RU2738278C2 - Неиспаряемые геттерные сплавы, особенно пригодные для сорбции водорода и монооксида углерода - Google Patents
Неиспаряемые геттерные сплавы, особенно пригодные для сорбции водорода и монооксида углерода Download PDFInfo
- Publication number
- RU2738278C2 RU2738278C2 RU2018143593A RU2018143593A RU2738278C2 RU 2738278 C2 RU2738278 C2 RU 2738278C2 RU 2018143593 A RU2018143593 A RU 2018143593A RU 2018143593 A RU2018143593 A RU 2018143593A RU 2738278 C2 RU2738278 C2 RU 2738278C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- getter
- alloy
- zirconium
- powder
- amount
- Prior art date
Links
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 85
- 239000000956 alloy Substances 0.000 title claims abstract description 85
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 33
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 title claims abstract description 33
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 30
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 23
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 18
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 title abstract description 28
- 229910000986 non-evaporable getter Inorganic materials 0.000 title abstract 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims abstract description 5
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 5
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims abstract description 3
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 7
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 36
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 20
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 19
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 11
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 abstract 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 9
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 9
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 9
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 9
- 239000003826 tablet Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 7
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 4
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 4
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000498 ball milling Methods 0.000 description 2
- 239000007891 compressed tablet Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000000829 induction skull melting Methods 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 229910002058 ternary alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010313 vacuum arc remelting Methods 0.000 description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 6-oxabicyclo[3.2.1]oct-3-en-7-one Chemical compound C1C2C(=O)OC1C=CC2 TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010793 Steam injection (oil industry) Methods 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007727 Zr V Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001093 Zr alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ZGTNJINJRMRGNV-UHFFFAOYSA-N [V].[Fe].[Zr] Chemical compound [V].[Fe].[Zr] ZGTNJINJRMRGNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DIVGJYVPMOCBKD-UHFFFAOYSA-N [V].[Zr] Chemical compound [V].[Zr] DIVGJYVPMOCBKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001994 activation Methods 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000005056 compaction Methods 0.000 description 1
- 238000004320 controlled atmosphere Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- -1 for example Chemical class 0.000 description 1
- 238000005247 gettering Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002427 irreversible effect Effects 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002594 sorbent Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007725 thermal activation Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C1/00—Making non-ferrous alloys
- C22C1/04—Making non-ferrous alloys by powder metallurgy
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C16/00—Alloys based on zirconium
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
- B22F1/05—Metallic powder characterised by the size or surface area of the particles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C1/00—Making non-ferrous alloys
- C22C1/04—Making non-ferrous alloys by powder metallurgy
- C22C1/045—Alloys based on refractory metals
- C22C1/0458—Alloys based on titanium, zirconium or hafnium
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/24—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
- H01J61/26—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering; Means for preventing blackening of the envelope
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
- H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
- H01J7/183—Composition or manufacture of getters
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F2301/00—Metallic composition of the powder or its coating
- B22F2301/20—Refractory metals
- B22F2301/205—Titanium, zirconium or hafnium
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F2998/00—Supplementary information concerning processes or compositions relating to powder metallurgy
- B22F2998/10—Processes characterised by the sequence of their steps
Abstract
Группа изобретений относится к металлургии и включает неиспаряемый геттерный сплав, геттерное устройство, применение геттерного устройства и чувствительную к водороду систему. Неиспаряемый геттерный сплав содержит, ат.%: а) ванадий от 18 до 40, алюминий от более чем 19 до 25, цирконий баланс до 100 или b) ванадий от 18 до 40, алюминий от 5 до 25, один или более дополнительный элемент, выбранный из группы, включающей железо, хром, марганец, кобальт или никель, в количестве от 0,1 до 3, цирконий баланс до 100. Один или более дополнительный элемент находится в количестве менее 10% от атомного процентного содержания алюминия в сплаве. Геттерное устройство, содержащее неиспаряемый геттерный сплав, используется для удаления водорода и монооксида углерода. Обеспечивается повышение эффективности сорбции водорода и монооксида углерода. 5 н. и 14 з.п. ф-лы, 3 табл., 1 пр.
Description
Настоящее изобретение относится к новым геттерным сплавам, имеющим увеличенную эффективность сорбции водорода и монооксида углерода при низкой рабочей температуре, к способу сорбции водорода упомянутыми сплавами и к геттерным устройствам, которые используют упомянутые сплавы для удаления водорода.
Сплавы, являющиеся предметом этого изобретения, особенно полезны для всех применений, которые требуют производства или условий эксплуатации, несовместимых с типичной необходимой температурой термической активации геттерного сплава в уровне техники, имеющего высокую скорость сорбции значительных количеств и водорода, и монооксида углерода.
Среди наиболее интересных применений для этих новых сорбирующих сплавов являются панели вакуумной изоляции, вакуумные насосы и газоочиститель.
Использование геттерных материалов для удаления водорода в этих применениях уже известно, но в настоящее время разработанные и используемые решения непригодны для удовлетворения требований, предъявляемых непрерывным технологическим развитием, которое устанавливает все более и более жесткие пределы и ограничения.
