RU2692921C1 - Способ изготовления подложки зеркала из карбидокремниевой керамики - Google Patents
Способ изготовления подложки зеркала из карбидокремниевой керамики Download PDFInfo
- Publication number
- RU2692921C1 RU2692921C1 RU2018113223A RU2018113223A RU2692921C1 RU 2692921 C1 RU2692921 C1 RU 2692921C1 RU 2018113223 A RU2018113223 A RU 2018113223A RU 2018113223 A RU2018113223 A RU 2018113223A RU 2692921 C1 RU2692921 C1 RU 2692921C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silicon carbide
- substrate
- workpiece
- silicon
- diamond
- Prior art date
Links
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 43
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 35
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims abstract description 27
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 24
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000007569 slipcasting Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims abstract description 11
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 14
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 11
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 claims description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 abstract description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 17
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000571 coke Substances 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
- 210000004283 incisor Anatomy 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- SBEQWOXEGHQIMW-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical compound [Si].[Si] SBEQWOXEGHQIMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
- G02B5/0825—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers the reflecting layers comprising dielectric materials only
- G02B5/0833—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers the reflecting layers comprising dielectric materials only comprising inorganic materials only
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области оптического машиностроения, к области изготовления оптических зеркал, и может быть использовано в области лазерной техники, оптоэлектроники, информационной и силовой оптики, в системах оптической локации и поиска. Способ изготовления подложки зеркала из карбидокремниевой керамики включает формование заготовки подложки, термообработку заготовки и последующую пропитку заготовки расплавом кремния, шихта для формования заготовки содержит смесь порошков карбида кремния и алмаза в массовом соотношении 0,8-10, а формование заготовки осуществляют шликерным литьем. Техническим результатом является упрощение технологии изготовления подложки зеркала и уменьшение трудоемкости ее изготовления. 2 з.п. ф-лы.
Description
Изобретение относится к области оптического машиностроения, а более конкретно - к области изготовления оптических зеркал, и может быть использовано в области лазерной техники, оптоэлектроники, информационной и силовой оптики, в системах оптической локации и поиска.
Для получения высококачественных изображений в широком диапазоне рабочих температур и термических воздействий, зеркало должно обладать высокой удельной жесткостью, теплопроводностью, низким температурным коэффициентом линейного расширения (ТКЛР) и высокой степенью отражения в требуемом интервале длин волн. В конструкции зеркала можно выделить подложку зеркала, обладающую необходимыми конструкционными свойствами, и отражающий слой, нанесенный на поверхность, обработанной до требуемых оптических параметров подложки. Для обеспечения высокой жесткости при минимальном весе подложки, большинство конструкций зеркал представляют собой пластину, к одной из сторон которой примыкает зона облегчения, которая выполнена в виде полостей, разделенных тонкими стенками. Форма и размер полостей определяется расчетом. Масса подложки зеркала с зоной облегчения на 60-70% меньше массы подложки без зоны облегчения. Однако большой осевой момент сопротивления такой конструкции обеспечивает ей жесткость при изгибе.
В последние годы развиваются технологии получения зеркал, подложки которых выполнены из карбидокремниевой керамики, получаемой методами спекания или реакционного спекания. Такая керамика отвечает отмеченным выше требованиям к материалу подложек зеркал. Получение карбидокремниевой подложки осуществляют последовательными стадиями подготовки шихты исходных компонентов, формования заготовки, термообработки заготовки и последующего ее спекания. В ряде случаев осуществляют механическую обработку заготовки перед спеканием.
Известен способ изготовления подложки зеркала из карбидокремниевой керамики по технологии спекания [Абдулкадыров М.А., Владимиров И.М., Добриков Н.С., Патрикеев В.Е., Семенов А.П. Инновационные решения АО ЛЗОС при изготовлении зеркал из карбида кремния. Научно-технический журнал «Композит», т.15, №4, 2016. С.29-34]. Способ состоит в подготовке шихты из порошка карбида кремния, формовании заготовки подложки в виде диска методом гидростатического формования, механической обработки заготовки для формирования структуры облегчения, спекании в вакуумной печи при температуре 1900-2100°С.
