RU2660398C1 - Способ определения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей - Google Patents

Способ определения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей Download PDF

Info

Publication number
RU2660398C1
RU2660398C1 RU2017130739A RU2017130739A RU2660398C1 RU 2660398 C1 RU2660398 C1 RU 2660398C1 RU 2017130739 A RU2017130739 A RU 2017130739A RU 2017130739 A RU2017130739 A RU 2017130739A RU 2660398 C1 RU2660398 C1 RU 2660398C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
radiation
controlled part
reflection
measurement
radiation power
Prior art date
Application number
RU2017130739A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Николаевич Деркач
Сергей Юрьевич Головкин
Дмитрий Владимирович Сизмин
Владислав Александрович Щеников
Владислав Олегович Лащук
Виктория Юрьевна Добикова
Original Assignee
Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") filed Critical Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом")
Priority to RU2017130739A priority Critical patent/RU2660398C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2660398C1 publication Critical patent/RU2660398C1/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55—Specular reflectivity
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/59—Transmissivity

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области фотометрии и касается способа измерения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей. Способ включает в себя проведение измерений мощности излучения с постановкой контролируемой детали в схеме измерений и без ее постановки. Измерения проводят в двух каналах регистрации. В первом канале осуществляют измерение мощности излучения Р1, поступающего в схему измерения от источника излучения. Во втором канале измеряют мощность излучения Р2 с учетом потерь из-за двукратного прохождения контролируемой детали или эталонного элемента с регулируемым коэффициентом пропускания Tet. Для определения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей используют соотношение:
Figure 00000035
где S - коэффициент отражения или пропускания контролируемой детали,
Figure 00000036
и
Figure 00000037
,
Figure 00000038
и
Figure 00000039
- значения мощности излучения на этапе с постановкой контролируемой детали в первом и втором каналах регистрации, Р1 и Р2 - значения мощности излучения на этапе без контролируемой детали в первом и втором каналах регистрации, Tet - коэффициент пропускания эталонного элемента. Технический результат заключается в повышении точности измерений. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Description

Изобретение относится к области фотометрии и может быть использовано в оптическом приборостроении при контроле качества оптического стекла. Цель изобретения - повышение точности определения коэффициентов отражения и пропускания оптических деталей, характеризующих сходные по своей природе оптические свойства деталей, предполагающие отсутствие оптического возбуждения материала, из которого выполнена деталь, при воздействии на нее излучения оптического диапазона, что позволяет использовать общую схему измерений и объединить определение этих коэффициентов в рамках одного изобретения.
Известен способ определения коэффициентов пропускания оптического объекта, реализованный в устройстве, содержащем источник излучения: оптическую систему, включающую зеркала, линзы, диафрагмы; модулятор; ослабители; приемник излучения; контролируемый объект (Авторское свидетельство №559134, МКИ G01L 1/10, опубликовано 25.05.1977 г., Бюллетень №19). В соответствии со способом приемником излучения регистрируют лоток излучения U1, прошедший через контролируемый объект; регистрируют поток излучения U2, прошедший через контролируемый объект и первый ослабитель; регистрируют поток излучения U3, прошедший через второй ослабитель. Коэффициент пропускания контролируемого образца рассчитывают по формуле:
Figure 00000001
,
где τоб - коэффициент пропускания контролируемого образца; τ1 - коэффициент пропускания первого ослабителя; τ2 - коэффициент пропускания второго ослабителя; U1 - поток излучения, прошедший через контролируемый объект: U2 - поток излучения, прошедший через контролируемый объект и первый ослабитель; U3 - поток излучения, прошедший через второй ослабитель.
Недостатки данного способа измерений состоят в том, что при измерении потока излучения (энергии или мощности) не обеспечивается стабильность передаточной функции регистрирующего прибора, в том числе размер измеряемого пучка и его прицельное положение, а это увеличивает погрешность проводимых измерений. Кроме того, не учитывается погрешность, связанная с нестабильностью потока излучения на входе в измерительную схему на всех этапах измерений.