В некоторых конкретных применениях в области панелей вакуумной изоляции, в качестве, например, термобаллонов, труб для нефти и газа, панелей солнечных коллекторов, вакуумированных стеклянных сосудов, необходимы геттерные сплавы для эффективной сорбции водорода и монооксида углерода, когда температура находится в диапазоне от комнатной температуры (RT) до 300°C.
Другая область применения, которая может извлекать выгоду из использования геттерных сплавов, способных к сорбции водорода при высоких температурах, состоит в геттерных откачивающих элементах в вакуумных насосах. Этот тип насосов описан в различных патентных документах, таких как US 5324172 и US 6149392, также в международной патентной публикации WO 2010/105944, все от имени заявителя. Поскольку возможность использовать геттерный материал насоса при высокой температуре увеличивает его выход относительно способности сорбировать другие газы; основная проблема в этом случае состоит в получении высокой скорости сорбции при работе при температуре в диапазоне от RT до 300°C также как способность получения более высоких выходов устройства.
Другая область применения, которая может извлекать выгоду из преимуществ геттерного материала, способного к сорбции водорода и монооксида углерода с высокой скоростью сорбции, состоит в очистке газов, используемых в полупроводниковой промышленности. Фактически, особенно когда требуются высокие расходы, обычно выше, чем несколько л/мин, геттерный материал должен быстро сорбировать газообразные вещества для удаления газообразных примесей, таких как N2, H2O, O2, CH4, CO, CO2.
Два наиболее эффективных решения для удаления водорода раскрыты в EP 0869195 и в международной патентной публикации WO 2010/105945, обе от имени заявителя. Первое решение предусматривает использование сплавов циркония, кобальта и редкоземельных элементов (РЗЭ), где РЗЭ может быть максимум 10% и выбираться из иттрия, лантана и других редкоземельных элементов. В частности, особенно ценен сплав, имеющий следующие массовые проценты: Zr 80,8%, Co 14,2% и РЗЭ 5%. Напротив, второе решение предусматривает использование сплавов на основе иттрия для максимизации удаляемого количества водорода при температурах выше 200°C, хотя их свойства необратимой сорбции газа по существу ограничиваются относительно потребностей многих применений, требующих условий вакуума.
Конкретное решение, полезное для быстрого геттерирования водорода и других нежелательных газов, таких как CO, N2 и O2, описано в US 4360445, но раскрытое в нем стабилизированное кислородом интерметаллическое соединение циркония-ванадия-железа можно успешно использовать в конкретном диапазоне температуры (т.е. от -196°C до 200°C), требуя только большое количество кислорода и, таким образом, снижая способность к сорбции и скорость сорбции, т.е. ограничивая его область возможного применения.
В порядке альтернативы, в US 4839085 раскрыты неиспаряемые геттерные сплавы, пригодные для удаления водорода и монооксида углерода, с упором на состав, богатый Zr, выбранный в системе цирконий-ванадий-третий элемент, причем третий элемент можно выбирать из никеля, хрома, марганца, железа и/или алюминия, последний раскрыт в примерах, предпочтительно заданный как четвертый элемент. Даже если эти сплавы выглядят эффективными, для упрощения некоторых этапов в производственном процессе, скорости поглощения при подвергании воздействию H2 и CO недостаточно для применения во многих приложениях, например, в геттерных насосах для систем высокого вакуума. Кроме того, неиспаряемые геттерные сплавы, раскрытые в US 4839035, при производстве требуют процесса спекания геттерных элементов, содержащихся в них, приводя в результате к дальнейшему ограничению, что исключает возможность большинства применений в области вакуумной изоляции, в частности их использование в термобаллонах.
Таким образом, улучшенные характеристики сплавов по настоящему изобретению в отношении водорода и монооксида углерода нужно назначать и оценивать в двояком возможном значении, а именно, увеличенной скорости сорбции H2 и низком равновесным давлением водорода, когда рабочая температура упомянутых геттерных сплавов содержится в диапазоне от RT до 300°C. Для наиболее интересных сплавов по настоящему изобретению это свойство следует рассматривать и связывать с непредвиденной повышенной эффективностью сорбции относительно других газообразных веществ и с конкретной ссылкой на CO. Кроме того, эти сплавы продемонстрировали более низкие температуры активации и более низкие потери частиц совместно с более высокими охрупчиванием и устойчивостью к водород-катионированию.
Таким образом, задача настоящего изобретения состоит в обеспечении геттерного сплава, пригодного для использования в геттерных устройствах и способного преодолевать недостатки предшествующего уровня техники. Эти задачи решаются за счет тройного неиспаряемого геттерного сплава, предпочтительно в форме порошка, имеющего следующий состав в атомной процентной концентрации:
a. ванадий от 18 до 40%;
b. алюминий от 5 до 25%;
c. цирконий в количестве для балансирования сплава до 100%;
а именно, в котором атомные процентные концентрации вычисляются относительно сплава.