Способ имеет ряд недостатков. Способ предусматривает большой объем механической обработки: фрезерование структуры облегчения зеркала осуществляют в сформованном диске. Объем удаляемого материала при формировании структуры облегчения составляет 70% и более, что трудоемко. Механической обработке подвергается твердый и абразивный материал (карбид кремния), что приводит к большому износу резцов и фрез. Важной особенностью процесса спекания является большая усадка заготовки при спекании - более 20%. Тем самым получаемая подложка на более чем 20% меньше ее заготовки. Сам процесс спекания больших по размерам деталей требует высокой равномерности прессования заготовки и точности поддержания температуры спекания по всему объему заготовки - неравномерная усадка по объему подложки приводит к ее разрушению.
Наиболее близким аналогом к предлагаемому техническому решению авторы выбрали способ изготовления подложек зеркал из карбидокремниевой керамики, основанный на процессе реакционного спекания [Малышев И.В. Современные достижения и тенденции в изготовлении заготовок крупногабаритных аэрокосмических зеркал из карбида кремния. Сборник трудов III конференции «Будущее оптики» для молодых специалистов, кандидатов наук, аспирантов и студентов оптической отрасли и смежных дисциплин. / АО Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова, Санкт-Петербург, 2015. С. 9-11]. Способ включает подготовку шихты в виде шликера из порошка карбида кремния с пластификатором. Полученный шликер затем используют для шликерного литья в форму, обеспечивающую получение отливки, приближенной по форме к требуемой подложке зеркала с зоной облегчения. Тем самым получают заготовку подложки, не требующей большой механической обработки. В заготовку затем вводят углерод путем осаждения пироуглерода в порах заготовки разложением газообразных углеводородов. После этого осуществляют спекание заготовки путем пропитки ее жидким кремнием. Способ обеспечивает существенное уменьшение трудоемкости механической обработки заготовки за счет применения технологии шликерного литья. Достоинствами способа является то, что процесс спекания происходит при заметно более низких температурах и с минимальными изменениями размера заготовки.
Недостатком способа является длительность и трудоемкость стадии осаждения пироуглерода, требующая точности поддержания условий реализации процесса.
Задачей изобретения является упрощение технологии изготовления подложки зеркала и уменьшение трудоемкости ее изготовления.
Технический результат достигается за счет того, что при реализации способа изготовления подложки зеркала из карбидокремниевой керамики, включающего формование заготовки подложки, термообработку заготовки и последующую пропитку заготовки расплавом кремния, шихта для формования заготовки содержит смесь порошков карбида кремния и алмаза, а формование осуществляется шликерным литьем. При реализации способа массовое отношение порошка карбида кремния и алмаза в шихте для формования должно лежать в интервале 0,8-10. В этом случае достигается оптимальное содержание углерода и карбида кремния в заготовке. При отношении менее 0,8 содержание алмаза в заготовке слишком высоко и получаемый композиционный материал обладает высокой твердостью, что затрудняет его дальнейшую механическую обработку. При массовом отношении порошка карбида кремния и порошка алмаза более 10, в заготовке композита содержится мало углерода, что приводит к формированию композита с повышенным содержанием кремния и такой композит имеет низкие механические свойства.
Предпочтительно, чтобы размер частиц в порошке карбида кремния лежал в интервале 10-50 мкм, а размер частиц в порошке алмаза - 2-30 мкм. Указанный диапазон размера частиц технологически оптимален. Использование более мелких частиц приводит к тому, что затрудняется процесс пропитки заготовки материала жидким кремнием из-за малого размера пор в заготовке. Использование более крупных частиц усложняет формование заготовки.
Предпочтительно, если шихта для формования шликерным литьем содержит порошок карбида кремния 25-65% масс., порошок алмаза - 5-35% масс., раствор временного связующего - 20-50% масс. Предпочтительно, чтобы в качестве раствора временного связующего использован золь кремневой кислоты с концентрацией 10-40%масс. или спиртовой раствор фенол-формальдегидной смолы с концентрацией 10-30% масс.
Сущность предлагаемого технического решения состоит в следующем.
