RU2630196C2 - Laser autocomlimating microscope - Google Patents

Laser autocomlimating microscope Download PDF

Info

Publication number
RU2630196C2
RU2630196C2 RU2015150927A RU2015150927A RU2630196C2 RU 2630196 C2 RU2630196 C2 RU 2630196C2 RU 2015150927 A RU2015150927 A RU 2015150927A RU 2015150927 A RU2015150927 A RU 2015150927A RU 2630196 C2 RU2630196 C2 RU 2630196C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
beam splitter
laser
microscope according
wavelength
radiation source
Prior art date
Application number
RU2015150927A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2015150927A (en
Inventor
Андрей Валентинович Тарасишин
Сергей Николаевич Скляров
Константин Геннадьевич Кушнарев
Святослав Валерьевич Мишин
Original Assignee
Публичное акционерное общество "Красногорский завод им. С.А. Зверева"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Публичное акционерное общество "Красногорский завод им. С.А. Зверева" filed Critical Публичное акционерное общество "Красногорский завод им. С.А. Зверева"
Priority to RU2015150927A priority Critical patent/RU2630196C2/en
Publication of RU2015150927A publication Critical patent/RU2015150927A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2630196C2 publication Critical patent/RU2630196C2/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/04—Measuring microscopes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/0016—Technical microscopes, e.g. for inspection or measuring in industrial production processes

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

FIELD: physics.
SUBSTANCE: microscope contains two measuring channels. The first channel contains a radiation source with a wavelength λ1, the first collimating lens, the first beam splitter located along the beam path, in the reflected beams of which the first spectrum splitter and the focusing lens are located, in the object plane of which the controlled surface is located. In the refracted beams of the first beam splitter in the reverse direction from the monitored surface, the first lens and the first multi-element radiation receiver are located. The second channel consists of a radiation source with a wavelength λ2 and the second collimating lens, the second spectrum splitter loacted along the beam path, in the reflected beams of which the second beam splitter is located, and in the refracted rays in the reverse direction from the monitored surface the second lens and the second multi-element radiation receiver are located. In the reflected beams of the second beam splitter, the first spectrum splitter is located.
EFFECT: possibility of high-precision angular and linear measurements on a single device and minimization of dimensions.
23 cl, 9 dwg

Description

Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению и может быть использовано для проведения высокоточных угловых и линейных измерений при юстировке оптических систем, а также для контроля погрешностей центрирования линз объективов видимого, ближневолнового, средневолнового и длинноволнового диапазонов инфракрасного излучения.The invention relates to optical-electronic instrumentation and can be used to perform high-precision angular and linear measurements during the alignment of optical systems, as well as to control errors in centering the lenses of the visible, near-wave, medium and long-wavelength ranges of infrared radiation.

Известны различные устройства одноканальных цифровых и фотоэлектрических автоколлиматоров, предназначенные для регистрации углового отклонения зеркала относительно двух ортогональных осей. Технические решения по созданию цифровых и фотоэлектрических автоколлиматоров и автоколлимационных углоизмерительных устройств защищены рядом патентов РФ и США таких, как патент US №6628405 «Optical angle finder and coaxial alignment device», МПК G01B 9/02, опубл. 30.09.2003; патент US №7227627 «Optical biaxial angle sensor», МПК G01B 11/26, опубл. 05.06.2007; патент RU №2353960, МПК G02B 27/30, опубл. 27.04.2009, под названием «Автоколлиматор для измерения плоских углов»; патент RU №2437058, MПК G01B 9/00, опубл. 18.02.2008, под названием «Цифровой двухкоординатный динамический авто коллиматор».There are various devices of single-channel digital and photoelectric autocollimators designed to register the angular deviation of the mirror relative to two orthogonal axes. Technical solutions for the creation of digital and photoelectric auto-collimators and auto-collimation angle-measuring devices are protected by a number of patents of the Russian Federation and the USA, such as US patent No. 6628405 "Optical angle finder and coaxial alignment device", IPC G01B 9/02, publ. 09/30/2003; US patent No. 7227627 "Optical biaxial angle sensor", IPC G01B 11/26, publ. 06/05/2007; RU patent No. 2353960, IPC G02B 27/30, publ. 04/27/2009, under the name "Auto-collimator for measuring flat angles"; RU patent No. 2437058, IPC G01B 9/00, publ. 02/18/2008, under the name "Digital two-coordinate dynamic auto collimator."

Среди оптических измерительных приборов и устройств известен цифровой автоколлиматор, описанный в патенте РФ на полезную модель №97835, МПК G02B 27/30, опубл. 20.09.2010, включающий осветитель, размещенные по ходу луча конденсор, марку, светоделитель, объектив, автоколлимационное зеркало, установленное с возможностью юстировки по двум угловым координатам, матричный фотоприемник с блоком обработки информации, причем марка и матричный фотоприемник установлены в фокальной плоскости объектива. Марка выполнена в виде круга. Блок обработки информации включает программные средства определения пространственных координат геометрического центра круга. Однако, данное устройство имеет только один измерительный канал и отсутствует возможность работы в режиме автоколлимационного микроскопа.Among the optical measuring instruments and devices known digital autocollimator described in the patent of the Russian Federation for utility model No. 97835, IPC G02B 27/30, publ. 09/20/2010, including a illuminator, a condenser, a brand, a beam splitter, a lens, an autocollimation mirror installed with the possibility of alignment along two angular coordinates, an array photodetector with an information processing unit, the mark and the array photodetector installed in the focal plane of the lens. The stamp is made in the form of a circle. The information processing unit includes software for determining the spatial coordinates of the geometric center of the circle. However, this device has only one measuring channel and there is no possibility of working in the autocollimation microscope mode.

Примером совмещения двух спектральных независимых каналов может служить двухканальная информационная коллиматорная система с индикаторами на общей оптической оси, описанная в патенте РФ №2562933, МПК G02B 27/01, G02B 27/30, G02B 27/34, F41G 1/30, опубл. 10.09.2015.An example of combining two spectral independent channels is a two-channel information collimator system with indicators on a common optical axis, described in RF patent No. 2562933, IPC G02B 27/01, G02B 27/30, G02B 27/34, F41G 1/30, publ. 09/10/2015.

