RU2784667C1 - Способ получения керамического композита на основе нитрид кремния-нитрид титана - Google Patents
Способ получения керамического композита на основе нитрид кремния-нитрид титана Download PDFInfo
- Publication number
- RU2784667C1 RU2784667C1 RU2022124454A RU2022124454A RU2784667C1 RU 2784667 C1 RU2784667 C1 RU 2784667C1 RU 2022124454 A RU2022124454 A RU 2022124454A RU 2022124454 A RU2022124454 A RU 2022124454A RU 2784667 C1 RU2784667 C1 RU 2784667C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- titanium
- silicon nitride
- tin
- nitride
- temperature
- Prior art date
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 28
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 19
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 25
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N Silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 24
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 23
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims abstract description 17
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N iso-propanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 230000000996 additive Effects 0.000 claims abstract description 13
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 claims abstract description 8
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 43
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 6
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 6
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 18
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N AI2O3 Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 5
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 4
- 230000002194 synthesizing Effects 0.000 description 4
- 229910003564 SiAlON Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002121 nanofiber Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000002490 spark plasma sintering Methods 0.000 description 3
- 229910010346 TiF Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- IVRMZWNICZWHMI-UHFFFAOYSA-N azide Chemical compound [N-]=[N+]=[N-] IVRMZWNICZWHMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- -1 halide salt Chemical class 0.000 description 2
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- PXIPVTKHYLBLMZ-UHFFFAOYSA-N sodium azide Chemical compound [Na+].[N-]=[N+]=[N-] PXIPVTKHYLBLMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 2
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NMGYKLMMQCTUGI-UHFFFAOYSA-J diazanium;titanium(4+);hexafluoride Chemical compound [NH4+].[NH4+].[F-].[F-].[F-].[F-].[F-].[F-].[Ti+4] NMGYKLMMQCTUGI-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000010335 hydrothermal treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- TWXTWZIUMCFMSG-UHFFFAOYSA-N nitride(3-) Chemical compound [N-3] TWXTWZIUMCFMSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 239000011226 reinforced ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000003826 uniaxial pressing Methods 0.000 description 1
Images
Abstract
Изобретение относится к способу получения керамического композита на основе нитрида кремния (Si3N4), содержащий нитрид титана (TiN), который может быть использован в производстве бронематериалов и изоляционных материалов. На первой стадии процесса смешивают нитрид кремния, нитрид титана и металлический титан в планетарной мельнице в присутствии изопропанола. Далее смесь высушивают при 90 °С и прессуют при давлении 100 МПа. Затем обжигают при 1600 °С в атмосфере азота в течение 1 часа. Металлический титан имеет размер зерна 1-10 мкм. Для спекания используют спекающую добавку CaO-Al2O3 с температурой эвтектики равной 1360 °С. Данный способ приводит к получению композита Si3N4-TiN с высокими значениями твердости и электропроводности. 2 ил., 1 табл., 4 пр.
Description
Изобретение относится к способу получения керамических композитов на основе нитрида кремния (Si3N4), содержащих нитрид титана (TiN). Данные композиты сочетают в себе совокупность свойств, таких как высокая износостойкость, высокие предел прочности и твердость, а также низкий коэффициент теплового расширения. Благодаря таким характеристикам керамический композит нитрид кремния, армированный нитридом титана, может использоваться в качестве конструкционного материала для работы в агрессивных средах, в условиях высоких механических нагрузок и высоких температур. Изобретение относится к способу получения композитной керамики на основе нитрида кремния, армированной нитридом титана.
Изобретение относится к технологии получения композитных керамических материалов на основе Si3N4-TiN.
Нитридкремниевая керамика широко используется для изготовления бронематериалов, технических конструкционных изделий (подшипников скольжения и качения), а также электроизоляционных материалов. Твердость по Виккерсу горячепрессованной керамики Si3N4 составляет до 20 ГПа, что позволяет использовать данный материал в качестве режущих инструментов для обработки металлов.