Необязательно, состав неиспаряемого геттерного сплава может дополнительно содержать, в качестве дополнительных составных элементов, один или более металлов в общей атомной концентрации менее 3% относительно общего состава сплава. В частности, эти один или более металлов могут быть выбраны из группы, состоящей из железа, хрома, марганца, кобальта и никеля в общей атомной процентной концентрации предпочтительно от 0,1 до 2%. В отличие от предшествующего уровня техники, авторы изобретения установили, что эти один или более металлов могут содержаться в составе сплава предпочтительно в количестве менее 10% содержания алюминия в атомной процентной концентрации.
Авторы настоящего изобретения фактически неожиданно установили, что тройные сплавы в системе Zr-V-Al имеют повышенную скорость сорбции H2 и CO, когда количество алюминия выбрано в диапазоне от 5 до 25%. В отличие от US 4839035, алюминий выбран как третий элемент в составе тройного сплава вместо других металлов в списке из никеля, хрома, марганца и железа. В частности, авторы изобретения установили, что наилучшее повышение в геттерной эффективности сплавов на основе циркония и ванадия можно обнаружить, когда в значительном количестве добавляется алюминий (выше, чем атомная процентная концентрация 5%), а не как второстепенный компонент в тройной системе Zr-V-X, где X=Ni, Cr, Mn или Fe в количестве менее 7% атомной процентной концентрации. В этих раскрытых составах фактически, когда алюминий используется совместно с другим основным третьим элементом, очевидно, что его концентрация должна быть значительно меньше атомной процентной концентрации 5%, что авторы изобретения обнаружили в качестве минимума для настоящего изобретения.
В дополнительном аспекте авторы настоящего изобретения установили, что важной технической особенностью, которую можно использовать, чтобы иметь наилучшие результаты в преодолении недостатков сплавов предшествующего уровня техники, является атомное отношение Zr/V, которое должно составлять от 1 до 2,5. Фактически, когда упомянутое отношение содержится в вышеупомянутом диапазоне, авторы изобретения установили, что эффективность сорбции сплава не снижается при процессах спекания, что обычно происходит для уже существующих сплавов. Кроме того, эффективности сорбции особенно оптимизированы также в отношении максимальных способностей к сорбции водорода и монооксида углерода и скоростей сорбции, когда упомянутое отношение составляет от 1,5 до 2.
Кроме того, в составе сплава могут присутствовать незначительные количества примесей других химических элементов, если их общее процентное содержание, подразумеваемое как сумма атомного процентного содержания всех этих химических элементов, меньше 1% относительно общего состава сплава.
Эти и другие преимущества и характеристики сплавов и устройств по настоящему изобретению будут очевидны специалистам в данной области техники из нижеследующего подробного описания некоторых их неограничивающих вариантов осуществления.
Неиспаряемые геттерные сплавы по настоящему изобретению можно использовать в форме спрессованных таблеток, полученных посредством процесса прессования порошка. Прессование порошка является процессом прессования порошка сплава в матрице путем применения высоких давлений. Обычно инструменты удерживаются в вертикальной ориентации с помощью инструмента пуансона, образующего дно полости. Затем порошку придается форма путем прессования, после чего он выбрасывается из полости матрицы. Плотность спрессованного порошка в полученной форме (обычно в форме таблетки) прямо пропорциональна величине приложенного давления. Типичные давления сжатия, пригодные для прессования неиспаряемого геттерного сплава по настоящему изобретению, может составлять от 1 т/см² до 15 т/см² (от 1,5 МПа до 70 МПа). Работа с несколькими нижними пуансонами иногда может быть необходима для получения одинакового коэффициента сжатия по элементу спрессованного порошка, требующего более одного уровня или высоты. Цилиндрическая таблетка производится с помощью одноуровневой инструментальной оснастки. Более сложная форма может производиться с помощью обычной многоуровневой инструментальной оснастки.
Например, можно получить цилиндр или панель, выполненный(я) резанием листа сплава пригодной толщины. Для их практического использования устройства должны располагаться в фиксированной позиции в контейнере, который должен поддерживаться свободным от водорода. Устройства могут крепиться непосредственно к внутренней поверхности контейнера, например, точечной сваркой, когда упомянутая поверхность выполнена из металла. Альтернативно, устройства могут располагаться в контейнере посредством пригодных опор; затем монтаж на опоре может осуществляться путем сварки или механического сжатия.
В другом возможном варианте осуществления геттерного устройства используется дискретное тело из сплава согласно изобретению, особенно для сплавов, имеющих особенности высокой пластичности. В этом случае сплав изготавливается в форме полоски, из которой вырезается заготовка требуемого размера; затем заготовка изгибается на её участке вокруг опоры в форме металлической проволоки. Опора может быть линейной, но предпочтительно снабжена кривыми, которые помогают размещать заготовку, формирование которой может поддерживаться посредством одной или нескольких точек сварки в зоне перекрытия, хотя простого сжатия в ходе изгибания вокруг опоры может быть достаточно с учетом пластичности этих сплавов.