Наиболее близким к предлагаемому изобретению по технической сущности устройством является автоколлимационный микроскоп с точечным источником, описанный в заявке US №2002/0054296 А1, МПК G02B 26/06, G02B 21/00, опубл. 09.05.2002. В данном устройстве излучение от точечного источника излучения поступает на светоделитель, выполненный в виде куб-призмы, к одной из граней которой приклеена опорная сферическая поверхность. Опорная сферическая поверхность формирует реперную точку. Напротив рабочей грани светоделительного куба, содержащей опорную сферическую поверхность, расположено многоэлементное фотоприемное устройство. В автоколлимационном микроскопе излучение от точечного источника излучения попадает на светоделитель. Прошедшая часть излучения с помощью коллимирующего объектива преобразуется в параллельный оптической оси устройства пучок лучей и направляется в фокусирующий объектив устройства. С помощью фокусирующего объектива излучение собирается в точку в предметной плоскости. Предметная плоскость фокусирующего объектива может быть совмещена с контролируемой оптической поверхностью или ее центром кривизны. Отраженное от контролируемой оптической поверхности излучение проходит в обратном ходе фокусирующий объектив, коллимирующий объектив и, отразившись от светоделителя, формирует автоколлимационное изображение на многоэлементном фотоприемном устройстве, расположенном в фокусе коллимирующего объектива. Часть излучения от точечного источника, отраженная от грани светоделителя, направляется на опорную сферическую поверхность. Отразившись от нее, излучение собирается в точку в фокусе этой поверхности, положение которого совпадает с многоэлементным фотоприемным устройством. Таким образом формируется реперная точка на многоэлементном фотоприемном устройстве. Для выполнения угловых измерений на выходе из устройства может быть получен коллимированный пучок лучей путем удаления из хода лучей фокусирующего объектива, либо установкой по ходу лучей после фокусирующего объектива вспомогательного коллимирующего объектива.Closest to the proposed invention according to the technical essence of the device is an autocollimation microscope with a point source, described in application US No. 2002/0054296 A1, IPC G02B 26/06, G02B 21/00, publ. 05/09/2002. In this device, radiation from a point source of radiation is transmitted to a beam splitter made in the form of a cube-prism, to one of the faces of which a supporting spherical surface is glued. The supporting spherical surface forms a reference point. Opposite the working face of a beam-splitting cube containing a supporting spherical surface, a multi-element photodetector is located. In an autocollimation microscope, radiation from a point radiation source is incident on a beam splitter. The transmitted part of the radiation with the help of a collimating lens is converted into a beam of rays parallel to the optical axis of the device and sent to the focusing lens of the device. Using a focusing lens, radiation is collected at a point in the object plane. The subject plane of the focusing lens can be combined with a controlled optical surface or its center of curvature. The radiation reflected from the controlled optical surface passes through a focusing lens in the reverse direction, collimating the lens and, reflected from the beam splitter, forms an autocollimation image on a multi-element photodetector located at the focus of the collimating lens. Part of the radiation from a point source, reflected from the edge of the beam splitter, is directed to the supporting spherical surface. Reflected from it, the radiation is collected at a point in the focus of this surface, the position of which coincides with a multi-element photodetector. Thus, a reference point is formed on a multi-element photodetector. To perform angular measurements at the output of the device, a collimated beam of rays can be obtained by removing the focusing lens from the rays, or by installing an auxiliary collimating lens along the rays after the focusing lens.

Таким образом, с помощью данного автоколлимационного микроскопа возможен контроль оптических систем на одной рабочей длине волны излучения. Осуществление измерений в широком спектральном диапазоне на данном микроскопе невозможно.Thus, using this autocollimation microscope, it is possible to control optical systems at one working radiation wavelength. Making measurements in a wide spectral range on this microscope is impossible.

Задачей заявленного изобретения является создание лазерного автоколлимационного микроскопа с повышенными функциональными характеристиками и повышенной точностью измерений.The objective of the claimed invention is the creation of a laser autocollimation microscope with enhanced functional characteristics and increased measurement accuracy.

Технический результат - возможность проведения высокоточных угловых и линейных измерений, в том числе с целью центрирования оптических систем видимого, ближневолнового, средневолнового и длинноволнового диапазонов инфракрасного излучения на одном приборе без изменения конструкции или замены отдельных узлов и элементов, а также минимизация габаритов устройства.The technical result is the ability to conduct high-precision angular and linear measurements, including with the aim of centering the optical systems of the visible, near-wave, medium, and long-wavelength ranges of infrared radiation on one device without changing the design or replacing individual nodes and elements, as well as minimizing the dimensions of the device.