Наиболее близким аналогом (прототипом) заявляемого способа является способ измерения коэффициентов отражения деталей, реализованный в устройстве, содержащем источник света (оптический квантовый генератор), уголковый отражатель, образованный парой зеркал, контролируемую деталь и фотоприемник (Авторское свидетельство №411356, МКИ G01N 21/25, опубликовано 15.01.1974 г., Бюллетень №2). В соответствии со способом фотоприемником регистрируют поток излучения Iпад, падающего на зеркала уголкового отражателя в отсутствии контролируемой детали, а затем, при размещении на пути излучения контролируемой детали и изменении положения уголкового отражателя, поток излучения Iотр, претерпевшего двукратное отражение от контролируемой детали с полированной (зеркальной) поверхностью. Коэффициент отражения полированной (зеркальной) поверхности контролируемой детали рассчитывают по формуле:
Figure 00000002
,
где R - коэффициент отражения полированной (зеркальной) поверхности контролируемой детали; Iпад - поток излучения, падающего на поверхность контролируемой детали; Iотр - поток излучения после двукратного отражения от поверхности контролируемой детали.
Основным недостатком, присущим рассматриваемому способу, является невысокая точность измерений. В частности, не учитывается нестабильность потока излучения на всех этапах измерений и не контролируется стабильность передаточной функции регистрирующего прибора. Кроме того, некорректность в результат измерений вносит тот факт, что измерения выполняют при разных углах падения излучения на контролируемую деталь при первом и втором отражении от нее.
Техническая проблема состоит в том, что существует ряд задач, предъявляющих особые требования к знанию изменения энергии направленного излучения при его распространении с учетом расположенных на пути его распространения оптических деталей.
Технический результат предлагаемого изобретения заключается в повышении точности измерений коэффициентов отражения и пропускания оптических деталей.
Данный технический результат достигается тем, что в отличие от известного способа измерения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей, состоящего из последовательности этапов измерений, где на одном из этапов осуществляют измерения с постановкой контролируемой детали в измерительной схеме, на другом - без нее, в предложенном способе при определении коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей обеспечивают: задание и сохранение величины угла падения излучения на контролируемую деталь; измерение мощности излучения Р1 в первом канале регистрации, осуществляющем измерение мощности излучения, поступающего в схему измерения от источника излучения; измерение мощности излучения Р2 во втором канале регистрации с учетом потерь из-за двукратного прохождения контролируемой детали; регистрацию Р1 и Р2 одновременно и на протяжении интервала времени, достаточного для усреднения случайной составляющей погрешности измерения; равенство мощностей излучения в первом канале регистрации на всех этапах измерений; равенство мощностей излучения во втором канале регистрации на всех этапах измерений за счет применения на этапе без контролируемой детали оптического эталонного элемента с регулируемым коэффициентом пропускания Tet, управление величиной мощности излучения во втором канале регистрации осуществляется с использованием угловой ориентации этого эталона; сохранение на всех этапах измерений передаточной функции приборов, регистрирующих мощность излучений в первом и втором каналах, за счет сохранения расстояний от источника излучения до приборов и ориентации излучений на приемных площадках приборов; устранение паразитных излучений, минимизацию собственных шумов регистрирующих приборов; для определения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей используют соотношение:
Figure 00000003
, где S - коэффициент отражения или пропускания контролируемой детали;
Figure 00000004
и
Figure 00000005
- величины изменения измеряемой мощности излучения на этапах с постановкой контролируемой детали и без нее, соответственно;
Figure 00000006
и
Figure 00000007
- значения мощности излучения на этапе с постановкой контролируемой детали в первом и втором каналах регистрации, соответственно; Р1 и Р2 - значения мощности излучения на этапе без контролируемой детали в первом и втором каналах регистрации, соответственно; Tet - коэффициент пропускания эталонного элемента.
При этом в способе определения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей в качестве оптического эталонного элемента с регулируемым пропусканием может быть выбран элемент, изготовленный из кварца.
