RU2710103C1 - Способ изготовления композитного чувствительного пьезоэлемента - Google Patents
Способ изготовления композитного чувствительного пьезоэлемента Download PDFInfo
- Publication number
- RU2710103C1 RU2710103C1 RU2018142506A RU2018142506A RU2710103C1 RU 2710103 C1 RU2710103 C1 RU 2710103C1 RU 2018142506 A RU2018142506 A RU 2018142506A RU 2018142506 A RU2018142506 A RU 2018142506A RU 2710103 C1 RU2710103 C1 RU 2710103C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silver
- electrodes
- containing paste
- piezoceramic
- organic polymer
- Prior art date
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 30
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims abstract description 30
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims abstract description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000009501 film coating Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 11
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 claims description 5
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 claims description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 20
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 8
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000004604 Blowing Agent Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 235000015142 cultured sour cream Nutrition 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
Abstract
Использование: для изготовления композитного чувствительного пьезоэлемента. Сущность изобретения заключается в том, что на торцевые поверхности пьезокерамического каркаса, имеющего открытые поры и общую пористость 40-60%, наносят электроды путем вжигания серебросодержащей пасты, поляризуют полученную заготовку, припаивают к электродам провода и покрывают пьезоэлемент слоем эластичного полимера. Способ отличается тем, что перед нанесением серебросодержащей пасты на торцевые поверхности пьезокерамического каркаса наносят равномерный слой органического полимера и сушат его до образования тонкопленочного покрытия. Технический результат: увеличение объемной чувствительности к звуковому давлению по напряжению, а также уменьшение расхода серебросодержащей пасты при нанесении электродов. 2 з.п. ф-лы, 3 ил., 2 табл.
Description
Изобретение относится к пьезотехнике, а именно, к технологии изготовления композитных чувствительных пьезоэлементов на основе пористой пьезокерамики со смешанной связностью 3-0 и 3-3, используемых в акустических и гидроакустических пьезопреобразователях, работающих в режиме приема.
В качестве чувствительных элементов приемников звука традиционно использовали плотную пьезокерамику, отличающуюся высокими значениями электрофизических параметров и их стабильностью в широком интервале температур. Однако плотная пьезокерамика способна фиксировать преимущественно, одноосные колебания, поскольку имеет крайне низкие объемно-чувствительные характеристики, высокие значения плотности и скорости звука и, как следствие, высокий акустический импеданс, что затрудняет согласование в воздушной и водной средах. При использовании плотной пьезокерамики для целей акустики и гидроакустики приходится трансформировать объемные колебания в одноосные путем усложнения конструкции пьезоэлектрического преобразователя.
Этих недостатков лишены преобразователи на основе пьезокомпозитов, которые благодаря высоким объемно-чувствительным характеристикам и лучшему акустическому согласованию с водой позволяют отказаться от необходимости трансформации объемного давления в одноосное и, следовательно, существенно упростить конструкцию преобразователей для целей акустики и гидроакустики и снизить их стоимость.
Частным случаем композиционных материалов является пористая пьезокерамика. Ее высокая эффективность, возможность в широких пределах варьировать свойствами материала и технологическая простота вызывают растущий интерес к пористой пьезокерамике и чувствительным пьезоэлементам на ее основе. Пористая пьезокерамика может иметь как открытые, так и закрытые поры. Чем выше общая пористость керамического каркаса чувствительного пьезоэлемента, тем выше удельная доля пористости открытого типа [1, 2]. С ростом открытой пористости возрастают объемно-чувствительные характеристики пьезокомпозита, вследствие этого наибольший практический интерес представляют пьезокомпозиты с пористостью от 40 до 60%. Пьезокомпозиты с пористостью более 65% практически не используются в связи с их низкой механической прочностью [3].
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому изобретению является способ изготовления композитного чувствительного пьезоэлемента (RU 2298300, МПК H04R 17/00, H01L 41/08, G01L 21/10, опубл. 21.04.2007 С. 6-7) [4], принимаемый за прототип.
Согласно способу - прототипу изготовление чувствительных пьезоэлементов включает следующие операции:
- изготовление из пьезокерамического материала ЦТС-36 пористого керамического каркаса в форме диска диаметром 12 мм, высотой 5 мм с пористостью 62-63% объема;
- металлизацию торцевых поверхностей дисков;
- припаивание к электродам проводов для снятия сигналов;
- поляризацию композитного чувствительного пьезоэлемента;
- изолирование композитного чувствительного пьезоэлемента слоем эластичного полимера, такого как полиуретан, силиконовый каучук и синтетический каучук.