Альтернативно, другие геттерные устройства по изобретению можно изготавливать с использованием порошков сплавов. В случае использования порошков, они предпочтительно имеют размер частиц менее 500 мкм, и еще более предпочтительно менее 300 мкм, в некоторых применениях от 0 до 125 мкм. Устройство, имеющее форму таблетки со вставленной в нее опорой, может производиться, например, прессованием порошков в пресс-форме, имеющей подготовленную упомянутую опору в пресс-форме до засыпания порошка. Альтернативно, опору можно приваривать к таблетке.
В порядке другой альтернативы, можно легко получить устройство, сформированное из порошков сплава согласно изобретению, спрессованных в металлическом контейнере; устройство может крепиться к опоре, например, путем приваривания к нему контейнера.
Другой вид устройства, содержащего опору, можно изготавливать, начиная с металлического листа с углублением, полученным при прессовании листа в пригодной пресс-форме. Затем наибольшая часть дна углубления удаляется резанием с образованием отверстия, и опора поддерживается в пресс-форме так, что углубление может быть заполнено порошками сплавов, которые затем прессуются на месте с образованием таким образом устройства, в котором массив порошка имеет две открытые поверхности для сорбции газа.
В области геттерных насосов основное требование, удовлетворяемое настоящим изобретением, состоит в эффективной сорбции водорода даже при работе при низких температурах по сравнению с обычно используемыми с другими существующими геттерными сплавами, без отрицательного влияния на способность геттерного материала эффективно сорбировать также другие газообразные примеси, а также N2, H2O, O2, CH4, CO, CO2, которые могут присутствовать в вакуумируемой камере. В этом случае все сплавы, являющиеся предметом настоящего изобретения, обладают признаками, преимущественными в этом применении, благодаря чему особенно ценны имеющие более высокое сродство к нескольким газообразным примесям. В частности, авторы изобретения установили, что эти сплавы имеют эффективность сорбции для водорода и монооксида углерода, которая меньше уменьшается при процессе спекания, который обычно используется для геттерных элементов для геттерных насосов или картриджа откачивания геттера, используемого совместно с другими откачивающими элементами (например, ионными насосами).
Спекание является процессом прессования и формирования сплошной массы материала с помощью тепла и/или давления без его плавления до точки превращения в жидкое состояние. Атомы в материалах рассеиваются по границам частиц, сплавляя частицы друг с другом и создавая один сплошной кусок.
В наиболее распространенных геттерных насосах дисковидные геттерные элементы удобно собирать в стопку для получения объекта с увеличенными эффективностями откачивания. Стопка может быть оборудована нагревательным элементом, соосным с поддерживающим элементом, и установлена на вакуумном фланце или закреплена в вакуумной камере посредством пригодных держателей.
Во всех устройствах по изобретению опоры, контейнеры и любая другая металлическая деталь, которая не сформирована из сплава согласно изобретению, выполнены из металлов, имеющих низкое давление пара, таких как вольфрам, тантал, ниобий, молибден, никель, никелированное железо или сталь для предотвращения испарения этих деталей вследствие высокой рабочей температуры, действию которой подвергаются упомянутые устройства.
Сплавы, полезные для геттерных устройств согласно изобретению, можно создавать путем плавления чистых элементов, предпочтительно в порошке или кусках (заготовках), для получения требуемых атомных отношений. Плавление должно осуществляться в управляемой атмосфере, например, в вакууме или инертном газе (предпочтителен аргон), во избежание окисления приготавливаемого сплава. Среди наиболее распространенных технологий плавления, но не ограничиваясь ими, можно использовать дуговую плавку, вакуумную индукционную плавку (VIM), вакуумно-дуговой переплав (VAR), индукционную гарнисажную плавку (ISM), электрошлаковый переплав (ESR) или электронно-лучевую плавку (EBM). В порядке примера, дуговой плавкой соответствующих смесей высокочистых составных элементов в атмосфере аргона можно приготавливать поликристаллические слитки. Слиток можно измельчать несколькими способами, например, молотковой дробилкой, ударной дробилкой или посредством традиционного шарового помола, в атмосфере аргона и затем просеивается до требуемой порошковой фракции, обычно менее 500 мкм или более предпочтительно менее 300 мкм. Когда порошки по настоящему изобретению используются в геттерном устройстве, которое имеет спрессованную форму (например, таблеток), атомное отношение между цирконием и ванадием предпочтительно составляет от 1,5 до 2.
Спекание или спекание под высоким давлением порошков также можно использовать для формирования многих разных форм, таких как диски, бруски, кольца и т.д. из неиспаряемых геттерных сплавов настоящего изобретения, например, подлежащих использованию в геттерных насосах. Кроме того, в возможном варианте осуществления настоящего изобретения спеченные изделия можно получить с использованием смесей порошков геттерного сплава, имеющих состав по п. 1, необязательно смешанных с порошками элементарных металлов, таких как титан, цирконий или их смеси, для получения геттерных элементов, обычно в форме брусков, дисков или аналогичных форм, также описанных, например, в EP 0719609. Когда порошки по настоящему изобретению используются в геттерном устройстве в спрессованной и спеченной форме, атомное отношение Zr/V между цирконием и ванадием предпочтительно составляет от 1 и 2,5.