Относительная погрешность измерения коэффициента отражения контролируемой детали в прототипе заявляемого способа составляет (без учета погрешности, связанной с контролем установки угла падения излучения на контролируемую деталь и мощности излучения, поступающего в схему измерения от источника излучения) величину, равную инструментальной погрешности измерения измерителя мощности. При характерной величине инструментальной погрешности измерения измерителя мощности 3% имеем: δR≅0,03.
Предложенный подход, обеспечивающий повышение точности определения коэффициентов отражения оптических деталей, основан на идее замены измерения мощности в обоих каналах регистрации на измерение другого параметра с меньшей погрешностью, по сравнению с погрешностью измерения мощности.
Технический подход, позволивший решить эту проблему, связан с введением во второй канал регистрации измерительной схемы на втором этапе измерений оптического эталонного элемента с регулируемым коэффициентом пропускания.
В заявляемом способе относительная погрешность измерения коэффициента отражения или пропускания контролируемой детали определяется выражением:
Figure 00000008
где
Figure 00000009
,
Figure 00000010
- относительные погрешности измерения мощности излучения в первом и втором каналах регистрации на этапе измерений с постановкой контролируемой детали (первый этап); δP1, δР2 - относительные погрешности измерения мощности излучения в первом и втором каналах регистрации на этапе, измерений без контролируемой детали (второй этап); δTet - относительная погрешность измерения коэффициента пропускания эталонного элемента. С учетом выделения систематической δPs и случайной δPr составляющих погрешностей измерения и выполнения равенств
Figure 00000011
при
Figure 00000012
и
Figure 00000013
при
Figure 00000014
и, полагая погрешности измерений в обоих каналах и на всех этапах измерения равными, получаем:
δS=2⋅|δPr|+|δPs⋅dP12|+|δTet|,
где
Figure 00000015
.
При условии усреднения мощностей измеряемых сигналов по выборке из большого количества измерений, одновременном измерении в обоих каналах, погрешность измерения случайного типа стремится к нулю. Выравнивание величин мощностей измеряемых сигналов в каналах измерения на обоих этапах приводит к равенству систематической составляющей погрешности измерения каждого из сигналов и исключению систематической составляющей из полной погрешности измерения коэффициента отражения или пропускания в силу применяемой двухэтапной методики измерения. Полная погрешность измерения коэффициента отражения или пропускания контролируемой детали определяется, с точностью до указанных погрешностей, третьим фактором - погрешностью измерения коэффициента пропускания эталонного элемента:
δS≅δTet
То есть, погрешность измерения, связанная с измерением мощностей регистрируемых сигналов, заменяется погрешностью измерения коэффициента пропускания эталонного элемента. Так, для кварцевого эталонного элемента с учетом пренебрежимо малого поглощения излучения в нем выражение для относительной погрешности измерения пропускания этого элемента можно записать следующим образом:
Figure 00000016
,
где
Figure 00000017
- коэффициент отражения от одной грани кварцевого эталонного элемента для p-поляризованного излучения и
Figure 00000018
- коэффициент отражения от одной грани кварцевого эталонного элемента для s-поляризованного излучения; α и β - углы падения и преломления излучения в кварцевом эталонном элементе соответственно; ΔRet - абсолютная погрешность измерения коэффициента отражения от одной грани кварцевого эталонного элемента.
При абсолютной погрешности измерения угла падения излучения на кварцевый эталонный элемент ≈0,05° относительная погрешность измерения пропускания этого элемента составляет δTet~10-4 для поляризации p-типа и углов падения от 0° до 45°.
Таким образом, по сравнению с прототипом, погрешность измерения коэффициента отражения или пропускания оптических деталей уменьшена примерно на два порядка, что связано с меньшей погрешностью измерения коэффициента пропускания эталонного элемента с регулируемым пропусканием (коэффициентом пропускания).