Металлизацию торцевых поверхностей выполняют методом нанесения и вжигания серебросодержащей пасты при температуре 800-850°С, поскольку альтернативные способы нанесения электродов - никелирование и напыление металлов неприемлемы для высокопористых чувствительных элементов. Это обусловлено тем, что при никелировании в результате погружения пьезоэлемента в раствор происходит проникновение по открытым порам растворов по всему объему керамического каркаса, что полностью исключает возможность применения такого способа нанесения электродов. Способ напыления электродов не применим к пористым композиционным материалам, так как при напылении образуется тонкий слой металлического электрода, что для пористых пьезоэлементов делает практически невозможной дальнейшую пайку электрических выводов. В способе - прототипе серебросодержащая паста при нанесении проникает вглубь керамического каркаса по открытым порам, что приводит к уменьшению эффективного (реального) расстояния между электродами пьезокомпозита, и как следствие, недостаточно высокой объемной чувствительности к звуковому давлению по напряжению Mu,, а также расходу серебросодержащей пасты. При изготовлении чувствительных элементов в соответствии с технологией прототипа серебросодержащая паста, имеющая консистенцию сметаны и используемая при нанесении электродов, проникает в открытые поры вглубь керамического каркаса, а образующийся металлический электрод после спекания полностью повторяет морфологию поверхности керамического каркаса. При этом глубина проникновения серебросодержащей пасты связана с величиной общей пористости керамического каркаса: чем выше пористость, тем глубже проникает серебросодержащая паста вглубь пористого керамического каркаса элемента. При вжигании серебросодержащей пасты это приводит к уменьшению эффективного (реального) расстояния между электродами пьезокомпозита, и как следствие, недостаточно высокой объемной чувствительности к звуковому давлению по напряжению Mu. Кроме этого для образования качественного электрода, пригодного для последующей поляризации и пайки, необходимо нанесение 2-3-х слоев серебросодержащей пасты на пористые каркасы с пористостью 30-40% и 3-4х слоев с пористостью более 40%, что приводит к значительному расходу драгметалла.и, следовательно, удорожанию пьезоэлемента.
Техническим результатом настоящего изобретения является увеличение объемной чувствительности к звуковому давлению по напряжению Mu композитного чувствительного пьезоэлемента за счет увеличения эффективного (реального) расстояния между электродами, и удешевление пьезоэлемента за счет уменьшение расхода серебросодержащей пасты при нанесении электродов.
Указанный технический результат достигается тем, что способ изготовления композитного чувствительного пьезоэлемента заключается в нанесении электродов на торцевые поверхности пьезокерамического каркаса, имеющего общую пористость 40-60% путем вжигания серебросодержащей пасты, поляризации, припаивании к электродам проводов и покрытии пьезоэлемента слоем эластичного полимера.
Согласно изобретения перед нанесением серебросодержащей пасты на торцовые поверхности пористого пьезокерамического каркаса наносят слой органического полимера и сушат его до получения тонкопленочного покрытия.
В предпочтительном варианте выполнения:
- в качестве органического полимера использован бутираль-фенольный состав марки БФ-2;
- в качестве органического полимера использован нитроцеллюлозный состав марки НЦ-88.
Создание тонкопленочного слоя из органического полимера перед нанесением серебросодержащей пасты "залечивает" поверхностные открытые поры и выравнивает поверхность, что препятствует проникновению серебросодержащей пасты при ее нанесении вглубь пористого керамического каркаса. При вжигании серебросодержащей пасты уже при температуре 400°С слой из указанных органических полимеров полностью выгорает. Чтобы получить электроды, пригодные для последующей поляризации и пайки, наносят 1-2 слоя серебросодержащей пасты на пористые каркасы с пористостью 30-40% и 3-4 слоя с пористостью более 40%, что приводит к экономии драгметалла.
Сущность изобретения поясняется фигурами чертежей и таблицами.
Фиг. 1 Фотография поверхности пористого керамического каркаса, материал ЦТС-36, пористость 40%, увеличение х 100.
Фиг. 2. Поперечное сечение композитного чувствительного пьезоэлемента -прототипа, где 1 - пористый керамический каркас, 2 - серебряный электрод на поверхности керамического каркаса, частично проникающий внутрь него, 3 - эффективное (реальное) расстояние между электродами.
