RU78182U1 - DEVICE FOR FORMING NANO OBJECTS ON A SUBSTRATE - Google Patents
DEVICE FOR FORMING NANO OBJECTS ON A SUBSTRATE Download PDFInfo
- Publication number
- RU78182U1 RU78182U1 RU2008127505/22U RU2008127505U RU78182U1 RU 78182 U1 RU78182 U1 RU 78182U1 RU 2008127505/22 U RU2008127505/22 U RU 2008127505/22U RU 2008127505 U RU2008127505 U RU 2008127505U RU 78182 U1 RU78182 U1 RU 78182U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- substrate
- package
- objects
- nano
- forming
- Prior art date
Links
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам формирования нанообъектов на подложке. В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность упорядоченного формирования нанообъектов на подложке. Поставленная техническая задача решается тем, что устройство формирования нанообъектов на подложке, содержащее вакуумную камеру, установленный в ней пьезопривод, подложкодержатель с закрепленной на нем подложкой и два электрода, согласно предложенной полезной модели, снабжено дополнительным электродом, выполненным в виде пакета углеродных нанотрубок, установленных в пакете таким образом, что их оси параллельны, пакет жестко связан с торцом пьезопривода, устройство дополнительно снабжено узлом подачи рабочего газа. Введение в устройство формирования нанообъектов на подложке дополнительного электрода, выполненного в виде пакета углеродных нанотрубок, которые установлены в пакете таким образом, что их оси параллельны, а сам пакет жестко связан с торцом пьезопривода, а также узла подачи рабочего газа обеспечивает упорядоченный пролет электронов через углеродные нанотрубки, что и позволяет упорядочить формирование нанообъектов на подложке.The utility model relates to the field of mechanical engineering, and more specifically to devices for forming nano-objects on a substrate. The utility model is based on a technical problem, which is to provide the possibility of ordered formation of nano-objects on a substrate. The stated technical problem is solved in that the device for forming nanoobjects on a substrate containing a vacuum chamber, a piezo drive installed in it, a substrate holder with a substrate fixed to it, and two electrodes, according to the proposed utility model, are equipped with an additional electrode made in the form of a package of carbon nanotubes installed in the package in such a way that their axes are parallel, the package is rigidly connected to the end face of the piezoelectric actuator, the device is additionally equipped with a working gas supply unit. The introduction into the device for forming nano-objects on the substrate of an additional electrode made in the form of a package of carbon nanotubes, which are installed in the package in such a way that their axes are parallel and the package itself is rigidly connected to the end face of the piezoelectric drive, as well as the working gas supply unit, provides an ordered passage of electrons through nanotubes, which allows one to order the formation of nano-objects on a substrate.
Description
Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам формирования нанообъектов на подложке.The utility model relates to the field of mechanical engineering, and more specifically to devices for forming nano-objects on a substrate.
Известно технологическое устройство для наноперемещений изделия, содержащее неподвижную направляющую, стол и пьезоэлектрические преобразователи, жестко связанные с неподвижной направляющей. [Патент РФ на ПМ №30041, кл. 7 H02N/00, 10.06.2003 Бюл. №16, (аналог)].A technological device for nanodisplacements of a product is known, comprising a fixed guide, a table and piezoelectric transducers rigidly connected to the fixed guide. [RF patent on PM No. 30041, cl. 7 H02N / 00, 10.06.2003 Bull. No. 16, (analog)].
Недостатком аналога является невозможность обеспечения упорядоченного формирования нанообъектов на подложке.The disadvantage of the analogue is the inability to ensure the ordered formation of nano-objects on the substrate.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для получения наноструктур на подложке, содержащее пьезопривод, жестко связанный с системой зондов и неподвижной направляющей, и подложку, установленную на координатном столе [Патент РФ на ПМ №41933, кл. 7 H02N 2/00, 10.11.2004 Бюл. №31, (прототип)].The closest in technical essence and the achieved result is a device for producing nanostructures on a substrate, containing a piezodrive rigidly connected to the probe system and a fixed guide, and a substrate mounted on a coordinate table [RF Patent PM PM No. 41933, cl. 7 H02N 2/00, 10/10/2004 Bull. No. 31, (prototype)].
