RU2677515C1 - Piezoceramic material - Google Patents

Piezoceramic material Download PDF

Info

Publication number
RU2677515C1
RU2677515C1 RU2018106362A RU2018106362A RU2677515C1 RU 2677515 C1 RU2677515 C1 RU 2677515C1 RU 2018106362 A RU2018106362 A RU 2018106362A RU 2018106362 A RU2018106362 A RU 2018106362A RU 2677515 C1 RU2677515 C1 RU 2677515C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
piezoceramic
dielectric constant
oxides
piezoceramic material
materials
Prior art date
Application number
RU2018106362A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Андрей Валерьевич НИКОЛАЕВ
Алексей Александрович Гришин
Валерий Георгиевич Андреев
Original Assignee
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" filed Critical Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений"
Priority to RU2018106362A priority Critical patent/RU2677515C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2677515C1 publication Critical patent/RU2677515C1/en

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/48Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
    • C04B35/49Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
    • C04B35/491Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates based on lead zirconates and lead titanates, e.g. PZT

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

FIELD: manufacturing technology.SUBSTANCE: invention relates to the field of ferroelectric piezoceramic materials intended for ultrasonic devices operating in the reception mode of various piezoelectric sensors. Piezoceramic material, including oxides of lead, zirconium, titanium, strontium, bismuth and germanium, additionally contains oxides of barium, calcium and gadolinium in the following ratio of components, wt. %: ZrO19.16÷19.90; TiO11.02÷11.90; SrO 0.14÷0.75; BiO0.22÷0.82; GeO0.10÷0.30; BaO 0.15÷0.75; CaO 0.15÷0.55; GdO0.20÷0.60.EFFECT: technical result is that piezoceramic material with improved electrophysical parameters has been obtained: increased thermal stability of the dielectric constant Ktε=(2,35–2,48)⋅10 °Cwith its high values ε=2,081–2,086.1 cl, 2 tbl

Description

Изобретение относится к области пьезокерамических материалов, предназначенных для ультразвуковых устройств, работающих в режиме приема, различных пьезодатчиков.The invention relates to the field of piezoelectric materials intended for ultrasonic devices operating in the receiving mode, various piezoelectric sensors.

Одним из важных параметров пьезоэлектрических материалов является повышенная чувствительность к механическому напряжению, которая характеризуется пьезокерамическим коэффициентом gij. Для этого типа пьезокерамических материалов присущи высокие значения пьезомодулей и относительной диэлектрической проницаемости ε33.One of the important parameters of piezoelectric materials is increased sensitivity to mechanical stress, which is characterized by a piezoceramic coefficient g ij . For this type of piezoceramic materials, high values of the piezoelectric modules and the relative dielectric constant ε 33 are inherent.

Стабильность работы пьезодатчиков при изменении внешней температуры определяется температурной стабильностью относительной диэлектрической проницаемости, которая оценивается температурным коэффициентом относительного изменения диэлектрической проницаемости Ktε33:The stability of the piezoelectric sensors when changing the external temperature is determined by the temperature stability of the relative dielectric constant, which is estimated by the temperature coefficient of the relative change in the dielectric constant Ktε 33 :

Figure 00000001
Figure 00000001

К материалам, сочетающих высокие значения относительной диэлектрической проницаемости с высокой термостабильностью относятся пьезокерамические материалы системы цирконата титаната свинца (ЦТС). Из зарубежных материалов системы ЦТС известны марки PZT-5A (США) [Каталог фирмы «Uerizon», США], АС-900 (Япония) [Каталог фирмы «Hayashc» chemical Jndustzy Co. LTD. Япония] и др. Отечественные пьезокерамические материалы такого класса представляют ЦТС-19, ЦТС-26 [Материалы пьезокерамические. Технические условия. Отраслевой стандарт ОСТ 110444-87, М., 1987, стр. 16] и др. Относительно высокая температура точки Кюри пьезокерамических материалов обеспечивает широкий интервал рабочих температур и температурную стабильность электрофизических свойств.Materials combining high relative permittivity with high thermal stability include piezoceramic materials of the lead titanate zirconate system (PZT). From foreign materials of the PZT system, the brands PZT-5A (USA) are known [Uerizon, USA], AC-900 (Japan) [Hayashc chemical Jndustzy Co. catalog LTD. Japan] and others. Domestic piezoceramic materials of this class are TsTS-19, TsTS-26 [Piezoceramic materials. Technical conditions Industry standard OST 110444-87, M., 1987, p. 16] and others. The relatively high temperature of the Curie point of piezoceramic materials provides a wide range of operating temperatures and temperature stability of electrophysical properties.

