RU94026882A - Позиционирующее устройство - Google Patents

Позиционирующее устройство

Info

Publication number
RU94026882A
RU94026882A RU94026882/28A RU94026882A RU94026882A RU 94026882 A RU94026882 A RU 94026882A RU 94026882/28 A RU94026882/28 A RU 94026882/28A RU 94026882 A RU94026882 A RU 94026882A RU 94026882 A RU94026882 A RU 94026882A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
working
rods
axis
scanning
tunnel
Prior art date
Application number
RU94026882/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2080631C1 (ru
Inventor
Ю.Е. Дукаревич
Original Assignee
Ю.Е. Дукаревич
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ю.Е. Дукаревич filed Critical Ю.Е. Дукаревич
Priority to RU94026882A priority Critical patent/RU2080631C1/ru
Publication of RU94026882A publication Critical patent/RU94026882A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2080631C1 publication Critical patent/RU2080631C1/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y15/00—Nanotechnology for interacting, sensing or actuating, e.g. quantum dots as markers in protein assays or molecular motors

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области прецизионной электромеханики и может быть использовано в области нанотехнологии, в том числе для нужд сканирующей туннельной микроскопии (СТМ). Цель изобретения: увеличение диапазона рабочих перемещений, жесткости конструкции, скорости и точности перемещений рабочего звена. Поставленная цель достигается тем, что позиционирующее устройство выполнено в виде монолитной симметричной Н-образной стержневой конструкции, состоящей из стержней с упругими цилиндрическими шарнирами на концах и в середине стержней, причем оси шарниров параллельны оси OZ (оси СТМ-острия). Боковые стержни ортогональны центральному стержню и жестко соединены с корпусом устройства через линейные пьезоэлектрические элементы. В середине центрального стержня закреплено звено, несущее рабочий орган (СТМ-острие) и оптическую шкалу датчика линейных перемещений. Устройство содержит также бесконтактный датчик силы, статор и ротор которого закреплены на корпусе и рабочем звене соответственно.

Claims (1)

  1. Изобретение относится к области прецизионной электромеханики и может быть использовано в области нанотехнологии, в том числе для нужд сканирующей туннельной микроскопии (СТМ). Цель изобретения: увеличение диапазона рабочих перемещений, жесткости конструкции, скорости и точности перемещений рабочего звена. Поставленная цель достигается тем, что позиционирующее устройство выполнено в виде монолитной симметричной Н-образной стержневой конструкции, состоящей из стержней с упругими цилиндрическими шарнирами на концах и в середине стержней, причем оси шарниров параллельны оси OZ (оси СТМ-острия). Боковые стержни ортогональны центральному стержню и жестко соединены с корпусом устройства через линейные пьезоэлектрические элементы. В середине центрального стержня закреплено звено, несущее рабочий орган (СТМ-острие) и оптическую шкалу датчика линейных перемещений. Устройство содержит также бесконтактный датчик силы, статор и ротор которого закреплены на корпусе и рабочем звене соответственно.
RU94026882A 1994-07-11 1994-07-11 Позиционирующее устройство RU2080631C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94026882A RU2080631C1 (ru) 1994-07-11 1994-07-11 Позиционирующее устройство

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94026882A RU2080631C1 (ru) 1994-07-11 1994-07-11 Позиционирующее устройство

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU94026882A true RU94026882A (ru) 1996-07-27
RU2080631C1 RU2080631C1 (ru) 1997-05-27

Family

ID=20158574

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU94026882A RU2080631C1 (ru) 1994-07-11 1994-07-11 Позиционирующее устройство

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2080631C1 (ru)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2603353C1 (ru) * 2015-07-23 2016-11-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ФГБОУ ВПО "Пензенский государственный университет") Усиливающий пьезоэлектрический актюатор
RU2624773C1 (ru) * 2016-07-05 2017-07-06 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Пензенский государственный университет" (ФГБОУ ВО "Пензенский государственный университет") Усиливающий пьезоэлектрический актюатор повышенной точности позиционирования

Also Published As

Publication number Publication date
RU2080631C1 (ru) 1997-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE77151T1 (de) Dreiachsenbeschleunigungsmesser.
DE69126830D1 (de) Biegebalkenmessfühler und mit dem Messfühler ausgestattete Informationsverarbeitungsvorrichtung
CN106195556B (zh) 一种XYθ平面三自由度精密定位平台
EA199800338A1 (ru) Монолитный датчик ускорения и акселерометр, включающий датчики
ATE32674T1 (de) Schwerkraftausgleichsvorrichtung fuer einen roboterarm.
JPS6168805U (ru)
RU94026882A (ru) Позиционирующее устройство
SE7904241L (sv) Transoraggregat
US6272766B1 (en) Length measuring instrument, and machine having a length measuring instrument
CN116124110A (zh) 一种面内扭摆式四质量块mems陀螺仪
JP3168408B2 (ja) 力覚センサ
SU1308789A1 (ru) Устройство дл виброзащиты
ATE81224T1 (de) Einstellgeraet fuer eine messsonde.
RU2209394C2 (ru) Микромеханический гироскоп
SU640385A1 (ru) Пьезоэлектрический преобразователь микроперемещений
GB1599082A (en) Gyroscopic apparatus
SU667926A1 (ru) Трехкомпонентный пьезоэлектрический акселерометр
SU661348A1 (ru) Стенд дл градуировки акселерометров
SU1323964A1 (ru) Стенд дл градуировки угловых акселерометров
RU30972U1 (ru) Микромеханический гироскоп
SU1379660A1 (ru) Колебательна система балансировочного станка
SU559183A1 (ru) Датчик ускорений
SU706136A1 (ru) Параметрическое вибрационное устройство
RU93013919A (ru) Вибрационный гироскоп
SU1033788A2 (ru) Опора дл узлов точной механики