Недостатком прототипа так же является невозможность обеспечения упорядоченного формирования нанообъектов на подложке.The disadvantage of the prototype is also the inability to ensure the ordered formation of nano-objects on the substrate.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность упорядоченного формирования нанообъектов на подложке.The utility model is based on a technical problem, which is to provide the possibility of ordered formation of nano-objects on a substrate.
Поставленная техническая задача решается тем, что устройство формирования нанообъектов на подложке, содержащее вакуумную камеру, установленный в ней пьезопривод, подложкодержатель с закрепленной на нем подложкой и два электрода, согласно предложенной полезной модели, The stated technical problem is solved in that the device for forming nanoobjects on a substrate containing a vacuum chamber, a piezo drive installed in it, a substrate holder with a substrate fixed to it, and two electrodes, according to the proposed utility model,
снабжено дополнительным электродом, выполненным в виде пакета углеродных нанотрубок, установленных в пакете таким образом, что их оси параллельны, пакет жестко связан с торцом пьезопривода, устройство дополнительно снабжено узлом подачи рабочего газа.equipped with an additional electrode made in the form of a package of carbon nanotubes installed in the package in such a way that their axes are parallel, the package is rigidly connected to the end face of the piezoelectric drive, the device is additionally equipped with a working gas supply unit.
Введение в устройство формирования нанообъектов на подложке дополнительного электрода, выполненного в виде пакета углеродных нанотрубок, которые установлены в пакете таким образом, что их оси параллельны, а сам пакет жестко связан с торцом пьезопривода, а также узла подачи рабочего газа обеспечивает упорядоченный пролет электронов через углеродные нанотрубки, что и позволяет упорядочить формирование нанообъектов на подложке.The introduction into the device for forming nano-objects on the substrate of an additional electrode made in the form of a package of carbon nanotubes, which are installed in the package in such a way that their axes are parallel and the package itself is rigidly connected to the end face of the piezoelectric drive, as well as the working gas supply unit, provides an ordered passage of electrons through nanotubes, which allows one to order the formation of nano-objects on a substrate.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1, где показано устройство формирования нанообъектов на подложке.The essence of the utility model is illustrated in figure 1, which shows the device for forming nanoobjects on the substrate.
Устройство формирования нанообъектов на подложке (фиг.1) содержит вакуумную камеру 1, установленный в ней пьезопривод 2, подложкодержатель 3, с закрепленной на нем подложкой 4. На первом электроде 5 установлена подложка. Между первым 5 и вторым 6 электродами расположен третий 7, выполненный в виде пакета углеродных нанотрубок 9, которые установлены в пакете 8 таким образом, что их оси параллельны, а сам пакет 8 углеродных нанотрубок торцом 10 жестко связан с торцом 11 пьезопривода 2. Устройство снабжено узлом подачи рабочего газа 12.The device for forming nanoobjects on a substrate (Fig. 1) contains a vacuum chamber 1, a piezo actuator 2 mounted in it, a substrate holder 3, with a substrate 4 mounted on it. A substrate is mounted on the first electrode 5. Between the first 5 and second 6 electrodes is located the third 7, made in the form of a package of carbon nanotubes 9, which are installed in the package 8 so that their axes are parallel, and the package 8 of carbon nanotubes with end 10 is rigidly connected to the end 11 of the piezo drive 2. The device is equipped with working gas supply unit 12.
Устройство формирования нанообъектов на подложке работает следующим образом.A device for forming nanoobjects on a substrate works as follows.
При подаче рабочего напряжения между первым электродом 5 и вторыми электродом 6, возникает ток. Происходит ионизация рабочего газа, подаваемого узлом подачи рабочего газа 12, вследствие соударения с электронами электрода и с последующим осаждением на подложку. Пролет электронов через третий электрод, выполненный в виде пакета углеродных нанотрубок, обеспечивает упорядоченное формирование нанообъектов на When applying the operating voltage between the first electrode 5 and the second electrode 6, a current occurs. The ionization of the working gas supplied by the working gas supply unit 12 occurs due to collision with the electrons of the electrode and subsequent deposition on the substrate. The passage of electrons through the third electrode, made in the form of a package of carbon nanotubes, provides an orderly formation of nano-objects on
подложке. Путем подачи напряжения на третий электрод 7 возможно усиление или ослабление тока.the substrate. By supplying voltage to the third electrode 7, amplification or weakening of the current is possible.