Обеспечение контроля выставления угла падения излучения на контролируемую деталь и на эталонный элемент с регулируемым пропусканием уменьшает погрешность определения коэффициента отражения или пропускания детали, которая в отсутствие контроля является усредненной, по разным углам падения, величиной.
При условии одновременной регистрации измеряемых сигналов в обоих каналах регистрации по выборке из большого количества измерений, а также устранении паразитных излучений, минимизации собственных шумов регистрирующих приборов случайная составляющая погрешности измерения стремится к нулю.
Равенство мощностей излучения в первом канале регистрации на всех этапах измерений и мощностей излучения во втором канале регистрации на всех этапах измерений, обусловленное применением оптического эталонного элемента с регулируемым пропусканием, обеспечивает равенство систематической составляющей погрешности измерения и исключение ее из полной погрешности измерения коэффициента отражения или пропускания в силу применяемой двухэтапной методики измерения.
Сохранение на всех этапах измерений передаточной функции приборов, регистрирующих мощность излучений в первом и втором каналах, за счет сохранения расстояний от источника излучения до приборов и ориентации излучений на приемных площадках приборов также повышает точность измерений.
Таким образом, процедура определения коэффициентов отражения или пропускания деталей состоит из двух этапов измерений. На первом этапе определяют величину изменения мощности излучения, поступающего в схему измерения от источника излучения, после двукратного отражения от контролируемой детали (в случае определения коэффициента отражения контролируемой детали) или двукратного прохождения через контролируемую деталь (в случае определения коэффициента пропускания контролируемой детали), которая равна произведению коэффициента отражения контролируемой детали в степени 2 и коэффициента отражения вспомогательного зеркала R0 (в случае определения коэффициента отражения контролируемой детали) или коэффициента пропускания контролируемой детали в степени 2 и коэффициента отражения вспомогательного зеркала R0 (в случае определения коэффициента пропускания контролируемой детали):
Figure 00000019
На втором этапе контролируемую деталь удаляют из схемы и устанавливают эталонный элемент с регулируемым коэффициентом пропускания. Определяют величину изменения мощности излучения, поступающего в схему измерения от источника излучения, после двукратного прохождения через эталонный элемент, которая равна произведению коэффициента пропускания эталонного элемента в степени 2 и коэффициента отражения вспомогательного зеркала R0:
Figure 00000020
Решая систему уравнений (1)-(2), получаем следующее выражение для коэффициента отражения или коэффициента пропускания контролируемой детали:
Figure 00000021
где S - коэффициент отражения или пропускания контролируемой детали;
Figure 00000022
и
Figure 00000023
- величины изменения измеряемой мощности излучения на этапах с постановкой контролируемой детали и без нее соответственно;
Figure 00000024
и
Figure 00000025
- значения мощности излучения на этапе с постановкой контролируемой детали в первом и втором каналах регистрации соответственно; Р1 и Р2 - значения мощности излучения на этапе без контролируемой детали в первом и втором каналах регистрации соответственно; Tet - коэффициент пропускания эталонного элемента.
При этом в случае измерения коэффициента пропускания контролируемую деталь ориентируют под углом Брюстера по отношению к падающему на контролируемую деталь излучению, что обеспечивает отсутствие Френелевских потерь при прохождении линейно поляризованного в плоскости падения излучения через контролируемую деталь - потери определяются только поглощением в объеме материала.
Равенство мощностей измеряемых сигналов в обоих каналах регистрации излучения при сохранении передаточной функции регистрирующих приборов на всех этапах измерений позволяет заменить измерение мощности излучения на измерение коэффициента пропускания эталонного элемента:
Figure 00000026
где S - коэффициент отражения или пропускания контролируемой детали; Tet - коэффициент пропускания эталонного элемента.
Следовательно, точность определения коэффициентов отражения и пропускания оптических деталей определяется точностью измерения коэффициента пропускания эталонного элемента. Точность измерения величины пропускания такого элемента определяется точностью измерения угла падения излучения на этот элемент. С применением средств современного геодезического контроля, точности выставления углов падения излучения (0,05÷0,1)° легко реализуются.