В таблице 1 приведены основные электрофизические параметры и температурные коэффициенты относительного изменения диэлектрической проницаемости Ktε33 в интервале температур ±60°С известных пьезокерамических материалов. Как видно из таблицы 1, все материалы данного класса имеют довольно близкие значения пьезоэлектрической чувствительности gij. Однако материалы характеризуются различными значениями относительной диэлектрической проницаемости ε33, температурного коэффициента относительного изменения диэлектрической проницаемости Ktε33. Причем материалы, обладающие более высокими значениями диэлектрической проницаемости, характеризуются меньшей термостабильностью, т.е. более высокими значениями температурного коэффициента относительного изменения диэлектрической проницаемости. Следовательно, известные материалы не обладают сочетанием высоких значений диэлектрической проницаемости и ее термостабильности.Table 1 shows the main electrophysical parameters and temperature coefficients of the relative change in the dielectric constant Ktε 33 in the temperature range ± 60 ° C of known piezoceramic materials. As can be seen from table 1, all materials of this class have fairly close values of the piezoelectric sensitivity g ij . However, the materials are characterized by different values of the relative dielectric constant ε 33 , the temperature coefficient of the relative change in the dielectric constant Ktε 33 . Moreover, materials with higher dielectric permittivities are characterized by lower thermal stability, i.e. higher values of the temperature coefficient of the relative change in dielectric constant. Therefore, the known materials do not have a combination of high dielectric constant and its thermal stability.

Известен сегнетомягкий пьезокерамический материал [патент РФ №2288902 МПК С04В 35/491, опубл. 10.12.2006 г.], изготавливаемый по керамической технологии. Пьезокерамический материал содержит оксиды свинца, циркония, титана, стронция, вольфрама, висмута, кадмия и никеля.Known ferroelectric piezoelectric material [RF patent No. 2288902 IPC С04В 35/491, publ. December 10, 2006], manufactured by ceramic technology. Piezoceramic material contains oxides of lead, zirconium, titanium, strontium, tungsten, bismuth, cadmium and nickel.

Также известен пьезокерамический материал [патент РФ №2557278 МПК С04В 35/491, опубл. 20.07.2015 г.], изготавливаемый по керамической технологии, и содержащий оксиды свинца, стронция, натрия, висмута, циркония и титана.Piezoceramic material is also known [RF patent No. 2557278 IPC С04В 35/491, publ. July 20, 2015], manufactured by ceramic technology, and containing oxides of lead, strontium, sodium, bismuth, zirconium and titanium.

Недостатками данных материалов являются высокие значения температурного коэффициента относительного изменения диэлектрической проницаемости, что является причиной низкой термостабильности диэлектрической проницаемости.The disadvantages of these materials are the high temperature coefficient of the relative change in the dielectric constant, which is the reason for the low thermal stability of the dielectric constant.

Figure 00000002
Figure 00000002

Наиболее близким к заявляемому пьезокерамическому материалу по химической композиции и пьезосвойствам является принимаемый за прототип пьезокерамический материал, включающий оксиды свинца, циркония, титана, стронция, вольфрама, висмута, никеля, кадмия и германия при следующем соотношении компонентов, мас. % [Патент РФ №2514353 МПК С04В 35/491, опубл. 27.04.2014 г.]:The closest to the claimed piezoceramic material in chemical composition and piezoelectric properties is the piezoceramic material adopted as a prototype, including oxides of lead, zirconium, titanium, strontium, tungsten, bismuth, nickel, cadmium and germanium in the following ratio of components, wt. % [RF Patent No. 2514353 IPC С04В 35/491, publ. 04/27/2014]:

PbOPbo 62,90÷64,0862.90 ÷ 64.08 ZrO2 ZrO 2 18,96÷20,1018.96 ÷ 20.10 TiO2 TiO 2 10,85÷11,6310.85 ÷ 11.63 SrOSro 1,53÷2,641.53 ÷ 2.64 WO3 Wo 3 0,34÷0,620.34 ÷ 0.62 Bi2O3 Bi 2 O 3 1,01÷1,861.01 ÷ 1.86 Ni2O3 Ni 2 O 3 0,08÷0,230.08 ÷ 0.23 CdOCdo 0,59÷1,180.59 ÷ 1.18 GeO2 GeO 2 0,2÷1,0.0.2 ÷ 1.0.

