RU2773514C2 - Method for production of granules of especially pure silicon dioxide - Google Patents

Method for production of granules of especially pure silicon dioxide Download PDF

Info

Publication number
RU2773514C2
RU2773514C2 RU2020127985A RU2020127985A RU2773514C2 RU 2773514 C2 RU2773514 C2 RU 2773514C2 RU 2020127985 A RU2020127985 A RU 2020127985A RU 2020127985 A RU2020127985 A RU 2020127985A RU 2773514 C2 RU2773514 C2 RU 2773514C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
acid
silicon dioxide
nitric acid
teos
aqueous solution
Prior art date
Application number
RU2020127985A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2020127985A (en
RU2020127985A3 (en
Inventor
Алексей Гурьевич Андреев
Игорь Иванович Крюков
Марина Викторовна Рябцева
Наталия Георгиевна Табунова
Original Assignee
Акционерное общество "ЭКОС-1"
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "ЭКОС-1" filed Critical Акционерное общество "ЭКОС-1"
Priority to RU2020127985A priority Critical patent/RU2773514C2/en
Publication of RU2020127985A publication Critical patent/RU2020127985A/en
Publication of RU2020127985A3 publication Critical patent/RU2020127985A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2773514C2 publication Critical patent/RU2773514C2/en

Links

Abstract

FIELD: chemistry.
SUBSTANCE: invention relates to methods for the production of quartz glass of high purity by sol-gel process; it can be used for the production of products of electronic and optical, in particular laser industry. A method is proposed for the production of granules of especially pure silicon dioxide by hydrolysis of tetraethoxysilane (hereinafter – TEOS) with an especially pure aqueous solution of nitric acid. At the same time, ethanol is first pre-added to the nitric acid solution. Then, with mixing for 10-25 min, the hydrolysis of TEOS is carried out in the ratio of TEOS:aqueous solution of nitric acid with ethanol of 1:(2-2.5) with pH from 3.5 to 6. Then a dilute ammonia solution is added to bring pH to 9-10, and mixing is continued for 8-15 min at a temperature of 20-60°C. After that, silicon hydroxide obtained in the form of gel is dried with mixing with simultaneous distillation of an aqueous-alcohol mixture with the formation of solid particles of orthosilic acid. After that, remains of organic substances and the bulk of hydroxyl groups of substances are removed by heat treatment of orthosilic acid at a temperature from 200 to 250°C for 50-80 min. Then, solid particles of orthosilicic acid with a size less than 0.05 mm are separated, and remaining solid particles are calcined at a temperature from 1100 to 1300°C for 3 to 5 h to obtain granules of especially pure silicon dioxide with a size from 0.05 to 0.50 mm.
EFFECT: production of granules of especially pure silicon dioxide with a yield of at least 93% by wt.
3 cl, 3 tbl, 3 ex

Description

Изобретение относится к способам получения кварцевого стекла высокой степени чистоты по золь-гель-процессу и может быть использован для производства изделий электронной и оптической, в частности лазерной, промышленности.The invention relates to methods for producing high purity quartz glass by the sol-gel process and can be used for the production of electronic and optical products, in particular laser, industry.

Известен способ получения высокочистого кварцевого стекла путем применения золь-гель метода с использованием тонкодисперсного распыленного порошка кремнезема, который гомогенизируют с деионизированной водой, а затем полученный золь подвергают гелеобразованию либо изменяя кислотность среды, либо вводя специальные гелеобразующие реагенты, в частности HF, NH4F, (NH4)2SiF6 и, возможно, полимеры - во избежание растрескивания монолитных образцов с последующим высушиванием полученного материала и затем спеканием с получением оптического кварцевого стекла (см. патент US 6698054 В2, кл. С03В 37/06, опубл. 02.03.2004),A known method for producing high-purity quartz glass by using the sol-gel method using finely dispersed atomized silica powder, which is homogenized with deionized water, and then the resulting sol is subjected to gelation, either by changing the acidity of the medium, or by introducing special gel-forming reagents, in particular HF, NH 4 F, (NH 4 ) 2 SiF 6 and, possibly, polymers - in order to avoid cracking of monolithic samples, followed by drying of the resulting material and then sintering to obtain optical quartz glass (see US patent 6698054 B2, class C03B 37/06, publ. 02.03. 2004),