Предлагаемое техническое решение базируется на процессе изготовления карбидокремниевых керамических материалов реакционным спеканием. Основной стадией такого технологического процесса является пропитка жидким кремнием пористой заготовки, состоящей из зерен карбида кремния и углерода. В ходе пропитки кремний вступает в химическую реакцию с углеродом с образованием карбида кремния (так называемого, «вторичного карбида кремния»), который связывает зерна карбида кремния в единый материал. При реализации реакционного спекания для получения керамик, в качестве углерода в составе заготовки могут быть использованы графитоподобные формы углерода, например, сажа, кокс, пироуглерод. Дисперсные частицы углерода (сажа, кокс) широко используют на практике, однако формование заготовок карбидокремниевых керамик из смеси карбид кремния/углерод осуществляется прессованием. Применение шликерного литья для получения сложных по форме и больших по размеру заготовок ограничено большой разницей в плотностях частиц карбида кремния (3,2 г/см3) и углерода (1,6-1,8 г/см3). Шликеры из таких смесей расслаиваются и не обеспечивают равномерное распределение карбида кремния и углерода при седиментации частиц.
Получение заготовок шликерным литьем из порошка карбида кремния возможно, как это описано в известном техническом решении, однако последующее введение в заготовку углерода путем осаждения пироуглерода в порах заготовки, требует длительной термообработки.
В предлагаемом техническом решении в качестве источника углерода для образования вторичного карбида кремния использован алмаз. Алмаз имеет плотность 3,5 г/см3 - близкую к плотности карбида кремния. Поэтому обеспечивается получение устойчивых шликеров в смеси алмаз -карбид кремния. Использование шликерного литья при формовании заготовок подложки зеркала позволяет существенно упростить технологию формировании зоны облегчения и снизить трудоемкость этой стадии.
Кроме того, использование в качестве исходных веществ смесей алмаз - карбид кремния позволяет получать композиционные материалы с невысоким содержанием алмаза, которые, в отличие от аналогичных материалов с высоким содержанием алмаза, имеют более низкую твердость и могут быть механически обработаны алмазным инструментом.
Как было отмечено выше, при реализации способа изготовления подложки зеркала используют порошки карбида кремния и алмаза. Предпочтительно, чтобы размер частиц порошка карбида кремния составлял 10-50 мкм, а порошка алмаза - 2-30 мкм. Из исходных порошков готовят шихту для формования. Массовое отношение порошка карбида кремния и порошка алмаза в шихте составляет 0,8-10.
Формование шликерным литьем осуществляют из шихты, содержащей порошок карбида кремния 25-65% масс., порошок алмаза - 5-35% масс., раствор временного связующего - 20-50% масс. При этом в качестве временных связующих могут быть использованы растворы высокомолекулярных органических веществ, таких как фенол-формальдегидная смола, поливинилпироллидол и др. В качестве раствора временного связующего может быть использован золь кремневой кислоты с концентрацией 10-40%масс. Шликерное литье осуществляют в металлическую форму, имеющую внутреннюю структуру, максимально приближенную к форме изготавливаемой подложки зеркала. Применение для формования шликерного литья позволяет получать заготовку подложки, уже имеющую требуемую структуру зоны облегчения зеркала, и существенно снизить трудоемкость изготовления подложки зеркала.
После изготовления заготовки проводят ее термообработку. Термообработку осуществляют последовательно в трех температурных режимах. При температуре 150°С осуществляют отверждение временного связующего. Затем заготовку термообрабатывают при температуре 1400-1600°С. При этой температуре происходит разложение временного связующего с образованием газообразных веществ и углерода, в также взаимодействие оксида кремния, который содержится во временном связующем (при использовании золя кремниевой кислоты) и на поверхности частиц карбида кремния, с углеродом с образованием монооксида углерода и карбида кремния. В процессе третьей термообработки (при 1450-1550°С) осуществляют пропитку заготовки жидким кремнием. Процесс осуществляют после расположения необходимого количества кремния в виде кусков размером 2-25 мм на поверхности заготовки. После достижения температуры плавления кремния, жидкий кремний впитывается в поры заготовки и частично взаимодействует с содержащимся в ней углеродом с образованием вторичного карбида кремния. Полученный материал содержит в своем составе алмаз (в той части, которая не вступила в химическую реакцию образования вторичного карбида кремния), первичный карбид кремния, вторичный карбид кремния и кремний. Материал имеет плотность 2,8-3,1 г/см3, модуль упругости - 380-450 ГПа. Твердость материала - 25-40 ГПа, что позволяет осуществлять его механическую обработку алмазным инструментом.
Пример реализации предлагаемого технического решения.