Однако известный материал также не обладает сочетанием высоких значений диэлектрической проницаемости и ее термостабильности.However, the known material also does not have a combination of high dielectric constant and its thermal stability.

Цель изобретения - получение пьезокерамического материала с улучшенными электрофизическими параметрами: повышенной термостабильностью диэлектрической проницаемости с высокими ее значениями.The purpose of the invention is to obtain a piezoceramic material with improved electrophysical parameters: increased thermal stability of the dielectric constant with its high values.

Поставленная цель достигается тем, что пьезокерамический материал, включающий оксиды свинца, циркония, титана, стронция, висмута, германия, дополнительно содержит оксиды бария, кальция и гадолиния при следующем соотношении компонентов, мас. %:This goal is achieved in that the piezoceramic material, including oxides of lead, zirconium, titanium, strontium, bismuth, germanium, additionally contains oxides of barium, calcium and gadolinium in the following ratio of components, wt. %:

PbOPbo 66,05÷67,24;66.05 ÷ 67.24; ZrO2 ZrO 2 19,16÷19,90;19.16 ÷ 19.90; ТiO2 TiO 2 11,02÷11,90;11.02 ÷ 11.90; SrOSro 0,14÷0,75;0.14 ÷ 0.75; Bi2O3 Bi 2 O 3 0,22÷0,82;0.22 ÷ 0.82; GeO2 GeO 2 0,10÷0,30;0.10 ÷ 0.30; BaOBao 0,15÷0,75;0.15 ÷ 0.75; CaOCao 0,15÷0,55;0.15 ÷ 0.55; Gd2O3 Gd 2 o 3 0,20÷0,60.0.20 ÷ 0.60.

Таким образом, отличительными признаками изобретения являются то, что в пьезокерамический материал дополнительно введены оксиды бария, кальция и гадолиния. Введение оксида гадолиния замедляет процессы рекристаллизации зерен при спекании и обеспечивает формирование мелкозернистой структуры, что повышает температурную стабильность диэлектрической проницаемости, а введение оксидов бария и кальция позволяет повысить плотность материала путем активирования процессов спекания, тем самым обеспечить необходимую диэлектрическую проницаемость материала, что положительно сказывается на пьезочувствительности материала.Thus, the distinguishing features of the invention are that barium, calcium and gadolinium oxides are additionally introduced into the piezoceramic material. The introduction of gadolinium oxide slows down the process of grain recrystallization during sintering and provides the formation of a fine-grained structure, which increases the temperature stability of the dielectric constant, and the introduction of barium and calcium oxides allows to increase the density of the material by activating the sintering processes, thereby ensuring the necessary dielectric constant of the material, which positively affects the piezoelectric sensitivity material.

ПРИМЕР:EXAMPLE:

Предлагаемый материал согласно формуле изготавливается по обычной «керамической» технологии, включающей операции смешения исходных компонентов, синтез пьезокерамической шихты из полученной смеси компонентов, измельчения синтезированной шихты, введения связки в шихту и ее гранулирование, прессование заготовок и спекание. Для сравнения изготавливался материал по прототипу.The proposed material according to the formula is made according to the usual "ceramic" technology, including the operation of mixing the starting components, synthesis of a piezoceramic mixture from the resulting mixture of components, grinding the synthesized mixture, introducing the binder into the mixture and granulating it, pressing the blanks and sintering. For comparison, the material was made according to the prototype.

В качестве исходных компонентов предлагаемого материала использовались оксиды и карбонаты: PbO - глет свинцовый марки «Г-2», TiO2, ZrO2, SrCO3, Bi2O3, GeO2, ВаСО3, СаСО3, Gd2O3 квалификации «хч». Смешение компонентов производилось мокрым измельчением в планетарной мельнице с шарами из оксида циркония в течение 180 минут, после сушки шихта подвергалась температурной обработке при Т=800°С в течение 2 часов, после чего синтезированный материал подвергался помолу в планетарной мельнице с шарами из оксида циркония в течение 180 минут до дисперсности Sуд=550 м2/кг на приборе ПСХ-4.Oxides and carbonates were used as initial components of the proposed material: PbO - lead litharge grade “G-2”, TiO 2 , ZrO 2 , SrCO 3 , Bi 2 O 3 , GeO 2 , BaCO 3 , CaCO 3 , Gd 2 O 3 qualifications Hh. The components were mixed by wet grinding in a planetary mill with balls of zirconium oxide for 180 minutes, after drying, the mixture was subjected to heat treatment at T = 800 ° C for 2 hours, after which the synthesized material was milled in a planetary mill with balls of zirconium oxide in 180 minutes to dispersion S beats = 550 m 2 / kg on a PSX-4 device.

