RU60270U1

RU60270U1 - CARTRIDGE FOR TRANSPORTATION OF FLAT PRODUCTS, PREFERREDLY LIQUID CRYSTAL SCREENS

Info

Publication number: RU60270U1
Application number: RU2006133498/22U
Authority: RU
Inventors: Владимир Гаврилович Махаев; Андрей Андреевич Гавриков
Priority date: 2006-09-18
Filing date: 2006-09-18
Publication date: 2007-01-10

Abstract

Полезная модель относится к производству изделий электронной техники и может быть использована при изготовлении жидкокристаллических экранов (ЖКЭ) для транспортирования их на технологических операциях и между ними, а также может быть использована для транспортирования других плоских стеклянных изделий прямоугольной формы различных размеров. Кассета содержит скрепленные между собой боковые стенки с пазами для размещения изделий, подпружиненный фиксатор, установленный с одной торцевой стороны кассеты с возможностью возвратно-поступательного перемещения и выполненный в виде упругого стержня с кольцевыми выступами и пазами. Новым в кассете является то, что пазы кассеты выполнены профильными, в которых установлены подпружиненные с одной стороны съемные держатели, в сквозных отверстиях стенок, которых установлены с возможностью вращения ролики, снабженные кольцевым клиновидным пазом и выполненные из полиуретановой композиции, например, ветура. При этом кассета дополнительно снабжена вторым фиксатором, выполненным, аналогично первому и установленным с другой торцевой стороны кассеты. Кроме того, оба фиксатора установлены с возможностью взаимодействия с упорами рабочих позиций кассеты, а боковые стенки кассеты выполнены из отдельных стоек, соединенных между собой с помощью штанг с заданным шагом. Конструкция съемного держателя кассеты повышает срок службы ее, а также процент выхода годных изделий и позволяет унифицировать процесс изготовления и сборки кассеты. Предложенная конструкция кассеты позволяет использовать ее для транспортирования стеклянных пластин, например, для изготовления ЖКЭ, прямоугольной формы различных размеров на рабочие операции, а также The utility model relates to the manufacture of electronic products and can be used in the manufacture of liquid crystal screens (LCDs) for transporting them in technological operations and between them, and can also be used for transporting other flat glass products of rectangular shape of various sizes. The cassette contains side walls fastened together with grooves for placing products, a spring-loaded latch mounted on one end of the cassette with the possibility of reciprocating movement and made in the form of an elastic rod with ring protrusions and grooves. New in the cassette is that the grooves of the cassette are made in profile, in which removable holders spring-loaded on one side are mounted, in the through holes of the walls of which the rollers are mounted for rotation, provided with an annular wedge-shaped groove and made of a polyurethane composition, for example, wind. In this case, the cartridge is additionally equipped with a second latch, made, similar to the first and installed on the other end side of the cartridge. In addition, both latches are installed with the possibility of interaction with the stops of the working positions of the cartridge, and the side walls of the cartridge are made of separate racks, interconnected using rods with a given step. The design of the removable cartridge holder increases its service life, as well as the percentage of suitable products and allows you to unify the process of manufacturing and assembly of the cartridge. The proposed design of the cartridge allows you to use it for transporting glass plates, for example, for the manufacture of LCD, rectangular in various sizes for work operations, as well as

использовать ее на рабочих позициях, позволяя осуществлять загрузку выгрузку изделий с двух сторон, в отличие от известных. Кроме того, кассета исключает загрязнение изделий в процессе транспортирования их, что повышает процент выхода годных.use it at work positions, allowing loading to unload products from two sides, in contrast to the known ones. In addition, the cartridge eliminates the contamination of products in the process of transporting them, which increases the percentage of yield.

Description

Полезная модель относится к производству изделий электронной техники и может быть использована при изготовлении жидкокристаллических экранов (ЖКЭ) для транспортирования их на технологических операциях и между ними, а также может быть использована для транспортирования других плоских стеклянных изделий больших размеров.The utility model relates to the manufacture of electronic products and can be used in the manufacture of liquid crystal screens (LCD) for transportation on and between technological operations, and can also be used for transportation of other flat glass products of large sizes.

