RU2720052C1 - Способ измерения угла поворота и устройство его реализующее - Google Patents

Способ измерения угла поворота и устройство его реализующее Download PDF

Info

Publication number
RU2720052C1
RU2720052C1 RU2019127831A RU2019127831A RU2720052C1 RU 2720052 C1 RU2720052 C1 RU 2720052C1 RU 2019127831 A RU2019127831 A RU 2019127831A RU 2019127831 A RU2019127831 A RU 2019127831A RU 2720052 C1 RU2720052 C1 RU 2720052C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
photodetector
rotation
matrix
angle
measuring
Prior art date
Application number
RU2019127831A
Other languages
English (en)
Inventor
Антон Андреевич Боев
Сергей Николаевич Кузнецов
Антон Алексеевич Паршин
Сергей Юрьевич Поляков
Сергей Евгеньевич Широбакин
Original Assignee
Акционерное общество "Мостком"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Мостком" filed Critical Акционерное общество "Мостком"
Priority to RU2019127831A priority Critical patent/RU2720052C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2720052C1 publication Critical patent/RU2720052C1/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C1/00—Measuring angles
    • G01C1/02—Theodolites

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного определения углов поворота механических объектов. Заявленный способ измерения угла поворота вала включает в себя соосную установку на валу круговой шкалы с выполненным на ее периферии набора прозрачных и не прозрачных штрихов, освещение шкалы с одной стороны параллельным пучком света и установку с другой стороны фотоприемного устройства. Фотоприемное устройство выполняется в виде прецизионной одномерной матрицы, расположенной тангенциально круговой шкале, и снабжено вычислителем, который обеспечивает распознавание штрихов, номеров сегментов и положения репера относительно матрицы с субпиксельной точностью. Штрихи на круговой шкале сгруппированы в N примерно равных сегментов с угловой шириной 2*π/N радиан, каждый сегмент имеет выделенный штрих (репер), а сегменты несут в себе код, обозначающий их номер, причем минимальная ширина штриха составляет не менее 3 пикселей матричного фотоприемного устройства. Длина матричного фотоприемного устройства и ширина сегментов выбираются так, чтобы на длине матрицы укладывалось не менее двух длин сегментов, и имелась возможность измерения расстояния в пикселах фотоприемного устройства между каждыми двумя соседними реперами Li. Процедура самокалибровки проводится путем измерения всех значений межреперных расстояний и нормировка полученных результатов по условию:
Figure 00000005
R - радиус установки фотоприемника, отсчитываемый от оси вращения вала, δ - размер пиксела фотоприемного устройства, по результатам которой уточняется значение R и производится измерение абсолютного угла поворота как суммы целых величин межреперных расстояний, выраженной в угловой мере, и доли текущего сегмента, отсчитанного по фотоприемному устройству. Технический результат - повышение точности определения угла поворота и упрощение технологии изготовления кодового диска. 1 з.п. ф-лы, 10 ил.

