RU2691424C1 - Пьезокерамический материал - Google Patents
Пьезокерамический материал Download PDFInfo
- Publication number
- RU2691424C1 RU2691424C1 RU2018132370A RU2018132370A RU2691424C1 RU 2691424 C1 RU2691424 C1 RU 2691424C1 RU 2018132370 A RU2018132370 A RU 2018132370A RU 2018132370 A RU2018132370 A RU 2018132370A RU 2691424 C1 RU2691424 C1 RU 2691424C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- piezoceramic
- piezoceramic material
- mechanical
- ferroelectric
- oxides
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 43
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 3
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011572 manganese Substances 0.000 claims description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 11
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 11
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 11
- 229910000410 antimony oxide Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N oxoantimony Chemical class [Sb]=O VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 3
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 abstract 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 abstract 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N lead oxide Chemical compound [O-2].[Pb+2] HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910015902 Bi 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 2
- 238000001238 wet grinding Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910005793 GeO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 Sb 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011149 active material Substances 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
- C04B35/49—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
- C04B35/491—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates based on lead zirconates and lead titanates, e.g. PZT
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8548—Lead-based oxides
- H10N30/8554—Lead-zirconium titanate [PZT] based
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области сегнетожестких пьезокерамических материалов, устойчивых к электрическим и механическим воздействиям, предназначенных для ультразвуковых устройств и работающих при сильных электрических и механических воздействиях. Материал включает оксиды свинца, кадмия, циркония, титана, марганца, стронция, лантана и дополнительно - оксиды церия, тантала и сурьмы, при следующем соотношении компонентов, мас.%: PbO 63,232÷64,152; CdO 0,098÷0,198; ZrO18,990÷19,234; TiO11,143÷11,273; SrO 0,319÷1,814; MnO0,131÷0,435; LaO0,344÷0,366; CeO0,184÷0,960; TaO0,691÷1,984; SbO1,653÷2,799. Технический результат заключается в получении сегнетожесткого пьезокерамического материала с плотной мелкозернистой структурой, обеспечивающей улучшенные электрофизические параметры материала: повышенную механическую добротность Q=1452-1496, повышенную диэлектрическую проницаемость ε/ε=1488-1492, повышенные коэффициенты электромеханической связи Кр=0,61-0,62; К=0,37-0,39; К=0,73-0,76, что позволяет повысить удельную мощность пьезопреобразователей на основе предлагаемого пьезокерамического материала. 2 табл.
Description
Изобретение относится к области сегнетожестких пьезокерамических материалов, устойчивых к электрическим и механическим воздействиям, предназначенных для ультразвуковых устройств и работающих при сильных электрических и механических воздействиях.
Одним из важнейших показателей качества этого класса пьезокерамических материалов является максимальная удельная мощность пьезопреобразователей на их основе Pij, которая пропорциональна комплексному параметру [Сыркин Л.Н. "Новые пьезоактивные материалы и их применение в ультразвуковой технике", Л., 1979, стр. 44]:
Pij ~ K2 ij⋅Qm⋅εт 33/ε0,
где Kij - коэффициенты электромеханической связи К31 и К33 поперечных и продольных мод колебаний;
Qm - механическая добротность;
εт 33/ε0 - относительная диэлектрическая проницаемость.
Эти сегнетожесткие пьезокерамические материалы отличаются малыми диэлектрическими потерями tgδ в слабых и сильных полях, высокой механической добротностью и относительно высокими коэффициентами электромеханической связи. К таким материалам системы цирконата-титана свинца (ЦТС) относятся: АРС-841 (США) [Каталог фирмы «АРС International Ltd», США], PIC 241 (США) [Каталог фирмы "PI Ceramic"], отечественные пьезокерамические материалы ЦТС-23, ЦТС-24 [Материалы пьезокерамические. Технические условия (отраслевой стандарт) ОСТ 110444 - 87, М., 1987, стр. 16, 17] и др.
В таблице 1 приведены основные электрофизические параметры известных сегнетожестких пьезокерамических материалов. Как следует из данных таблицы 1, все материалы данного типа имеют близкие значения:
- пьезомодулей d31 и d33,
- коэффициентов электромеханической связи;
но существенно отличаются по величине:
- относительной диэлектрической проницаемости,
- механической добротности,
- тангенса угла диэлектрических потерь,
- удельной мощности излучения пьезопреобразователей.
