RU96108197A - ADAPTIVE OPTICAL MODULE - Google Patents

ADAPTIVE OPTICAL MODULE

Info

Publication number
RU96108197A
RU96108197A RU96108197/28A RU96108197A RU96108197A RU 96108197 A RU96108197 A RU 96108197A RU 96108197/28 A RU96108197/28 A RU 96108197/28A RU 96108197 A RU96108197 A RU 96108197A RU 96108197 A RU96108197 A RU 96108197A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
module according
hexagonal
radiation receiver
mirror
amplifier
Prior art date
Application number
RU96108197/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2084941C1 (en
Original Assignee
Ник энд Си Корпорейшн через "Хофман, Швиф энд Ко."
Filing date
Publication date
Application filed by Ник энд Си Корпорейшн через "Хофман, Швиф энд Ко." filed Critical Ник энд Си Корпорейшн через "Хофман, Швиф энд Ко."
Priority to RU96108197A priority Critical patent/RU2084941C1/en
Priority claimed from RU96108197A external-priority patent/RU2084941C1/en
Priority to AU66729/96A priority patent/AU6672996A/en
Priority to EP96926678A priority patent/EP0779530A1/en
Priority to PCT/RU1996/000161 priority patent/WO1996035973A1/en
Priority to JP8533980A priority patent/JPH10503300A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2084941C1 publication Critical patent/RU2084941C1/en
Publication of RU96108197A publication Critical patent/RU96108197A/en

Links

Claims (9)