Для изготовления подложки зеркала приготавливают шликер. Смешивают 1000 г порошка карбида кремния с размером частиц 30-40 мкм и 250 г порошка алмаза с размером частиц 20-28 мкм, т.е. обеспечивают массовое отношение карбида кремния и алмаза равное 4. Добавляют 0,6 литра 10%-ного раствора кремнезоля и полученную суспензию гомогенизируют 15 минут на мешалке с частотой вращения ротора 500 об/мин. Полученный шликер заливают в подготовленную форму. Форму со шликером помещают на вибростол и подвергают вибрации с частотой 40 Гц в течение 2 часов. По окончании вибровоздействия отстоявшуюся на поверхности осажденного порошка жидкость отсасывают вакуумным насосом. Полученную из порошков и связующего заготовку последовательно высушивают: сначала в форме в течение 4 часов, затем, разобрав форму, на воздухе в течение 15 часов, при температуре 110°С в течение 3 часов и при температуре 350°С в течение 2 часов. Полученную заготовку термообрабатывают в вакуумной печи при температуре 1670°С в течение 15 минут. После термообработки заготовку подвергают механической обработке - ручным инструментом убирают облой и неточности шликерного литья. Затем на поверхность заготовки помещают 870 г кремния и спекают (термообрабатывают) в вакуумной печи при температуре 1500°С в течение 10 минут. При этом происходит формирование структуры материала подложки зеркала. Извлеченную спеченную подложку подвергают пескоструйной очистке от поверхностных загрязнений. Полученная подложка сформирована из алмазосодержащего композиционного материала состава: алмаз - 20% об., карбид кремния 61% об., кремний 19% об. Материал подложки зеркала имеет плотность 3,08 г/см3, модуль упругости 440 ГПа. Удельная жесткость материала - 14,3* 106 м, тогда как у карбидокремниевых керамик - 12,8*106 м. Твердость материала, рассчитанная по аддитивности твердости входящих в материал фаз, составляет 35 ГПа. Поверхность подложки, противоположная зоне облегчения, обработана на оптических станках алмазным инструментом. При этом обеспечена плоскостность подложки 2 мкм и достигнута шероховатость поверхности Ra=0,55 мкм.
Таким образом, реализация предлагаемого способа позволяет упростить технологию изготовления подложки зеркала и снизить трудоемкость ее изготовления.
Claims (3)
1. Способ изготовления подложки зеркала из карбидокремниевой керамики, включающий формование заготовки подложки, термообработку заготовки и последующую пропитку заготовки расплавом кремния, отличающийся тем, что шихта для формования заготовки содержит смесь порошков карбида кремния и алмаза в массовом соотношении 0,8-10, а формование заготовки осуществляют шликерным литьем.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что шихта для формования шликерным литьем содержит порошок карбида кремния с размером частиц 10-50 мкм - 25-65% масс., порошок алмаза с размером частиц 2-30 мкм - 5-35% масс., раствор временного связующего - 20-50% масс.
3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что в качестве раствора временного связующего используют золь кремневой кислоты с концентрацией 10-40% масс. или спиртовой раствор фенол-формальдегидной смолы с концентрацией 10-30% масс.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018113223A RU2692921C1 (ru) | 2018-04-11 | 2018-04-11 | Способ изготовления подложки зеркала из карбидокремниевой керамики |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018113223A RU2692921C1 (ru) | 2018-04-11 | 2018-04-11 | Способ изготовления подложки зеркала из карбидокремниевой керамики |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2692921C1 true RU2692921C1 (ru) | 2019-06-28 |
Family
ID=67252042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018113223A RU2692921C1 (ru) | 2018-04-11 | 2018-04-11 | Способ изготовления подложки зеркала из карбидокремниевой керамики |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2692921C1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU213841U1 (ru) * | 2022-06-29 | 2022-09-30 | Акционерное общество "Центральный научно-исследовательский институт материалов" (АО "ЦНИИМ") | Зеркало |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4814232A (en) * | 1987-03-25 | 1989-03-21 | United Technologies Corporation | Method for depositing laser mirror coatings |
