RU2788972C2 - Термоэлектрический преобразователь на основе нерегулярной твердотельной сверхрешетки - Google Patents
Термоэлектрический преобразователь на основе нерегулярной твердотельной сверхрешетки Download PDFInfo
- Publication number
- RU2788972C2 RU2788972C2 RU2021108647A RU2021108647A RU2788972C2 RU 2788972 C2 RU2788972 C2 RU 2788972C2 RU 2021108647 A RU2021108647 A RU 2021108647A RU 2021108647 A RU2021108647 A RU 2021108647A RU 2788972 C2 RU2788972 C2 RU 2788972C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- layers
- superlattice
- quantum
- thermoelectric converter
- quantum wells
- Prior art date
Links
- 230000001788 irregular Effects 0.000 title claims abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 claims abstract description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 7
- 230000005678 Seebeck effect Effects 0.000 description 5
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 108091006133 Electron carriers Proteins 0.000 description 1
- 230000005679 Peltier effect Effects 0.000 description 1
- 230000005535 acoustic phonon Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 229910002059 quaternary alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910002058 ternary alloy Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Abstract
Изобретение относится к термоэлектрическим преобразователям. Технический результат: повышение эффективности преобразования энергии. Сущность: термоэлектрический преобразователь содержит рабочую область, выполненную в виде многослойной нерегулярной сверхрешетки на основе гетероструктуры проводник-диэлектрик, содержащей проводящие слои квантовых ям и диэлектрические барьерные слои, разделяющие слои квантовых ям. Материал барьерных слоев и толщины слоев квантовых ям подобраны с обеспечением проводимости сверхрешетки в поперечном направлении, при которой основные квантовые уровни носителей заряда находятся в резонансе, с обеспечением снижения фононной части теплопроводности. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
Description
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ
Заявленное решение относится к термоэлектрическим преобразователям, в частности к конструкции устройства на основе нерегулярной твердотельной сверхрешетки.
УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ
Термоэлектрические преобразователи на сверхрешетке работают на основе эффекта Зеебека, который описывает возникновение электрического тока в проводнике с градиентом температуры. Формула Зеебека представлена уравнением (1).
В которой j - плотность электрического тока, Т - температура, κ - коэффициент Зеебека, знак «+» - соответствует ситуации, когда в электропроводимости участвуют отрицательно-заряженные частицы, знак «-» - когда заряд частиц положительный.
В данной области можно выделить ряд источников, описывающих различные принципы создания термоэлектрических преобразователей.
В заявке US 20130247951 A1 (UniversityofOklahoma, 26.09.2013) рассматривается сверхрешетка, созданная на основе гетероструктур PbSe/PbSrSe двух типов, сочетающая тонкие слои полупроводников разной кристаллической ориентации. В этом слугечае при транспорте электронных носителей ожидается поток фононов от холодного контакта к горячему за счет чего и уменьшается поток тепла, переносимый фононами.
При этом в данном решении не достигается повышение подвижности носителей тока и уменьшения подвижности фононов, что снижает эффективность выходной энергии и снижения коэффициента Зеебека. Это обусловлено тем, что необходима хорошая подвижность фононов, чтобы уменьшать поток тепла. Кроме того, уменьшение этого потока достигается за счет перекачки энергии носителей электрического тока, то есть за счет уменьшения тока, что уменьшает коэффициент Зеебека.
Сверхрешетки зачастую использовались при латеральном подключении (патент US 6,452,206 В1), когда горячий и холодный контакт подключается на разных концах в плоскостях слоев, то есть слои подключались параллельно. В этом случае удается использовать хорошую электрическую проводимость носителей тока для повышения коэффициента Зеебека и коэффициента полезного действия (ZT) термоэлектрического преобразователя, но следует отметить, что проводимость тепла фононами также оставалась высокой при таком подключении. Существуют также патенты с использованием эффекта Пельтье на основе р-n переходов (патент JP 6609109 В2, заявка US 2011/0062420 А1), однако, но термоэлектрические преобразователи на этом эффекте обычно не учитывают эффект Зеебека и работают на другом принципе.
Таким образом, существенным недостатком известных решений из уровня техники является низкая подвижность носителей тока и уменьшения подвижности фононов, что снижает эффект Зеебека и приводит к потери эффективности термоэлектрического преобразования.
СУЩНОСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Заявленное изобретение решает техническую проблему, присущую известным решениям из уровня техники, за счет создания нового вида термоэлектрического преобразователя.
Технический результат заключается в повышении эффективности преобразования энергии и повышении КПД, за счет повышения эффекта Зеебека, что обусловлено применением нерегулярной сверхрешетки на основе гетероструктуры проводник-диэлектрик, при которой основные квантовые уровни носителей заряда находятся в резонансе.
