RU93051074A - Способ определения качества металлических слоев и устройство для определения качества металлических слоев - Google Patents
Способ определения качества металлических слоев и устройство для определения качества металлических слоевInfo
- Publication number
- RU93051074A RU93051074A RU93051074/25A RU93051074A RU93051074A RU 93051074 A RU93051074 A RU 93051074A RU 93051074/25 A RU93051074/25 A RU 93051074/25A RU 93051074 A RU93051074 A RU 93051074A RU 93051074 A RU93051074 A RU 93051074A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- quality
- metal film
- metal layers
- determining
- information
- Prior art date
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 8
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 3
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Claims (1)
- Использование: в технике оптических измерений, в оптическом приборостроении для получения оперативной информации о морфологии и рельефе поверхности металлических слоев с использованием инфракрасного излучения. Сущность изобретения: в способе определения качества металлических слоев поверхность исследуемого образца с напыленной металлической пленкой облучается электромагнитным излучением в диапазоне длин волн 0,5-5 мкм с фиксацией интенсивности отраженной составляющей оптическим прибором и ее анализом. Полученная информация сравнивается с уже имеющейся информацией по эталонному образцу с напыленной металлической пленкой, рельеф и морфология которого известны. В устройстве для определения качества металлических слоев сигнал от источника излучения - лампы накаливания попадает на исследуемый образец с металлической пленкой, находящийся на предметном столике. Отраженная составляющая фиксируется с помощью фотодатчика, сравнивается с эталонной и преобразуется в электрический сигнал. Питание узлов устройства осуществляется с помощью стабилизированного источника питания. По интенсивности отраженного сигнала проводится качественная интегральная оценка металлической пленки. Информация о качестве металлической пленки выводится на внешнюю панель устройства и высвечивается с помощью двух световодов "годен-брак".
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU93051074A true RU93051074A (ru) | 1996-06-10 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0060431A1 (en) | Apparatus for measurement of the yield of fluorescent radiation | |
| EP1650548A3 (en) | Surface plasmon sensor | |
| JPH09206283A (ja) | 光反射測定のための装置 | |
| TW355215B (en) | Method for measuring the optical properties of transparent-reflective and/or reflective objects as well as measuring apparatus for carrying out such method | |
| JPS63175744A (ja) | 光吸収分析装置 | |
| US4529319A (en) | Method and apparatus for the detection of thermo-optical signals | |
| KR890000876A (ko) | 미소 고저차 측정장치 및 그 방법 | |
| KR890005498A (ko) | 분광 광도계 | |
| KR970070995A (ko) | 자기 광학 효과 측정 장치 | |
| FR2729220B1 (fr) | Dispositif de mesure colorimetrique d'un ecran d'affichage | |
| JPS62192632A (ja) | 顕微鏡測光器 | |
| BR9005186A (pt) | Processo e dispositivo de deteccao e de medida de uma grandeza fisica | |
| DE59104856D1 (de) | Photometrische Messeinrichtung. | |
| FI72391C (fi) | Foerfarande foer maetning av skillnaden av faergaemnehalt i prov. | |
| US4555178A (en) | Method for the measurement of the difference in the optical properties dependent on the light direction of two samples | |
| RU93051074A (ru) | Способ определения качества металлических слоев и устройство для определения качества металлических слоев | |
| JP2894364B2 (ja) | 光学的測定装置 | |
| JP3417494B2 (ja) | 硝子基板の表面うねり検査方法及び装置 | |
| KR101764704B1 (ko) | 독소 측정장치 | |
| KR910008376A (ko) | 렌즈의 표면질 측정방법 | |
| RU2077753C1 (ru) | Способ и устройство определения электрофизических параметров полупроводниковой пластины | |
| JP2001041713A (ja) | 微少領域測定装置 | |
| RU2188401C1 (ru) | Интерферометр | |
| KR970010932B1 (ko) | 광섬유와 소형적분구를 이용한 색채측정기 | |
| SU879329A1 (ru) | Способ фотометрического анализа жидкостей,аэрозолей и газов |