Недостатками большинства сегнетожестких пьезокерамических материалов этого типа являются низкие значения пьезоэлектрических параметров: механической добротности, коэффициентов электромеханической связи и относительной диэлектрической проницаемости, что снижает удельную мощность пьезопреобразователей на их основе, обусловленной потерями энергии в пьезокерамическом материале.
Известен также пьезокерамический материал, включающий оксиды свинца (PbO), кадмия (CdO), циркония (ZrO2), титана (TiO2), вольфрама (WO3), кобальта (СоО), германия (GeO2) и бора (B2O3) [Патент РФ №2152371 МПК С04В 35/491, опубл. 10.07.2000 г.]. Недостатком этого сегнетожесткого материала также являются низкие значения пьезоэлектрических параметров: механической добротности Qm=400-450, коэффициентов электромеханической связи Кр=0,58-0,59; К31=0,33-0,34; К33=0,70-0,72 и относительной диэлектрической проницаемости εт 33/ε0=900-920, что снижает удельную мощность пьезопреобразователей на их основе, обусловленной потерями энергии в пьезокерамическом материале.
Наиболее близким к заявляемому сегнетожесткому пьезокерамическому материалу по химической композиции и назначению является принимаемый за прототип пьезокерамический материал, включающий оксиды свинца (PbO), кадмия (CdO), циркония (ZrO2), титана (TiO2), марганца (MnO2), стронция (SrO), цинка (ZnO), лантана (La2O3), висмута (Bi2O3) и железа (Fe2O3) при следующем соотношении компонентов, мас. % [Патент РФ №2357942 МПК С04В 35/491, H01L 41/187 опубл. 10.06.2009 г.]:
| PbO | 63,233÷65,404; |
| CdO | 0,099÷0,490; |
| ZrO2 | 18,990÷19,539; |
| TiO2 | 11,141÷11,471; |
| MnO2 | 0,131÷0,532; |
| SrO | 1,318÷2,226; |
| ZnO | 0,248÷0,995; |
| La2O3 | 0,643÷0,768; |
| Bi2O3 | 0,470÷1,900; |
| Fe2O3 | 0,099÷0,490. |
Однако известный сегнетожесткий пьезокерамический материал обладает низкими значениями пьезоэлектрических параметров: коэффициентов электромеханической связи Кр=0,58-0,59; К31=0,35-0,36; К33=0,71-0,72, механической добротности Qm=900-940 и относительной диэлектрической проницаемости εт 33/ε0=1400-1430, обусловленные крупнозернистой пористой структурой сегнетожесткого пьезокерамического материала, что снижает удельную мощность преобразователей.
Цель изобретения - создание сегнетожесткого пьезокерамического материала с высокими значениями электрофизических параметров: относительной диэлектрической проницаемости, механической добротности и коэффициентов электромеханической связи.
Поставленная цель достигается тем, что в сегнетожестком пьезокерамическом материале, включающем оксиды свинца (PbO), кадмия (CdO), циркония (ZrO2), титана (TiO2), марганца (MnO2), стронция (SrO), лантана (La2O3), дополнительно содержатся оксиды церия (CeO2), тантала (Ta2O5) и сурьмы (Sb2O3) при следующем соотношении компонентов, мас. %:
| PbO | 63,232÷64,152; |
| CdO | 0,098÷0,198; |
| ZrO2 | 18,990÷19,234; |
| TiO2 | 11,143÷11,273; |
| MnO2 | 0,131÷0,435; |
| SrO | 0,319÷1,814; |
| La2O3 | 0,344÷0,366; |
| CeO2 | 0,184÷0,960; |
| Ta2O5 | 0,691÷1,984; |
| Sb2O3 | 1,653÷2,799. |
Таким образом, отличительными признаками изобретения является то, что в сегнетожесткий пьезокерамический материал дополнительно введены оксиды церия, тантала и сурьмы. Оксиды тантала и сурьмы активируют процесс спекания, повышая тем самым плотность материала, что увеличивает относительную диэлектрическую проницаемость и коэффициенты электромеханической связи. Наличие в составе оксида церия замедляет скорость рекристаллизации зерен после спекания, формируя тем самым мелкозернистую структуру в материале, что снижает потери мощности на вихревые токи и повышает механическую добротность. Совокупность признаков позволяет получить сегнетожесткий пьезокерамический материал с плотной мелкозернистой структурой, обеспечивающей высокие электрофизические параметры материала, что повышает удельную мощность пьезопреобразователей на их основе.