1. Адаптивный оптический модуль, содержащий корректирующее устройство, включающее деформируемое биморфное зеркало, светоделительный элемент, модулирующее зеркало, задающий генератор, усилитель сигнала модулирующего зеркала, вход которого соединен с одним из выходов задающего генератора, а выход с модулирующим зеркалом, формирующую оптику, приемник излучения, выполненный в виде решетки фотодиодов, и электронный усилитель-преобразователь, входы которого соединены с выходами приемника излучения и задающего генератора, а выходы - с корректирующим устройством, отличающийся тем, что корректирующее устройство выполнено в виде динамической юстировочной головки с установленным в ней деформируемым биморфным зеркалом, выполненным в виде полупассивной биморфной структуры, содержащей гексагональную мозаичную систему многослойных пьезоэлектрических элементов шестиугольной или круглой формы, приемник излучения выполнен в виде гексагональной решетки из фотодиодов с круглой или шестиугольной световой апертурой, а электронный усилитель-преобразователь выполнен с возможностью формирования сигналов управления приводами динамической юстировочной головки.1. Adaptive optical module containing a correction device, including a deformable bimorph mirror, a beam splitter, a modulating mirror, a master oscillator, a signal amplifier of a modulating mirror, the input of which is connected to one of the outputs of the master oscillator, and the output with a modulating mirror, forming optics, a radiation receiver made in the form of a lattice of photodiodes, and an electronic amplifier-converter, the inputs of which are connected to the outputs of the radiation receiver and the master oscillator, and the outputs are connected to characterized by the fact that the correction device is made in the form of a dynamic alignment head with a deformable bimorph mirror installed in it, made in the form of a semi-passive bimorph structure containing a hexagonal mosaic system of hexagonal or circular multilayer piezoelectric elements, the radiation receiver is made in the form of a hexagonal lattice from photodiodes with a round or hexagonal light aperture, and the electronic amplifier-converter is made with the possibility of th forming drive control signals of the dynamic aligning head. 2. Модуль по п.1, отличающийся тем, что он снабжен расположенной перед приемником излучения гексагональной решеткой линз с круглыми световыми апертурами. 2. The module according to claim 1, characterized in that it is equipped with a hexagonal lens array with round light apertures located in front of the radiation receiver. 3. Модуль по п. 2, отличающийся тем, что каждый из фотодиодов приемника излучения расположен в фокусе соответствующей субапертуры гексагональной решетки линз. 3. The module according to claim 2, characterized in that each of the photodiodes of the radiation receiver is located at the focus of the corresponding subaperture of the hexagonal array of lenses. 4. Модуль по п. 2, отличающийся тем, что он снабжен набором волоконно-оптических кабелей, каждый из которых с одной стороны сопряжен с отдельной субапертурой гексагональной решетки линз, а с другой - с соответствующим фотодиодом приемника излучения. 4. The module according to claim 2, characterized in that it is equipped with a set of fiber optic cables, each of which on the one hand is connected to a separate subaperture of the hexagonal array of lenses, and on the other hand, to a corresponding photodiode of the radiation receiver. 5. Модуль по п. 4, отличающийся тем, что он снабжен оптическим элементом, сопряженным с одной стороны с гексагональной решеткой линз, а с другой стороны - с набором отдельных волоконно-оптических кабелей, при этом фокусы всех субапертур гексагональной решетки линз совпадают с задней плоскостью этого оптического элемента. 5. The module according to claim 4, characterized in that it is equipped with an optical element coupled on the one hand to the hexagonal array of lenses and, on the other hand, to a set of individual fiber-optic cables, while the foci of all subapertures of the hexagonal array of lenses coincide with the rear the plane of this optical element. 6. Модуль по любому из пп. 1-5, отличающийся тем, что он снабжен единым корпусом, в котором расположены все оптические элементы, включая приемник излучения, содержащем входное и выходное оптические окна, причем входное оптическое окно расположено перед деформируемым биморфным зеркалом в ходе луча, поступающего на него, а выходное оптическое окно расположено после светоделительного элемента в ходе луча, отраженного от него или прошедшего через него. 6. The module according to any one of paragraphs. 1-5, characterized in that it is equipped with a single housing in which all the optical elements are located, including a radiation receiver containing the input and output optical windows, the input optical window is located in front of the deformable bimorph mirror in the course of the beam entering it, and the output the optical window is located after the beam splitting element in the course of the beam reflected from it or passed through it. 7. Модуль по п. 6, отличающийся тем, что входное оптическое окно выполнено в виде объектива, входная световая апертура которого соответствует поперечному размеру луча, входящего в модуль, а его выходная световая апертура согласована с управляемой световой апертурой деформируемого биморфного зеркала с учетом угла наклона последнего по отношению к падающему на него лучу. 7. The module according to claim 6, characterized in that the input optical window is made in the form of a lens, the input light aperture of which corresponds to the transverse size of the beam entering the module, and its output light aperture is consistent with the controlled light aperture of the deformable bimorph mirror taking into account the angle of inclination the latter with respect to the ray incident on it. 8. Модуль по любому из пп. 1-7, отличающийся тем, что деформируемое биморфное зеркало выполнено охлаждаемым. 8. The module according to any one of paragraphs. 1-7, characterized in that the deformable bimorph mirror is made cooled. 9. Модуль по любому из пп. 1-8, отличающийся тем, что электронный усилитель-преобразователь включает в себя предварительный усилитель, входами связанный с соответствующими фотодиодами приемника излучения, а выходами со входами синхронного детектора со схемой вычитания, один из входов которого связан с выходом задающего генератора, а к выходам параллельно подсоединены преобразователь и блок умножения, последовательно связанные соответственно через первый усилитель с приводами динамической юстировочной головки и через цифро-аналоговый преобразователь и второй усилитель с многослойными пьезоэлектрическими элементами деформируемого биморфного зеркала. 9. The module according to any one of paragraphs. 1-8, characterized in that the electronic amplifier-converter includes a pre-amplifier, inputs connected to the corresponding photodiodes of the radiation receiver, and outputs with inputs of a synchronous detector with a subtraction circuit, one of the inputs of which is connected to the output of the master oscillator, and to the outputs in parallel a converter and a multiplication unit connected in series through the first amplifier with the drives of the dynamic alignment head and through the digital-to-analog converter and the second are connected amplifier with multilayer piezoelectric elements of a deformable bimorph mirror.
RU96108197A 1996-05-06 1996-05-06 Adaptive optical module RU2084941C1 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU96108197A RU2084941C1 (en) 1996-05-06 1996-05-06 Adaptive optical module
AU66729/96A AU6672996A (en) 1996-05-06 1996-06-17 Adaptive optical module
EP96926678A EP0779530A1 (en) 1996-05-06 1996-06-17 Adaptive optical module
PCT/RU1996/000161 WO1996035973A1 (en) 1996-05-06 1996-06-17 Adaptive optical module
JP8533980A JPH10503300A (en) 1996-05-06 1996-06-17 Adaptive optical module

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU96108197A RU2084941C1 (en) 1996-05-06 1996-05-06 Adaptive optical module

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2084941C1 RU2084941C1 (en) 1997-07-20
RU96108197A true RU96108197A (en) 1998-08-10

Family

ID=20179832

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU96108197A RU2084941C1 (en) 1996-05-06 1996-05-06 Adaptive optical module