Известны различные устройства для транспортировки полупроводниковых пластин [1-4], содержащие различные подложкодержатели с пазами для пластин, отличающиеся сложностью и ограниченными функциональными возможностями. При этом направляющие пазы имеют меньшую твердость, чем полупроводниковые пластины или стеклянные подложки, что приводит к износу пазов. Так как пластины имеют круглую форму, то износ незначителен, а при загрузке-выгрузке стеклянных пластин прямоугольной формы идет усиленный износ.There are various devices for transporting semiconductor wafers [1-4] containing various substrate holders with grooves for wafers, characterized by complexity and limited functionality. In this case, the guide grooves have a lower hardness than semiconductor wafers or glass substrates, which leads to wear of the grooves. Since the plates are round in shape, the wear is negligible, and when loading and unloading glass plates of rectangular shape there is increased wear.

Так, устройство для передачи нескольких полупроводниковых пластин от одного грузоносителя к другому [1], содержит верхнюю и нижнюю рамы, открытые сверху и снизу. Каждая рама имеет несколько пар пазов и пластин. Рамы соединены между собой таким образом, что они могут быть смещены одна относительно другой. Устройство снабжено средством для разъемного крепления каждой рамы к грузоносителю, имеющему соответствующее число пазов, благодаря чему полупроводниковые пластины могут быть перемещены из одного грузоносителя через устройство к другому.So, a device for transferring several semiconductor wafers from one load carrier to another [1], contains the upper and lower frames, open above and below. Each frame has several pairs of grooves and plates. The frames are interconnected in such a way that they can be offset from one another. The device is equipped with means for releasably attaching each frame to a load carrier having an appropriate number of grooves, whereby semiconductor wafers can be moved from one load carrier through the device to another.

Недостатки известного устройства заключаются в сложности конструкции его.The disadvantages of the known device are the complexity of its design.

Устройство предназначено для перегрузки полупроводниковых пластин из одного грузоносителя в другой только в одном направлении.The device is designed to reload semiconductor wafers from one load carrier to another in only one direction.

Кроме того, вследствие того, что загрузка-выгрузка полупроводниковых пластин идет с трением скольжения, то продукты износа направляющих кассеты являются источником брака на последующих операциях, что недопустимо при изготовлении жидкокристаллических экранов. Поэтому известное устройство не может быть использовано для транспортировки стеклянных подложек, в частности, стеклопакетов для ЖКЭ.In addition, due to the fact that the loading and unloading of semiconductor wafers occurs with sliding friction, the wear products of the cassette guides are a source of rejection in subsequent operations, which is unacceptable in the manufacture of liquid crystal screens. Therefore, the known device cannot be used for transporting glass substrates, in particular, glass units for LCD.

Кассета для обработки и транспортировки полупроводниковых подложек [4] содержит размещенные между стойками подложкодержатели в виде установленных параллельно на разных уровнях стержней с поперечными пазами. Внутри стержней размещены подпружиненные штоки с поперечными пазами и механизмом их перемещения, кинематически соединенные со стержнями, размещенными на другом относительно подпружиненных штоков уровне, посредством двуплечего рычага или планки.The cassette for processing and transporting semiconductor substrates [4] contains substrate holders located between the racks in the form of rods with transverse grooves installed in parallel at different levels. Inside the rods are spring-loaded rods with transverse grooves and a mechanism for their movement, kinematically connected with rods placed on another level relative to the spring-loaded rods, by means of a two-shouldered lever or strap.

Кассета предназначена для групповой плазмохимической обработки и транспортировки полупроводниковых пластин на другую операцию. При этом не исключается соприкосновение части рабочей поверхности подложек с поверхностями боковых пазов и запоров кассеты, что является источником загрязнений подложек, недопустимых при изготовлении ЖКЭ. Кроме того, загрузка и выгрузка подложек осуществляется только с одной стороны кассеты, что ограничивает ее функциональные возможности.The cartridge is designed for group plasma-chemical processing and transportation of semiconductor wafers for another operation. In this case, the contact of a part of the working surface of the substrates with the surfaces of the side grooves and cassettes of the cassette is not excluded, which is a source of contamination of the substrates, which is unacceptable in the manufacture of LCDs. In addition, the loading and unloading of the substrates is carried out only on one side of the cassette, which limits its functionality.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является кассета для транспортирования плоских деталей [5], в частности, полупроводниковых приборов, интегральных схем на различных технологических операциях.The closest in technical essence and the achieved result is a cartridge for transporting flat parts [5], in particular, semiconductor devices, integrated circuits for various technological operations.