Изобретение поясняется таблицами 1, 2.
ПРИМЕР:
Предлагаемый пьезокерамический материал согласно формуле изготавливается по керамической технологии. Для сравнения изготавливался пьезокерамический материал по прототипу.
В качестве исходных компонентов предлагаемого сегнетжесткого пьезокерамического материала использовались оксиды: PbO - глет свинцовый марки «Г-2», CdCO3, TiO2, ZrO2, SrCO3, MnO2, La2O3, CeO2, Ta2O5, Bi2O3, Sb2O3, ZnO и Fe2O3 квалификации «хч». Смешение компонентов производилось мокрым измельчением в планетарной мельнице с шарами из оксида циркония в течение 180 минут, после сушки шихта подвергалась температурной обработке при Т=800°С в течение 2 часов, затем синтезированный материал подвергался мокрому измельчению в планетарной мельнице с шарами из оксида циркония в течение 180 минут до дисперсности Sуд=550 м2/кг на приборе ПСХ-4.
Аттестация качества синтезированного пьезокерамического материала осуществлялась на отпрессованных при давлении Руд=100 МПа на стандартных образцах в виде таблеток размером 25×3 мм. Спекание этих образцов проводили при температуре Т=1170-1200°С в течение 4 часов в засыпке, обеспечивающей атмосферу паров окиси свинца. На отшлифованные по толщине и диаметру образцы до размера 20×1 мм наносили серебросодержащую пасту, которую вжигали при температуре 820°С. Образцы поляризовали в воздушной среде при Т=290°С в постоянном электрическом поле напряженностью 3 кВ/мм. Определение электрофизических параметров проводилось в соответствии с [Материалы пьезокерамические. Технические условия. Отраслевой стандарт ОСТ 110444-87, М., 1987, стр. 16].
В таблице 2 приведены основные электрофизические характеристики предлагаемого пьезокерамического материала в зависимости от состава, полученные усреднением измерений характеристик 10 образцов с каждой партии. Полученные экспериментальные данные свидетельствуют о том, что предлагаемый сегнетожесткий пьезоэлектрический материал обладает оптимальными, с точки зрения решаемой задачи, характеристиками в интервале величин компонентов, указанных в формуле изобретения (составы №3-5 табл. 2). В сравнении с известными пьезокерамическими материалами (таблицы 1 и 2), полученный материал имеет более высокие значения пьезоэлектрических параметров: относительной диэлектрической проницаемости εт 33/ε0, механической добротности Qm и коэффициентов электромеханической связи Кр, К31 и К33, что позволяет значительно повысить удельную мощность пьезопреобразователей на основе предлагаемого пьезокерамического материала.
Технический результат заключается в получении сегнетожесткого пьезокерамического материала с плотной мелкозернистой структурой, обеспечивающей улучшенные электрофизические параметры материала: повышенную механическую добротность Qm=1452-1496, повышенную диэлектрическую проницаемость εт 33/ε0=1488-1492, повышенные коэффициенты электромеханической связи Кр=0,61-0,62; К31=0,37-0,39; К33=0,73-0,76.