Фиг. 3 Поперечное сечение композитного чувствительного пьезоэлемента, изготовленного заявляемым способом, где 1 - пористый керамический каркас, 2 - серебряный электрод на поверхности керамического каркаса, 3 - эффективное (реальное) расстояние между электродами.
Таблица 1. Сравнение значений объемной чувствительности к звуковому давлению по напряжению Mu композитного чувствительного пьезоэлемента из материала ЦТС-36 диаметром 12 мм, высотой 5 мм и 9 мм, изготовленного способом - прототипом и с использованием органического полимерного слоя.
Таблица 2. Сравнение значений объемной чувствительности к звуковому давлению по напряжению Mu композитного чувствительного пьезоэлемента из материала ПКП-13 диаметром 12 мм, высотой 5 мм и 9 мм, изготовленного способом - прототипом и с использованием органического полимерного слоя.
Пьезокерамический композитный материал изготавливают по известной технологии [2]. Пьезокерамический состав смешивают с порообразователем в требуемом соотношении, формуют заготовку и подвергают термической обработке в процессе которой порообразователь удаляется в виде газообразных соединений и происходит спекание керамического каркаса заданной пористости 40-60% (фиг. 1), затем на поверхности керамического каркаса, подлежащие металлизации, наносят равномерно слой органического полимера- бутираль-фенольный состав марки БФ-2 или нитроцеллюлозный состав марки НЦ-88, сушат при температуре 60°С. Далее наносят последовательно два слоя серебросодержащей пасты и помещают заготовку в печь и нагревают до температуры 800-850°С в результате чего происходит вжигание серебросодержащей пасты и выгорание органического полимерного слоя. В качестве органического полимера может любой органический полимер, который полностью выгорает при температуре вжигания серебросодержащей пасты. Полученную заготовку поляризуют при напряженности поля 0,9-1,5 кВ/мм, припаивают электроды и герметизируют слоем эластичного полимера, такого как полиуретан, силиконовый каучук и синтетический каучук. Измерения объемной чувствительности к звуковому давлению по напряжению Mu композитного чувствительного пьезоэлемента из материала ЦТС-36 диаметром 12 мм выполнены на установке контроля параметров пьезоэлементов «Паскаль-4» (изготовитель НКТБ Пьезоприбор, Ростов-на-Дону).
Так как объемная чувствительность к звуковому давлению по напряжению Mu прямо пропорциональна расстоянию между электродами:
Mu=gv⋅h,
gv - удельная объемная чувствительность;
h - расстояние (реальное) между электродами.
За расстояние между электродами на практике принимается геометрический размер между поверхностями элемента, которые подвергаются металлизации. В способе-прототипе, эффективное (реальное) расстояние между электродами уменьшается вследствие проникновения серебросодержащей пасты в открытые поры керамического каркаса (Фиг. 2), что и приводит уменьшению объемной чувствительности к звуковому давлению по напряжению Mu.
В заявляемом способе эффективное (реальное) расстояние между электродами соответствует геометрическому расстоянию между металлизированными поверхностями элемента, что и сопровождается более высокими значениями объемной чувствительности к звуковому давлению по напряжению Mu по сравнению с прототипом.
Повышение объемной чувствительности к звуковому давлению по напряжению Mu по сравнению с прототипом поясняется следующими примерами.
Пример 1.
Из пьезокерамического материала ЦТС-36 были изготовлены чувствительные элементы диаметром 12 мм и толщиной 5 и 9 мм и пористостью 40, 50, 60 об. %. Бутираль-фенольный состав марки БФ-2 наносился на поверхность, подлежащую металлизации, просушивался в течение 1 часа при температуре 60°С. Долее на поверхность наносилась серебросодержащая паста, которая вжигалась при температуре 800°С. После поляризации, пайки и герметизации, измерялась объемная чувствительность к звуковому давлению по напряжению Mu. Полученные результаты представлены в таблице 1.
Пример 2.
Из пьезокерамического материала ЦТС-36 были изготовлены чувствительные элементы диаметром 12 мм и толщиной 5 и 9 мм и пористостью 40, 50, 60 об. %. Нитроцеллюлозный состав марки НЦ-88 наносился на поверхность, подлежащую металлизации, просушивался в течение 1 часа при температуре 60°С. Далее на поверхность наносилась серебросодержащая паста, которая вжигалась при температуре 800°С. После поляризации, пайки и герметизации, измерялась объемной чувствительности к звуковому давлению по напряжению Mu. Полученные результаты представлены в таблице 1.