Аттестация качества синтезированного материала осуществлялась на отпрессованных при давлении Руд=100 МПа стандартных образцах размером 25×3 мм. Спекание этих образцов проводили при температуре Т=1170-1180°С в течение 4 часов в засыпке, обеспечивающей атмосферу паров окиси свинца. На отшлифованные по толщине и диаметру образцы до размера 20×1 мм наносили серебряную пасту, которую вжигали при температуре 820°С. Образцы поляризовали в воздушной среде при Т=250°С в постоянном электрическом поле напряженностью 2 кВ/мм. Определение электрофизических параметров проводилось в соответствии с [Материалы пьезокерамические. Технические условия. Отраслевой стандарт ОСТ 110444-87, М., 1987, стр. 16].Certification of the quality of the synthesized material was carried out on pressed standard samples 25 × 3 mm in size pressed at a pressure of P beats = 100 MPa. Sintering of these samples was carried out at a temperature of T = 1170–1180 ° C for 4 hours in a bed providing an atmosphere of lead oxide vapor. Silver samples polished in thickness and diameter to a size of 20 × 1 mm were coated with silver paste, which was burned at a temperature of 820 ° C. The samples were polarized in air at T = 250 ° C in a constant electric field of 2 kV / mm. The determination of electrophysical parameters was carried out in accordance with [Materials piezoelectric. Technical conditions The industry standard OST 110444-87, M., 1987, p. 16].

В таблице 2 приведены основные электрофизические характеристики предлагаемого материала в зависимости от состава, полученные усреднением измерений характеристик 10 образцов с каждой партии. Полученные экспериментальные данные свидетельствуют о том, что предлагаемый пьезоэлектрический материал обладает оптимальными, с точки зрения решаемой задачи, характеристиками в интервале величин компонентов, указанных в формуле изобретения (составы №3-5 табл. 2). В сравнении с пьезокерамическими материалами ЦТС-19 и PZT-5A (табл. 1 и 2), полученный материал имеет более высокую термостабильность (низкие значения температурного коэффициента относительного изменения диэлектрической проницаемости Ktε33) и высокие значениями диэлектрической проницаемости ε33.Table 2 shows the main electrophysical characteristics of the proposed material depending on the composition, obtained by averaging measurements of the characteristics of 10 samples from each batch. The obtained experimental data indicate that the proposed piezoelectric material has optimal, from the point of view of the problem to be solved, characteristics in the range of values of the components indicated in the claims (compositions No. 3-5 of Table 2). Compared with the PZT-19 and PZT-5A piezoceramic materials (Tables 1 and 2), the resulting material has higher thermal stability (low values of the temperature coefficient of the relative change in the dielectric constant Ktε 33 ) and high values of the dielectric constant ε 33 .

Figure 00000003
Figure 00000003

Figure 00000004
Figure 00000004

Перечисленная совокупность отличительных признаков позволяет создать пьезокерамический материал с улучшенными электрофизическими параметрами: повышенной термостабильностью диэлектрической проницаемости Ktε33=(2,35-2,48)⋅10-30°С-1 с высокими ее значениями ε33=2081-2086.The listed set of distinctive features allows you to create a piezoceramic material with improved electrophysical parameters: increased thermostability of the dielectric constant Ktε 33 = (2.35-2.48) ⋅10 -30 ° С -1 with its high values ε 33 = 2081-2086.

Claims (2)

Пьезокерамический материал, включающий оксиды свинца, циркония, титана, стронция, висмута, германия, отличающийся тем, что он дополнительно содержит оксиды бария, кальция и гадолиния при следующем соотношении компонентов, мас. %:Piezoceramic material, including oxides of lead, zirconium, titanium, strontium, bismuth, germanium, characterized in that it additionally contains oxides of barium, calcium and gadolinium in the following ratio of components, wt. %: РbОPbO 66,05÷67,2466.05 ÷ 67.24 ZrO2 ZrO 2 19,16÷19,9019.16 ÷ 19.90 ТiO2 TiO 2 11,02÷11,9011.02 ÷ 11.90 SrOSro 0,14÷0,750.14 ÷ 0.75 Bi2O3 Bi 2 O 3 0,22÷0,820.22 ÷ 0.82 GeO2 GeO 2 0,10÷0,300.10 ÷ 0.30 BaOBao 0,15÷0,750.15 ÷ 0.75 CaOCao 0,15÷0,550.15 ÷ 0.55 Gd2O3 Gd 2 o 3 0,20÷0,600.20 ÷ 0.60
RU2018106362A 2018-02-20 2018-02-20 Piezoceramic material RU2677515C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018106362A RU2677515C1 (en) 2018-02-20 2018-02-20 Piezoceramic material