Указанный технический результат достигается тем, что лазерный автоколлимационный микроскоп включает в себя первый измерительный канал, состоящий из размещенных по ходу луча источника излучения с длиной волны λ1, первого коллимирующего объектива, первого светоделителя, светоделительная грань которого расположена под углом к оптической оси первого коллимирующего объектива, в отраженных лучах первого светоделителя расположен фокусирующий объектив, а в проходящих - первый многоэлементный приемник излучения, при этом в предметной плоскости фокусирующего объектива расположена контролируемая поверхность. В отличие от известного, между первым светоделителем и фокусирующим объективом введен первый спектроделитель, спектроделительная грань которого расположена под углом к оптической оси фокусирующего объектива, за первым светоделителем в продолжение оптической оси первого коллимирующего объектива расположена перпендикулярно оптической оси светопоглощающая пластина, а между первым светоделителем и первым многоэлементным приемником излучения расположен первый объектив, и дополнительно введен второй измерительный канал, состоящий из источника излучения с длиной волны λ2 и размещенных по ходу луча второго коллимирующего объектива, второго спектроделителя, спектроделительная грань которого расположена под углом к оптической оси второго коллимирующего объектива, при этом, в отраженных лучах второго спектроделителя расположен второй светоделитель, в свою очередь, в преломленных лучах второго светоделителя расположен второй объектив, а за ним второй многоэлементный приемник излучения, при этом светоделительная грань второго светоделителя расположена под углом к оптической оси второго объектива, а в отраженных лучах второго светоделителя расположен первый спектроделитель, спектроделительная грань которого расположена под углом к оптической оси второго объектива.The indicated technical result is achieved in that the laser autocollimation microscope includes a first measuring channel, consisting of a radiation source with a wavelength of λ 1 placed along the beam, a first collimating lens, a first beam splitter, the beam splitting face of which is at an angle to the optical axis of the first collimating lens , a focusing lens is located in the reflected rays of the first beam splitter, and in the transmitted rays is the first multi-element radiation detector, while in the subject plane The focusing lens has a controlled surface. In contrast to the known one, a first spectrometer is introduced between the first beam splitter and the focusing lens, the spectrometer of which is located at an angle to the optical axis of the focusing lens, behind the first beam splitter, a light-absorbing plate is perpendicular to the optical axis of the first collimating lens, and between the first beam splitter and the first a multi-element radiation detector is located the first lens, and an additional second measuring channel is introduced, consisting of a radiation source with a wavelength of λ 2 and placed along the beam of the second collimating lens, the second spectrometer, the spectrodividing face of which is located at an angle to the optical axis of the second collimating lens, while the second beam splitter is located in the reflected rays of the second spectrometer, in turn, in the refracted the second beam splitter, a second lens is located, followed by a second multi-element radiation detector, while the beam splitter of the second beam splitter is at an angle to the opt the axis of the second lens, and in the reflected rays of the second beam splitter there is a first spectrometer, the spectrodividing face of which is located at an angle to the optical axis of the second lens.

Кроме того лазерный автоколлимационный микроскоп может быть дополнен юстировочным каналом, содержащим источник коллимированного излучения с длиной волны λ3 видимого диапазона, размещенный за вторым спектроделителем на оптической оси, соединяющей второй спектроделитель и второй светоделитель, и оптически связанный через второй спектроделитель и второй светоделитель с первым спектроделителем. Кроме того, в лазерном автоколлимационном микроскопе либо источник излучения с длиной волны λ1, либо источник излучения с длиной волны λ2, либо оба источника излучения с длиной волны λ1 и λ2, могут быть выполнены в виде источников когерентного излучения. Кроме того, источник излучения с длиной волны λ1 или источник излучения с длиной волны λ2 может быть выполнен в виде подсвечиваемой осветителем точечной диафрагмы. Кроме того, источник излучения с длиной волны λ1 или источник излучения с длиной волны λ2 может быть выполнен в виде торца волоконно-оптического кабеля, сопряженного с внешним лазером. Кроме того, источник излучения с длиной волны λ1 или источник излучения с длиной волны λ2 может быть выполнен в виде светодиода. Кроме того, либо первый светоделитель, либо второй светоделитель, либо оба светоделителя могут быть выполнены в виде неполяризационного светоделительного куба. Кроме того, либо первый светоделитель, либо второй светоделитель, может быть выполнен в виде поляризационного светоделительного куба, а за ним установлена четвертьволновая фазовая пластина, либо оба светоделителя могут быть выполнены в виде поляризационных светоделительных кубов, а за ними установлены четвертьволновые фазовые пластины. Кроме того, первый многоэлементный приемник излучения может быть выполнен охлаждаемым многоэлементным приемником инфракрасного излучения на основе соединений кадмий-ртуть-теллур, или охлаждаемым многоэлементным приемником инфракрасного излучения на основе антимонида индия, или охлаждаемым многоэлементным приемником инфракрасного излучения на квантово-размерных ямах, или охлаждаемым многоэлементным приемником инфракрасного излучения на барьерах Шоттки, или в виде неохлаждаемого микроболометрического многоэлементного приемника инфракрасного излучения на основе аморфного кремния, или в виде неохлаждаемого микроболометрического многоэлементного приемника инфракрасного излучения на основе оксида ванадия.In addition, the laser autocollimation microscope can be supplemented with an alignment channel containing a collimated radiation source with a wavelength of λ 3 of the visible range, located behind the second spectrometer on the optical axis connecting the second spectrometer and the second beam splitter, and optically coupled through the second spectrometer and the second beam splitter with the first spectrometer . In addition, in a laser autocollimation microscope, either a radiation source with a wavelength of λ 1 , or a radiation source with a wavelength of λ 2 , or both radiation sources with a wavelength of λ 1 and λ 2 , can be made in the form of coherent radiation sources. In addition, a radiation source with a wavelength of λ 1 or a radiation source with a wavelength of λ 2 can be made in the form of a spot iris illuminated by the illuminator. In addition, a radiation source with a wavelength of λ 1 or a radiation source with a wavelength of λ 2 can be made in the form of an end of a fiber optic cable, coupled with an external laser. In addition, a radiation source with a wavelength of λ 1 or a radiation source with a wavelength of λ 2 can be made in the form of an LED. In addition, either the first beam splitter, or the second beam splitter, or both beam splitters can be made in the form of a non-polarizing beam splitter cube. In addition, either the first beam splitter or the second beam splitter can be made in the form of a polarizing beam-splitting cube, and a quarter-wave phase plate is installed behind it, or both beamsplitter can be made in the form of polarizing beam-splitting cubes, and quarter-wave phase plates are installed behind them. In addition, the first multi-element radiation detector can be made of a cooled multi-element infrared detector based on cadmium-mercury-tellurium compounds, or a cooled multi-element infrared detector based on indium antimonide, or a cooled multi-element infrared detector on quantum-well wells, or a cooled multi-element a receiver of infrared radiation at Schottky barriers, or in the form of an uncooled microbolometric multielement receiver infrared radiation based on amorphous silicon, or in the form of an uncooled microbolometric multielement infrared detector based on vanadium oxide.

На фиг. 1 представлена оптическая схема лазерного автоколлимационного микроскопа.In FIG. 1 shows an optical scheme of a laser autocollimation microscope.