Технический результат достигается за счет конструкции термоэлектрического преобразователя, содержащего рабочую область, выполненную в виде многослойной нерегулярной сверхрешетки на основе гетероструктуры проводник-диэлектрик, содержащей проводящие слои квантовых ям и диэлектрические, барьерные слои, разделяющие слои квантовых ям, при этом материал барьерных слоев и толщины слоев квантовых ям подобраны с обеспечением проводимости сверхрешетки в поперечном направлении, при которой основные квантовые уровни носителей заряда находятся в резонансе, с обеспечением снижения фононной части теплопроводности.
В одном из частных примеров реализации материал барьерных слоев и слоев квантовых ям представляет собой соединения GaAs и/или AlxGal-xAs.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ
Фиг. 1 иллюстрирует способ и схему использования термоэлектрического преобразователя на основе нерегулярной сверхрешетки.
Фиг. 2 иллюстрирует энергетическую диаграмму зоны проводимости твердотельной сверхрешетки.
ОСУЩЕСТВЛЕНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
На Фиг. 1 представлен предлагаемый термоэлектрический преобразователь (3) на основе нерегулярной сверхрешетки и схема его подключения (10), в которой: (1) нагретое тело или тепловой резервуар с температурой T1; (2) холодное тело или тепловой резервуар с температурой Т2 (T1>Т2); (3) - термоэлектрический преобразователь, состоящий из диэлектрических барьерных слоев и разделяющих слои квантовых ям; (4) потребитель электричества.
На основе эффекта Зеебека уже предложены и эксплуатируются термоэлектрические преобразователи и основной проблемой этих преобразователей является малая величина коэффициента к. Малой эта величина может являться по следующим причинам. Одна из них - внутренний перепад температуры материала преобразователя, может значительно отличаться от разницы температур подключенных тепловых резервуаров (1, 2), представленных на Фиг. 1, что означает большую величину теплопроводности проводящего материала, по сравнению с теплопроводностью контактов. В качестве тепловых резервуаров могут использоваться как нагревающие, охлаждающие элементы, так и жидкости, среды размещения, излучение и т.п., позволяющие получить требуемые величины температур для каждого резервуара (1) и (2), обеспечивая тем самым функционирование устройства (10).
Вторая проблема - в случае полупроводниковых материалов в проводимости участвуют не только электроны, но и дырки, имеющие положительный заряд, электрический ток в сумме становится очень малым. В связи с этим для значительной величины лгнеобходим материал, в котором теплопроводность невелика и проводимость осуществляется только одним типом заряда.
Теплопроводность при высоких температурах Т>100 К в металлах и полупроводниках определяется переносом фононов - квантов акустических колебаний в материале. Таким образом, необходим материал, в котором перенос фононов затруднен, а перенос электрических носителей упрощен. В качестве такого материала предлагается использовать твердотельную нерегулярную сверхрешетку с резонансом квантовых уровней электронов. Сверхрешетка представляет собой сочетание хорошо проводящих слоев материала, в которых реализуется эффект размерного квантования для электронов, т.е. квантовых ям. Слои квантовых ям разделены тонкими диэлектрическими слоями, такими что эффект проникновения электронов через них, или эффект туннелирования достаточно велик, что позволяет электронам свободно перемещаться по сверхрешетке в следствие эффекта резонансного туннелирования. Для достижения этого эффекта материалы диэлектрических слоев (3) и толщины материалов квантовых ям выбираются таким образом, чтобы основные квантовые уровни электронов находились в резонансе, т.е. совпадали по энергии Е0, как это показано на Фиг. 2. В тоже время разные материалы и толщины слоев способствуют локализации фононов в структуре и уменьшению ее теплопроводности за счет снижения фононной части теплопроводности.
Сверхрешетки на сегодняшний день создаются методами газо-фазной и молекулярно-пучковой эпитаксии [1]. При этом толщины получаемых слоев могут достигать величин близких к толщинам атомарных кристаллических слоев, то есть несколько ангстрем (10"10 м). При создании таких тонких слоев используют металлы, полупроводники и диэлектрики. При этом важно так подобрать состав этих материалов, чтобы параметры их кристаллических решеток были приблизительно одинаковы. Это необходимо для стабильного кристаллического роста сверхрешетки.
