RU93018757A - Устройство катодного узла - Google Patents

Устройство катодного узла

Info

Publication number
RU93018757A
RU93018757A RU93018757/10A RU93018757A RU93018757A RU 93018757 A RU93018757 A RU 93018757A RU 93018757/10 A RU93018757/10 A RU 93018757/10A RU 93018757 A RU93018757 A RU 93018757A RU 93018757 A RU93018757 A RU 93018757A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
vacuum chamber
magnetic system
device cathode
increase
vacuum
Prior art date
Application number
RU93018757/10A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2089659C1 (ru
Inventor
Е.Н. Ивашов
П.Е. Кондрашов
С.М. Оринчев
В.В. Слепцов
С.В. Степанчиков
Original Assignee
Е.Н. Ивашов
П.Е. Кондрашов
С.М. Оринчев
В.В. Слепцов
С.В. Степанчиков
Filing date
Publication date
Application filed by Е.Н. Ивашов, П.Е. Кондрашов, С.М. Оринчев, В.В. Слепцов, С.В. Степанчиков filed Critical Е.Н. Ивашов
Priority to RU93018757A priority Critical patent/RU2089659C1/ru
Priority claimed from RU93018757A external-priority patent/RU2089659C1/ru
Publication of RU93018757A publication Critical patent/RU93018757A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2089659C1 publication Critical patent/RU2089659C1/ru

Links

Claims (1)

  1. Изобретение относится к области нанесения тонких пленок в вакууме, а более конкретно - к устройствам катодного узла. Для повышения индукции в рабочем зазоре и повышения скорости распыления материала вакуумная камера выполнена из немагнитного материала в форме прямоугольного параллелепипеда, у которого боковые стенки из диэлектрического материала, высота параллелепипеда составляет половину от ширины магнитной системы, которая расположена вне вакуумной камеры. Магнитная система с замкнутым магнитным полем выполнена в виде рамки, установленной на вакуумной камере с возможностью линейного перемещения, а полюса магнитной системы обращены внутрь рамки.
RU93018757A 1993-04-12 1993-04-12 Устройство катодного узла для нанесения пленок в вакууме RU2089659C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU93018757A RU2089659C1 (ru) 1993-04-12 1993-04-12 Устройство катодного узла для нанесения пленок в вакууме

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU93018757A RU2089659C1 (ru) 1993-04-12 1993-04-12 Устройство катодного узла для нанесения пленок в вакууме

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU93018757A true RU93018757A (ru) 1995-10-20
RU2089659C1 RU2089659C1 (ru) 1997-09-10

Family

ID=20140105

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU93018757A RU2089659C1 (ru) 1993-04-12 1993-04-12 Устройство катодного узла для нанесения пленок в вакууме

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2089659C1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR950006224A (ko) 연소효율 증강장치
DE69201588D1 (de) Magnetplatte mit Permanentmagneten.
KR880001258A (ko) 자석 잠금구
CA2083988A1 (en) Balanced armature transducers with transverse gap
ATE36784T1 (de) Elektrischer flachspulenantrieb.
ATE148598T1 (de) Linearbewegung erzeugendes elektromechanisches umwandlungsgerät
DE59302488D1 (de) Elektromechanischer Doppelhubmagnet
CA2038480A1 (en) Two-stator induction synchronous motor
RU93018757A (ru) Устройство катодного узла
KR910010482A (ko) 디스크장치용 회전액튜에이터
JPS57207173A (en) Magnetron sputtering device of magnetic field press contact type
RU2089659C1 (ru) Устройство катодного узла для нанесения пленок в вакууме
CA2008934A1 (en) Magnetron sputtering apparatus
DE69322369T2 (de) Magnetstruktur mit reflektor
JPH0525625A (ja) マグネトロンスパツタカソード
IT1077180B (it) Interruttore elettrico per l'apertura e la chiusura di un circuito elettrico mediante commutazione di una corrente di apertura da un percorso di corrente permanente ad un percorso di corrente di spegnimento o viceversa
DE69301216D1 (de) Vielphasiger elektromagnetischer Wandler mit einem vielpoligen Dauermagnet
RU93015059A (ru) Катодный узел для получения тонких пленок в вакууме
RU2002127865A (ru) Магнетронная распылительная система
GB1164307A (en) Magnets.
RU92007459A (ru) Катодный узел
RU93012688A (ru) Катодный узел, преимущественно для пучково-плазменного нанесения тонких пленок
RU92012682A (ru) Магнитная система однополюсного магнита
RU97105448A (ru) Магнетронное распылительное устройство
JPS57189558A (en) Circular-arc linear motor