Применение предлагаемого устройства формирования нанообъектов на подложке позволяет обеспечить упорядоченное формирование нанообъектов на подложке, вследствие упорядоченного пролета электронов через углеродные нанотрубки и их взаимодействия с рабочим газом.The use of the proposed device for the formation of nano-objects on a substrate allows for the ordered formation of nano-objects on a substrate due to the ordered passage of electrons through carbon nanotubes and their interaction with the working gas.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008127505/22U RU78182U1 (en) | 2008-07-09 | 2008-07-09 | DEVICE FOR FORMING NANO OBJECTS ON A SUBSTRATE |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008127505/22U RU78182U1 (en) | 2008-07-09 | 2008-07-09 | DEVICE FOR FORMING NANO OBJECTS ON A SUBSTRATE |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU78182U1 true RU78182U1 (en) | 2008-11-20 |
Family
ID=40241689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2008127505/22U RU78182U1 (en) | 2008-07-09 | 2008-07-09 | DEVICE FOR FORMING NANO OBJECTS ON A SUBSTRATE |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU78182U1 (en) |
-
2008
- 2008-07-09 RU RU2008127505/22U patent/RU78182U1/en not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2013534022A5 (en) | ||
| JP6044934B2 (en) | Method for producing graphene | |
| WO2007084168A3 (en) | Nanostructure emitting device and method | |
| MY195025A (en) | Method for Depositing Materials on a Substrate | |
| CN107576823A (en) | Nanopositioner for transmission electron microscope sample bar | |
| TW200604370A (en) | Plasma enhanced chemical vapor deposition system for forming carbon nanotubes | |
| EP2390381A3 (en) | Method of producing coated member | |
| RU78182U1 (en) | DEVICE FOR FORMING NANO OBJECTS ON A SUBSTRATE | |
| Bae et al. | Superior field emission properties of ZnO nanocones synthesized by pulsed laser deposition | |
| JP2008095163A (en) | Method of forming nanometal particle and method of forming nanometal thin film, and method of controlling size of nanometal particle | |
| Saleh et al. | High-precision dry micro-electro-discharge machining of carbon-nanotube forests with ultralow discharge energy | |
| Wang et al. | Enhancing field electron emission behavior and mechanical properties of hydrogenated amorphous carbon films by incorporating vertically aligned carbon nanowires via facile reactive magnetron sputtering | |
| Subramanian et al. | Dielectrophoretic micro/nanoassembly with microtweezers and nanoelectrodes | |
| KR101480780B1 (en) | Nano injector including single-crystalline au nanowire, and equipment for delivering biomaterial including the same | |
| RU76518U1 (en) | DEVICE FOR OBTAINING NANODAROGS ON A SUBSTRATE | |
| RU68185U1 (en) | TECHNOLOGICAL DEVICE FOR NANO MOVEMENT OF PRODUCTS | |
| RU65300U1 (en) | NANO MOVEMENT DEVICE | |
| Wang et al. | Nanowire cutting by an ultrasonically vibrating micro tool | |
| Tam et al. | Graphene and carbon nanotubes from arc plasmas: experiment and plasma modeling | |
| RU41933U1 (en) | DEVICE FOR PRODUCING NANOSTRUCTURES ON A SUBSTRATE | |
| JP2012529765A5 (en) | ||
| RU104773U1 (en) | DEVICE FOR FORMING QUANTUM PITS | |
| RU42696U1 (en) | DEVICE FOR PRODUCING NANODRAZHORAK | |
| Caraman et al. | Arc discharge installation for fullerene production | |
| RU48106U1 (en) | DEVICE FOR PRODUCING CARBON NANOTUBES AND FULLERENES |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM1K | Utility model has become invalid (non-payment of fees) |
Effective date: 20100710 |