Во втором своем аспекте изобретение состоит в применении геттерного устройства, которое описано выше, для удаления водорода и монооксида углерода. Например, упомянутое применение может быть направлено на удаление водорода и монооксида углерода из замкнутых системы или устройства, включающего в себя или содержащего вещества или структурные элементы, чувствительные к присутствию упомянутых газов. Альтернативно, упомянутое применение может быть направлено на удаление водорода и монооксида углерода из потоков газа, используемых в процессах производства, включающих вещества или структурные элементы, чувствительные к присутствию упомянутых газов. Водород и монооксид углерода негативно влияют на характеристики или эффективность устройства, и упомянутого нежелательного эффекта избегают или ограничивают его посредством по меньшей мере геттерного устройства, содержащего тройной неиспаряемый геттерный сплав, имеющий следующий атомный состав:
i. ванадий от 18 до 40%
ii. алюминий от 5 до 25%
iii. цирконий в количестве для балансирования сплава до 100%;
а именно, в котором атомные процентные концентрации вычисляются относительно сплава.
Необязательно, состав неиспаряемого геттерного сплава может дополнительно содержать в качестве дополнительных составных элементов один или более металлов в общей атомной концентрации менее 3% относительно общего состава сплава, предпочтительно менее 10% атомной процентной концентрации алюминия. В частности, эти металлы могут быть выбраны из группы, состоящей из железа, хрома, марганца, кобальта и никеля в общей атомной процентной концентрации. Кроме того, в составе сплава могут присутствовать небольшие количества примесей, состоящих из других химических элементов, если их общее процентное содержание, подразумеваемое как сумма всех этих химических элементов, меньше 1% относительно общего состава сплава.
Применение по изобретению находит приложение при использовании геттерного сплава также в форме порошка, таблеток спрессованных порошков, наслоенных на пригодные металлические листы или расположенных внутри одного из пригодных контейнеров, причем возможные варианты хорошо известны специалисту в данной области техники, и не только для спеченных изделий. В частности, авторы изобретения установили, что эффективности сорбции оптимизированы также в отношении максимальных способностей к сорбции водорода и монооксида углерода и скоростей сорбции, когда упомянутое отношение составляет от 1,5 до 2.
Альтернативно, применение по изобретению может находить приложение при использовании геттерного сплава в форме спеченных (или спеченных под высоким давлением) порошков, необязательно смешанных с порошками металлов, таких как, например, титан или цирконий, или их смеси.
Вышеприведенные соображения, касающиеся размещения геттерного материала по настоящему изобретению, носят общий характер и пригодны для их применения независимо от режима применения материала или от конкретной конструкции его контейнера.
Неограничивающие примеры систем, чувствительных к водороду, которые могут извлекать конкретные преимущества из применения вышеописанных геттерных устройств, представляют собой вакуумные камеры, транспортные средства для криогенных жидкостей (например, водорода или азота), солнечные приемники, вакуум-баллоны, поточные линии с вакуумной изоляцией (например, для вдувания пара), электронные трубки, дьюары и т.д., трубы для нефти и газа, панели солнечных коллекторов, вакуумированные стеклянные сосуды.
Если не указано обратное, все используемые здесь технические термины, обозначения и другие научные термины подразумеваются имеющими значения, в общем понимаемые специалистами в области техники, к которым относится это раскрытие. В ряде случаев термины с общепринятыми значениями задаются здесь для ясности и/или для справки; таким образом, включение сюда таких определений не призвано представлять существенного отличия от обычно понимаемого в области техники.
Термины ʺсодержащийʺ, ʺимеющийʺ, ʺвключающий в себяʺ и ʺсодержащийʺ рассматриваются как открытые термины (т.е. означающие ʺвключающий в себя, но не ограниченный этимʺ) и подлежат рассмотрению как обеспечивающие поддержку также для терминов ʺсостоит по существу изʺ, ʺсостоящий по существу изʺ, ʺсостоит изʺ или ʺсостоящий изʺ.
Термины ʺсостоит по существу изʺ, ʺсостоящий по существу изʺ следует рассматривать как полузакрытые термины, означающие, что никакие другие ингредиенты, которые существенно влияют на основные и новые характеристики изобретения, не включены (таким образом, возможные примеси могут быть включены).
Термины ʺсостоит изʺ, ʺсостоящий изʺ следует рассматривать их как закрытый термин.
Изобретение будет дополнительно проиллюстрировано посредством следующих примеров. Эти неограничивающие примеры иллюстрируют некоторые варианты осуществления, которые предназначены пояснять специалисту в данной области техники, как применять изобретение на практике.
Примеры
Несколько поликристаллических слитков подготовили путем дуговой плавки соответствующих смесей высокочистых металлических составных элементов в атмосфере аргона. Далее каждый слиток измельчали путем шарового помола в атмосфере аргона и затем просеивали до требуемой порошковой фракции, т.е. менее 300 мкм.