Особенность и перспективы использования сверхрешеток основана на резонансном характере туннелирования носителей тока, возникающем между квантовыми ямами, когда квантовые уровни в этих ямах совпадают по энергии. Резонансное туннелирование довольно быстрый процесс переноса носителей тока, что позволяет создавать сверхбыстрые полупроводниковые приборы с частотой работы в несколько терагерц [2, 3]. Обычно сверхрешетки реализуют как повторяемый набор одинаковых квантовых ям и барьеров, но резонансное туннелирование возможно и между ямами разной ширины и глубины, поскольку для его осуществления необходимо лишь условие совпадения по энергии квантовых уровней в ямах.
В заявленном устройстве (10) может применяться гетероструктура, например, на основе переходов типа Как упомянуто в монографии [1] данный гетеропереход является изопериодичным (оба полупроводника имеют одинаковые постоянные решетки) в широком диапазоне значений молярных долей х и у. Это означает что создание сверхрешеток с нерегулярной вариацией хиутехнологически допустимо. Что касается потенциального профиля сверхрешетки, то он возникает вследствие изменения ширины запрещенной зоны тройного сплава с изменением молярной доли х. Для создания таких можно так же использовать четверные сплавы полупроводников. При этом полупроводники с большой шириной запрещенной зоны будут выполнять роль диэлектриков и из них могут формироваться барьерные слои (3), а полупроводниковые слои с меньшей шириной запрещенной зоны дополнительно подвергать легированию для формирования квантовых ям с носителями заряда, создавая высокую проводимость слоев. С развитием технологии кристаллического роста пленок обнаруживают и другие соединения, которые можно использовать для реализации такого преобразователя. С точки зрения фононов нерегулярная сверхрешетка становится слабо прозрачной, поскольку акустические фононы становятся локализованными и имеющими разные энергии. Локализованные моды для разных типов акустических мод фононов рассматривались в гетероструктурах с квантовыми ямами в монографии [4], где было показано, что энергии этих мод зависят от толщин слоев. Таким образом, варьируя толщины слоев, можно значительно разнести эти моды по энергии, затрудняя распространение фононов.
Заявленное устройство (3) может иметь широкий спектр применений в зависимости от его использования для обеспечения выработки электроэнергии. В качестве потребителя электричества (4) могут выступать различные устройства, например, носимые человеком устройства, сенсоры, датчики и прочее.
Представленные описание заявленного решения раскрывает лишь предпочтительные примеры его реализации и не должно трактоваться как ограничивающее иные, частные примеры его осуществления, не выходящие за рамки объема правовой охраны, которые являются очевидными для специалиста соответствующей области техники.
Список литературы
1. Б.А. Джойс, Р. Хекингботтом, У. Менх, и др. «Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры». - Под ред. Л. Ченга, К. Плога. Пер. с англ. под ред. Ж.И. Алферова, Ю.В. Шмарцева. - Москва: Мир, (1989).
2. Н. Mizuta and Т. Tanoue, "The Physics and Applications of Resonant Tunneling Diodes" (Cambridge Univ. Press, Cambridge), 1995.
3. B.S. Williams, "Teraherz quantum-cascade lasers", Nature photonics, 1, p. 517 (2007).
4. M. Строшио, M. Дутта. «Фононы в наноструктурах». М.: ФИЗМАТЛИТ (2006).
Claims (2)
1. Термоэлектрический преобразователь, содержащий рабочую область, выполненную в виде многослойной нерегулярной сверхрешетки на основе гетероструктуры проводник-диэлектрик, содержащей проводящие слои квантовых ям и диэлектрические барьерные слои, разделяющие слои квантовых ям, при этом материал барьерных слоев и толщины слоев квантовых ям обеспечивают проводимость сверхрешетки в поперечном направлении, при которой основные квантовые уровни носителей заряда находятся в резонансе, с обеспечением снижения фононной части теплопроводности.
2. Термоэлектрический преобразователь по п.1, в котором материал барьерных слоев и слоев квантовых ям представляет собой соединения GaAs и/или AlxGa1-xAs.