На фиг. 2 представлена оптическая схема лазерного автоколлимационного микроскопа, дополненного котировочным каналом.In FIG. Figure 2 shows the optical scheme of a laser autocollimation microscope supplemented with a quotation channel.

На фиг. 3 представлена оптическая схема лазерного автоколлимационного микроскопа с источником излучения с длиной волны λ1, выполненным в виде торца волоконно-оптического кабеля из поликристаллического волокна, сопряженного с внешним лазером.In FIG. Figure 3 shows the optical scheme of a laser autocollimation microscope with a radiation source with a wavelength of λ 1 made in the form of the end of a fiber-optic cable made of polycrystalline fiber coupled to an external laser.

На фиг. 4 представлена оптическая схема лазерного автоколлимационного микроскопа, у которого первый светоделитель, выполнен в виде неполяризационного светоделительного куба.In FIG. Figure 4 shows the optical scheme of a laser autocollimation microscope, in which the first beam splitter is made in the form of a non-polarization beam splitter cube.

На фиг. 5 представлена оптическая схема лазерного автоколлимационного микроскопа, у которого второй светоделитель выполнен в виде неполяризационного светоделительного куба.In FIG. 5 is an optical diagram of a laser autocollimation microscope, in which the second beam splitter is made in the form of a non-polarization beam splitter cube.

На фиг. 6 представлена оптическая схема лазерного автоколлимационного микроскопа, у которого первый светоделитель выполнен в виде поляризационного светоделительного куба с четвертьволновой фазовой пластиной.In FIG. Figure 6 shows the optical scheme of a laser autocollimation microscope, in which the first beam splitter is made in the form of a polarizing beam splitting cube with a quarter-wave phase plate.

На фиг. 7 представлена оптическая схема лазерного автоколлимационного микроскопа, у которого второй светоделитель выполнен в виде поляризационного светоделительного куба с четвертьволновой фазовой пластиной.In FIG. 7 is an optical diagram of a laser autocollimation microscope, in which the second beam splitter is made in the form of a polarization beam splitter cube with a quarter-wave phase plate.

На фиг. 8 представлена оптическая схема лазерного автоколлимационного микроскопа с обоими светоделителями, выполненным в виде неполяризационных светоделительных кубов.In FIG. Figure 8 shows the optical scheme of a laser autocollimation microscope with both beam splitters made in the form of nonpolarizing beam splitting cubes.

На фиг. 9 представлена оптическая схема лазерного автоколлимационного микроскопа с обоими светоделителями, выполненным в виде поляризационных светоделительных кубов с четвертьволновыми фазовыми пластинами.In FIG. Figure 9 shows the optical scheme of a laser autocollimation microscope with both beam splitters made in the form of polarizing beam splitting cubes with quarter-wave phase plates.

Лазерный автоколлимационный микроскоп (фиг. 1) состоит из двух измерительных каналов. Первый измерительный канал содержит оптически сопряженные источник излучения 1 с длиной волны λ1, по ходу луча которого расположен первый коллимирующий объектив 2 и первый светоделитель 3, выполненный в виде светоделительной пластины. Излучение, прошедшее через первый светоделитель 3, поглощается поглотителем излучения 4, а отраженное под углом 45° от первого светоделителя излучение направляется на первый спектроделитель 5, расположенный под углом 45° к оптической оси фокусирующего объектива 6, расположенного за первым спектроделителем 5 по ходу отраженного луча. В фокальной плоскости фокусирующего объектива 6 расположена контролируемая поверхность. Отраженное от контролируемой поверхности излучение проходит в обратном ходе через фокусирующий объектив 6, первый спектроделитель 5, первый светоделитель 3, плоское зеркало 7, также установленное под углом 45° к оптической оси фокусирующего объектива 6 и попадает на первый объектив 8, в фокальной плоскости которого расположен первый многоэлементный приемник излучения 9. Второй измерительный канал содержит оптически сопряженные источник излучения 10 с длиной волны λ2, по ходу луча которого расположен второй коллимирующий объектив 11, второй спектроделитель 12, расположенный под углом 45° к оптической оси коллимирующего объектива 11, в отраженных лучах спектроделителя 12 под углом 45° к преломленной оптической оси коллимирующего объектива 11 расположен второй светоделитель 13. Отраженная часть лучей после второго светоделителя 13 попадает на первый спектроделитель 5, отражается от него, проходит фокусирующий объектив 6 и отражается обратно контролируемой поверхностью. Отраженное от контролируемой поверхности излучение проходит в обратном ходе фокусирующий объектив 6, отражается от первого спектроделителя 5, проходит второй светоделитель 13 и попадает во второй объектив 14, в фокальной плоскости которого расположен второй многоэлементный приемник излучения 15.Laser autocollimation microscope (Fig. 1) consists of two measuring channels. The first measuring channel contains an optically coupled radiation source 1 with a wavelength of λ 1 , along the beam of which there is a first collimating lens 2 and a first beam splitter 3, made in the form of a beam splitter. The radiation transmitted through the first beam splitter 3 is absorbed by the radiation absorber 4, and the radiation reflected at an angle of 45 ° from the first beam splitter is directed to the first spectro splitter 5, located at an angle of 45 ° to the optical axis of the focusing lens 6, located behind the first spectro splitter 5 along the reflected beam . In the focal plane of the focusing lens 6 is a controlled surface. The radiation reflected from the controlled surface passes in the reverse direction through the focusing lens 6, the first spectrometer 5, the first beam splitter 3, a flat mirror 7, also mounted at an angle of 45 ° to the optical axis of the focusing lens 6 and hits the first lens 8, in the focal plane of which the first multi-element radiation detector 9. The second measuring channel contains optically conjugated radiation source 10 with a wavelength of λ 2 , along the beam of which there is a second collimating lens 11, the second a beam splitter 12, located at an angle of 45 ° to the optical axis of the collimating lens 11, in the reflected rays of the beam splitter 12 at a 45 ° angle to the refracted optical axis of the collimating lens 11, a second beam splitter 13 is reflected. After the second beam splitter 13, the reflected part is incident on the first beam splitter 5, is reflected from it, passes the focusing lens 6 and is reflected back by a controlled surface. The radiation reflected from the controlled surface passes through the focusing lens 6 in the reverse direction, is reflected from the first spectrometer 5, the second beam splitter 13 passes, and enters the second lens 14, in the focal plane of which the second multi-element radiation detector 15 is located.