Таким образом, за счет реализации заявленной совокупности признаков, достигнут технический результат - повышение точности измерения коэффициентов отражения и пропускания оптических деталей.
При этом в качестве оптического эталонного элемента с регулируемым пропусканием может быть выбран элемент, изготовленный из кварца. Поглощение в таком случае пренебрежимо мало и потери в мощности излучения для кварцевого эталонного элемента за два прохода определяются Френелевским отражением на двух гранях:
Tet=(1-Ret)2,
где Tet - коэффициент пропускания кварцевого эталонного элемента;
Figure 00000027
- коэффициент отражения от одной грани кварцевого эталонного элемента для р-поляризованного излучения и
Figure 00000028
- коэффициент отражения от одной грани кварцевого эталонного элемента для s-поляризованного излучения; α и β - углы падения и преломления излучения в кварцевом эталонном элементе соответственно.
То есть, при такой технической реализации обеспечено выравнивание мощностей измеряемых сигналов, что приводит к равенству систематической составляющей погрешности измерения на всех этапах измерений в обоих каналах регистрации и ее методическому исключению в силу применения двухэтапной процедуры измерения, а также усреднению случайной составляющей погрешности измерения (при условии одновременной регистрации измеряемых сигналов в обоих каналах регистрации по выборке из большого количества измерений, а также устранении паразитных излучений, минимизации собственных шумов регистрирующих приборов) и, следовательно, к повышению точности измерений.
На фиг. приведена схема реализации способа определения коэффициентов отражения и пропускания оптических деталей, где а - схема с контролируемой деталью, б - схема без контролируемой детали.
Позициями на фиг. обозначены: 1 - контролируемая деталь; 2 - клин, необходимый для отвода части излучения на измерители мощности излучения; 3 и 4 - измерители мощности излучения; 5 - ПЗС камера, необходимая для контроля прохождения излучения по одному и тому же оптическому пути при переходе от первого этапа измерений ко второму; 6 - вспомогательное зеркало; 7 - эталонный элемент с регулируемым коэффициентом пропускания.
Излучение от источника, в частности лазера, заводится на контролируемую деталь 1. Проводится процедура выставления угла падения излучения на контролируемую деталь 1. Далее производится установка вспомогательного зеркала 6 (возможны две позиции вспомогательного зеркала 6: позиция I для определения коэффициента отражения и позиция II для определения коэффициента пропускания) под углом близким к нормали к падающему излучению. Затем в схему вносится клин 2 (фиг.), отводящий часть излучения на измерители мощности излучения 3 и 4, которые регистрируют значения мощности излучения Р1 в первом канале регистрации и мощности излучения Р2 во втором канале регистрации одновременно.
На камере ПЗС 5 (фиг. а) запоминается прицельное положение (центр масс) пришедшего на нее пучка излучения. При переходе к следующему этапу измерений (фиг. б) контролируемая деталь удаляется из схемы, устанавливается оптический эталонный элемент с регулируемым пропусканием 7 так, чтобы излучение дважды проходило с повторением оптического пути через него, а вспомогательное зеркало 6 в случае измерения коэффициента отражения перемещается из позиции I в позицию II, в случае измерения коэффициента пропускания остается в позиции II, при этом прицеливание пучка в данное положение на камере ПЗС 5 гарантирует повторение оптического пути излучения.