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного определения положения вала механического узла.
Задачей измерения углового положения вала механического узла озабочены многие изобретатели, что обусловлено широкими потребностями в таких измерениях. Известно большое количество технических решений [1-6] направленных на улучшение этой процедуры. Предлагаются как однодорожечные решения, так и многодорожечные. Рассматриваются варианты кодирования диска, размещение считывающих головок. Предлагаются как абсолютные, так и относительные типы датчиков. Ряд предложений направлено на значительное увеличение разрешающей способности энкодера за счет применения интерферометрического способа считывания. Всех их объединяет одно принципиальное свойство - разрешающая способность и точность отсчета угла определяется качеством изготовления кодирующего диска.
Из уровня техники известен способ построения углового преобразователя абсолютного типа (Патент RU 2634329 C1 25.10.2017). В заявленном способе построения углового преобразователя абсолютного типа используется установленный на прецизионной оси дисковый носитель, на который нанесены три концентрические кодирующие дорожки с числом штрихов, равным N, N-l и N-k, формирующие системы грубого и точного отсчетов угла, определяется начало шкалы абсолютного преобразователя типа и используется фазовая модуляция падающего на дифракционную решетку излучения. Выделяются нужные порядки дифракции, которые приводятся к интерференции с помощью трех интерферометров. В результате на их выходах выделяются три фазы интерференционных сигналов трех интерферометров, которые формируют выходное значение угла с высоким разрешением. Технический результат - возможность повышения разрешающей способности абсолютного преобразователя угла до 2-31 от полного оборота ротора преобразователя при существенно меньших габаритах. Данный способ требует высокой точности изготовления кодирующих дорожек, а также сложной интерферометрической схемы измерений.
Наиболее близким по технической сущности является способ измерения угла поворота вала, предложенный в патенте на абсолютный однодорожечный оптический угловой энкодер (Патент CN 101153808 А, 19.09.2007). Изобретение относится к устройству датчика угла поворота механического вала. Целью настоящего изобретения является упрощение конструкции датчика угла поворота за счет использования одной оптопары и одной кодовой шкалы, представляющей прорези, выполненные на краю кодового диска. При этом кодовая шкала разбита на N секторов, каждый из которых содержит разделитель секторов, код номера сектора и полоску регулярных прорезей, позволяющую определить угол поворота диска в рамках сектора. Точность датчика, использующего данный принцип, определяется точностью изготовления кодового диска, который предлагается делать с фотолитографическим методом.
Техническим результатом предлагаемого изобретения является повышение точности определения угла поворота и упрощение технологии изготовления кодового диска за счет того, что угловой мерой, определяющей точность энкодера является фотоприемное устройство (ФПУ, матричный сенсор), изготовленное в соответствии с широко применяемыми прецизионными стандартами микроэлектроники. Кроме того, предлагаемый способ измерения угла поворота вала позволяет проводить самокалибровку энкодера в процессе его эксплуатации.
Технический результат достигается тем, что предлагаемый способ измерения угла поворота вала включает в себя соосную установку на валу круговой шкалы с выполненным на ее периферии набора прозрачных и не прозрачных штрихов, освещение шкалы с одной стороны параллельным пучком света и установку с другой стороны фотоприемного устройства отличающийся тем, что фотоприемное устройство выполняется в виде прецизионной одномерной матрицы, расположенной тангенциально круговой шкале, и снабжено вычислителем, который обеспечивает распознавание штрихов, номеров сегментов и положения репера относительно матрицы с субпиксельной точностью, штрихи на круговой шкале сгруппированы в N примерно равных сегментов с угловой шириной 2*π/N радиан, каждый сегмент имеет выделенный штрих (репер), а сегменты несут в себе код, обозначающий их номер, причем минимальная ширина штриха составляет не менее 3 пикселей матричного фотоприемного устройства, длина матричного фотоприемного устройства и ширина сегментов выбираются так, чтобы на длине матрицы укладывалось не менее двух длин сегментов и имелась возможность измерения расстояния в пикселах фотоприемного устройства между каждыми двумя соседними реперами Li, проводится процедура самокалибровки путем измерения всех значений межреперных расстояний и нормировка полученных результатов по условию:
Figure 00000001
где R - радиус установки фотоприемника, отсчитываемый от оси вращения вала, δ - размер пиксела фотоприемного устройства
По результатам нормировки уточняется значение R и производится измерение абсолютного угла поворота как суммы целых величин межреперных расстояний, выраженной в угловой мере, и доли текущего сегмента, отсчитанного по фотоприемному устройству.
Для исключения ошибки вносимой несоосной установкой кодового диска по отношению к валу (оси вращения) предлагается способ измерения угла поворота, в котором в диаметральном положении круговой шкалы устанавливаются еще один осветитель и фотоприемное устройство, отсчеты с которого независимо калибруются, а угол поворота вычисляется как арифметическое среднее между двумя отсчетами.