Основным недостатком данного способа является большой размер пор образующихся при гелеобразовании материала в процессе производства кварцевого стекла с использованием золь-гель метода.The main disadvantage of this method is the large size of the pores formed during the gelation of the material during the production of quartz glass using the sol-gel method.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является способ получения кварцевого стекла высокой степени чистоты по золь-гель процессу, при котором монолитное кварцевое стекло получают гидролизом тетраэтоксисилана (ТЭОС) водным раствором соляной кислоты, введением в золь-гель систему наполнителя - высокодисперсного кремнезема, гелированием системы посредством добавления аммиака (до рН 4,5÷6), промывкой образованного геля, высушиванием и термообработкой его до состояния кварцевого стекла (см. авторское свидетельство SU 1749185 А1, кл. С03В 8/02).The closest to the invention in terms of technical essence and the achieved result is a method for producing high-purity quartz glass by the sol-gel process, in which monolithic quartz glass is obtained by hydrolysis of tetraethoxysilane (TEOS) with an aqueous solution of hydrochloric acid, introducing a filler - highly dispersed silica into the sol-gel system , gelation of the system by adding ammonia (up to pH 4.5÷6), washing the formed gel, drying it and heat treating it to the state of quartz glass (see copyright certificate SU 1749185 A1, class C03B 8/02).

Основным существенным недостатком данного способа получения кварцевого стекла является то, что, во-первых, он включает стадии диспергирования и центрифугирования, а, во-вторых, применяются операции - выдержка геля перед сушкой в деионизованной воде, а затем выдержка в растворе щавелевой кислоты с продолжительностью выдержки геля в деионизованной воде 10-16 ч.The main significant disadvantage of this method for producing quartz glass is that, firstly, it includes the stages of dispersion and centrifugation, and, secondly, operations are used - exposure of the gel before drying in deionized water, and then exposure to a solution of oxalic acid with a duration of exposure of the gel in deionized water for 10-16 hours.

Технической проблемой, решаемой в изобретении, является преодоление выявленных недостатков известных способов получения кварцевого стекла (диоксида кремния).The technical problem solved in the invention is to overcome the identified shortcomings of the known methods for producing quartz glass (silicon dioxide).

Технический результат заключается в том, что достигается возможность получения гранул особо чистого диоксида кремния с выходом не менее 93% (масс) при сокращении времени его получения и, как результат, повышение производительности получения гранул особо чистого диоксида кремния.The technical result consists in the fact that it is possible to obtain granules of highly pure silicon dioxide with a yield of at least 93% (mass) while reducing the time of its production and, as a result, increasing the productivity of obtaining granules of highly pure silicon dioxide.

Техническая проблема решается, а технический результат достигается за счет того, что способ получения гранул особо чистого диоксида кремния заключается в том, что гидролиз тетраэтоксисилана (ТЭОС) проводят с особо чистым водным раствором неорганической кислоты, отличающийся тем, что в качестве неорганической кислоты используют азотную кислоту, при этом вначале в раствор азотной кислоты предварительно добавляют этанол, затем при перемешивании в течение 10-25 мин проводят гидролиз тетраэтоксисилана (ТЭОС) в соотношении ТЭОС : водный раствор азотной кислоты с этанолом 1:(2-2,5) с рН от 3,5 до 6, в который, далее добавляют разбавленный раствор аммиака, с доведением рН до 9-10 и продолжают перемешивание в течение 8-15 мин при температуре 20-60°С, после чего проводят сушку полученной в виде геля гидроокиси кремния при перемешивании с одновременной отгонкой водно-спиртовой смеси с образованием твердых частиц ортокремневой кислоты, после чего удаляют остатки органических веществ и основной массы гидроксильных групп веществ путем термообработки ортокремневой кислоты при температуре от 200 до 250°С в течение 50-80 мин, а затем проводят отсев твердых частиц ортокремневой кислоты с размером менее 0,05 мм, а оставшиеся твердые частицы прокаливают при температуре от 1100 до 1300°С в течение от 3 до 5 ч с получением гранул особо чистого диоксида кремния размером от 0,05 до 0,50 мм.The technical problem is solved, and the technical result is achieved due to the fact that the method for obtaining granules of highly pure silicon dioxide consists in the fact that the hydrolysis of tetraethoxysilane (TEOS) is carried out with a highly pure aqueous solution of an inorganic acid, characterized in that nitric acid is used as an inorganic acid , at the same time, ethanol is first added to the nitric acid solution, then, with stirring, tetraethoxysilane (TEOS) is hydrolyzed for 10-25 minutes in the ratio TEOS : aqueous solution of nitric acid with ethanol 1: (2-2.5) with a pH of 3 ,5 to 6, to which, then, a dilute ammonia solution is added, with the pH adjusted to 9-10 and stirring is continued for 8-15 minutes at a temperature of 20-60 ° C, after which the silicon hydroxide obtained in the form of a gel is dried with stirring with simultaneous distillation of the water-alcohol mixture with the formation of solid particles of orthosilicic acid, after which the remains of organic substances and the main mass are removed hydroxyl groups of substances by heat treatment of orthosilicic acid at a temperature of 200 to 250 ° C for 50-80 minutes, and then screening out solid particles of orthosilicic acid with a size of less than 0.05 mm, and the remaining solid particles are calcined at a temperature of 1100 to 1300 °C for 3 to 5 hours to obtain highly pure silicon dioxide granules with a size of 0.05 to 0.50 mm.