Кроме того, лазерный автоколлимационный микроскоп может быть дополнен юстировочным каналом, содержащим источник коллимированного излучения 16 с длиной волны λ3 видимого диапазона, расположенный за вторым спектроделителем 12 на оптической оси соединяющей второй спектроделитель 12 и второй светоделитель 13, при этом излучение от источника излучения 16 с длиной волны λ3 проходит через второй спектроделитель 12, а от второго светоделителя 13 отражается в сторону первого спектроделителя 5.In addition, a laser autocollimation microscope can be supplemented with an alignment channel containing a collimated radiation source 16 with a wavelength λ 3 of the visible range located behind the second spectrometer 12 on the optical axis connecting the second spectrometer 12 and the second beam splitter 13, while the radiation from the radiation source is 16 s wavelength λ 3 passes through the second beam splitter 12, and from the second beam splitter 13 is reflected in the direction of the first beam splitter 5.

В качестве источника излучения 1 может быть использован лазерный диод (фиг. 1), торец волоконно-оптического кабеля, сопряженного с внешним лазером. Источник излучения 1 может представлять собой точечную диафрагму, подсвечиваемую осветителем. Источник излучения 1 может представлять собой светодиод. Возможно использование любого из перечисленных источников без конденсора, либо с конденсором из одной или нескольких линз со сферическими или асферическими поверхностями.As a radiation source 1, a laser diode can be used (Fig. 1), the end face of a fiber optic cable interfaced with an external laser. The radiation source 1 may be a point aperture illuminated by the illuminator. The radiation source 1 may be an LED. It is possible to use any of these sources without a condenser, or with a condenser from one or more lenses with spherical or aspherical surfaces.

В качестве источника излучения 2 может быть использован лазерный диод (фиг. 1), торец волоконно-оптического кабеля, сопряженного с внешним лазером, либо светодиод. Источник излучения 1 может представлять собой точечную диафрагму, подсвечиваемую осветителем. Возможно использование любого из перечисленных источников без конденсора, либо с конденсором из одной или нескольких линз со сферическими или асферическими поверхностями.As a radiation source 2, a laser diode can be used (Fig. 1), the end of a fiber-optic cable interfaced with an external laser, or an LED. The radiation source 1 may be a point aperture illuminated by the illuminator. It is possible to use any of these sources without a condenser, or with a condenser from one or more lenses with spherical or aspherical surfaces.

В лазерном автоколлимационном микроскопе (фиг. 2) дополнительно введен юстировочный канал, содержащий источник коллимированного излучения 16 с длиной волны λ3 видимого диапазона, расположенный за вторым спектроделителем 12 на оптической оси соединяющей второй спектроделитель 12 и второй светоделитель 13, при этом излучение от источника излучения 16 с длиной волны λ3 проходит через второй спектроделитель 12, а от второго светоделителя 13 отражается в сторону первого спектроделителя 5.In the laser autocollimation microscope (Fig. 2), an adjustment channel is additionally introduced, containing a collimated radiation source 16 with a wavelength λ 3 of the visible range, located behind the second spectrometer 12 on the optical axis connecting the second spectrometer 12 and the second beam splitter 13, while the radiation from the radiation source 16 with a wavelength of λ 3 passes through the second spectrometer 12, and from the second beam splitter 13 is reflected in the direction of the first spectrograph 5.

В лазерном автоколлимационном микроскопе (фиг. 3) в качестве источника излучения 10 с длиной волны λ2, может быть использован торец волоконно-оптического кабеля 17, сопряженного через объектив ввода 18 с внешним лазером 19.In a laser autocollimation microscope (Fig. 3), the end face of a fiber optic cable 17 coupled through an input lens 18 to an external laser 19 can be used as a radiation source 10 with a wavelength of λ 2 .

В лазерном автоколлимационном микроскопе (фиг. 4) первый светоделитель 3 может быть выполнен в виде неполяризационного светоделительного куба.In a laser autocollimation microscope (Fig. 4), the first beam splitter 3 can be made in the form of a non-polarized beam splitter cube.

В лазерном автоколлимационном микроскопе (фиг. 5) второй светоделитель 13 может быть выполнен в виде неполяризационного светоделительного куба.In a laser autocollimation microscope (Fig. 5), the second beam splitter 13 can be made in the form of a non-polarized beam splitter cube.

В лазерном автоколлимационном микроскопе (фиг. 6) первый светоделитель 3 может быть выполнен в виде поляризационного светоделительного куба и в ход лучей между первым светоделителем 3 и первым спектроделителем 5 установлена четвертьволновая фазовая пластина 20. Первый светоделитель 3 и фазовая пластина 20 могут быть конструктивно объединены в единый блок, либо могут не объединяться в единый блок - в зависимости от требований к габаритам и эргономике устройства.In a laser autocollimation microscope (Fig. 6), the first beam splitter 3 can be made in the form of a polarization beam splitter cube and a quarter-wave phase plate 20 is mounted between the first beam splitter 3 and the first spectrometer 5. The first beam splitter 3 and phase plate 20 can be structurally combined into a single unit, or may not be combined into a single unit - depending on the requirements for the dimensions and ergonomics of the device.

В лазерном автоколлимационном микроскопе (фиг. 7) второй светоделитель 13 может быть выполнен в виде поляризационного светоделительного куба и в ход лучей между второй светоделителем 13 и первым спектроделителем 5 установлена четвертьволновая фазовая пластина 21. Второй светоделитель 13 и фазовая пластина 21 могут быть конструктивно объединены в единый блок, либо могут не объединяться в единый блок - в зависимости от требований к габаритам и эргономике устройства.In a laser autocollimation microscope (Fig. 7), the second beam splitter 13 can be made in the form of a polarization beam splitter cube and a quarter-wave phase plate 21 is installed between the second beam splitter 13 and the first spectrum splitter 5. The second beam splitter 13 and the phase plate 21 can be structurally combined into a single unit, or may not be combined into a single unit - depending on the requirements for the dimensions and ergonomics of the device.

