)
1. Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц, содержащее жалюзную систему электродов, подключенную к положительному выводу источника напряжения, вторым выводом подключенного к аноду дугового испарителя, отличающееся тем, что электроды выполнены в виде постоянных магнитов с нанесенным на их поверхность проводящим покрытием, а торцы жалюзных электродов с обоих сторон от системы закрыты защитными экранами, электрически не связанными с жалюзи.
2. Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц, содержащее жалюзную систему электродов, подключенную к положительному выводу источника напряжения, вторым выводом подключенного к аноду лотового испарителя, отличающееся тем, что снаружи системы жалюзных электродов расположены постоянные магниты, выполненные в форме, подобной форме жалюзных электродов.
3. Устройство по пп. 1 и 2, отличающееся тем, что система жалюзных электродов выполнена из коаксиальных электродов усеченной конической формы.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU96114657A RU2097868C1 (ru) | 1996-07-09 | 1996-07-09 | Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц (его варианты) |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU96114657A RU2097868C1 (ru) | 1996-07-09 | 1996-07-09 | Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц (его варианты) |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2097868C1 RU2097868C1 (ru) | 1997-11-27 |
| RU96114657A true RU96114657A (ru) | 1998-02-10 |
Family
ID=20183551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU96114657A RU2097868C1 (ru) | 1996-07-09 | 1996-07-09 | Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц (его варианты) |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2097868C1 (ru) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EA016703B1 (ru) * | 2008-11-14 | 2012-06-29 | Государственное Научное Учреждение "Физико-Технический Институт Национальной Академии Наук Беларуси" | Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от незаряженных микро- и макрочастиц |
| US10304665B2 (en) | 2011-09-07 | 2019-05-28 | Nano-Product Engineering, LLC | Reactors for plasma-assisted processes and associated methods |
| US9761424B1 (en) | 2011-09-07 | 2017-09-12 | Nano-Product Engineering, LLC | Filtered cathodic arc method, apparatus and applications thereof |
| RU2516502C1 (ru) * | 2012-11-14 | 2014-05-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" | Вакуумно-дуговой генератор с жалюзийной системой фильтрации плазмы от микрочастиц |
| JP3211579U (ja) | 2014-08-04 | 2017-07-27 | スラサック スリンフォング | 陰極アークプラズマ蒸着システム内で使用するアークイオン蒸発器のフィルタ装置 |
-
1996
- 1996-07-09 RU RU96114657A patent/RU2097868C1/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6279071A (ja) | ポ−タブルイオン発生器 | |
| US5529613A (en) | Air ionization device | |
| US4719535A (en) | Air-ionizing and deozonizing electrode | |
| US4559467A (en) | Ion-generator for producing an air flow | |
| CA2032058A1 (en) | Circuit for dimming gas discharge lamps without introducing striations | |
| RU98121225A (ru) | Катод для распыления или электродугового испарения (варианты) и устройство для покрытия или ионной имплантации подложек | |
| RU96114657A (ru) | Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц (его варианты) | |
| KR890008344A (ko) | 자전관(磁電管) 원리에 의한 분무음극 | |
| RU96113928A (ru) | Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделий и устройство для его осуществления | |
| RU96108298A (ru) | Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц | |
| RU2010378C1 (ru) | Способ очистки электронного прожектора в вакуумной электронно-лучевой трубке | |
| US4879017A (en) | Multi-rod type magnetron sputtering apparatus | |
| RU96116291A (ru) | Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц (его варианты) | |
| RU96110833A (ru) | Вакуумно-дуговой источник плазмы | |
| RU2001122532A (ru) | Вакуумное дуговое устройство | |
| RU7638U1 (ru) | Устройство для очистки воздуха от примесей | |
| US4468591A (en) | Shaped discharge lamp with starting aid and starting strip | |
| KR20030075696A (ko) | 공기 청정기의 전기식 집진 필터 | |
| RU96110398A (ru) | Устройство для осуществления разряда | |
| RU96104460A (ru) | Электродуговой испаритель | |
| RU2411967C2 (ru) | Светильник | |
| KR970058784A (ko) | 전기집진장치 | |
| SU1748834A1 (ru) | Динамический аэроионизатор | |
| KR200162317Y1 (ko) | 전기집진기 | |
| KR20030075705A (ko) | 공기 청정기의 전기식 집진 필터 |