Кассета содержит эластичное основание с пазами для размещения деталей, фиксатор, выполненный в виде упругого стержня, установленного с возможностью возвратно-поступательного перемещения, и снабженный кольцевыми выступами с шагом, ровным шагу между пазами основания. При этом фиксатор подпружинен в направлении перемещения.The cassette contains an elastic base with grooves for placing parts, a latch made in the form of an elastic rod mounted with the possibility of reciprocating movement, and equipped with annular protrusions with a step equal to the step between the grooves of the base. In this case, the latch is spring loaded in the direction of movement.

Недостатки известной кассеты заключаются в том, что в результате соприкосновения рабочей поверхности изделий с поверхностями пазов на изделиях появляются посторонние частицы. Это сказывается на качестве обработки изделий на следующих операциях и приводит к браку, недопустимому при изготовлении ЖКЭ. В результате трения скольжения поверхности изделий о поверхности пазов кассеты происходит быстрый износ направляющих кассеты. Выгрузка изделий осуществляется лишь в одну сторону, что ограничивает ее функциональные возможности.The disadvantages of the known cassette are that as a result of contact of the working surface of the products with the surfaces of the grooves on the products, foreign particles appear. This affects the quality of product processing in the following operations and leads to marriage, unacceptable in the manufacture of LCD. As a result of sliding friction of the surface of the product on the surface of the grooves of the cartridge, there is a rapid wear of the guides of the cartridge. Unloading products is carried out only in one direction, which limits its functionality.

Поэтому, конструкция кассеты не позволяет использовать ее для обработки и транспортировки стеклянных пластин больших размеров, например 500×400 мм прямоугольной формы, используемых при изготовлении ЖКЭ.Therefore, the design of the cartridge does not allow its use for processing and transportation of large-sized glass plates, for example, 500 × 400 mm rectangular, used in the manufacture of LCDs.

Техническим результатом предложенной полезной модели является расширение технологических возможностей кассеты, повышение срока службы ее обеспечение надежной загрузки-выгрузки изделий в автоматическом режиме, увеличение процента выхода годных изделий.The technical result of the proposed utility model is to expand the technological capabilities of the cartridge, increase its service life, ensure reliable loading and unloading of products in automatic mode, increase the percentage of yield of suitable products.

Указанный технический результат достигается тем, что в кассете для транспортирования плоских изделий, преимущественно жидкокристаллических экранов, содержащей скрепленные между собой боковые стенки с пазами для размещения изделий, подпружиненный фиксатор, установленный с одной торцовой стороны кассеты с возможностью возвратно - поступательного перемещения и выполненный в виде упругого стержня с кольцевыми выступами и пазами, пазы кассеты выполнены профильными, в которых установлены подпружиненные с The specified technical result is achieved in that in a cassette for transporting flat products, mainly liquid crystal screens, containing side walls fastened together with grooves for placing products, a spring-loaded latch mounted on one end side of the cassette with the possibility of reciprocating movement and made in the form of an elastic rod with annular protrusions and grooves, the grooves of the cartridge are made profile, in which spring-loaded with

одной стороны съемные держатели, в сквозных отверстиях стенок которых установлены с возможностью вращения ролики, снабженные кольцевым клиновидным пазом, при этом кассета дополнительно снабжена вторым фиксатором, выполненным аналогично первому и установленным с другой торцевой стороны кассеты, кроме того, оба фиксатора установлены с возможностью взаимодействия с упорами рабочих позиций кассеты, а боковые стенки кассеты выполнены из отдельных стоек, соединенных между собой с помощью штанг с заданным шагом.on the one hand, removable holders, in the through holes of the walls of which rollers are mounted for rotation, provided with an annular wedge-shaped groove, the cassette is additionally equipped with a second latch, made similar to the first and installed on the other end side of the cassette, in addition, both latches are installed to interact with emphasis on the working positions of the cartridge, and the side walls of the cartridge are made of separate racks interconnected using rods with a given step.

