RU94033271A - Устройство для измерения шероховатости поверхности - Google Patents

Устройство для измерения шероховатости поверхности

Info

Publication number
RU94033271A
RU94033271A RU94033271/28A RU94033271A RU94033271A RU 94033271 A RU94033271 A RU 94033271A RU 94033271/28 A RU94033271/28 A RU 94033271/28A RU 94033271 A RU94033271 A RU 94033271A RU 94033271 A RU94033271 A RU 94033271A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
roughness
receivers
measuring roughness
roughness parameters
radiation
Prior art date
Application number
RU94033271/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2092789C1 (ru
Inventor
П.Н. Емельянов
Original Assignee
Московский государственный технологический университет "СТАНКИН"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" filed Critical Московский государственный технологический университет "СТАНКИН"
Priority to RU94033271A priority Critical patent/RU2092789C1/ru
Publication of RU94033271A publication Critical patent/RU94033271A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2092789C1 publication Critical patent/RU2092789C1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение может быть использовано для измерения шероховатости поверхности. Оно позволяет повысить точность измерения для поверхностей деталей, изготовленных из материалов, отражающие свойства которых зависят от угла падения света. Устройство содержит пять приемников отраженного от поверхности излучения, расположенных симметрично отнoсительно зеркального направления. Вычислительное устройство выдает усредненное значение параметров шероховатости.

Claims (1)

  1. Изобретение может быть использовано для измерения шероховатости поверхности. Оно позволяет повысить точность измерения для поверхностей деталей, изготовленных из материалов, отражающие свойства которых зависят от угла падения света. Устройство содержит пять приемников отраженного от поверхности излучения, расположенных симметрично отнoсительно зеркального направления. Вычислительное устройство выдает усредненное значение параметров шероховатости.
RU94033271A 1994-09-12 1994-09-12 Устройство для измерения шероховатости поверхности RU2092789C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94033271A RU2092789C1 (ru) 1994-09-12 1994-09-12 Устройство для измерения шероховатости поверхности

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94033271A RU2092789C1 (ru) 1994-09-12 1994-09-12 Устройство для измерения шероховатости поверхности

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU94033271A true RU94033271A (ru) 1996-07-27
RU2092789C1 RU2092789C1 (ru) 1997-10-10

Family

ID=20160401

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU94033271A RU2092789C1 (ru) 1994-09-12 1994-09-12 Устройство для измерения шероховатости поверхности

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2092789C1 (ru)

Also Published As

Publication number Publication date
RU2092789C1 (ru) 1997-10-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2194748T3 (es) Procedimiento y dispositivo destinados para la determinacion de posiciones y de orientaciones espaciales.
ATE225929T1 (de) Vorrichtung zur messung der dicke transparenter gegenstände
WO1998028661A3 (en) Optical height meter, surface-inspection device provided with such a height meter, and lithographic apparatus provided with the inspection device
JPH02500860A (ja) 光学角度測定装置
EP0866313A1 (en) A sensor and a method for measuring distances to, and/or physical properties of, a medium
KR910017163A (ko) 웨브의 두께측정 시스템
KR890014990A (ko) 광학식 측정장치
US6456383B1 (en) Method and apparatus for making absolute range measurements
DE69912608D1 (de) Hochgenaues interferometer mit lichtleitern
RU94033271A (ru) Устройство для измерения шероховатости поверхности
CA2043020A1 (en) Device for and method of measurement of an angle of incidence of a luminous beam
Pierce et al. A novel laser triangulation technique for high precision distance measurement
WO2014038601A1 (ja) 塗膜の表面粗度分布測定装置
US6084662A (en) Light transmittance measuring device and process for separating transmittance and reflectance
ATE215700T1 (de) Messanschlagvorrichtung für ein entfernungsmessgerät
JPS57104803A (en) Displacement measuring apparatus
DE3672583D1 (de) Anordnung fuer das optische messen von oberflaechenprofilen.
GB1461866A (en) Measurement of optical properties of surfaces
JPH0548405B2 (ru)
JP2932829B2 (ja) 波長変動量測定装置
RU2258903C2 (ru) Способ измерения перемещения объекта и устройство для его осуществления (варианты)
SU769323A1 (ru) Устройство дл определени класса шероховатости полированных металлических поверхностей издели
SU1647242A1 (ru) Бесконтактный оптический способ определени среднеквадратичной высоты шероховатости поверхности
US5497228A (en) Laser bevel meter
JPS59111026A (ja) 鋼板の温度測定方法