Предпочтительно в водный раствор азотной кислоты со спиртом дополнительно вводят тонкодисперсный диоксид кремния с размером частиц менее 0,05 мм в количестве 5-7% (масс) от количества водного раствора азотной кислоты с этанолом.Preferably, finely dispersed silicon dioxide with a particle size of less than 0.05 mm is additionally introduced into an aqueous solution of nitric acid with alcohol in an amount of 5-7% (mass) of the amount of an aqueous solution of nitric acid with ethanol.

Предпочтительно в водным раствор азотной кислоты добавляют особо чистый этанол с концентрацией 95% об.Preferably, highly pure ethanol with a concentration of 95% vol. is added to an aqueous solution of nitric acid.

Примеры осуществления способа получения гранул особо чистого диоксида кремния золь-гель методом.Examples of the method for producing highly pure silicon dioxide granules by the sol-gel method.

Пример 1. В кварцевую емкость загружали 336 г ТЭОС с содержанием примесей металлов, указанном в таблице 1, и при перемешивании добавляли 60 г воды (соотношение ТЭОС : вода = 1:2) с рН=3,5 в течение 15 мин. Смесь выдерживали при перемешивании 40 мин., после чего доводили рН гидролизующегося раствора до 9 и проводили процесс при перемешивании и температуре 25°С в течение 10 мин. Удаление водно-спиртовой фазы проводили выпариванием и последующей конденсацией при перемешивании смеси. Образовавшуюся твердую фазу прогревали в течение 60 мин при температуре 200°С и удаляли из нее рассеиванием частицы размером менее 0,05 мм для последующего их использования при гидролизе. Оставшуюся твердую фазу прокаливали при температуре 1250°С в течение 3,5 ч. Получено 93 г диоксида кремния с содержанием примесей, указанном в таблице 2. Выход по ТЭОС 96%.Example 1. 336 g of TEOS with the content of metal impurities indicated in Table 1 was loaded into a quartz container, and 60 g of water (TEOS:water ratio = 1:2) with pH=3.5 was added with stirring for 15 minutes. The mixture was kept under stirring for 40 min, after which the pH of the hydrolyzable solution was adjusted to 9, and the process was carried out under stirring at a temperature of 25°C for 10 min. The removal of the water-alcohol phase was carried out by evaporation and subsequent condensation with stirring of the mixture. The resulting solid phase was heated for 60 min at a temperature of 200°C and removed from it by dispersion of particles smaller than 0.05 mm for their subsequent use in hydrolysis. The remaining solid phase was calcined at a temperature of 1250°C for 3.5 hours. 93 g of silicon dioxide were obtained with the impurity content indicated in table 2. Yield according to TEOS 96%.

Пример 2. Проводят пример аналогично Примеру 1, отличающийся тем, что на первой стадии рН воды 3,0. Получено 91 г диоксида кремния с содержанием примесей, указанном в таблице 2. Выход по ТЭОС 94%.Example 2. An example is carried out similarly to Example 1, characterized in that at the first stage the pH of the water is 3.0. Received 91 g of silicon dioxide with the impurity content indicated in table 2. Yield according to TEOS 94%.