В лазерном автоколлимационном микроскопе (фиг. 8) первый светоделитель 3 и второй светоделитель 13 могут быть выполнены в виде неполяризационных светоделительных кубов.In a laser autocollimation microscope (Fig. 8), the first beam splitter 3 and the second beam splitter 13 can be made in the form of non-polarizing beam splitting cubes.

В лазерном автоколлимационном микроскопе (фиг. 9) первый светоделитель 3 и второй светоделитель 13 могут быть выполнены в виде поляризационных светоделительных кубов, а между первым светоделителем 3 и первым спектроделителем 5 установлена четвертьволновая фазовая пластина 20 и между вторым светоделителем 13 и первым спектроделителем 5 установлена четвертьволновая фазовая пластина 21.In a laser autocollimation microscope (Fig. 9), the first beam splitter 3 and the second beam splitter 13 can be made in the form of polarizing beam splitter, and a quarter-wave phase plate 20 is installed between the first beam splitter 3 and the first spectrometer 5 and a quarter-wave splitter is installed between the second beam splitter 13 and the first spectrometer 5 phase plate 21.

В качестве многоэлементного приемника излучения 9 могут быть использованы охлаждаемые (на основе соединений кадмий-ртуть-теллур, на базе барьеров Шотки, на базе антимонида индия, на квантово-размерных ямах) и неохлаждаемые (микроболометрические на основе оксида ванадия или аморфного кремния) многоэлементные приемники инфракрасного излучения. В зависимости от требований к габаритам устройства из хода лучей может быть удалено зеркало 7, либо возможно изменение его плоскости наклона. В зависимости от требований к габаритам устройства возможно изменение плоскости наклона второго спектроделителя 12.As a multi-element radiation detector 9, cooled (based on cadmium-mercury-tellurium compounds, based on Schottky barriers, based on indium antimonide, quantum-well wells) and uncooled (microbolometric based on vanadium oxide or amorphous silicon) multi-element receivers can be used infrared radiation. Depending on the requirements for the dimensions of the device, a mirror 7 can be removed from the path of the rays, or a change in its inclination plane is possible. Depending on the requirements for the dimensions of the device, it is possible to change the inclination plane of the second spectrometer 12.

Лазерный автоколлимационный микроскоп работает следующим образом. В первом измерительном канале излучение с длиной волны λ1 от источника излучения 1, пройдя коллимирующий объектив 2, попадает на первый светоделитель 3. Часть излучения, пройдя первый светоделитель 3, поглощается поглотителем излучения 4, материал которого подбирается в зависимости от параметров источника излучения 1 с длиной волны λ1. Оставшаяся часть излучения отражается от первого светоделителя 3, проходит первый спектроделитель 5 и с помощью фокусирующего объектива 6 сводится в точку в предметной плоскости микроскопа. Предметная плоскость микроскопа может быть совмещена с контролируемой оптической поверхностью или ее центром кривизны. Отраженное от контролируемой поверхности излучение проходит в обратном ходе фокусирующий объектив 6, первый спектроделитель 5, первый светоделитель 3 и, отразившись от зеркала 7, попадает в объектив 8, который формирует автоколлимационное изображение точки на чувствительной поверхности первого многоэлементного приемника излучения 9. Во втором измерительном канале излучение с длиной волны λ2 от источника излучения 10 попадает во второй коллимирующий объектив 11, далее отражается от второго спектроделителя 12 и попадает на второй светоделитель 13. После отражения от второго светоделителя 13, излучение отражается от первого спектроделителя 5 и затем с помощью фокусирующего объектива 6 сводится в точку в предметной плоскости микроскопа. Предметная плоскость микроскопа может быть совмещена с контролируемой оптической поверхностью или ее центром кривизны. Отраженное от контролируемой поверхности излучение проходит в обратном ходе фокусирующий объектив 6, отражается от первого спектроделителя 5, проходит через второй светоделитель 13 и попадает в объектив 14, который формирует автоколлимационное изображение точки на чувствительной поверхности второго многоэлементного приемника излучения 15. Юстировочный канал визуализирует общую оптическую ось устройства. Первый спектроделитель 5 пропускает излучение с длиной волны λ1 от источника излучения первого измерительного канала и отражает излучение с длиной волны λ2 от источника излучения второго измерительного канала и излучение с длиной волны λ3 от источника излучения котировочного канала. Для проведения угловых измерений фокусирующий объектив удаляется из хода лучей.Laser autocollimation microscope works as follows. In the first measuring channel, radiation with a wavelength of λ 1 from the radiation source 1, passing through the collimating lens 2, falls on the first beam splitter 3. Part of the radiation, passing the first beam splitter 3, is absorbed by the radiation absorber 4, the material of which is selected depending on the parameters of the radiation source 1 s wavelength λ 1 . The remaining part of the radiation is reflected from the first beam splitter 3, the first spectro splitter 5 passes, and with the help of a focusing lens 6 it is reduced to a point in the object plane of the microscope. The subject plane of the microscope can be combined with a controlled optical surface or its center of curvature. The radiation reflected from the controlled surface passes through the focusing lens 6, the first spectrometer 5, the first beam splitter 3, and, reflected from the mirror 7, enters the lens 8, which forms an autocollimation image of a point on the sensitive surface of the first multi-element radiation detector 9. In the second measuring channel radiation with a wavelength of λ 2 from the radiation source 10 enters the second collimating lens 11, then is reflected from the second spectrometer 12 and falls on the second beam splitter spruce 13. After reflection from the second beam splitter 13, the radiation is reflected from the first spectro splitter 5 and then using a focusing lens 6 is reduced to a point in the object plane of the microscope. The subject plane of the microscope can be combined with a controlled optical surface or its center of curvature. The radiation reflected from the surface being monitored passes through the focusing lens 6, is reflected from the first spectrometer 5, passes through the second beam splitter 13, and enters the lens 14, which forms a self-collimating image of a point on the sensitive surface of the second multi-element radiation detector 15. The alignment channel visualizes the common optical axis devices. The first spectrometer 5 transmits radiation with a wavelength of λ 1 from the radiation source of the first measuring channel and reflects radiation with a wavelength of λ 2 from the radiation source of the second measuring channel and radiation with a wavelength of λ 3 from the radiation source of the quotation channel. For angular measurements, the focusing lens is removed from the path of the rays.

