RU43111U1

RU43111U1 - NANOTECHNOLOGICAL MOVEMENT DEVICE

Info

Publication number: RU43111U1
Application number: RU2004117985/22U
Authority: RU
Inventors: П.Е. Железов; Е.Н. Ивашов; Н.П. Коломейцев; Д.П. Кондратьев; Ю.С. Тихоглаз; Б.Б. Юсупов
Priority date: 2004-06-17
Filing date: 2004-06-17
Publication date: 2004-12-27

Abstract

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам перемещений в нанотехнологии.The utility model relates to the field of mechanical engineering, and more specifically to displacement devices in nanotechnology.

В основу полезной модели положена техническая задача: снизить тепловой дрейф осажденных частиц при проведении технологического процесса проведения наноструктур.The utility model is based on the technical task: to reduce the thermal drift of the deposited particles during the process of nanostructures.

Поставленная техническая задача решается тем, что в нанотехнологическом устройстве перемещений, содержащем основание, установленный на нем пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, подложку, закрепленную на платформе, блок питания, связанный с зондом и подложкой, согласно предложенной полезной модели, основание и платформа выполнены в форме пластин плоского конденсатора, пьезопривод и подложка электрически изолированы от основания и платформы посредством диэлектрических пластин, устройство снабжено дополнительным блоком питания, связанным с пластинами плоского конденсатора.The stated technical problem is solved in that in a nanotechnological displacement device containing a base, a piezo drive mounted on it, at the end of which a probe is fixed, a substrate fixed to the platform, a power supply connected to the probe and substrate, according to the proposed utility model, the base and platform are made in the form of plates of a flat capacitor, the piezodrive and the substrate are electrically isolated from the base and platform by means of dielectric plates, the device is equipped with an additional power unit I connected to the plates of a plane capacitor.

Предложенная конструкция обеспечивает низкий тепловой дрейф осажденных частиц посредством подачи напряжения на конденсатор с помощью дополнительного блока питания, связанного с его пластинами, что обеспечит решение поставленной задачи.The proposed design provides low thermal drift of the deposited particles by applying voltage to the capacitor using an additional power supply associated with its plates, which will provide a solution to the problem.

Description

Известно технологическое устройство для наноперемещений [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии - учебное пособие /М. МИЭТ, 2000г.], содержащее неподвижную направляющую, стол, и пьезоэлектрические преобразователи, жестко связанные с неподвижной направляющей.Known technological device for nanoscale [Nevolin V.K. Physical foundations of tunnel probe nanotechnology - study guide / M. MIET, 2000], containing a fixed guide, a table, and piezoelectric transducers, rigidly connected with a fixed guide.

Недостатком аналога является наличие теплового дрейфа осажденных частиц при проведении технологического процесса получения наноструктур.The disadvantage of this analogue is the presence of thermal drift of the deposited particles during the process of obtaining nanostructures.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является нанотехнологическое устройство перемещений [Технологическое устройство для наноперемещений. Свидетельство на полезную модель №30041 10.06.2003г Бюл. №16], содержащее основание, установленный на нем пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, подложку, закрепленную на платформе, блок питания, связанный с зондом и подложкой.The closest in technical essence and the achieved result is a nanotechnological displacement device [Technological device for nanoscale displacements. Certificate for Utility Model No. 30041 06/10/2003 Bul. No. 16], containing a base, a piezodrive mounted on it, at the end of which a probe is fixed, a substrate fixed to the platform, a power supply connected to the probe and the substrate.

Недостатком прототипа является наличие теплового дрейфа осажденных частиц при проведении технологического процесса получения наноструктур.The disadvantage of the prototype is the presence of thermal drift of the deposited particles during the process of obtaining nanostructures.

Поставленная техническая задача решается тем, что в нанотехнологическом устройстве перемещений, содержащем основание, установленный на нем пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, подложку, закрепленную на платформе, блок питания, связанный с зондом и подложкой, согласно предложенной полезной модели, основание и платформа выполнены в форме пластин плоского конденсатора, пьезопривод и подложка электрически изолированы от основания и платформы The stated technical problem is solved in that in a nanotechnological displacement device containing a base, a piezo drive mounted on it, at the end of which a probe is fixed, a substrate fixed to the platform, a power supply connected to the probe and substrate, according to the proposed utility model, the base and platform are made in the form of plates of a flat capacitor, the piezo actuator and the substrate are electrically isolated from the base and platform

посредством диэлектрических пластин, устройство снабжено дополнительным блоком питания, связанным с пластинами плоского конденсатора.by means of dielectric plates, the device is equipped with an additional power supply connected to the plates of a flat capacitor.

Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где показана схема нанотехнологического устройства перемещений.The essence of the utility model is illustrated in figure 1, which shows a diagram of a nanotechnological device of displacements.

Нанотехнологическое устройство перемещений (фиг.1), содержит основание (1), установленный на нем пьезопривод (2), на торце (3) которого закреплен зонд (4), подложку (5), закрепленную на платформе (6), блок питания (7), связанный с зондом (4), и подложкой (5). Основание (1) и платформа (6) выполнены в форме пластин (8,9) плоского конденсатора (10), пьезопривод (2) и подложка (5) электрически изолированы от основания (1) и платформы (6) посредством диэлектрических пластин (11,12), устройство снабжено дополнительным блоком питания (13), связанным с пластинами (8,9) плоского конденсатора (10).The nanotechnological displacement device (Fig. 1) contains a base (1), a piezodrive (2) mounted on it, at the end (3) of which a probe (4) is fixed, a substrate (5) fixed to the platform (6), and a power supply ( 7) associated with the probe (4) and the substrate (5). The base (1) and the platform (6) are made in the form of plates (8.9) of a flat capacitor (10), the piezo actuator (2) and the substrate (5) are electrically isolated from the base (1) and the platform (6) by means of dielectric plates (11) , 12), the device is equipped with an additional power supply (13) associated with the plates (8.9) of a flat capacitor (10).

Нанотехнологическое устройство перемещений работает следующим образом.Nanotechnological device movements is as follows.

При подаче напряжения между зондом (4) и подложкой (5) формируется нанотехнологический рисунок, который под действием теплового излучения может дрейфовать, т.е. не только изменять положение в пространстве, но и форму и размеры. Для исключения такого негативного явления на пластины (8,9) подается напряжение от дополнительного блока питания (13). В результате создается дополнительное электрическое поле, и при уходе зонда от места проведения нанотехнологической операции образовавшийся нанорисунок удерживается и не дрейфует по плоскости подложки. Таким образом, исключается возможность дрейфа нанорисунка.When voltage is applied between the probe (4) and the substrate (5), a nanotechnological pattern is formed, which, under the influence of thermal radiation, can drift, i.e. not only to change position in space, but also shape and size. To eliminate such a negative phenomenon, voltage is supplied to the plates (8.9) from an additional power supply unit (13). As a result, an additional electric field is created, and when the probe moves away from the place of the nanotechnological operation, the formed nanorigra is retained and does not drift along the plane of the substrate. Thus, the possibility of drift of the nanoparticle is excluded.

Применение предложенного устройства позволяет снизить дрейф частиц, тем самым, увеличивая его производительность.The application of the proposed device can reduce particle drift, thereby increasing its productivity.

Claims

Nanotechnological displacement device containing a base, a piezodrive mounted on it, at the end of which a probe is mounted, a substrate mounted on the platform, a power supply connected to the probe and substrate, characterized in that the base and platform are made in the form of flat capacitor plates, a piezodrive and a substrate electrically isolated from the base and platform by means of dielectric plates, the device is equipped with an additional power supply connected to the plates of a flat capacitor.