Пример 3. Проводят процесс аналогично Примеру 1, отличающийся тем, что на первой стадии рН воды 2,0. Получено 90 г диоксида кремния с содержанием примесей, указанном в таблице 2. Выход по ТЭОС 93%.Example 3. The process is carried out analogously to Example 1, characterized in that at the first stage the pH of the water is 2.0. Received 90 g of silicon dioxide with the impurity content indicated in table 2. Yield according to TEOS 93%.

В таблице 3 представлены результаты осуществления предлагаемого способа при различных условиях.Table 3 presents the results of the proposed method under various conditions.

Figure 00000001
Figure 00000001

Figure 00000002
Figure 00000002

Figure 00000003
Figure 00000003

Claims (3)

1. Способ получения гранул особо чистого диоксида кремния, заключающийся в том, что гидролиз тетраэтоксисилана (ТЭОС) проводят с особо чистым водным раствором неорганической кислоты, отличающийся тем, что в качестве неорганической кислоты используют азотную кислоту, при этом вначале в раствор азотной кислоты предварительно добавляют этанол, затем при перемешивании в течение 10-25 мин проводят гидролиз тетраэтоксисилана (ТЭОС) в соотношении ТЭОС:водный раствор азотной кислоты с этанолом 1:(2-2,5) с рН от 3,5 до 6, далее добавляют разбавленный раствор аммиака с доведением рН до 9-10 и продолжают перемешивание в течение 8-15 мин при температуре 20-60°С, после чего проводят сушку полученной в виде геля гидроокиси кремния при перемешивании с одновременной отгонкой водно-спиртовой смеси с образованием твердых частиц ортокремниевой кислоты, после чего удаляют остатки органических веществ и основной массы гидроксильных групп веществ путем термообработки ортокремниевой кислоты при температуре от 200 до 250°С в течение 50-80 мин, а затем проводят отсев твердых частиц ортокремниевой кислоты с размером менее 0,05 мм, а оставшиеся твердые частицы прокаливают при температуре от 1100 до 1300°С в течение от 3 до 5 ч с получением гранул особо чистого диоксида кремния размером от 0,05 до 0,50 мм.1. A method for producing highly pure silicon dioxide granules, which consists in the fact that the hydrolysis of tetraethoxysilane (TEOS) is carried out with a highly pure aqueous solution of an inorganic acid, characterized in that nitric acid is used as an inorganic acid, while first, a solution of nitric acid is first added ethanol, then with stirring for 10-25 min, hydrolysis of tetraethoxysilane (TEOS) is carried out in the ratio TEOS: aqueous solution of nitric acid with ethanol 1: (2-2.5) with a pH of 3.5 to 6, then a dilute ammonia solution is added with pH adjusted to 9-10 and stirring is continued for 8-15 minutes at a temperature of 20-60°C, after which the silicon hydroxide obtained in the form of a gel is dried with stirring, while the water-alcohol mixture is distilled off to form solid particles of orthosilicic acid, after which the remains of organic substances and the bulk of the hydroxyl groups of substances are removed by heat treatment of orthosilicic acid at a temperature of about t 200 to 250°C for 50-80 min, and then screening of solid particles of orthosilicic acid with a size of less than 0.05 mm is carried out, and the remaining solid particles are calcined at a temperature of 1100 to 1300°C for 3 to 5 hours obtaining granules of highly pure silicon dioxide with a size of 0.05 to 0.50 mm. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в водный раствор азотной кислоты со спиртом дополнительно вводят тонкодисперсный диоксид кремния с размером частиц менее 0,05 мм в количестве 5-7% мас. от количества водного раствора азотной кислоты с этанолом.2. The method according to p. 1, characterized in that in an aqueous solution of nitric acid with alcohol, finely dispersed silicon dioxide with a particle size of less than 0.05 mm is additionally introduced in an amount of 5-7% wt. from the amount of an aqueous solution of nitric acid with ethanol. 3. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что в водный раствор азотной кислоты добавляют особо чистый этанол с концентрацией 95% об.3. The method according to p. 1 or 2, characterized in that highly pure ethanol with a concentration of 95% vol. is added to an aqueous solution of nitric acid.
RU2020127985A 2020-08-20 Method for production of granules of especially pure silicon dioxide RU2773514C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020127985A RU2773514C2 (en) 2020-08-20 Method for production of granules of especially pure silicon dioxide