Выполнение роликов, «...снабженных кольцевым клиновидным пазом...» обеспечивает минимальный контакт изделия (ЖКЭ) и паза, и следовательно, исключает загрязнение его, что повышает качество изготавливаемого ЖКЭ и процент выхода годных.The implementation of the rollers, "... equipped with an annular wedge-shaped groove ..." provides the minimum contact of the product (LCD) and the groove, and therefore, eliminates its contamination, which increases the quality of the manufactured LCD and yield.

Держатели, выполненные съемными и установленные в профильных пазах стенок кассеты, упрощают замену роликов в случае их износа. А вращающиеся ролики в держателях, выполненные из полиуретановой композиции, например ветура, исключают появление посторонних частиц в результате трения качения, увеличивают срок годности их и позволяют использовать кассету для автоматической загрузки-выгрузки изделий прямоугольной формы больших размеров.Holders made removable and installed in the profile grooves of the walls of the cassette simplify the replacement of the rollers in case of wear. And the rotating rollers in the holders, made of a polyurethane composition, such as wind, exclude the appearance of foreign particles as a result of rolling friction, increase their shelf life and allow the use of a cassette for automatic loading and unloading of rectangular large-sized products.

Введение дополнительного фиксатора позволяет осуществлять загрузку и выгрузку ЖКЭ с двух сторон, что повышает технологические возможности устройства.The introduction of an additional lock allows loading and unloading of LCDs from two sides, which increases the technological capabilities of the device.

Признак «...Боковые стенки кассеты выполнены из отдельных стоек, соединенных между собой с помощью штанг с заданным шагом» позволяет использовать кассету для различных размеров изделий, например ЖКЭ, снизить вес ее, а также использовать унифицированные детали для сборки кассет различных размеров.The sign "... The side walls of the cassette are made of separate racks interconnected by rods with a given step" allows you to use the cassette for various product sizes, such as LCD, reduce its weight, as well as use standardized parts for assembling cassettes of various sizes.

Таким образом, предложенная совокупность признаков является новой и направлена на достижение нового технического результата, Thus, the proposed set of features is new and is aimed at achieving a new technical result,

выражающегося в расширении технологических возможностей кассеты, повышении срока службы ее, надежной загрузке-выгрузке изделий в автоматическом режиме, увеличении процента выхода годных изделий.expressed in expanding the technological capabilities of the cartridge, increasing its service life, reliable loading and unloading of products in automatic mode, increasing the percentage of yield of suitable products.

Следовательно, она соответствует критериям патентоспособности: «новизна», «технический эффект», «промышленная применимость».Therefore, it meets the criteria of patentability: “novelty”, “technical effect”, “industrial applicability”.

Сущность полезной модели поясняется чертежами, где изображены:The essence of the utility model is illustrated by drawings, which depict:

На фиг.1 - кассета для транспортирования плоских изделий, преимущественно, ЖК-экранов;Figure 1 - cassette for transporting flat products, mainly LCD screens;

На фиг.2 - кассета для транспортирования плоских изделий, преимущественно, ЖК-экранов, вид сверху;Figure 2 - cassette for transporting flat products, mainly LCD screens, top view;

На фиг.3 - положение кассеты на рабочей технологической позиции.Figure 3 - position of the cartridge in the working technological position.

Предлагаемая кассета для транспортирования плоских изделий, преимущественно жидкокристаллических экранов (фиг.1-3) содержит две сборные боковые стенки 1 и 2, соединенные между собой стяжками 3.The proposed cartridge for transporting flat products, mainly liquid crystal screens (Fig.1-3) contains two prefabricated side walls 1 and 2, interconnected by ties 3.

Боковая стенка 1 собрана из двух крайних стоек 4 и средних стоек 5. Боковая стенка 2 собрана из двух крайних стоек 4 и средних стоек 6. Крайние стойки 4 и средние стойки 5 и 6 соединены между собой штангами 7. Количество и шаг стоек 5 и 6 определяется размерами транспортируемого изделия 8. Стойка 5 имеет профильный паз 9, а стойка 6 профильный паз 10, в которые устанавливается соответственно держатели 11 и 12 своими основаниями 13 и 14.Side wall 1 is assembled from two extreme racks 4 and middle racks 5. Side wall 2 is assembled from two extreme racks 4 and middle racks 6. Extreme racks 4 and middle racks 5 and 6 are interconnected by rods 7. Number and pitch of racks 5 and 6 is determined by the dimensions of the transported product 8. The rack 5 has a profile groove 9, and the rack 6 has a profile groove 10, in which the holders 11 and 12 are installed with their bases 13 and 14, respectively.