Схема построения энкодера, реализующего предлагаемый способ измерения угла поворота вала, приведена на фиг 1.
Энкодер состоит из излучателя 1, конденсора 2, кодового устройства 3 в виде диска, содержащего межсекторные реперы 4 (с шириной ds с расстоянием между ними Ls) и коды секторов, фотоприемного устройства 5 (длиной Lm и размером пиксела δ) и процессора 6. Излучатель с конденсором и фотоприемным устройством образуют оптопару.
Кодовое устройство в виде диска, разбитого на N секторов, с прозрачными и непрозрачными участками, образующими кодовую дорожку (шкалу) закрепляется на валу, угол поворота которого необходимо измерять, оптопара закрепляется на объекте (базе) относительно которого будет измеряться поворот таким образом, чтобы кодовое устройство располагалось между конденсором излучателя и фотоприемным устройством.
Необходимыми для реализации предлагаемого способа измерения угла поворота вала являются следующие условия:
Lm>2Ls
ds≥3⋅δ.
Первое условие позволяет осуществить процедуру калибровки энкодера с точностью не хуже 10 нм, обеспечиваемой микроэлектронной технологией изготовления фотоприемного устройства.
Второе условие дает возможность определить положение репера с субпиксельной точностью и минимальной ошибкой [7-9].
На фиг. 2 приведен кодовый диск разбитый на N угловых секторов, задаваемых реперами (обозначены белыми прямоугольниками), каждый из секторов имеет угловой размер αi. Угловые размеры секторов различаются из-за неточности нанесения реперов и требуют измерения (калибровки).
На фиг. 3 приведен пример последовательности прозрачных и непрозрачных участков кодового диска, образующих сектор 7. Каждый из секторов состоит из разделителя 8 и кода сектора 9. Разделитель содержит однозначно определяемую (за счет известного положения) прорезь - репер 10. На фиг. 3 приведена кодовая последовательность и распределение интенсивностей пикселов фотоприемного устройства, расположенного за кодовым диском с данной последовательностью.
Процедура калибровки энкодера осуществляется следующим образом.
Проводится измерение межреперных расстояний Li для всех N секторов кодового диска. Расстояния измеряются в пикселах фотоприемного устройства с субпиксельной точностью.
На фиг. 4 иллюстрировано измерение межреперного расстояния i-го сектора кодового диска 11 с помощью фотоприемного устройства 12. Участок сектора определяет его номер i, соответствующее ему расстояние Li между прозрачными участками-реперами измеряется в пикселах фотоприемного устройства с субпиксельной точностью.
Выражение (1) соответствует значениям Li, полученным при установке ФПУ перпендикулярно к радиальной прямой кодового диска. Однако фотоприемное устройство может быть установлено со сдвигом и поворотом относительно идеального положения, когда нормаль, проведенная из центра фотоприемного устройства, совпадает с радиусом кодового диска, как проиллюстрировано на фиг. 5. При смещении фотоприемного устройства относительно его идеального положения (обозначено красным пунктиром) его центр, определяемый как пересечение прямой 13, проведенной из центра кодового диска перпендикулярно к линии 14, образуемой пикселами ФПУ 2 не будет совпадать с центральным пикселом и использование центрального пиксела Co. ФПУ в качестве точки отсчета, соответствующей перпендикуляру, проходящему через центр кодового диска, внесет ошибку в расчет угла поворота - использование выражения (1) в данной ситуации будет некорректным. Для исключения данной ошибки необходимо определить пиксел ФПУ C1, который является точкой пересечения образующей ФПУ 2 и радиуса кодового диска, проведенного перпендикулярно к линии 14. Компенсировать указанную погрешность установки фотоприемного устройства относительно кодового диска позволяет процедура определения истинного центрального пиксела С1. Она заключается в проведении нескольких измерений Li каждого сектора в различных положениях кодового диска и определении номера пиксела при котором Li минимально, т.к. минимум Li соответствует симметричному положению реперов ограничивающих сектор относительно искомого пиксела С1. Итоговое значение C1 рассчитывается как среднее от значений C1, полученных для всех секторов - это позволяет исключить ошибку, которая может быть внесена из-за неточности изготовления отдельных реперов.
Данная процедура позволяет определить центр и при наклоне ФПУ.
Следует отметить, что точное значение радиуса кодового диска заранее неизвестно из-за технологического разброса при его изготовлении. Соотношение (1) позволяет определить значение R, после чего, используя набор значений Li, можно построить калибровочную таблицу кодового диска, представляющую набор N значений углов, соответствующих реальным угловым размерам секторов кодового диска. Точный угловой размер i-го сектора кодового диска а определится по формуле:
Figure 00000002
С калибровочной таблицей становится возможным найти абсолютный угол поворота диска относительно репера нулевого сектора при установке i-го репера напротив центрального пиксела ФПУ путем суммирования от нулевого до i-го углов из калибровочной таблицы.
Для точного определения угла поворота необходимо учесть смещение репера внутри сектора.
