RU41933U1

RU41933U1 - DEVICE FOR PRODUCING NANOSTRUCTURES ON A SUBSTRATE

Info

Publication number: RU41933U1
Application number: RU2004101099/22U
Authority: RU
Inventors: Е.Н. Ивашов; А.В. Чижов
Priority date: 2004-01-16
Filing date: 2004-01-16
Publication date: 2004-11-10

Abstract

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно, к устройствам получения наноструктур на подложке. В основу полезной модели положена техническая задача, которая состоит в том, чтобы обеспечить высокую производительность. Поставленная техническая задача решается тем, в устройстве для получения наноструктур на подложке, содержащем пьезопривод, жестко связанный с системой зондов и неподвижной направляющей, и подложку, установленную на координатном столе, согласно предложенной полезной модели, зонды выполнены в виде углеродных нанотрубок. установленных в кассету, устройство снабжено источником лазерного излучения с возможностью воздействия на подложку посредством углеродных нанотрубок. Введение в предложенное устройство зондов, выполненных в виде углеродных нанотрубок, и источника лазерного излучения приводит к резкому повышению производительности за счет реализации возможности параллельного выполнения множества нанотехнологических операций.The utility model relates to the field of mechanical engineering, and more specifically, to devices for producing nanostructures on a substrate. The utility model is based on a technical task, which is to provide high performance. The stated technical problem is solved by the fact that in the device for producing nanostructures on a substrate containing a piezodrive rigidly connected to the probe system and a fixed guide, and the substrate mounted on the coordinate table, according to the proposed utility model, the probes are made in the form of carbon nanotubes. installed in the cassette, the device is equipped with a laser source with the possibility of exposure to the substrate through carbon nanotubes. The introduction into the proposed device of probes made in the form of carbon nanotubes and a laser radiation source leads to a sharp increase in productivity due to the implementation of the possibility of parallel execution of many nanotechnological operations.

Description

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно, к устройствам получения наноструктур на подложке.The utility model relates to the field of mechanical engineering, and more specifically, to devices for producing nanostructures on a substrate.

Известно устройство для получения наноструктур на подложке, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижной направляющей и зондом. [Авт. Свид. СССР №1713065, МПК Н 02 L 41//09, 1991]A device for producing nanostructures on a substrate is known, containing a piezodrive rigidly connected to a fixed guide and a probe. [Auth. Testimonial. USSR No. 1713065, IPC N 02 L 41 // 09, 1991]

Недостатком аналога является низкая производительность.The disadvantage of an analogue is low performance.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для получения наноструктур на подложке, содержащее пьезопривод, жестко связанный с зондом и неподвижной направляющей, подложку, установленную на координатном столе. [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. Учебное пособие // М. МИЭТ, 2000 - 69с., ил. стр.4-5]The closest in technical essence and the achieved result is a device for producing nanostructures on a substrate, containing a piezodrive rigidly connected to the probe and a fixed guide, a substrate mounted on a coordinate table. [Nevolin V.K. Physical foundations of tunnel probe nanotechnology. Textbook // M. MIET, 2000 - 69 pp., Ill. pg. 4-5]

Недостатком прототипа является низкая производительность.The disadvantage of the prototype is low productivity.

В основу полезной модели положена техническая задача, которая состоит в том, чтобы обеспечить высокую производительность.The utility model is based on a technical task, which is to provide high performance.

Поставленная техническая задача решается тем, в устройстве для получения наноструктур на подложке, содержащем пьезопривод, жестко связанный с системой зондов и неподвижной направляющей, и подложку, установленную на координатном столе, согласно предложенной полезной модели, зонды выполнены в виде углеродных нанотрубок, установленных в кассету, устройство снабжено источником лазерного излучения с возможностью воздействия на подложку посредством углеродных нанотрубок.The stated technical problem is solved by the fact that in the device for producing nanostructures on a substrate containing a piezodrive rigidly connected to the probe system and a fixed guide, and the substrate mounted on the coordinate table, according to the proposed utility model, the probes are made in the form of carbon nanotubes installed in a cassette, the device is equipped with a laser source with the possibility of exposure to the substrate through carbon nanotubes.

Введение в предложенное устройство зондов, выполненных в виде углеродных нанотрубок, и источника лазерного излучения приводит к резкому повышению производительности за счет реализации возможности параллельного выполнения Introduction to the proposed device of probes made in the form of carbon nanotubes and a laser radiation source leads to a sharp increase in productivity due to the possibility of parallel execution

множества нанотехнологических операций.many nanotechnological operations.

Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где показано устройство для получения наноструктур на подложке.The essence of the utility model is illustrated in figure 1, which shows a device for producing nanostructures on a substrate.

Устройство для получения наноструктур на подложке (фиг.1) содержит пьезопривод 1, который жестко связан с системой зондов 2 и неподвижной направляющей 3, подложку 4, установленную на координатном столе 5.A device for producing nanostructures on a substrate (Fig. 1) contains a piezoelectric actuator 1, which is rigidly connected to the probe system 2 and the fixed guide 3, the substrate 4 mounted on the coordinate table 5.

Зонды 2 выполнены в виде углеродных нанотрубок 6, установленных в кассету 8, в устройство введен источник лазерного излучения 7 с возможностью воздействия на подложку 4 посредством углеродных нанотрубок 6.The probes 2 are made in the form of carbon nanotubes 6 installed in the cassette 8, a laser radiation source 7 is inserted into the device with the possibility of acting on the substrate 4 by means of carbon nanotubes 6.

Устройство для получения наноструктур на подложке (фиг.1) работает следующим образом:A device for producing nanostructures on a substrate (figure 1) works as follows:

С помощью пьезопривода 1 осуществляется перемещение системы зондов 2, а с помощью стола 5 - перемещение подложки 4 относительно системы зондов 2 (привод перемещения подложки 4 на (фиг.1) условно не показан). Активируется источник лазерного излучения 7 и посредством углеродных нанотрубок 6 оказывается воздействие на подложку 4, в результате чего на ней образуется наноструктура.Using the piezo drive 1, the probe system 2 is moved, and with the help of the table 5, the substrate 4 is moved relative to the probe system 2 (the drive for moving the substrate 4 in Fig. 1 is not shown conventionally). The laser radiation source 7 is activated and, by means of carbon nanotubes 6, an effect is exerted on the substrate 4, as a result of which a nanostructure is formed on it.

Применение предложенного устройства для получения наноструктур на подложке позволяет образовывать на подложке одновременно несколько наноструктур и тем самым обеспечить высокую производительность.The use of the proposed device for producing nanostructures on a substrate allows the formation of several nanostructures on the substrate simultaneously and thereby ensures high performance.

Claims

A device for producing nanostructures on a substrate, containing a piezodrive rigidly connected to the probe system and a fixed guide, and a substrate mounted on a coordinate table, characterized in that the probes are made in the form of carbon nanotubes installed in a cartridge, the device is equipped with a laser radiation source with the possibility of exposure on a substrate by carbon nanotubes.