1 г каждого сплава, перечисленного в таблице 1 (см. ниже) прессовали в матрице для получения образцов (таблеток), обозначенных как образец A, B, C (по настоящему изобретению), и сравнительных образцов, обозначенных от 1 до 7.
Таблица 1
| Zr | V | Al | Ni | Cr | Mn | Fe | |
| сравнительный 1 | 50 | 35 | - | 15 | - | - | - |
| сравнительный 2 | 57 | 35,8 | - | 7,2 | - | - | - |
| сравнительный 3 | 57 | 35,8 | - | - | 7,2 | - | - |
| сравнительный 4 | 57 | 35,8 | - | - | - | 7,2 | - |
| сравнительный 5 | 57 | 35,8 | - | - | - | - | 7,2 |
| образец A | 52,5 | 32,3 | 15,2 | - | - | - | - |
| образец B | 53 | 27 | 20 | - | - | - | - |
| образец C | 58,5 | 34,5 | 7 | - | - | - | - |
| сравнительный 6 | 63 | 17 | 20 | - | - | - | - |
| сравнительный 7 | 40 | 20 | 40 | - | - | - | - |
Их сравнивали по их эффективности сорбции в отношении водорода и монооксида углерода в форме таблеток спрессованного геттерного порошка (диаметром 10 мм и высотой 3 мм) и в форме спеченного геттерного диска, полученного после прессования и процесса прессования и спекания при температуре менее 1250°C.
Испытание для оценки способности к сорбции H2 и CO осуществляется на стенде сверхвысокого вакуума. Образец геттера устанавливается внутри резервуара, и ионизационный манометр позволяет измерять давление на образец, тогда как другой ионизационный манометр позволяет измерять давление перед каналом, расположенным между двумя манометрами. Геттер активируется с помощью радиочастотной печи при 500°C в течение 10 мин; затем он охлаждается и поддерживается при 25°C. Поток H2 или CO подается на геттер по известному каналу, поддерживающему постоянное давление 3×10-6 торр. Измеряя давление до и после канала и интегрируя изменение давления по времени, можно вычислить скорость откачивания и сорбированную величину геттера. Записанные данные отражены в таблице 2 (для спеченных дисков) и в таблице 3 (для спрессованных таблеток).
Таблица 2
| спеченный | ||
| скорость сорбции H2 (л/с) | скорость сорбции CO (л/с) | |
| сравнительный 1 | 10,0 | 4,8 |
| сравнительный 2 | 11,0 | 6,0 |
| сравнительный 3 | 10,0 | 5,2 |
| сравнительный 4 | 7,5 | 5,3 |
| сравнительный 5 | 5,6 | 5,0 |
| образец A | 19 | 8 |
| образец B | 17 | 8 |
| сравнительный 6 | 6,3 | 6,2 |
| сравнительный 7 | 6,8 | 4,7 |
Таблица 3
| таблетки 10-3 | ||
| скорость сорбции H2 (л/с) | скорость сорбции CO (л/с) | |
| образец A | 2 | 1,5 |
| образец B | 1,7 | 1 |
| образец C | 3,5 | 2,3 |
| сравнительный 6 | 1,2 | 0,5 |
| сравнительный 7 | 0,5 | 0,3 |
Claims (27)
1. Неиспаряемый геттерный сплав, состоящий из
a) ванадия от 18 до 40 ат.%,
b) алюминия от 5 до 25 ат.%,
c) одного или более дополнительного элемента, выбранного из группы, состоящей из железа, хрома, марганца, кобальта или никеля, в количестве в диапазоне от 0,1 до 3 ат.%,
d) циркония в количестве для баланса сплава до 100 ат.%,
при этом упомянутый один или более дополнительный элемент находится в количестве менее 10% от атомного процентного содержания алюминия в сплаве.
2. Геттерный сплав по п. 1, в котором цирконий и ванадий имеют отношение Zr/V их соответствующего атомного количества в диапазоне от 1 до 2,5.
3. Геттерный сплав по п. 1, в котором упомянутый один или более дополнительный элемент находится в количестве в диапазоне от 0,1 до 2 ат.%.
4. Геттерный сплав по любому из пп. 1-3, дополнительно содержащий примеси в количестве менее 1 ат.%.
5. Геттерный сплав по любому из пп. 1-4, характеризующийся тем, что находится в форме порошка.
6. Геттерный сплав по п. 5, в котором упомянутый порошок геттерного сплава смешан с порошками металлов, предпочтительно выбранных из металлического титана, циркония или их смесей.
7. Геттерный сплав по п. 5, в котором упомянутый порошок имеет размер частиц менее 500 мкм, предпочтительно менее 300 мкм.
8. Неиспаряемый геттерный сплав, состоящий из
a) ванадия от 18 до 40 ат.%,
b) алюминия от более чем 19 до 25 ат.%,
c) циркония в количестве для баланса сплава до 100 ат.%.
9. Геттерный сплав по п. 8, в котором цирконий и ванадий имеют отношение Zr/V их соответствующего атомного количества в диапазоне от 1 до 2,5.