| SU1805110A1 (ru) * | 1991-02-04 | 1993-03-30 | Ki Ni T I Opticheskogo Priboro | Ctekлokepamичeckoe зepkaлo |
| JP2003057419A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-02-26 | Canon Inc | 光学反射ミラー、光学反射ミラーの製造方法、位置決め装置、半導体装置の製造方法 |
| EA003437B1 (ru) * | 1997-09-05 | 2003-04-24 | Государственное Унитарное Предприятие "Центральный Научно-Исследовательский Институт Материалов" | Способ изготовления композиционного материала алмаз-карбид кремния-кремний и композиционный материал, изготовленный этим способом |
| CN102094179A (zh) * | 2010-12-30 | 2011-06-15 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | RB-SiC基底反射镜表面改性层结构及制备方法 |
-
2018
- 2018-04-11 RU RU2018113223A patent/RU2692921C1/ru active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4814232A (en) * | 1987-03-25 | 1989-03-21 | United Technologies Corporation | Method for depositing laser mirror coatings |
| SU1805110A1 (ru) * | 1991-02-04 | 1993-03-30 | Ki Ni T I Opticheskogo Priboro | Ctekлokepamичeckoe зepkaлo |
| EA003437B1 (ru) * | 1997-09-05 | 2003-04-24 | Государственное Унитарное Предприятие "Центральный Научно-Исследовательский Институт Материалов" | Способ изготовления композиционного материала алмаз-карбид кремния-кремний и композиционный материал, изготовленный этим способом |
| JP2003057419A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-02-26 | Canon Inc | 光学反射ミラー、光学反射ミラーの製造方法、位置決め装置、半導体装置の製造方法 |
| CN102094179A (zh) * | 2010-12-30 | 2011-06-15 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | RB-SiC基底反射镜表面改性层结构及制备方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU213841U1 (ru) * | 2022-06-29 | 2022-09-30 | Акционерное общество "Центральный научно-исследовательский институт материалов" (АО "ЦНИИМ") | Зеркало |
| RU220092U1 (ru) * | 2022-12-30 | 2023-08-24 | Акционерное общество "Центральный научно-исследовательский институт материалов"(АО "ЦНИИМ") | Охлаждаемое зеркало |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4225684B2 (ja) | ダイヤモンド−炭化ケイ素−ケイ素複合材料の製造法 | |
| RU2176628C2 (ru) | Композит (варианты) и способ его приготовления, способ обработки волоконной заготовки (варианты) | |
| EP3700876B1 (fr) | Matériau céramique composite particulaire, pièce le comprenant, et procédé de préparation de cette pièce. | |
| DK165178B (da) | Fremgangsmaade til fremstilling af sammensatte keramiske genstande med oensket form samt ved fremgangsmaaden fremstillede genstande | |
| Grinchuk et al. | Effect of technological parameters on densification of reaction bonded Si/SiC ceramics | |
| JP2008133160A (ja) | 炭化硼素質焼結体およびその製造方法 | |
| Zhu et al. | Leaching improvement of ceramic cores for hollow turbine blades based on additive manufacturing | |
| EA001843B1 (ru) | Способ изготовления абразивных зерен и абразивные зерна, изготовленные этим способом | |
| TW200402404A (en) | Method for manufacturing silicon carbide sintered compact jig and silicon carbide sintered compact jig manufactured by the method | |
| RU2692921C1 (ru) | Способ изготовления подложки зеркала из карбидокремниевой керамики | |
| US11046618B2 (en) | Discrete solidification of melt infiltration | |
| JPH02175660A (ja) | 多孔性表面を有する珪素浸透炭化珪素の部材および該炭化珪素の製造法 | |
| JP2003222134A (ja) | セラミック軸受部品の製造方法 | |
| JP2005289744A (ja) | 反応焼結炭化ケイ素構造体の製造方法 | |
| Zhang et al. | Porous silicon carbide ceramics produced by a carbon foam derived from mixtures of mesophase pitch and Si particles | |
| CN117735991B (zh) | 一种用于反射镜的b4c复合材料及其制备方法 | |
| WO2006089754A1 (en) | Method for the manufacture of a silica glass product | |
| RU2732258C1 (ru) | Способ получения композиционного материала | |
| JP2003148475A (ja) | セラミック軸受部品の製造方法 | |
| RU2813271C1 (ru) | Способ получения конструкционной керамики на основе тугоплавких карбидов для изделий сложной геометрии | |
| Belyakov et al. | A Comparative Study of Methods for Obtaining Silicon Carbide Ceramic Materials | |
| JP4243437B2 (ja) | 表面がポアレスな金属−セラミックス複合材料の製造方法 | |
| JP2005336504A (ja) | 金属−セラミックス複合材料部品及びその製造方法 | |
| JPH02129071A (ja) | 炭化硅素系セラミックスの製造方法 | |
| JPS63215566A (ja) | セラミツクス複合材料 |