Держатели 11 и 12 снабжены упругими полками 15 с двумя соосно относительно друг друга расположенными в них круглыми разрезными отверстиями 16, в которые установлены ролики 17. Разрезные отверстия позволяют быстро производить съем и установку роликов 17 при сборке или после их отмывки. Ролики 17 снабжены кольцевым клиновидным пазом 18 и двумя соосными цилиндрическими выступами 19, образующими ось вращения роликов 17. В стойках 5 держатели 11 подпружинены пружиной 20, что позволяет транспортировать изделия разной толщины, а также с The holders 11 and 12 are equipped with elastic shelves 15 with two round split openings 16 coaxially relative to each other in which the rollers 17 are installed. The split openings allow quick removal and installation of the rollers 17 during assembly or after washing. The rollers 17 are equipped with an annular wedge-shaped groove 18 and two coaxial cylindrical protrusions 19, forming the axis of rotation of the rollers 17. In the racks 5, the holders 11 are spring-loaded with a spring 20, which allows you to transport products of different thicknesses, as well as

отклонениями по ширине. В стойках 6 держатели 12 закреплены неподвижно, что позволяет сохранять базовые размеры на изделиях при их транспортировании на позицию обработки. По торцам кассеты между верхними и нижними стяжками 3 установлены два фиксатора 21, подпружиненные с двух сторон пластинчатыми пружинами 22. Фиксаторы 21 выполнены в виде круглого стержня, имеющего кольцевые проточки 23 и выступы 24. Фиксаторы 21 позволяют производить загрузку-выгрузку изделий с двух сторон, а также лицевой или обратной стороной.deviations in width. In the racks 6, the holders 12 are fixed motionless, which allows you to save the basic dimensions on the products when they are transported to the processing position. At the ends of the cassette between the upper and lower ties 3 there are two clamps 21, spring-loaded on both sides by leaf springs 22. The clamps 21 are made in the form of a round rod having annular grooves 23 and projections 24. The clamps 21 allow loading and unloading of products from two sides, as well as the front or back side.

Кассета работает следующим образом.The cassette works as follows.

При установке пустой кассеты (фиг.3) на рабочую технологическую позицию 25 фиксаторы 21, одной из сторон взаимодействуя с упором 26, преодолевая сопротивление пружины 22, поднимаются вверх. Проточки 23 фиксатора 21 совмещаются с клиновидными пазами 18 роликов 17 держателей 11 и 12, (фиг.1, 3), предоставляя возможность загрузки изделий 8 в кассету лицевой или обратной стороной. Изделия в кассете перемещаются по клиновидным пазам 18 роликов 17, вращающихся в отверстиях 16 полок 15 держателей 11 и 12, контактируя с ними только торцевыми кромками, что позволяет значительно уменьшить загрязнение обрабатываемых поверхностей изделий 8, а следовательно, повысить % (процент) выхода годных изделий и увеличить срок службы кассеты.When installing an empty cartridge (figure 3) on the working technological position 25, the latches 21, one of the sides interacting with the stop 26, overcoming the resistance of the spring 22, rise up. The grooves 23 of the latch 21 are aligned with the wedge-shaped grooves 18 of the rollers 17 of the holders 11 and 12, (FIGS. 1, 3), allowing the products 8 to be loaded into the cartridge with the front or back side. The products in the cartridge move along the wedge-shaped grooves of 18 rollers 17, rotating in the holes 16 of the shelves 15 of the holders 11 and 12, in contact with them only by the end edges, which can significantly reduce the contamination of the treated surfaces of the products 8, and therefore, increase the% (percent) of the yield of suitable products and increase the life of the cartridge.