10. Геттерный сплав по п. 8 или 9, характеризующийся тем, что находится в форме порошка.
11. Геттерный сплав по п. 10, в котором упомянутый порошок геттерного сплава смешан с порошками металлов, предпочтительно выбранных из металлического титана, циркония или их смесей.
12. Геттерный сплав по п. 10, в котором упомянутый порошок имеет размер частиц менее 500 мкм, предпочтительно менее 300 мкм.
13. Геттерное устройство, содержащее неиспаряемый геттерный сплав по любому из пп. 1-12.
14. Геттерное устройство по п. 13, в котором упомянутый геттерный сплав находится в форме таблеток из спрессованного порошка.
15. Геттерное устройство по п. 13, в котором цирконий и ванадий имеют отношение Zr/V их соответствующего атомного количества в диапазоне от 1,5 до 2.
16. Геттерное устройство по п. 13, в котором геттерный сплав находится в форме единого спрессованного и спеченного тела геттерного элемента.
17. Геттерное устройство по п. 16, причем упомянутое геттерное устройство является геттерным насосом, картриджем для геттерного насоса или насосом, содержащим один или более откачивающих элементов.
18. Применение геттерного устройства по п. 13 для удаления водорода и монооксида углерода.
19. Чувствительная к водороду система, выбранная из вакуумных камер, средств транспортировки криогенных жидкостей, солнечных приемников, вакуум-баллонов, поточных линий с вакуумной изоляцией, электронных трубок, дьюаров, труб для нефти и газа, панелей солнечных коллекторов и вакуумированных стеклянных сосудов, содержащая геттерное устройство по п. 13.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| ITUA2016A003861A ITUA20163861A1 (it) | 2016-05-27 | 2016-05-27 | Non-evaporable getter alloys particularly suitable for hydrogen and carbon monoxide sorption |
| ITUA2016A003861 | 2016-05-27 | ||
| PCT/EP2017/062707 WO2017203015A1 (en) | 2016-05-27 | 2017-05-25 | Non-evaporable getter alloys particularly suitable for hydrogen and carbon monoxide sorption |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2018143593A RU2018143593A (ru) | 2020-06-29 |
| RU2018143593A3 RU2018143593A3 (ru) | 2020-07-23 |
| RU2738278C2 true RU2738278C2 (ru) | 2020-12-11 |
Family
ID=56940290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018143593A RU2738278C2 (ru) | 2016-05-27 | 2017-05-25 | Неиспаряемые геттерные сплавы, особенно пригодные для сорбции водорода и монооксида углерода |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10995390B2 (ru) |
| EP (1) | EP3405591B1 (ru) |
| JP (1) | JP6823075B2 (ru) |
| KR (1) | KR102179758B1 (ru) |
| CN (2) | CN109952385A (ru) |
| ES (1) | ES2735827T3 (ru) |
| IT (1) | ITUA20163861A1 (ru) |
| RU (1) | RU2738278C2 (ru) |
| WO (1) | WO2017203015A1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024028240A1 (en) | 2022-08-01 | 2024-02-08 | Saes Getters S.P.A. | Snap-on getter pump assembly and its use |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4312669A (en) * | 1979-02-05 | 1982-01-26 | Saes Getters S.P.A. | Non-evaporable ternary gettering alloy and method of use for the sorption of water, water vapor and other gases |
| US4839085A (en) * | 1987-11-30 | 1989-06-13 | Ergenics, Inc. | Method of manufacturing tough and porous getters by means of hydrogen pulverization and getters produced thereby |
| RU1750256C (ru) * | 1990-02-12 | 1994-07-15 | Институт порошковой металлургии | Геттерный сплав |
| US6508632B1 (en) * | 1997-12-23 | 2003-01-21 | Saes Getters S.P.A. | Getter system for purifying the confinement volume in process chambers |
| RU2321650C2 (ru) * | 2002-09-13 | 2008-04-10 | Саес Геттерс С.П.А. | Геттерные композиции, регенерируемые при низкой температуре после воздействия реакционных газов при более высокой температуре |
| RU2444577C2 (ru) * | 2008-12-08 | 2012-03-10 | Государственное Учебно-Научное Учреждение Химический Факультет Московского Государственного Университета Имени М.В. Ломоносова | Гидриды сплавов для сорбции и десорбции водорода |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4360445A (en) | 1981-06-16 | 1982-11-23 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Oxygen stabilized zirconium-vanadium-iron alloy |
| US4839035A (en) | 1988-02-25 | 1989-06-13 | Iafrate John A | Cylindrical screen separator with spirally arranged clearing and conveying blades |
