RU93013919A - Вибрационный гироскоп - Google Patents
Вибрационный гироскопInfo
- Publication number
- RU93013919A RU93013919A RU93013919/28A RU93013919A RU93013919A RU 93013919 A RU93013919 A RU 93013919A RU 93013919/28 A RU93013919/28 A RU 93013919/28A RU 93013919 A RU93013919 A RU 93013919A RU 93013919 A RU93013919 A RU 93013919A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plates
- angular velocity
- power converters
- rotation axes
- base
- Prior art date
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
Claims (1)
- Настоящее изобретение относится к области измерительной техники, а именно к измерительным преобразователям угловой скорости. Целью изобретения является повышение точности измерения угловой скорости. Данная цель достигается тем, что в вибрационном гироскопе, содержащем корпус, основание, пластину с внутренней и внешней рамками, соединенными друг с другом и с основанием упругими перемычками, оси вращения которых образуют две взаимно перпендикулярные оси вращения, емкостный датчик положения, электростатические силовые преобразователи системы возбуждения колебаний, первая пластина имеет внутреннюю подвижную и наружную неподвижную рамки, введенные вторая и третья пластины имеют внутреннюю и внешнюю рамки, внутренние рамки первой или второй и третьей пластин выполнены утолщенными, пластины соединены плоскостями своих внутренних рамок, каждая из пластин выполнена единым элементом из монокристаллического кремния, электроды датчиков положения и силовых преобразователей выполнены на пластинах.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93013919A RU2073209C1 (ru) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | Вибрационный гироскоп |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93013919A RU2073209C1 (ru) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | Вибрационный гироскоп |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU93013919A true RU93013919A (ru) | 1996-10-20 |
RU2073209C1 RU2073209C1 (ru) | 1997-02-10 |
Family
ID=20138763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU93013919A RU2073209C1 (ru) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | Вибрационный гироскоп |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2073209C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111024213B (zh) * | 2019-12-27 | 2021-03-30 | 安徽芯淮电子有限公司 | 柔性电容式振动传感器及其制作方法 |
-
1993
- 1993-03-17 RU RU93013919A patent/RU2073209C1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0894661A (ja) | 圧電素子を用いた加速度・角速度センサ | |
DE69629676D1 (de) | Mikrogefertigter beschleunigungs-und koriolissensor | |
KR940702269A (ko) | 회전 센서(rotation sensor) | |
EA199800338A1 (ru) | Монолитный датчик ускорения и акселерометр, включающий датчики | |
RU93013919A (ru) | Вибрационный гироскоп | |
SU1040424A1 (ru) | Угловой акселерометр | |
SE8406148L (sv) | Tvaaxlig multisensor | |
RU93028594A (ru) | Вибрационный гироскоп | |
RU2058534C1 (ru) | Бесплатформенный инерциальный измерительный блок | |
RU92013641A (ru) | Датчик инерциальной первичной информации | |
RU93032925A (ru) | Вибрационный гироскоп | |
RU18768U1 (ru) | Микромеханический вибрационный гироскоп | |
RU92013589A (ru) | Датчик инерциальной первичной информации | |
RU93044515A (ru) | Преобразователь первичной инерциальной информации | |
RU2073209C1 (ru) | Вибрационный гироскоп | |
RU2027146C1 (ru) | Динамически настраиваемый гироскоп | |
RU1798628C (ru) | Трехкомпонентный вибропреобразователь | |
JPS63172915A (ja) | ジヤイロ装置 | |
SU1456791A1 (ru) | Датчик крутильных колебаний | |
SU659912A1 (ru) | Устройство дл измерени параметров механических колебаний | |
RU2018133C1 (ru) | Датчик инерциальной первичной информации | |
RU2119645C1 (ru) | Датчик инерциальной первичной информации | |
RU92012459A (ru) | Микромеханический вибрационный гироскоп | |
SU881536A2 (ru) | Трехкомпонентный вибропреобразователь | |
SU834404A1 (ru) | Трехкомпонентный вибродатчик |