После загрузки кассеты изделиями 8, она извлекается с рабочей позиции известным способом и передается на другую технологическую операцию. При этом фиксаторы 21 перестают взаимодействовать с упором 26, пружины 22 возвращают их из верхнего положения в нижнее (фиг.1, 3). Выступы 24 перекрывают клиновидные пазы 18 роликов 17, фиксируя изделия 8 в кассете.After loading the cartridge products 8, it is removed from the working position in a known manner and transferred to another technological operation. In this case, the latches 21 cease to interact with the emphasis 26, the springs 22 return them from the upper position to the lower one (Figs. 1, 3). The protrusions 24 overlap the wedge-shaped grooves 18 of the rollers 17, fixing the product 8 in the cassette.

При установке кассеты на рабочее место другой технологической операции один из фиксаторов 21, взаимодействуя одной из сторон с упором 26, преодолевая сопротивление пружины 22, поднимается вверх.When installing the cartridge in the workplace of another technological operation, one of the latches 21, interacting with one of the sides with a stop 26, overcoming the resistance of the spring 22, rises.

Проточки 23 фиксаторов 21 совмещаются с изделиями 8, представляя возможность выгрузки их из кассеты на рабочую позицию.The grooves 23 of the clamps 21 are combined with the products 8, presenting the possibility of unloading them from the cartridge to the working position.

Таким образом, кассета позволяет использовать ее для транспортирования плоских изделий между рабочими позициями, а также на рабочей технологической позиции, позволяя осуществлять загрузку выгрузку изделий с двух сторон, как лицевой, так и обратной стороной, что существенно отличает ее от известных технических решений.Thus, the cartridge allows you to use it for transporting flat products between working positions, as well as at a working technological position, allowing loading to unload products from two sides, both front and back, which significantly distinguishes it from known technical solutions.

Предложенная конструкция повышает срок службы кассеты и уменьшает загрязнение рабочей поверхности, позволяет унифицировать процесс изготовления, сборки кассет под различные типоразмеры, автоматизировать процесс загрузки-выгрузки изделий на рабочих позициях при производстве ЖКЭ.The proposed design increases the life of the cartridge and reduces the contamination of the working surface, allows you to unify the manufacturing process, assembly of cartridges for various sizes, automate the process of loading and unloading products at work positions in the production of LCD.

Источники информации, принятые во внимание:Sources of information taken into account:

1. Патент США №3949891, Кл. В 65 Д 65/04, 1976 г.«Передаточное устройство для полупроводниковых пластин»1. US patent No. 3949891, CL. In 65 D 65/04, 1976, "Transmission device for semiconductor wafers"

2. Патент США №5452801, кл. H 01 L 21/67, 1955 г. «Конвейерная пластина для полупроводниковых пластин».2. US Patent No. 5452801, cl. H 01 L 21/67, 1955 "Conveyor plate for semiconductor wafers."

3. Авт.св. №957321 кл. H 01 L 21/68, 1982 г. «Кассета для обработки полупроводниковых подложек.»3. Auto No. 957321 class H 01 L 21/68, 1982 "Cassette for processing semiconductor substrates."

4. Авт.св. №1190871, кл. H 01 L 21/68, 1993 г. «Кассета для обработки и транспортировки полупроводниковых подложек».4. Auto No. 1190871, class H 01 L 21/68, 1993 "Cassette for the processing and transportation of semiconductor substrates."

5. Авт.св. №691947, кл. H 01 L 21/68, 1979 г. «Кассета для транспортирования плоских деталей». (прототип)5. Auto No. 691947, class H 01 L 21/68, 1979 "Cassette for transporting flat parts." (prototype)

Claims

Cassette for transporting flat products, mainly liquid crystal screens, containing side walls fastened together with grooves for placing products, a spring-loaded latch mounted on one end side of the cassette with the possibility of reciprocating movement and made in the form of an elastic rod with ring protrusions and grooves, characterized the fact that the grooves of the cartridge are made profile, in which removable holders are spring loaded on one side, in the through holes of the walls They are mounted for rotation with rollers equipped with an annular wedge-shaped groove, while the cassette is additionally equipped with a second latch made similar to the first and installed on the other end side of the cassette, in addition, both latches are mounted to interact with the stops of the working positions of the cassette, and the side walls of the cassette made of separate racks interconnected using rods with a given step.