На фиг. 6 проиллюстрирован способ расчета угла поворота. На ФПУ 2 отображается положение кодового диска 11, соответствующее сектору, номер которого i определяется по коду, находящемуся в соответствующей области сектора (выделена пунктиром). Определяется с субпиксельной точностью положение репера, ограничивающего i-й сектор справа и его расстояние в пикселах от центрального пиксела ФПУ С1. Поскольку угол поворота соответствующий положению данного репера в точке C1 определяется калибровочной таблицей, абсолютный угол поворота кодового диска θ можно рассчитать по формуле:
Figure 00000003
Таким образом, угол поворота определяется с точностью, которая зависит только от точности изготовления ФПУ и алгоритма субпиксельного расчета центра репера.
На фиг. 7 представлен полный алгоритм работы энкодера, реализующего предлагаемый способ измерения угла поворота, включающий в себя процедуры калибровки и собственно измерения угла.
При изготовлении энкодера возможна также несоосная установка кодового диска по отношению к валу. На фиг. 8 показано, как указанная несоосность приводит к ошибке измерения угла. Пунктиром показано идеальное положение кодового диска, при котором его центр О совпадает с центром вращения. Сплошной линией показан кодовый диск, смещенный на расстояние d относительно центра его вращения. При этом центр кодового диска O1 будет описывать вокруг центра его вращения круг диаметром 2d. При повороте кодового диска на угол θ (относительно его положения, при котором направление его смещения совпадает с прямой, перпендикулярной линии ФПУ 15 и проходящей через центр вращения О) кроме поворота, несоосно установленный кодовый диск будет иметь линейное смещение вдоль оси ФПУ 15 на величину d⋅sin(θ). Максимальная ошибка измерения угла поворота достигается при θ=90° и она будет равна arctg(d/R). Как видно из схемы, приведенной на фиг. 8, измеряемый ФПУ 15 угол будет завышен на величину указанной ошибки. Данная ошибка может быть исключена путем установки ФПУ 16 в положении, диаметрально противоположном ФПУ 15 - как видно из фиг. 8, на ФПУ 16 тот же поворот несоосного кодового диска дает линейное смещение на ФПУ 16 в сторону, противоположную вращению, занижая его показания на ту же величину ошибки. Поэтому использование среднего значения показаний ФПУ 15 и ФПУ 16 компенсирует ошибку несоосности вала и кодового диска. Однако следует учесть возможную неточность установки ФПУ 16 относительно требуемого диаметрально противоположного положения. На фиг. 9 приведены зависимости ошибки ФПУ 15 Err1 и ошибки Err2 ФПУ 16 (при отношении d/R=0.01 и неточности установки ФПУ 15 d2 того же порядка по углу d2/R=0.01) от угла поворота кодового диска. Кроме того, на фиг. 9 приведена зависимость суммарной ошибки Err_sum от угла поворота диска. Как видно из фиг. 9, даже при неточной установке ФПУ 16, оно снижает ошибку на два порядка - при d/R=d2/R=0.01 максимальная ошибка снижается с 0.57 до 0.0057 градуса.
Таким образом, предлагаемый способ измерения угла поворота вала позволяет обеспечить высокую точность измерений без предъявления требований высокой точности изготовления кодового диска, что присуще практически всем аналогам. Кроме того, предлагаемый способ дает возможность проводить калибровку энкодера в составе оборудования, позволяя компенсировать любые изменения составных частей энкодера в процессе эксплуатации. Установка двух диаметрально противоположных ФПУ позволяет эффективно компенсировать кодового диска и вала.
Практическая реализация (осуществимость предложенного способа)
Для оценки работоспособности предложенного способа измерения угла поворота вала на базе моментного двигателя разработки АО «Мостком» было проведено макетирование датчика угла поворота, реализующего указанный способ.
Как видно из фиг. 10, макет включал в себя моментный двигатель, состоящий из статора, ротора и платы управления. На ротор двигателя был установлен кодовый диск. Осветитель с зеркалами и ФПУ были установлены на плату управления двигателя таким образом, чтобы свет от светодиода (расположенного под зеркалом 17), направляемый двумя зеркалами прошел через кодовый диск и попал на ФПУ (расположенный под зеркалом 18).
Погрешность изготовления кодового диска радиусом 40 мм при ширине прорези репера 200 мкм составила до 40 мкм. Указанная величина погрешности дает максимальную угловую ошибку 1 мрад или 200 угловых секунд.
Как показали измерения, калибровка в соответствии с предлагаемым решением позволила уменьшить ошибку энкодера в 10 раз - до 100 мкрад или 20 угловых секунд. Полученный уровень ошибки соответствует точности изготовления кодового диска радиусом 40 мм не хуже 4 мкм.
Таким образом, экспериментальная реализация предлагаемого способа измерения угла поворота вала показала его полную работоспособность.
Источники
1. Патент US 5574445 12.11.1996.
2. Патент US 6093928 25.07.2000.
3. Патент CN 101153808 А 02.04.2008.
4. Патент CN 105509779 B 01.12.2015.
5. Патент RU 2634329 C1 25.10.2017.
6. Патент RU 2651637 С1 23.04.2018.
7. Fisher R.B., Naidu D.K.A comparison of algorithms for subpixel peak detection. - Image Technology, Advances in Image Processing, Multimedia and Machine Vision, 1996. - P. 385-404.
8. MatiukasV., Miniotas D. Detection of laser beam's center-line in 2D images. - Elektronika ir Elektrotechnika, 2009. No7(95). - P. 67-70.
9. Molder A., Martens O., Saar T., Land R. Laser Line Detection with Sub-Pixel Accuracy. - Elektronika ir Elektrotechnika, 2014. Vol. 20, No5, - P. 132-135.