Пример 3.
Из пьезокерамического материала ПКП-13 были изготовлены чувствительные элементы диаметром 12 мм и толщиной 5 мм и пористостью 40, 50, 60 об. %. Бутираль-фенольный состав марки БФ-2 наносился на поверхность, подлежащую металлизации, просушивался в течение 1 часа при температуре 60°С. Долее на поверхность наносилась серебросодержащая паста, которая вжигалась при температуре 800°С.После поляризации, пайки и герметизации измерялась чувствительность к звуковому давлению по напряжению Mu. Полученные результаты представлены в таблице 2.
Пример 4.
Из пьезокерамического материала ПКП-13 были изготовлены чувствительные элементы диаметром 12 мм и толщиной 5 мм и пористостью 40, 50, 60 об. %. Нитроцеллюлозный состав марки НЦ-88 наносился на поверхность, подлежащую металлизации, просушивался в течение 1 часа при температуре 60°С. Долее на поверхность наносилась серебросодержащая паста, которая вжигалась при температуре 800°С. После поляризации, пайки проводов и герметизации пьезоэлемента измерялась чувствительность к звуковому давлению по напряжению Mu. Полученные результаты представлены в таблице 2.
Для сравнения на части образцов металлизация осуществлялась без нанесения органического полимерного слоя. Эти образцы являлись контрольными. Полученные на них значения объемной чувствительности к звуковому давлению по напряжению также представлены в таблицах 1 и 2.
Как следует из таблиц 1 и 2 композитные чувствительные пьезоэлементы, изготовленные заявляемым способом, превосходят по объемной чувствительности к звуковому давлению по напряжению Mu контрольные образцы на 8% при пористости керамического каркаса 40% и на 15-20% при пористости керамического каркаса 60%, что позволяет повысить отношение сигнал/шум в акустических и гидроакустических пьезопреобразователях, работающих в режиме приема. Повышение объемной чувствительности к звуковому давлению по напряжению Mu достигается для пьезоматериала ЦТС-36 и ПКП-13 и нет препятствий для достижения данного эффекта при использования других пьезоматериалов.
Источники информации:
1. А.А. Нестеров, А.А. Панич, С.Н. Свирская, А.Ю.Малыхин, А.В. Скрылев, Е.А. Панич - Способы формирования микроструктуры пористых пьезокерамических каркасов, Инженерный вестник Дона №3 (2012).
2. Е.В. Карюков, А.А. Панич, В.К. Доля, А.Ю. Малыхин, В.В. Немыкин, В.В. Бостанджиян - Пористые пьезокомпозиционные материалы на основе пьезокерамики ПКП-12, Инженерный вестник Дона 47 (4 (47)).
3. Тополов В.Ю. Пьезокомпозиты: получение, свойства, применение (учебное пособие) [Текст] / В.Ю. Тополов, А.Е. Панич. - Ростов н/Д, 2009. - 51 с.: ил.