Известен способ получения керамического композита Si3N4-TiN (Кондратьева Л.А., Керсон И.А., Бичуров Г.В. Композиция Si3N4-TiN, синтезированная в системе «Si-NaN3-Na2TiF6» в режиме самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. Тенденции развития науки и образования, 2016, №. 16-2, с. 30-32). Способ изготовления композита Si3N4-TiN заключался в азидной технологии СВС получения нитридного композита Si3N4-TiN из смеси твердофазных компонентов «Si+NaN3+Na2TiF6». В качестве азида был взят азид натрия, а в качестве галоидной соли использовали соль азотируемого элемента - гексафтортитанат аммония. Недостатком метода получения керамического композита Si3N4-TiN является сложная технология получения композита из смеси твердофазных компонентов и использование дорогостоящей технологии самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС).
Известен способ получения керамического композита Si3N4-TiN (Manyuan Zhou, Don Rodrigo, Yi-Bing Cheng. Effects of the electric current on conductive Si3N4/TiN composites in spark plasma sintering. Journal of Alloys and Compounds, 2013, том 547, с 51-58). Способ изготовления композита Si3N4-TiN заключался в использовании порошков TiN и Si3N4 с дальнейшим спеканием методом искрового плазменного спекания в графитовой пресс-форме. Недостатком метода получения керамического композита Si3N4-TiN является использование дорогостоящего метода обжига искрового плазменного спекания.
Известен способ получения керамического композита Si3N4-TiN, в котором предварительно синтезировали TiN из нановолокон TiO2 с помощью гидротермальной обработки в среде NH3 при температуре 1200°С. Полученные порошки TiN смешивались с порошками Si3N4 и подвергались горячему прессованию в среде азота при температуре 1850°С и давлении 24 МПа (Hajime Kiyono, Yuho Miyake, Yusuke Nihei, Tomoki Tumura, Shiro Shimada. Fabrication of Si3N4-based composite containing needle-like TiN synthesized using NH3 nitridation of TiO2 nanofiber. Journal of the European Ceramic Society, 2013, том 32, с. 1413-1417). Недостатком метода получения керамического композита Si3N4-TiN является дороговизна и сложность предварительного получения нитрида титана из нановолокон диоксида титана.
Наиболее близким является способ получения композита, описанный в патенте RU №2697987 опубликованный 21.08.2019 С04В 35/593, С04В 35/645, С04В 35/65, «Способ изготовления керамики на основе композита нитрид кремния - нитрид титана». Способ изготовления керамики на основе нитрида кремния - нитрида титана включает смешивание порошков нитрида кремния, спекающей добавки СаО-Al2O3 с температурой эвтектики 1600°С и порошка металлического титана в среде изопропанола в планетарной мельнице. Далее полученную смесь высушивают при 120°С, добавляют 3 мас. % водного 10% раствора поливинилпирролидона и спекают методом горячего прессования в среде азота при температуре 1650°С при давлении 30 МПа в течение 60 минут.
Недостатками метода являются использование высокотемпературной спекающей добавки СаО-Al2O3 эвтектического состава и металлического титана с крупным размером зерен 25-30 мкм. Применение крупного порошка титана негативно влияет на равномерность распределения титана в объеме керамики, в следствие чего материал с 30 мас. % Ti обладает низким значением удельной электропроводности 3 Ом*см. К недостаткам относится и использование спекающей добавки СаО-Al2O3 с температурой эвтектики близкой к температуре обжига керамики 1600°С.
Задачей заявляемого изобретения является создание керамического композита на основе Si3N4-TiN в одну стадию обжига методом горячего прессования без предварительного получения TiN.
Техническим результатом заявляемого изобретения является получение керамического композита на основе Si3N4-TiN с высокими значениями физико-механических характеристик и высокой электропроводностью.
Технический результат достигается за счет смешения порошка нитрида кремния, порошка металлического титана и спекающей добавки СаО-Al2O3 в планетарной мельнице в среде изопропанола, сушки порошковой смеси при 90°С, предварительного формования при удельном давлении 100 МПа и спекания методом горячего прессования при температуре 1600°С в атмосфере азота, давлении 30 МПа и изотермической выдержке 1 час.