Claims (9)

1. Способ измерения угла поворота вала, включающий в себя соосную установку на валу круговой шкалы с выполненным на ее периферии набора прозрачных и не прозрачных штрихов, освещение шкалы с одной стороны параллельным пучком света и установку с другой стороны фотоприемного устройства, отличающийся тем, что:
фотоприемное устройство выполняется в виде прецизионной одномерной матрицы, расположенной тангенциально круговой шкале, и снабжено вычислителем, который обеспечивает распознавание штрихов, номеров сегментов и положения репера относительно матрицы с субпиксельной точностью,
штрихи на круговой шкале сгруппированы в N примерно равных сегментов с угловой шириной 2*π/N радиан, каждый сегмент имеет выделенный штрих (репер), а сегменты несут в себе код, обозначающий их номер, причем минимальная ширина штриха составляет не менее 3 пикселей матричного фотоприемного устройства,
длина матричного фотоприемного устройства и ширина сегментов выбираются так, чтобы на длине матрицы укладывалось не менее двух длин сегментов и имелась возможность измерения расстояния в пикселах фотоприемного устройства между каждыми двумя соседними реперами Li,
проводится процедура самокалибровки путем измерения всех значений межреперных расстояний и нормировка полученных результатов по условию:
Figure 00000004
R - радиус установки фотоприемника, отсчитываемый от оси вращения вала, δ - размер пиксела фотоприемного устройства,
по результатам которой уточняется значение R и производится измерение абсолютного угла поворота как суммы целых величин межреперных расстояний, выраженной в угловой мере, и доли текущего сегмента, отсчитанного по фотоприемному устройству.
2. Способ измерения угла поворота по п. 1, в котором в диаметральном положении круговой шкалы устанавливаются еще один осветитель и фотоприемное устройство, отсчеты с которого независимо калибруются, а угол поворота вычисляется как арифметическое среднее между двумя отсчетами.
RU2019127831A 2019-09-03 2019-09-03 Способ измерения угла поворота и устройство его реализующее RU2720052C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019127831A RU2720052C1 (ru) 2019-09-03 2019-09-03 Способ измерения угла поворота и устройство его реализующее