4. RU 2298300, МПК H04R 17/00, H01L 41/08, G01L 21/10, опубл. 21.04.2007 С. 6-7 - прототип.
Claims (3)
1. Способ изготовления композитного чувствительного пьезоэлемента, заключающийся в том, что на торцевые поверхности пьезокерамического каркаса, имеющего открытые поры и общую пористость 40-60%, наносят электроды путем вжигания серебросодержащей пасты, поляризуют полученную заготовку, припаивают к электродам провода и покрывают пьезоэлемент слоем эластичного полимера, отличающийся тем, что перед нанесением серебросодержащей пасты на торцевые поверхности пьезокерамического каркаса наносят равномерный слой органического полимера и сушат его до образования тонкопленочного покрытия.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве органического полимера использован бутираль-фенольный состав марки БФ-2.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве органического полимера использован нитроцеллюлозный состав марки НЦ-88.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018142506A RU2710103C1 (ru) | 2018-11-30 | 2018-11-30 | Способ изготовления композитного чувствительного пьезоэлемента |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018142506A RU2710103C1 (ru) | 2018-11-30 | 2018-11-30 | Способ изготовления композитного чувствительного пьезоэлемента |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2710103C1 true RU2710103C1 (ru) | 2019-12-24 |
Family
ID=69022830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018142506A RU2710103C1 (ru) | 2018-11-30 | 2018-11-30 | Способ изготовления композитного чувствительного пьезоэлемента |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2710103C1 (ru) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4514247A (en) * | 1983-08-15 | 1985-04-30 | North American Philips Corporation | Method for fabricating composite transducers |
| SU1738376A1 (ru) * | 1989-09-13 | 1992-06-07 | Самарское специальное конструкторское бюро Научно-производственного объединения "Нефтехимавтоматика" | Ультразвуковой пьезопреобразователь Марьина |
| RU1793367C (ru) * | 1990-08-27 | 1993-02-07 | Самарское специальное конструкторское бюро Научно-производственного объединения "Нефтехимавтоматика" | Пьезоэлектрический преобразователь |
| US6225728B1 (en) * | 1994-08-18 | 2001-05-01 | Agilent Technologies, Inc. | Composite piezoelectric transducer arrays with improved acoustical and electrical impedance |
| RU2298300C2 (ru) * | 2001-07-27 | 2007-04-27 | Хольмберг Гмбх Унд Ко. Кг | Пьезоэлектрический элемент и преобразователь колебаний с пьезоэлектрическим элементом |
-
2018
- 2018-11-30 RU RU2018142506A patent/RU2710103C1/ru active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4514247A (en) * | 1983-08-15 | 1985-04-30 | North American Philips Corporation | Method for fabricating composite transducers |
| SU1738376A1 (ru) * | 1989-09-13 | 1992-06-07 | Самарское специальное конструкторское бюро Научно-производственного объединения "Нефтехимавтоматика" | Ультразвуковой пьезопреобразователь Марьина |
| RU1793367C (ru) * | 1990-08-27 | 1993-02-07 | Самарское специальное конструкторское бюро Научно-производственного объединения "Нефтехимавтоматика" | Пьезоэлектрический преобразователь |
| US6225728B1 (en) * | 1994-08-18 | 2001-05-01 | Agilent Technologies, Inc. | Composite piezoelectric transducer arrays with improved acoustical and electrical impedance |
| RU2298300C2 (ru) * | 2001-07-27 | 2007-04-27 | Хольмберг Гмбх Унд Ко. Кг | Пьезоэлектрический элемент и преобразователь колебаний с пьезоэлектрическим элементом |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2012517184A (ja) | Ｍｅｍｓマイクロホンパッケージ及びパッケージング方法 | |
| US5230921A (en) | Flexible piezo-electric membrane | |
| Mercadelli et al. | Porous piezoelectric ceramics | |
| RU2710103C1 (ru) | Способ изготовления композитного чувствительного пьезоэлемента | |
| US10801906B2 (en) | Hydrogel microphone | |
| RU2713835C1 (ru) | Способ получения композиционного пьезоматериала | |
| CN106571423A (zh) | 一种针状水声换能器中的新型压电复合薄膜的制备方法 | |
| JP2005013853A (ja) | 水素分離体及びその製造方法 | |
| CN111044618B (zh) | 一种声发射信号检测的压电传感器及压电薄膜的制备方法 | |
| JP7092277B2 (ja) | 膜基板生産方法及び基板 | |
| WO2010061726A1 (ja) | 有機圧電材料、超音波振動子および超音波探触子 | |
| US20100283355A1 (en) | Method for changing ultrasound wave frequency by using the acoustic matching layer | |
| KR100671419B1 (ko) | 고주파 초음파 센서용 음향 정합층 및 그를 이용한 초음파센서의 제조 방법 | |
| JPS5923612A (ja) | 圧電共振子の製造方法 | |
| CN111348612B (zh) | 一种换能器及其制备方法和应用 | |
| RU197428U1 (ru) | Пьезоэлектрический гидроакустический преобразователь | |
| JPS61254848A (ja) | 電極形成方法 | |
| Moffett et al. | Ultrasonic microprobe hydrophones | |
| JP2006078179A (ja) | マイクロ質量センサとその発振子の保持機構 | |
| KR960012730B1 (ko) | 세라믹/고분자 3-3형 복합 압전체 제조 방법 | |
| Ross et al. | Experimental determination of acoustic properties using a two‐microphone random‐excitation technique | |
| RU2561240C2 (ru) | Способ изготовления корпуса микросхемы | |
| Brown et al. | A single-crystal acoustic hydrophone for increased sensitivity | |
| JP2700787B2 (ja) | 電気音響変換器用振動板 | |
| Kuchiji et al. | Dependence of sensitivity loss on organic film thickness and influence of cantilever warpage in a piezoelectric wideband acoustic sensor coated with an organic film |