Способ изготовления композитной керамики на основе нитрида кремния, армированной нитридом титана, включает в себя смешение исходных порошков нитрида кремния, спекающей добавки на основе соединений алюминатов кальция СаО-Al2O3 эвтектического состава с температурой плавления 1360°С и порошка металлического титана с размером зерна 1-10 мкм. Способ изготовления отличается тем, что для получения армированной керамики используется тонкодисперсный порошок нитрида кремния с размером зерна 70-250 нм, порошок металлического титана с размером зерна 1-10 мкм и более легкоплавкая спекающая добавка на основе СаО-Al2O3. При обжиге керамики проходят процесс азотирования титана с образованием нитрида титана в объеме керамики и взаимодействие спекающей добавки СаО-Al2O3 с нитридом кремния с образованием соединения Ca-α-SiAlON. Нитрид титана является износостойким, твердым и прочным материалом, а также устойчивым к агрессивным средам и высоким температурам. Помимо высоких физико-механических характеристик, нитрид титана обладает высокой электропроводностью. Таким образом, образование нитрида титана в структуре нитридкремниевой керамики способствует повышению эксплуатационных характеристик, кроме того, позволит обрабатывать материал методом электроэрозионной резки и получать изделия сложных форм. Образование соединения Са-α-SiAlON не снижает физико-механические свойства керамики, поскольку SiAlON является изоструктурным соединением нитрида кремния и так же обладает высокими механическими характеристиками и стойкостью к окислению.
Отличие от прототипа заключается в использовании легкоплавкой спекающей добавки СаО-Al2O3 с температурой эвтектики 1360°С и порошков с меньшими размерами частиц: порошок нитрида кремния 70-250 нм, порошок металлического титана 1-10 мкм. Применение более легкоплавкой спекающей добавки позволит получать плотные керамические образцы при температуре 1600°С, что на 50°С ниже температуры обжига прототипа. К отличиям относятся и более высокие значения электропроводности заявляемого изобретения, за счет использования порошка металлического титана с меньшим размером частиц 1-10 мкм. Данный порошок не имеет недостатков прототипа, связанных с неравномерностью распределения зерен титана в объеме керамики из-за чего невозможно добиться высокой электропроводности.
Изделия из предложенного керамического материала получают следующим образом:
В качестве исходных материалов использовали следующие компоненты: коммерческий порошок нитрида кремния (Ube Industries, Токио, Япония, марка SN-E10) с содержанием α-Si3N4 не менее 95%, размер зерен 70-250 нм (рис. 1), спекающую добавку СаО-Al2O3 эвтектического состава с температурой плавления 1360°С, порошок металлического титана, полученного методом плазмохимического синтеза в Институте металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова (ИМЕТ РАН). Размер частиц порошка металлического титана 1-10 мкм (рис. 2). Используемые порошки смешивают в необходимых количествах в планетарной мельнице в среде изопропанола в течение 30 минут. Далее полученную суспензию высушивают при температуре 90°С до полного удаления изопропанола. Высушенные порошки гранулируют протиранием через сито, затем предварительно формуют одноосным прессованием в стальной пресс-форме при удельным давлении 100 МПа. Полученные порошковые заготовки обжигают методом горячего прессования при температуре 1600°С в атмосфере азота под давлением 30 МПа и изотермической выдержке 1 час.
Пример 1. Готовят шихту с добавлением порошков нитрида кремния, металлического титана, спекающей добавки в количестве 80 мас. %, 5 мас % и 15 мас. % соответственно. Порошки смешивают в планетарной мельнице с добавлением изопропанолав течение 30 минут, далее порошковую суспензию высушивают при температуре 90°С до полного испарения изопропанола. Порошковую смесь предварительно формуют с удельным давлением 100 МПа в стальной пресс-форме, затем обжигают методом горячего прессования при температуре 1600°С, давлении 30 МПа, в атмосфере азота. Изотермическая выдержка составляет 1 час. Полученный керамический материал Si3N4-TiN имеет следующие свойства: плотность 3,18 г/см3, микротвердость по Виккерсу 17,9±0,6 ГПа.