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2021108647A RU2021108647A (ru) | 2022-09-30 |
RU2788972C2 true RU2788972C2 (ru) | 2023-01-26 |
Family
ID=
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6452206B1 (en) * | 1997-03-17 | 2002-09-17 | Massachusetts Institute Of Technology | Superlattice structures for use in thermoelectric devices |
WO2003032408A1 (en) * | 2001-10-05 | 2003-04-17 | Research Triangle Institute | Phonon-blocking, electron-transmitting low-dimensional structures |
JP2004193200A (ja) * | 2002-12-09 | 2004-07-08 | Japan Science & Technology Agency | 超格子熱電材料 |
US20120217548A1 (en) * | 2011-02-28 | 2012-08-30 | Board Of Regents Of The University Of Oklahoma | Thin-film heterostructure thermoelectrics in a group iia and iv-vi materials system |
US20130247951A1 (en) * | 2012-03-20 | 2013-09-26 | The Board Of Regents Of The University Of Oklahoma | Thermoelectric material with high cross-plane electrical conductivity in the presence of a potential barrier |
US9059363B2 (en) * | 2009-04-14 | 2015-06-16 | The Board Of Regents Of The University Of Oklahoma | Thermoelectric materials |
JP6024242B2 (ja) * | 2012-07-02 | 2016-11-09 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイスの製造方法 |
RU2660223C2 (ru) * | 2016-07-18 | 2018-07-05 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С.А. Векшинского" | Высокоэффективный термоэлектрический материал и способ его изготовления |
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6452206B1 (en) * | 1997-03-17 | 2002-09-17 | Massachusetts Institute Of Technology | Superlattice structures for use in thermoelectric devices |
WO2003032408A1 (en) * | 2001-10-05 | 2003-04-17 | Research Triangle Institute | Phonon-blocking, electron-transmitting low-dimensional structures |
JP2004193200A (ja) * | 2002-12-09 | 2004-07-08 | Japan Science & Technology Agency | 超格子熱電材料 |
US9059363B2 (en) * | 2009-04-14 | 2015-06-16 | The Board Of Regents Of The University Of Oklahoma | Thermoelectric materials |
US20120217548A1 (en) * | 2011-02-28 | 2012-08-30 | Board Of Regents Of The University Of Oklahoma | Thin-film heterostructure thermoelectrics in a group iia and iv-vi materials system |
WO2012161794A1 (en) * | 2011-02-28 | 2012-11-29 | Phononic Devices, Inc. | Thin-film heterostructure thermoelectrics in a group iia and iv-vi materials system |
US20130247951A1 (en) * | 2012-03-20 | 2013-09-26 | The Board Of Regents Of The University Of Oklahoma | Thermoelectric material with high cross-plane electrical conductivity in the presence of a potential barrier |
JP6024242B2 (ja) * | 2012-07-02 | 2016-11-09 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイスの製造方法 |
RU2660223C2 (ru) * | 2016-07-18 | 2018-07-05 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С.А. Векшинского" | Высокоэффективный термоэлектрический материал и способ его изготовления |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5955772A (en) | Heterostructure thermionic coolers | |
Hicks et al. | Thermoelectric figure of merit of a one-dimensional conductor | |
US10573574B2 (en) | Devices for cooling and power | |
Lin et al. | Thermoelectric properties of superlattice nanowires | |
US20090139244A1 (en) | Devices for cooling and power | |
US10777727B2 (en) | Efficiency-enhanced thermoelectric devices | |
US7179986B2 (en) | Self-assembled quantum dot superlattice thermoelectric materials and devices | |
KR20100088903A (ko) | 열전소자 및 그 제조방법 | |
JP6609109B2 (ja) | 熱電変換素子およびその製造方法、および熱電発電装置およびペルチェ装置 | |
Lu et al. | Semimetal/semiconductor nanocomposites for thermoelectrics | |
EP2609635B1 (en) | Thermoelectric module comprising thermoelectric element doped with nanoparticles and manufacturing method of the same | |
US6403874B1 (en) | High-efficiency heterostructure thermionic coolers | |
JP2009535840A (ja) | 固体冷却または電力発生装置およびその製作方法 | |
JP2004193200A (ja) | 超格子熱電材料 | |
RU2788972C2 (ru) | Термоэлектрический преобразователь на основе нерегулярной твердотельной сверхрешетки | |
WO2013035100A1 (en) | Efficiency-enhanced thermoelectric devices | |
KR102031961B1 (ko) | 금속-절연체 전이 금속을 이용하는 열전소자 | |
US20060220058A1 (en) | Multiple tunnel junction thermotunnel device on the basis of ballistic electrons | |
Kast et al. | Narrow electron injector for ballistic electron spectroscopy | |
KR20120140478A (ko) | 나노구조물과 나노도트의 복합 구조체, 이를 포함하는 소자 및 이의 제조 방법 | |
US10971669B1 (en) | ExB drift thermoelectric energy generation device | |
RU2499339C1 (ru) | Мультибарьерная гетероструктура для генерации мощного электромагнитного излучения суб- и терагерцового диапазонов | |
Uematsu et al. | Film Thermoelectric Generator of Multiple 2-D Electron Gas | |
RU2503091C1 (ru) | Структура для генерации электромагнитного излучения субтерагерцового и терагерцового частотного диапазона | |
Zhu et al. | Electron cooling behavior in cascading semiconductor double-quantum-well structures |