На первом этапе (фиг. а) определяют падение мощности излучения, поступающего в схему измерения от источника излучения, после двукратного отражения от контролируемой детали (в случае измерения коэффициента отражения контролируемой детали) или двукратного прохождения через контролируемую деталь (в случае измерения коэффициента пропускания контролируемой детали). Величина изменения мощности, которая равна произведению коэффициента отражения контролируемой детали в степени 2 и коэффициента отражения вспомогательного зеркала R0 (в случае измерения коэффициента отражения контролируемой детали) или коэффициента пропускания контролируемой детали в степени 2 и коэффициента отражения вспомогательного зеркала R0 (в случае измерения коэффициента пропускания контролируемой детали:
ƒ'=R0⋅S2
На втором этапе контролируемую деталь удаляют из схемы и устанавливают элемент с эталонным пропусканием (фиг. б). Определяют величину изменения мощности излучения, поступающего в схему измерения от источника излучения, после двукратного прохождения через эталонный элемент, которая равна произведению коэффициента пропускания эталонного элемента в степени 2 и коэффициента отражения вспомогательного зеркала R0:
ƒ=R0⋅Tet 2
Решая систему уравнений (1)-(2), получаем следующее выражение для коэффициента отражения или пропускания контролируемой детали:
Figure 00000029
Равенство мощностей измеряемых сигналов в обоих каналах регистрации излучения при сохранении передаточной функции регистрирующих приборов на всех этапах измерений позволяет заменить измерение мощности излучения на измерение коэффициента пропускания эталонного элемента:
S=Tet,
где S - коэффициент отражения или пропускания контролируемой детали; Tet - коэффициент пропускания эталонного элемента.
Согласно вышеизложенному подходу, были проведены эксперименты по определению коэффициента отражения диэлектрического зеркала. Диаметр контролируемого зеркала составлял 50 мм, угол падения излучения на контролируемое зеркало составлял 45°. В качестве эталонного элемента был выбран образец синтетического кварца производства CV1 Melles Griot, изготовленный из материала Suprasil 1, диаметром 75 мм, толщиной 12,9 мм. Абсолютная погрешность измерения угла установки кварцевого элемента с регулируемым пропусканием составляла не более 0,1°. Для такой погрешности измерения угла установки эталонного элемента относительная погрешность определения коэффициента отражения должна составлять не более 0,02% для поляризации p-типа и углов падения от 0° до 45°. Значение коэффициента отражения контролируемого зеркала определялось в серии из пяти независимых экспериментов с соблюдением полного регламента по настройке схемы и проведению измерений, т.е. 5 раз. По результатам измерений определялось среднее значение коэффициента отражения. Результаты измерений коэффициента отражения контролируемого зеркала в отдельных экспериментах отличаются от среднего значения на величину, меньшую расчетной погрешности измерения.
Таким образом, благодаря реализации заявленного подхода удалось добиться повышения точности измерений примерно на два порядка по сравнению с прототипом.

Claims (2)

1. Способ измерения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей, состоящий из последовательности этапов измерений, где на одном из этапов осуществляют измерения с постановкой контролируемой детали в схеме измерений, на другом - без нее, отличающийся тем, что при определении коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей обеспечивают: задание и сохранение величины угла падения излучения на контролируемую деталь; измерение мощности излучения Р1 в первом канале регистрации, осуществляющем измерение мощности излучения, поступающего в схему измерения от источника излучения; измерение мощности излучения Р2 во втором канале регистрации с учетом потерь из-за двукратного прохождения контролируемой детали; регистрацию Р1 и Р2 одновременно и на протяжении интервала времени, достаточного для усреднения случайной составляющей погрешности измерения; равенство мощностей излучения в первом канале регистрации на всех этапах измерений; равенство мощностей излучения во втором канале регистрации на всех этапах измерений за счет применения на этапе без контролируемой детали оптического эталонного элемента с регулируемым коэффициентом пропускания Tet, управление величиной мощности излучения во втором канале регистрации, осуществляемое с использованием угловой ориентации этого эталона; сохранение на всех этапах измерений передаточной функции приборов, регистрирующих мощность излучений в первом и втором каналах, за счет сохранения расстояний от источника излучения до приборов и ориентации излучений на приемных площадках приборов; устранение паразитных излучений, минимизацию собственных шумов регистрирующих приборов; для определения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей используют соотношение:
Figure 00000030
где S - коэффициент отражения или пропускания контролируемой детали;
Figure 00000031
и
Figure 00000032
- величины изменения измеряемой мощности излучения на этапах с постановкой контролируемой детали и без нее, соответственно;
Figure 00000033
и
Figure 00000034
- значения мощности излучения на этапе с постановкой контролируемой детали в первом и втором каналах регистрации, соответственно; Р1 и Р2 - значения мощности излучения на этапе без контролируемой детали в первом и втором каналах регистрации, соответственно; Tet - коэффициент пропускания эталонного элемента.