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018106362A RU2677515C1 (en) 2018-02-20 2018-02-20 Piezoceramic material

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2677515C1 true RU2677515C1 (en) 2019-01-17

Family

ID=65025048

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018106362A RU2677515C1 (en) 2018-02-20 2018-02-20 Piezoceramic material

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2677515C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2753917C1 (en) * 2020-11-11 2021-08-24 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Piezoceramic material

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1772442A1 (en) * 2005-10-04 2007-04-11 TDK Corporation Piezoelectric ceramic composition and laminated piezoelectric element
RU2440954C2 (en) * 2010-03-10 2012-01-27 Общество с ограниченной ответственностью "Пьезооксид" (ООО "Пьезооксид") Piezoelectric ceramic material
RU2514353C1 (en) * 2012-12-20 2014-04-27 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Элпа" с опытным производством" Piezoceramic material
RU2624473C1 (en) * 2016-05-20 2017-07-04 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Piezoceramic material

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1772442A1 (en) * 2005-10-04 2007-04-11 TDK Corporation Piezoelectric ceramic composition and laminated piezoelectric element
RU2440954C2 (en) * 2010-03-10 2012-01-27 Общество с ограниченной ответственностью "Пьезооксид" (ООО "Пьезооксид") Piezoelectric ceramic material
RU2514353C1 (en) * 2012-12-20 2014-04-27 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Элпа" с опытным производством" Piezoceramic material
RU2624473C1 (en) * 2016-05-20 2017-07-04 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Piezoceramic material

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2753917C1 (en) * 2020-11-11 2021-08-24 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Piezoceramic material

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3406611B2 (en) Low loss PZT ceramic compositions that can be fired with silver at low sintering temperatures and methods for making the same
US7754095B2 (en) Piezoelectric ceramic composition and piezoelectric ceramic electronic component
US8216488B2 (en) Compositions for high power piezoelectric ceramics
US6806625B2 (en) Piezoelectric ceramic composition and piezoelectric element
CN106220169A (en) Modified lead nickle niobate lead titanate piezoelectric ceramics and preparation method thereof
KR101333792B1 (en) Bismuth-based pb-free piezoelectric ceramics and method of fabricating the same
RU2677515C1 (en) Piezoceramic material
Zheng et al. Surface decomposition of strontium‐doped soft PbZrO3–PbTiO3
RU2624473C1 (en) Piezoceramic material
Tsai et al. The phase structure, electrical properties, and correlated characterizations of (Mn, Sb) co-tuned PZMnNS–PZT ceramics with relaxation behavior near the morphotropic phase boundary
KR101333793B1 (en) Bismuth-based piezoelectric ceramics and method of fabricating the same
JP2008537927A (en) High power piezoelectric ceramic composition
KR20210111525A (en) Lead-free piezoceramics with good mechanical quality factor and high curie temperature and manufacturing method thereof
RU2305669C1 (en) Ceramic material, charge for production of such material and method of production of such material
RU2357942C1 (en) Piezo ceramic material
JPH0566896B2 (en)
CN114292102A (en) Bismuth ferrite-barium titanate-based lead-free piezoelectric ceramic material and preparation method thereof
RU2288902C1 (en) Piezoceramic material
RU2691424C1 (en) Piezoceramic material
RU2753917C1 (en) Piezoceramic material
Hamzioui et al. Structure, dielectric and piezoelectric properties of Pb [(Zr0. 45, Ti0. 5)(Mn0. 5, Sb0. 5) 0.05] O3 ceramics
JPH0438710B2 (en)
KR100403302B1 (en) A method for preparing Pb-based peizoelectric ceramic powder containing the carbonate
US4764492A (en) Lead calcium titanate piezoelectric ceramic element
JPH0196973A (en) Manufacture of piezoelectric porcelain