Технический результат - возможность проведения высокоточных угловых и линейных измерений, в том числе с целью центрирования оптических систем видимого, ближневолнового, средневолнового и длинноволнового диапазонов инфракрасного излучения на одном приборе без изменения конструкции или замены отдельных узлов и элементов, а также минимизация габаритов устройства. Указанный технический результат заявленного изобретения достигается тем, что в лазерном автоколлимационном микроскопе используются два независимых измерительных канала с различными рабочими длинами волн излучения λ1 и λ2. Рабочие длины волн λ1 и λ2 выбраны с учетом возможности контроля оптических систем как видимого диапазона, так и ближневолнового, средневолнового и длинноволнового диапазонов инфракрасного излучения без замены или перенастройки используемых источников излучения. Оба канала сводятся на общую оптическую ось с помощью светоделительных и спектроделительных элементов. Сохранение малых габаритов достигается применением малогабаритных когерентных источников излучения. Высокая точность измерений обеспечивается за счет минимальных размеров сфокусированного лазерного пятна в плоскостях приемников излучения и применением высокоэффективных алгоритмов вычисления и обработки изображения.The technical result is the ability to conduct high-precision angular and linear measurements, including with the aim of centering the optical systems of the visible, near-wave, medium, and long-wavelength ranges of infrared radiation on one device without changing the design or replacing individual nodes and elements, as well as minimizing the dimensions of the device. The specified technical result of the claimed invention is achieved by the fact that two independent measuring channels with different operating radiation wavelengths λ 1 and λ 2 are used in a laser autocollimation microscope. The operating wavelengths λ 1 and λ 2 are selected taking into account the possibility of controlling optical systems both in the visible range and in the near-wave, medium, and long-wave ranges of infrared radiation without replacing or reconfiguring the used radiation sources. Both channels are reduced to a common optical axis using beam-splitting and spectro-splitting elements. Preservation of small dimensions is achieved by using small-sized coherent radiation sources. High measurement accuracy is ensured by the minimum size of the focused laser spot in the planes of the radiation receivers and the use of highly efficient algorithms for computing and image processing.

Claims (23)