Claims (2)
- Пьезокерамический материал, включающий оксиды свинца (PbO), кадмия (CdO), циркония (ZrO2), титана (TiO2), марганца (MnO2), стронция (SrO), лантана (La2O3), отличающийся тем, что дополнительно содержит оксиды церия (CeO2), тантала (Ta2O5) и сурьмы (Sb2O3) при следующем соотношении компонентов, мас. %:
-
PbO 63,232÷64,152 CdO 0,098÷0,198 ZrO2 18,990÷19,234 TiO2 11,143÷11,273 SrO 0,319÷1,814 MnO2 0,131÷0,435 La2O3 0,344÷0,366 CeO2 0,184÷0,960 Ta2O5 0,691÷1,984 Sb2O3 1,653÷2,799
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018132370A RU2691424C1 (ru) | 2018-09-11 | 2018-09-11 | Пьезокерамический материал |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018132370A RU2691424C1 (ru) | 2018-09-11 | 2018-09-11 | Пьезокерамический материал |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2691424C1 true RU2691424C1 (ru) | 2019-06-13 |
Family
ID=66947852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018132370A RU2691424C1 (ru) | 2018-09-11 | 2018-09-11 | Пьезокерамический материал |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2691424C1 (ru) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5279996A (en) * | 1991-07-23 | 1994-01-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric ceramic composition |
| RU2047585C1 (ru) * | 1992-09-23 | 1995-11-10 | Научно-исследовательский институт реактивов и материалов для электронной техники | Пьезоэлектрический керамический материал |
| US6440324B1 (en) * | 1999-08-25 | 2002-08-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for manufacturing piezoelectric ceramic composition, piezoelectric resonator, piezoelectric transformer and piezoelectric actuator, and piezoelectric laminated sintered body |
| KR20030056237A (ko) * | 2001-12-27 | 2003-07-04 | 주식회사 에스세라 | 내열성 및 주파수 안정성이 우수한 압전 세라믹 조성물 및이를 이용한 압전기기 |
| RU2357942C1 (ru) * | 2007-09-06 | 2009-06-10 | Открытое акционерное общество "ЭЛПА" | Пьезокерамический материал |
-
2018
- 2018-09-11 RU RU2018132370A patent/RU2691424C1/ru active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5279996A (en) * | 1991-07-23 | 1994-01-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric ceramic composition |
| RU2047585C1 (ru) * | 1992-09-23 | 1995-11-10 | Научно-исследовательский институт реактивов и материалов для электронной техники | Пьезоэлектрический керамический материал |
| US6440324B1 (en) * | 1999-08-25 | 2002-08-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for manufacturing piezoelectric ceramic composition, piezoelectric resonator, piezoelectric transformer and piezoelectric actuator, and piezoelectric laminated sintered body |
| KR20030056237A (ko) * | 2001-12-27 | 2003-07-04 | 주식회사 에스세라 | 내열성 및 주파수 안정성이 우수한 압전 세라믹 조성물 및이를 이용한 압전기기 |
| RU2357942C1 (ru) * | 2007-09-06 | 2009-06-10 | Открытое акционерное общество "ЭЛПА" | Пьезокерамический материал |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4929522B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| US20100207494A1 (en) | Piezoelectric ceramic composition and piezoelectric ceramic electronic component | |
| JP2001508753A (ja) | 低い焼結温度で銀とともに焼成し得る低損失ｐｚｔセラミック組成物およびそれを製造するための方法 | |
| CN108569897B (zh) | 压电组合物和压电元件 | |
| US20130162108A1 (en) | Piezoelectric ceramic and piezoelectric device | |
| KR0161988B1 (ko) | 작동기용 압전 세라믹 조성물 | |
| WO2018187316A1 (en) | Perovskite relaxor-pbti03 based ferroelectric ceramics with ultrahigh dielectric and piezoelectric properties through polar nanoregions engineering | |
| US10811591B2 (en) | Piezoelectric composition and piezoelectric device | |
| JP4140796B2 (ja) | 圧電セラミックス | |
| JP2005154238A (ja) | 圧電磁器組成物の製造方法 | |
| KR20170042171A (ko) | 무연 압전 세라믹스, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 액추에이터 | |
| RU2691424C1 (ru) | Пьезокерамический материал | |
| KR20210111525A (ko) | 우수한 기계적 품질 계수 및 높은 상전이 온도를 가지는 무연 압전 세라믹스 및 그 제조방법 | |
| JP2011029537A (ja) | 積層型電子部品およびその製法 | |
| EP0012583B1 (en) | Piezoelectric ceramic production | |
| RU2624473C1 (ru) | Пьезокерамический материал | |
| RU2357942C1 (ru) | Пьезокерамический материал | |
| JP3032761B1 (ja) | 圧電セラミックス | |
| RU2677515C1 (ru) | Пьезокерамический материал | |
| KR20130090696A (ko) | 피지엔-피지티계 압전 세라믹 조성물 및 그 제조방법 | |
| KR101454341B1 (ko) | Pzt계 압전 세라믹 및 그 제조 방법 | |
| JPH0558729A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3481832B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| JP5319208B2 (ja) | 圧電磁器およびそれを用いた圧電素子 | |
| JP2001097774A (ja) | 圧電磁器組成物 |