| IT1255438B (it) | 1992-07-17 | 1995-10-31 | Getters Spa | Pompa getter non evaporabile |
| TW287117B (ru) | 1994-12-02 | 1996-10-01 | Getters Spa | |
| US5833738A (en) * | 1996-03-01 | 1998-11-10 | D.D.I. Ltd. | Specialty gas purification system |
| IT1290451B1 (it) | 1997-04-03 | 1998-12-03 | Getters Spa | Leghe getter non evaporabili |
| IT1295340B1 (it) | 1997-10-15 | 1999-05-12 | Getters Spa | Pompa getter ad elevata velocita' di assorbimento di gas |
| ITMI20042271A1 (it) * | 2004-11-23 | 2005-02-23 | Getters Spa | Leghe getter non evaporabili per assorbimento di idrogeno |
| ITMI20090402A1 (it) | 2009-03-17 | 2010-09-18 | Getters Spa | Sistema di pompaggio combinato comprendente una pompa getter ed una pompa ionica |
| ITMI20090410A1 (it) | 2009-03-18 | 2010-09-19 | Getters Spa | Leghe getter non evaporabili adatte particolarmente per l'assorbimento di idrogeno |
| ITMI20120872A1 (it) * | 2012-05-21 | 2013-11-22 | Getters Spa | Leghe getter non evaporabili particolarmente adatte per l'assorbimento di idrogeno e azoto |
| ITMI20131921A1 (it) * | 2013-11-20 | 2015-05-21 | Getters Spa | Leghe getter non evaporabili particolarmente adatte per l'assorbimento di idrogeno e monossido di carbonio |
-
2016
- 2016-05-27 IT ITUA2016A003861A patent/ITUA20163861A1/it unknown
-
2017
- 2017-05-25 US US16/086,168 patent/US10995390B2/en active Active
- 2017-05-25 CN CN201780020127.1A patent/CN109952385A/zh active Pending
- 2017-05-25 EP EP17727550.0A patent/EP3405591B1/en active Active
- 2017-05-25 CN CN202311142000.0A patent/CN117026011A/zh active Pending
- 2017-05-25 WO PCT/EP2017/062707 patent/WO2017203015A1/en active Application Filing
- 2017-05-25 JP JP2018550580A patent/JP6823075B2/ja active Active
- 2017-05-25 RU RU2018143593A patent/RU2738278C2/ru active
- 2017-05-25 ES ES17727550T patent/ES2735827T3/es active Active
- 2017-05-25 KR KR1020187030558A patent/KR102179758B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4312669A (en) * | 1979-02-05 | 1982-01-26 | Saes Getters S.P.A. | Non-evaporable ternary gettering alloy and method of use for the sorption of water, water vapor and other gases |
| US4312669B1 (ru) * | 1979-02-05 | 1992-04-14 | Getters Spa | |
| US4839085A (en) * | 1987-11-30 | 1989-06-13 | Ergenics, Inc. | Method of manufacturing tough and porous getters by means of hydrogen pulverization and getters produced thereby |
| RU1750256C (ru) * | 1990-02-12 | 1994-07-15 | Институт порошковой металлургии | Геттерный сплав |
| US6508632B1 (en) * | 1997-12-23 | 2003-01-21 | Saes Getters S.P.A. | Getter system for purifying the confinement volume in process chambers |
| RU2321650C2 (ru) * | 2002-09-13 | 2008-04-10 | Саес Геттерс С.П.А. | Геттерные композиции, регенерируемые при низкой температуре после воздействия реакционных газов при более высокой температуре |
| RU2444577C2 (ru) * | 2008-12-08 | 2012-03-10 | Государственное Учебно-Научное Учреждение Химический Факультет Московского Государственного Университета Имени М.В. Ломоносова | Гидриды сплавов для сорбции и десорбции водорода |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ES2735827T3 (es) | 2019-12-20 |
| EP3405591B1 (en) | 2019-04-24 |
| EP3405591A1 (en) | 2018-11-28 |
| CN109952385A (zh) | 2019-06-28 |
| CN117026011A (zh) | 2023-11-10 |
| KR102179758B1 (ko) | 2020-11-18 |
| JP6823075B2 (ja) | 2021-01-27 |
| US10995390B2 (en) | 2021-05-04 |
| JP2019523819A (ja) | 2019-08-29 |
| WO2017203015A1 (en) | 2017-11-30 |
| ITUA20163861A1 (it) | 2017-11-27 |
| KR20190009282A (ko) | 2019-01-28 |
| US20190360076A1 (en) | 2019-11-28 |
| RU2018143593A (ru) | 2020-06-29 |
| RU2018143593A3 (ru) | 2020-07-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102022755B1 (ko) | 수소 및 일산화탄소 수착에 특히 적합한 비-증발성 게터 합금 | |
| EP2408942B1 (en) | A method for the removal of hydrogen from a hydrogen sensitive device by means of a non-evaporable yttrium based getter alloy | |
| EP1817439B1 (en) | Non-evaporable getter alloys for hydrogen sorption | |
| EP2745305B1 (en) | Non-evaporable getter alloys particularly suitable for hydrogen and nitrogen sorption | |
| RU2738278C2 (ru) | Неиспаряемые геттерные сплавы, особенно пригодные для сорбции водорода и монооксида углерода | |
| WO2007099575A2 (en) | Use of non-evaporable getter alloys for the sorption of hydrogen in vacuum and in inert gases |