2. Способ определения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей по п. 1, отличающийся тем, что в качестве оптического эталонного элемента с регулируемым коэффициентом пропускания выбирают элемент, изготовленный из кварца.
RU2017130739A 2017-08-30 2017-08-30 Способ определения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей RU2660398C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017130739A RU2660398C1 (ru) 2017-08-30 2017-08-30 Способ определения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017130739A RU2660398C1 (ru) 2017-08-30 2017-08-30 Способ определения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2660398C1 true RU2660398C1 (ru) 2018-07-06

Family

ID=62815756

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017130739A RU2660398C1 (ru) 2017-08-30 2017-08-30 Способ определения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2660398C1 (ru)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU411356A1 (ru) * 1971-12-27 1974-01-15
SU1500920A1 (ru) * 1987-02-11 1989-08-15 Предприятие П/Я А-1705 Устройство дл измерени коэффициента зеркального отражени
US5815254A (en) * 1996-10-08 1998-09-29 Spectronic Instruments, Inc. Transmittance and reflectance measuring spectrophotometer having dual use light channels
WO2000057158A1 (en) * 1999-03-22 2000-09-28 Corning Incorporated Method and apparatus for measuring internal transmittance

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU411356A1 (ru) * 1971-12-27 1974-01-15
SU1500920A1 (ru) * 1987-02-11 1989-08-15 Предприятие П/Я А-1705 Устройство дл измерени коэффициента зеркального отражени
US5815254A (en) * 1996-10-08 1998-09-29 Spectronic Instruments, Inc. Transmittance and reflectance measuring spectrophotometer having dual use light channels
WO2000057158A1 (en) * 1999-03-22 2000-09-28 Corning Incorporated Method and apparatus for measuring internal transmittance

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108918425A (zh) 一种穆勒矩阵测量系统及方法
US9170156B2 (en) Normal-incidence broadband spectroscopic polarimeter containing reference beam and optical measurement system
US20150219497A1 (en) Multiple Wavelength Ellipsometer System and Related Method
JPS6134442A (ja) 試料表面ないしは試料の表面膜層の物理的特性を検査するためのエリプソメトリ測定法とその装置
CN105548722B (zh) 一种铁磁材料太赫兹介电常数的测量系统
CA1141190A (en) Apparatus for determining the refractive index profile of optical fibres
RU2660398C1 (ru) Способ определения коэффициентов отражения или пропускания оптических деталей
US3424531A (en) Distance measuring instrument using a pair of modulated light waves
CN105043612B (zh) 一种光学材料应力测量系统
US2966824A (en) Distance measuring equipment
CN111982286B (zh) 一种薄膜偏振光学元件偏振比测量方法
US3572938A (en) Polarimeter
CN114088200B (zh) 一种强激光远场功率衰减取样方法
JPH06308025A (ja) 光透過率測定装置の較正方法
US20230028596A1 (en) Lidar system calibration
RU2643216C1 (ru) Способ определения коэффициентов отражения зеркал
CN207515908U (zh) 一种多光路自定标偏振探测装置及系统
RU2467309C1 (ru) Способ измерения коэффициентов отражения зеркал
CN106198456A (zh) 基于磁光科尔/法拉第效应的超快光学门控成像系统及方法
US2884830A (en) Sighting device for electro-optical distance meters
RU2691669C1 (ru) Способ увеличения динамического диапазона чувствительности многоканального измерителя скорости на базе гетеродин-интерферометров
CN108955880A (zh) 高精度紫外双光栅光谱仪同轴度标定方法
SU1668922A1 (ru) Способ определени коэффициента пропускани объектива
Landry Sources of Error in Optical Measurement Systems
Archard Performance and Testing of Polarizing Prisms