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020127985A RU2773514C2 (en) 2020-08-20 Method for production of granules of especially pure silicon dioxide

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2020127985A RU2020127985A (en) 2022-02-21
RU2020127985A3 RU2020127985A3 (en) 2022-02-28
RU2773514C2 true RU2773514C2 (en) 2022-06-06

Family

ID=

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1749185A1 (en) * 1990-11-20 1992-07-23 Гомельский государственный университет им.Ф.Скорины Method of quartz sand production
RU2416681C2 (en) * 2009-07-03 2011-04-20 Открытое акционерное общество "Центральный научно-исследовательский технологический институт "Техномаш" (ОАО ЦНИТИ "Техномаш") METHOD OF PRODUCING OPTICAL MEDIUM BASED ON SiO2 NANOPARTICLES
RU2426692C1 (en) * 2010-03-30 2011-08-20 Учреждение Российской академии наук Институт геологии и минералогии им. В.С. Соболева Сибирского отделения РАН (Институт геологии и минералогии СО РАН, ИГМ СО РАН) Method to produce nanoparticles of silica
RU2602859C2 (en) * 2011-02-22 2016-11-20 Эвоник Дегусса Гмбх High-purity granular silicon dioxide for use in quartz glass and method of producing this granular silicon dioxide

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1749185A1 (en) * 1990-11-20 1992-07-23 Гомельский государственный университет им.Ф.Скорины Method of quartz sand production
RU2416681C2 (en) * 2009-07-03 2011-04-20 Открытое акционерное общество "Центральный научно-исследовательский технологический институт "Техномаш" (ОАО ЦНИТИ "Техномаш") METHOD OF PRODUCING OPTICAL MEDIUM BASED ON SiO2 NANOPARTICLES
RU2426692C1 (en) * 2010-03-30 2011-08-20 Учреждение Российской академии наук Институт геологии и минералогии им. В.С. Соболева Сибирского отделения РАН (Институт геологии и минералогии СО РАН, ИГМ СО РАН) Method to produce nanoparticles of silica
RU2602859C2 (en) * 2011-02-22 2016-11-20 Эвоник Дегусса Гмбх High-purity granular silicon dioxide for use in quartz glass and method of producing this granular silicon dioxide

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2445277C2 (en) Sol-gel process
EP2181069B1 (en) A method for synthesising porous silica microparticles
CA2646043C (en) Method for the production of glassy monoliths via the sol-gel process
EP1700831B1 (en) Process for the production of monoliths by means of the sol-gel process
KR102563801B1 (en) Silica particle dispersion and method for producing same
TWI221149B (en) Method for producing synthetic quartz glass
RU2773514C2 (en) Method for production of granules of especially pure silicon dioxide
JP2019116396A (en) Silica-based particle dispersion and production method thereof
JP2006500211A (en) Producing a solution for use as a coating in a transparent film of a photocatalyst
JPH01290523A (en) Production of high purity high density silica having large particle size
JP3758391B2 (en) High-purity silica aqueous sol and method for producing the same
JP5334398B2 (en) Method for producing silica fine particle dispersion
JP5905767B2 (en) Dispersion stabilization method of neutral colloidal silica dispersion and neutral colloidal silica dispersion excellent in dispersion stability
JPH0457604B2 (en)
JP2003267722A (en) Nonporous spherical silica and method of manufacturing it
RU2144505C1 (en) Method of preparing titanium dioxide
RU2790035C1 (en) Method for obtaining silicon dioxide by heterogeneous synthesis
RU2020127985A (en) Method for producing highly pure silicon dioxide granules
JP2003520181A (en) Sol-gel method for producing synthetic silica glass
KR102622058B1 (en) Manufacturing method of high purity quartz powder
KR100722379B1 (en) A method of preparing transparent silica glass
JP4993811B2 (en) Modified sol-gel silica particles and method for producing the same
SU952732A1 (en) Process for producing silicon dioxide
TWI664014B (en) Preparation method of high-purity micron-level spherical silicon dioxide fine powder
RU2618735C2 (en) Method of obtaining lithium silicate solutions