RU93018757A - Устройство катодного узла - Google Patents
Устройство катодного узлаInfo
- Publication number
- RU93018757A RU93018757A RU93018757/10A RU93018757A RU93018757A RU 93018757 A RU93018757 A RU 93018757A RU 93018757/10 A RU93018757/10 A RU 93018757/10A RU 93018757 A RU93018757 A RU 93018757A RU 93018757 A RU93018757 A RU 93018757A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- magnetic system
- device cathode
- increase
- vacuum
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
Claims (1)
- Изобретение относится к области нанесения тонких пленок в вакууме, а более конкретно - к устройствам катодного узла. Для повышения индукции в рабочем зазоре и повышения скорости распыления материала вакуумная камера выполнена из немагнитного материала в форме прямоугольного параллелепипеда, у которого боковые стенки из диэлектрического материала, высота параллелепипеда составляет половину от ширины магнитной системы, которая расположена вне вакуумной камеры. Магнитная система с замкнутым магнитным полем выполнена в виде рамки, установленной на вакуумной камере с возможностью линейного перемещения, а полюса магнитной системы обращены внутрь рамки.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93018757A RU2089659C1 (ru) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | Устройство катодного узла для нанесения пленок в вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93018757A RU2089659C1 (ru) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | Устройство катодного узла для нанесения пленок в вакууме |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU93018757A true RU93018757A (ru) | 1995-10-20 |
RU2089659C1 RU2089659C1 (ru) | 1997-09-10 |
Family
ID=20140105
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU93018757A RU2089659C1 (ru) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | Устройство катодного узла для нанесения пленок в вакууме |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2089659C1 (ru) |
-
1993
- 1993-04-12 RU RU93018757A patent/RU2089659C1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR950006224A (ko) | 연소효율 증강장치 | |
DE69201588D1 (de) | Magnetplatte mit Permanentmagneten. | |
KR880001258A (ko) | 자석 잠금구 | |
CA2083988A1 (en) | Balanced armature transducers with transverse gap | |
ATE36784T1 (de) | Elektrischer flachspulenantrieb. | |
ATE148598T1 (de) | Linearbewegung erzeugendes elektromechanisches umwandlungsgerät | |
DE59302488D1 (de) | Elektromechanischer Doppelhubmagnet | |
CA2038480A1 (en) | Two-stator induction synchronous motor | |
RU93018757A (ru) | Устройство катодного узла | |
KR910010482A (ko) | 디스크장치용 회전액튜에이터 | |
JPS57207173A (en) | Magnetron sputtering device of magnetic field press contact type | |
RU2089659C1 (ru) | Устройство катодного узла для нанесения пленок в вакууме | |
CA2008934A1 (en) | Magnetron sputtering apparatus | |
DE69322369T2 (de) | Magnetstruktur mit reflektor | |
JPH0525625A (ja) | マグネトロンスパツタカソード | |
IT1077180B (it) | Interruttore elettrico per l'apertura e la chiusura di un circuito elettrico mediante commutazione di una corrente di apertura da un percorso di corrente permanente ad un percorso di corrente di spegnimento o viceversa | |
DE69301216D1 (de) | Vielphasiger elektromagnetischer Wandler mit einem vielpoligen Dauermagnet | |
RU93015059A (ru) | Катодный узел для получения тонких пленок в вакууме | |
RU2002127865A (ru) | Магнетронная распылительная система | |
GB1164307A (en) | Magnets. | |
RU92007459A (ru) | Катодный узел | |
RU93012688A (ru) | Катодный узел, преимущественно для пучково-плазменного нанесения тонких пленок | |
RU92012682A (ru) | Магнитная система однополюсного магнита | |
RU97105448A (ru) | Магнетронное распылительное устройство | |
JPS57189558A (en) | Circular-arc linear motor |