Country Status (5)

Country Link
EP (1) EP0779530A1 (en)
JP (1) JPH10503300A (en)
AU (1) AU6672996A (en)
RU (1) RU2084941C1 (en)
WO (1) WO1996035973A1 (en)

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10046379A1 (en) * 2000-09-20 2002-03-28 Zeiss Carl System for the targeted deformation of optical elements
US6549323B1 (en) * 2001-10-01 2003-04-15 The Boeing Company Active optical system for phase-shifting desired portions of an incoming optical wavefront
CN100386877C (en) * 2002-07-23 2008-05-07 东南大学 Parallel optical interconnecting integrated circuit chip
EP1857880B1 (en) 2003-04-09 2015-09-16 Nikon Corporation Exposure method and apparatus and device manufacturing method
TW201834020A (en) 2003-10-28 2018-09-16 日商尼康股份有限公司 Optical illumination device, exposure device, exposure method and device manufacturing method
TWI519819B (en) 2003-11-20 2016-02-01 尼康股份有限公司 Light beam converter, optical illuminating apparatus, exposure device, and exposure method
TWI395068B (en) 2004-01-27 2013-05-01 尼康股份有限公司 Optical system, exposure device and method of exposure
TWI511182B (en) 2004-02-06 2015-12-01 尼康股份有限公司 Optical illumination apparatus, light-exposure apparatus, light-exposure method and device manufacturing method
WO2006032878A1 (en) * 2004-09-21 2006-03-30 Mbda Uk Limited Adaptive-optics method and apparatus
US8451427B2 (en) 2007-09-14 2013-05-28 Nikon Corporation Illumination optical system, exposure apparatus, optical element and manufacturing method thereof, and device manufacturing method
JP5267029B2 (en) 2007-10-12 2013-08-21 株式会社ニコン Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
EP2179329A1 (en) 2007-10-16 2010-04-28 Nikon Corporation Illumination optical system, exposure apparatus, and device manufacturing method
CN101681123B (en) 2007-10-16 2013-06-12 株式会社尼康 Illumination optical system, exposure apparatus, and device manufacturing method
US8379187B2 (en) 2007-10-24 2013-02-19 Nikon Corporation Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
JP5418230B2 (en) 2007-11-06 2014-02-19 株式会社ニコン Exposure method and exposure apparatus
KR20180072841A (en) 2007-11-06 2018-06-29 가부시키가이샤 니콘 Illumination optical system, exposure device and exposure method
JP5326259B2 (en) 2007-11-08 2013-10-30 株式会社ニコン Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
TW200929333A (en) 2007-12-17 2009-07-01 Nikon Corp Illumination optical system, exposure apparatus, and device manufacturing method
WO2009078223A1 (en) 2007-12-17 2009-06-25 Nikon Corporation Spatial light modulating unit, illumination optical system, aligner, and device manufacturing method
KR20110000619A (en) 2008-04-11 2011-01-04 가부시키가이샤 니콘 Spatial light modulating unit, illumination optical system, aligner, and device manufacturing method
WO2009145048A1 (en) 2008-05-28 2009-12-03 株式会社ニコン Inspection device and inspecting method for spatial light modulator, illuminating optical system, method for adjusting the illuminating optical system, exposure device, and device manufacturing method
JPWO2010024106A1 (en) 2008-08-28 2012-01-26 株式会社ニコン Illumination optical system, exposure apparatus, and device manufacturing method
US8264666B2 (en) 2009-03-13 2012-09-11 Nikon Corporation Exposure apparatus, exposure method, and method of manufacturing device
US20110037962A1 (en) 2009-08-17 2011-02-17 Nikon Corporation Polarization converting unit, illumination optical system, exposure apparatus, and device manufacturing method
JP5598733B2 (en) 2009-12-23 2014-10-01 株式会社ニコン Spatial light modulation unit, illumination optical system, exposure apparatus, and device manufacturing method
JP5842615B2 (en) 2010-02-03 2016-01-13 株式会社ニコン Illumination optical apparatus, illumination method, and exposure method and apparatus
WO2011102109A1 (en) 2010-02-20 2011-08-25 株式会社ニコン Light source optimizing method, exposure method, device manufacturing method, program, exposure apparatus, lithography system, light source evaluation method, and light source modulation method
US20110205519A1 (en) 2010-02-25 2011-08-25 Nikon Corporation Polarization converting unit, illumination optical system, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9389519B2 (en) 2010-02-25 2016-07-12 Nikon Corporation Measuring method and measuring apparatus of pupil transmittance distribution, exposure method and exposure apparatus, and device manufacturing method
JP2012004465A (en) 2010-06-19 2012-01-05 Nikon Corp Illumination optical system, exposure equipment, and device manufacturing method
US20120212722A1 (en) 2011-02-21 2012-08-23 Nikon Corporation Fast Illumination Simulator Based on a Calibrated Flexible Point Spread Function
RU2467286C1 (en) * 2011-06-06 2012-11-20 Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" (ОАО "НПО "ГИПО") Device to align two-mirror aligned optical system
US10120283B2 (en) 2011-06-06 2018-11-06 Nikon Corporation Illumination method, illumination optical device, and exposure device
WO2012169089A1 (en) 2011-06-07 2012-12-13 株式会社ニコン Illumination optical system, exposure apparatus, device production method, and light polarization unit
TWI587002B (en) 2011-06-13 2017-06-11 尼康股份有限公司 Illumination method
CN107479333B (en) 2011-10-24 2020-09-01 株式会社尼康 Illumination optical system, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9732934B2 (en) 2011-10-28 2017-08-15 Nikon Corporation Illumination device for optimizing polarization in an illumination pupil
US9581811B2 (en) 2012-05-02 2017-02-28 Nikon Corporation Method for evaluating and improving pupil luminance distribution, illumination optical system and adjustment method thereof, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method
CN102853919B (en) * 2012-08-29 2014-03-05 华中科技大学 Wavefront measuring chip of hybrid integrated planar array liquid crystal micro-lens and infrared detector

