RU93015059A - Катодный узел для получения тонких пленок в вакууме
- Google Patents
Катодный узел для получения тонких пленок в вакууме
Info
Publication number
RU93015059A
RU93015059ARU93015059/10ARU93015059ARU93015059ARU 93015059 ARU93015059 ARU 93015059ARU 93015059/10 ARU93015059/10 ARU 93015059/10ARU 93015059 ARU93015059 ARU 93015059ARU 93015059 ARU93015059 ARU 93015059A
Изобретение относится к области нанесения тонких пленок в вакууме, а более конкретно - к катодным узлам. Для повышения равномерности поля по всей длине магнитной системы она выполнена в виде набора сердечников-уголков и неподвижного ярма, установленных в общую катушку индуктивности, каждый сердечник-уголок выполнен с возможностью перемещения относительно неподвижного ярма, а вся магнитная система выполнена с возможностью перемещения вдоль электрода-мишени, причем магнитная система и устройство перемещения магнитной системы расположены вне вакуумного объема.
RU93015059A1993-03-221993-03-22Катодный узел для получения тонких пленок в вакууме
RU2089660C1
(ru)
Impianto per la deposizione sequenziale di film sottili, con inseguimento di profili mediante "pecvd" e sputtering, anche assistitada campo magnetico, in configurazione magnetron.