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019127831A RU2720052C1 (ru) 2019-09-03 2019-09-03 Способ измерения угла поворота и устройство его реализующее

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2720052C1 true RU2720052C1 (ru) 2020-04-23

Family

ID=70415477

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019127831A RU2720052C1 (ru) 2019-09-03 2019-09-03 Способ измерения угла поворота и устройство его реализующее

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2720052C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU200017U1 (ru) * 2020-06-08 2020-10-01 Общество с ограниченной ответственностью АКРУС (ООО "АКРУС") Шпиндельный узел повышенной точности углового компаратора

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0843133A (ja) * 1994-07-28 1996-02-16 Sokkia Co Ltd 光学式アブソリュートエンコーダ
RU96111785A (ru) * 1996-06-11 1998-10-10 Акционерное общество "ЛОМО" Преобразователь угловых перемещений
RU25219U1 (ru) * 2002-01-31 2002-09-20 Открытое акционерное общество "ЛОМО" Преобразователь угловых перемещений
RU2343407C2 (ru) * 2007-02-01 2009-01-10 Открытое акционерное общество "Научно-производственный испытательный центр "АРМИНТ" Электронно-цифровое устройство измерения угловых координат
CN105509779B (zh) * 2015-12-01 2018-02-13 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种绝对式光电码盘及光电编码器
RU2651637C1 (ru) * 2017-01-17 2018-04-23 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тульский государственный университет" (ТулГУ) Абсолютный оптический однооборотный угловой энкодер

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2120105C1 (ru) * 1996-06-11 1998-10-10 Акционерное общество "ЛОМО" Преобразователь угловых перемещений

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0843133A (ja) * 1994-07-28 1996-02-16 Sokkia Co Ltd 光学式アブソリュートエンコーダ
RU96111785A (ru) * 1996-06-11 1998-10-10 Акционерное общество "ЛОМО" Преобразователь угловых перемещений
RU25219U1 (ru) * 2002-01-31 2002-09-20 Открытое акционерное общество "ЛОМО" Преобразователь угловых перемещений
RU2343407C2 (ru) * 2007-02-01 2009-01-10 Открытое акционерное общество "Научно-производственный испытательный центр "АРМИНТ" Электронно-цифровое устройство измерения угловых координат
CN105509779B (zh) * 2015-12-01 2018-02-13 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种绝对式光电码盘及光电编码器
RU2651637C1 (ru) * 2017-01-17 2018-04-23 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тульский государственный университет" (ТулГУ) Абсолютный оптический однооборотный угловой энкодер

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU200017U1 (ru) * 2020-06-08 2020-10-01 Общество с ограниченной ответственностью АКРУС (ООО "АКРУС") Шпиндельный узел повышенной точности углового компаратора

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7482575B2 (en) Rotary optical encoder employing multiple subencoders with common reticle substrate
US7958620B2 (en) Method of producing a rotary encoder
US4414754A (en) High resolution compass card position decoder
US7061624B2 (en) Grating interference type optical encoder
KR101829521B1 (ko) 로터리 인코더를 자기 교정하기 위한 방법
WO2009103342A1 (en) Angle measurement device and method
US8330097B2 (en) Angular correction method for rotary encoder
US5026985A (en) Method and apparatus for detecting a reference position of a rotating scale with two sensors
US4794251A (en) Apparatus for measuring lengths or angles
EP2434261B1 (en) Optical rotation encoder
AU2005205743A1 (en) Method and apparatuses for the exact determination of an angle of rotation
JPH02285214A (ja) 測長器及びそれに用いるスケール部材
JP2000514199A (ja) 車両のハンドルの絶対角度位置を測定する方法及び光電式のステアリング角度センサ
RU2720052C1 (ru) Способ измерения угла поворота и устройство его реализующее
US8077302B2 (en) Rotation and differential angle optical sensor which does not require keyed installation
CN112212809A (zh) 光学位置测量装置
EP2546613B1 (en) Method for working out the eccentricity and the angular position of a rotating element and Device for carrying out such a method
US8218134B2 (en) Rotation and differential angle optical sensor with non-transition pattern sampling
JP4768164B2 (ja) ロータリーエンコーダ装置
CN107702738B (zh) 转角识别仪、转角误差标定系统及方法
CN114608633B (zh) 一种单码道绝对式位移测量编码码盘和系统
US4725146A (en) Method and apparatus for sensing position
JP7203584B2 (ja) アブソリュートロータリエンコーダ
JP2003279383A (ja) 光学式エンコーダ
JP3059714B1 (ja) 相対位置計測装置