Пример 2. Готовят шихту с добавлением порошков нитрида кремния, металлического титана, спекающей добавки в количестве 70 мас. %, 15 мас % и 15 мас. % соответственно. Порошки смешивают в планетарной мельнице с добавлением изопропанола в течение 30 минут, далее порошковую суспензию высушивают при температуре 90°С до полного испарения изопропанола. Порошковую смесь предварительно формуют с удельным давлением 100 МПа в стальной пресс-форме, затем обжигают методом горячего прессования при температуре 1600°С, давлении 30 МПа, в атмосфере азота. Изотермическая выдержка составляет 1 час. Полученный керамический материал Si3N4-TiN имеет следующие свойства: плотность 3,34 г/см3, микротвердость по Виккерсу 18,7±0,5 ГПа.
Пример 3. Готовят шихту с добавлением порошков нитрида кремния, металлического титана, спекающей добавки в количестве 55 мас. %, 30 мас % и 15 мас. % соответственно. Порошки смешивают в планетарной мельнице с добавлением изопропанолав течение 30 минут, далее порошковую суспензию высушивают при температуре 90°С до полного испарения изопропанола. Порошковую смесь предварительно формуют с удельным давлением 100 МПа в стальной пресс-форме, затем обжигают методом горячего прессования при температуре 1600°С, давлении 30 МПа, в атмосфере азота. Изотермическая выдержка составляет 1 час. Полученный керамический материал Si3N4-TiN имеет следующие свойства: плотность 3,38 г/см3, микротвердость по Виккерсу 16,1±0,7 ГПа, удельное электросопротивление 7,56 мОм/см.
Пример 4. Готовят шихту с добавлением порошков нитрида кремния, металлического титана, спекающей добавки в количестве 45 мас. %, 40 мас % и 15 мас. % соответственно. Порошки смешивают в планетарной мельнице с добавлением изопропанолав течение 30 минут, далее порошковую суспензию высушивают при температуре 90°С до полного испарения изопропанола. Порошковую смесь предварительно формуют с удельным давлением 100 МПа в стальной пресс-форме, затем обжигают методом горячего прессования при температуре 1600°С, давлении 30 МПа, в атмосфере азота. Изотермическая выдержка составляет 1 час. Полученный керамический материал Si3N4-TiN имеет следующие свойства: плотность 3,90 г/см3, микротвердость по Виккерсу 14,2±0,4 ГПа, удельное электросопротивление 2,23 мОм/см.
В таблице 1 представлены свойства керамических композитов Si3N4-TiN. Заметно, что с увеличением содержания нитрида титана происходит рост плотности керамики. Удельное электросопротивление, при добавлении 30 мас. % титана, составляет 7,56 мОм*см и уменьшается до 1,79 мОм*см при добавлении 50 мас. % титана.
Claims (1)
- Способ получения керамического композита на основе нитрид кремния - нитрид титана, включающий смешивание порошков нитрида кремния, металлического титана и спекающей добавки в планетарной мельнице в среде изопропанола, сушку порошковой суспензии при температуре 90 °С, одностороннем прессовании при удельном давлении 100 МПа, обжиг методом горячего прессования при температуре 1600 °С в атмосфере азота, при давлении 30 МПа и изотермической выдержкой 1 час, отличающийся тем, что для получения керамического композита используют порошок металлического титана с размерами зерен 1-10 мкм и легкоплавкую спекающую добавку СаО-Al2O3 с температурой эвтектики Тэвт = 1360 °С.