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1615655A1 (en) * 1988-09-22 1990-12-23 Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики Corrector of wave front
US5166508A (en) * 1991-09-20 1992-11-24 United Technologies Corporation Optical processor for controlling a deformable mirror
US5229889A (en) * 1991-12-10 1993-07-20 Hughes Aircraft Company Simple adaptive optical system
US5396364A (en) * 1992-10-30 1995-03-07 Hughes Aircraft Company Continuously operated spatial light modulator apparatus and method for adaptive optics

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU96108197A (en) ADAPTIVE OPTICAL MODULE
RU2000118775A (en) INTEGRAL BIDIRECTIONAL MULTIPLEXOR WAVE LENGTHS WITH AXIAL GRADIENT REFRACTION INDICATOR / DIFFRACTION GRILLE
CA2152914A1 (en) Image Multispectral Sensing
CA2357660A1 (en) Method and apparatus for aligning telescopes within a free-space optical communication system
WO2003019123A3 (en) Apparatus and a method for pulse detection and characterization
RU99107554A (en) GLOBAL CONFLICT-FREE CONNECTION
US11762153B2 (en) Receiver optical assembly and assembly method thereof
RU98112567A (en) OPTICAL UNIT FOR DETECTION OF PURPOSE
JPS5669611A (en) Scanning optical system for array light source
RU2003137062A (en) OPTOELECTRONIC OBJECT DETECTION DEVICE (OPTIONS)
DE59607835D1 (en) CONUSOPTIC FOR FOCUSING RADIATION AND USING THE SAME FOR OPTICAL MOTION DETECTORS
CN210348116U (en) Acousto-optic modulator of multi-optical fiber collimator
RU1775703C (en) Multi-way delay line
JPS6479629A (en) Photodetector module
RU28238U1 (en) LASER TRANSMITTER
SU1739381A1 (en) Device for monitor information track of optical carrier
RU96124587A (en) DEVICE FOR CONTROL OF THE SIGHTS OF TELEARIENTING SYSTEMS WITH RADIATING CHANNELS ON INJECTION LASERS
SU1109959A1 (en) Device for converging optical rays of stereo television camera with one camera tube
SU924653A1 (en) Device for spatial filtration
RU96114307A (en) DEVICE FOR MONITORING ULTRAFILTRATION PARAMETERS
CN115103102A (en) Camera module and electronic equipment
RU93009213A (en) DEVICE FOR REGISTRATION OF THE IMAGE OF THE SURFACE OF A COMPLEX PROFILE LOCATED ON A PROPERTED DEPTH OF AN OBJECT, PREVIOUSLY GENETICALLY DETERMINED
JPS5711571A (en) Information recorder
ATE306091T1 (en) HYBRID IMAGING SYSTEM
Prince et al. Dynamically Interconnected S-SEEDs