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2784667C1 true RU2784667C1 (ru) | 2022-11-29 |
Family
ID=
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2697987C1 (ru) * | 2018-11-01 | 2019-08-21 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова Российской академии наук (ИМЕТ РАН) | Способ изготовления керамики на основе композита нитрид кремния - нитрид титана |
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2697987C1 (ru) * | 2018-11-01 | 2019-08-21 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова Российской академии наук (ИМЕТ РАН) | Способ изготовления керамики на основе композита нитрид кремния - нитрид титана |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| BUCCIOTTI, FRANCESCO, MAURO MAZZOCCHI, AND ALIDA BELLOSI. "PERSPECTIVES OF THE SI3N4-TIN CERAMIC COMPOSITE AS A BIOMATERIAL AND MANUFACTURING OF COMPLEX-SHAPED IMPLANTABLE DEVICES BY ELECTRICAL DISCHARGE MACHINING (EDM)." JOURNAL OF APPLIED BIOMATERIALS AND BIOMECHANICS 8.1 (2010): 28-32. VIVEKANANTHAN, M., ET AL. "A PRIMARY STUDY OF DENSITY AND COMPRESSIVE STRENGTH OF THE SILICON NITRIDE AND TITANIUM NITRIDE CERAMIC COMPOSITE." MATERIALS TODAY: PROCEEDINGS 33 (2020): 2741-2745. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8877099B2 (en) | Ti3SiC2 based material, electrode, spark plug and manufacturing method thereof | |
| JP2005330178A (ja) | 高熱伝導率・高強度窒化ケイ素セラミックス及びその製造方法 | |
| CN109592984B (zh) | 一种高热导、高电阻液相烧结碳化硅陶瓷及其制备方法 | |
| TW201829304A (zh) | 氮化矽粉末及氮化矽燒結體之製造方法 | |
| Lan et al. | Mechanical properties and thermal conductivity of dense β-SiAlON ceramics fabricated by two-stage spark plasma sintering with Al2O3-AlN-Y2O3 additives | |
| He et al. | Microstructure and mechanical properties of short-carbon-fiber/Ti 3 SiC 2 composites | |
| WO2015019992A1 (ja) | 炭化ホウ素セラミックス及びその作製法 | |
| Toksoy et al. | Densification and characterization of rapid carbothermal synthesized boron carbide | |
| RU2784667C1 (ru) | Способ получения керамического композита на основе нитрид кремния-нитрид титана | |
| KR102081622B1 (ko) | 고온에서 높은 비저항을 갖는 질화알루미늄 소결체 및 그 제조방법 | |
| Yang et al. | Titanium-doped copper-diamond composites fabricated by hot-forging of powder mixtures or cold-pressed powder preforms | |
| Hu et al. | Rapid sintering of TiB2 ceramics using Co as sintering aid under high pressure condition | |
| JP2642184B2 (ja) | 窒化アルミニウム―六方晶窒化ほう素系焼結体の製造方法 | |
| RU2697987C1 (ru) | Способ изготовления керамики на основе композита нитрид кремния - нитрид титана | |
| KR102565344B1 (ko) | 질화 알루미늄 세라믹스 조성물 및 그의 제조방법 | |
| Smirnov | β-SiAlON-TiN/TiB 2-BN composites by infiltration-mediated SHS under high pressure of nitrogen gas | |
| JP2004169064A (ja) | 銅−タングステン合金およびその製造方法 | |
| JP7116234B1 (ja) | 複合セラミックスの製造方法 | |
| JP4820097B2 (ja) | 窒化アルミニウム系焼結体およびその製造方法 | |
| JP4565954B2 (ja) | 導電性窒化ケイ素材料とその製造方法 | |
| JP2008297161A (ja) | サイアロンセラミックスおよびその製造方法 | |
| JP2778783B2 (ja) | 異方性を有するＢＮ−ＡｌＮ系焼結体の製造方法 | |
| RU2681332C1 (ru) | Способ получения композиционного материала SiC-TiN | |
| JP4296251B2 (ja) | アルミナ−窒化ホウ素系複合材料の製造方法 | |
| JP2000515481A (ja) | セラミック複合構造体からなる成形体の製造法 |