1. Лазерный автоколлимационный микроскоп, включающий первый измерительный канал, состоящий из размещенных по ходу луча источника излучения с длиной волны λ1, первого коллимирующего объектива, первого светоделителя, светоделительная грань которого расположена под углом к оптической оси первого коллимирующего объектива, в отраженных лучах первого светоделителя расположен фокусирующий объектив, в предметной плоскости которого расположена контролируемая поверхность, а в преломленных лучах первого светоделителя в обратном ходе от контролируемой поверхности расположен первый многоэлементный приемник излучения, отличающийся тем, что между первым светоделителем и фокусирующим объективом введен первый спектроделитель, спектроделительная грань которого расположена под углом к оптической оси фокусирующего объектива, за первым светоделителем в продолжение оптической оси первого коллимирующего объектива перпендикулярно оптической оси расположена светопоглощающая пластина, а между первым светоделителем и первым многоэлементным приемником излучения расположен первый объектив, и дополнительно введен второй измерительный канал, состоящий из источника излучения с длиной волны λ2 и размещенных по ходу луча второго коллимирующего объектива, второго спектроделителя, спектроделительная грань которого расположена под углом к оптической оси второго коллимирующего объектива, при этом в отраженных лучах второго спектроделителя расположен второй светоделитель, в свою очередь, в преломленных лучах второго светоделителя в обратном ходе от контролируемой поверхности расположен второй объектив, а за ним второй многоэлементный приемник излучения, при этом светоделительная грань второго светоделителя расположена под углом к оптической оси второго объектива, а в отраженных лучах второго светоделителя расположен первый спектроделитель, спектроделительная грань которого расположена под углом к оптической оси второго объектива.1. Laser autocollimation microscope, comprising a first measuring channel, consisting of a radiation source with a wavelength of λ 1 placed along the beam, a first collimating lens, a first beam splitter, the beam splitting face of which is located at an angle to the optical axis of the first collimating lens, in the reflected rays of the first beam splitter a focusing lens is located, in the subject plane of which the controlled surface is located, and in the refracted rays of the first beam splitter in the opposite direction from The first multi-element radiation detector is located between the first beam splitter and the focusing lens. A first spectro splitter is inserted between the first beam splitter and the focusing lens. The spectrum splitter is angled to the optical axis of the focusing lens, and a light-absorbing plate is located perpendicular to the optical axis along the optical axis of the first collimating lens and between the first beam splitter and the first multi-element radiation detector is located first nth lens, and a second measuring channel is additionally introduced, consisting of a radiation source with a wavelength of λ 2 and placed along the beam of the second collimating lens, a second spectrometer, the spectrodividing face of which is located at an angle to the optical axis of the second collimating lens, while in the reflected rays of the second a second beam splitter is located in the spectrometer, in turn, in the refracted rays of the second beam splitter, a second lens is located in the reverse direction from the surface being monitored, followed by a second a multi-element radiation detector, wherein the beam splitting face of the second beam splitter is located at an angle to the optical axis of the second lens, and in the reflected rays of the second beam splitter there is a first beam splitter, the spectrum splitting face of which is located at an angle to the optical axis of the second lens. 2. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1, отличающийся тем, что дополнительно введен юстировочный канал, содержащий источник коллимированного излучения с длиной волны λ3 видимого диапазона, размещенный за вторым спектроделителем на оптической оси, соединяющей второй спектроделитель и второй светоделитель, и оптически связанный через второй спектроделитель и второй светоделитель с первым спектроделителем.2. A laser autocollimation microscope according to claim 1, characterized in that an alignment channel is additionally introduced containing a collimated radiation source with a wavelength of λ 3 of the visible range, placed behind the second spectrometer on the optical axis connecting the second spectrometer and the second beam splitter, and optically coupled through a second beam splitter and a second beam splitter with a first beam splitter. 3. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ1 выполнен в виде когерентного источника излучения.3. Laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the radiation source with a wavelength of λ 1 is made in the form of a coherent radiation source. 4. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ2 выполнен в виде когерентного источника излучения.4. Laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the radiation source with a wavelength of λ 2 is made in the form of a coherent radiation source. 5. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источники излучения с длинами волн λ1 и λ2 выполнены в виде когерентных источников излучения.5. Laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the radiation sources with wavelengths λ 1 and λ 2 are made in the form of coherent radiation sources. 6. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ1 выполнен в виде подсвечиваемой осветителем точечной диафрагмы.6. A laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the radiation source with a wavelength of λ 1 is made in the form of a point diaphragm illuminated by a illuminator. 7. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ1 представляет собой торец волоконно-оптического кабеля из поликристаллического волокна.7. Laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the radiation source with a wavelength of λ 1 is the end of an optical fiber cable made of polycrystalline fiber. 8. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ1 представляет собой светодиод.8. Laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the radiation source with a wavelength of λ 1 is an LED. 9. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ2 выполнен в виде подсвечиваемой осветителем точечной диафрагмы.9. A laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the radiation source with a wavelength of λ 2 is made in the form of a point diaphragm illuminated by a illuminator. 10. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ2 представляет собой торец волоконно-оптического кабеля.10. Laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the radiation source with a wavelength of λ 2 is the end of a fiber optic cable. 11. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ2 представляет собой светодиод.11. Laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the radiation source with a wavelength of λ 2 is an LED. 12. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что в первом измерительном канале первый светоделитель выполнен в виде неполяризационного светоделительного куба.12. Laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that in the first measuring channel, the first beam splitter is made in the form of a non-polarizing beam splitting cube. 13. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что во втором измерительном канале второй светоделитель выполнен в виде неполяризационного светоделительного куба.13. Laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that in the second measuring channel the second beam splitter is made in the form of a non-polarizing beam splitting cube. 14. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что в первом измерительном канале первый светоделитель выполнен в виде неполяризационного светоделительного куба и во втором измерительном канале второй светоделитель выполнен в виде неполяризационного светоделительного куба.14. The laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that in the first measuring channel the first beam splitter is made in the form of a non-polarizing beam splitting cube and in the second measuring channel the second beam splitter is made in the form of a non-polarizing beam splitting cube. 15. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 5, отличающийся тем, что в первом измерительном канале первый светоделитель выполнен в виде поляризационного светоделительного куба, за которым по ходу лучей установлена четвертьволновая фазовая пластина.15. The laser autocollimation microscope according to claim 5, characterized in that in the first measuring channel the first beam splitter is made in the form of a polarization beam splitter cube, behind which a quarter-wave phase plate is installed along the rays. 16. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 5, отличающийся тем, что во втором измерительном канале второй светоделитель выполнен в виде поляризационного светоделительного куба, за которым по ходу лучей установлена четвертьволновая фазовая пластина.16. The laser autocollimation microscope according to claim 5, characterized in that in the second measuring channel the second beam splitter is made in the form of a polarizing beam splitting cube, behind which a quarter-wave phase plate is installed along the rays. 17. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 5, отличающийся тем, что в первом измерительном канале первый светоделитель выполнен в виде поляризационного светоделительного куба, за которым по ходу лучей установлена четвертьволновая фазовая пластина, и во втором измерительном канале второй светоделитель выполнен в виде поляризационного светоделительного куба, за которым по ходу лучей установлена четвертьволновая фазовая пластина.17. The laser autocollimation microscope according to claim 5, characterized in that in the first measuring channel, the first beam splitter is made in the form of a polarizing beam splitter, behind which a quarter-wave phase plate is installed along the rays, and in the second measuring channel, the second beam splitter is made in the form of a polarizing beam splitter , behind which a quarter-wave phase plate is installed along the rays of the beam. 18. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый многоэлементный приемник излучения выполнен охлаждаемым многоэлементным приемником инфракрасного излучения на основе соединений кадмий-ртуть-теллур.18. A laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the first multi-element radiation detector is made by a cooled multi-element infrared radiation detector based on cadmium-mercury-tellurium compounds. 19. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый многоэлементный приемник излучения выполнен охлаждаемым многоэлементным приемником инфракрасного излучения на основе антимонида индия.19. A laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the first multi-element radiation detector is made by a cooled multi-element infrared radiation detector based on indium antimonide. 20. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый многоэлементный приемник излучения выполнен охлаждаемым многоэлементным приемником инфракрасного излучения на квантово-размерных ямах.20. A laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the first multi-element radiation detector is made by a cooled multi-element infrared radiation detector in quantum-well pits. 21. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый многоэлементный приемник излучения выполнен охлаждаемым многоэлементным приемником инфракрасного излучения на барьерах Шоттки.21. The laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the first multi-element radiation detector is made by a cooled multi-element infrared radiation detector at Schottky barriers. 22. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый многоэлементный приемник излучения выполнен в виде неохлаждаемого микроболометрического многоэлементного приемника инфракрасного излучения на основе аморфного кремния.22. The laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the first multi-element radiation detector is made in the form of an uncooled microbolometric multi-element infrared radiation detector based on amorphous silicon. 23. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый многоэлементный приемник излучения выполнен в виде неохлаждаемого микроболометрического многоэлементного приемника инфракрасного излучения на основе оксида ванадия.23. A laser autocollimation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the first multi-element radiation detector is made in the form of an uncooled microbolometric multi-element infrared radiation detector based on vanadium oxide.
RU2015150927A 2015-11-27 2015-11-27 Laser autocomlimating microscope RU2630196C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015150927A RU2630196C2 (en) 2015-11-27 2015-11-27 Laser autocomlimating microscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015150927A RU2630196C2 (en) 2015-11-27 2015-11-27 Laser autocomlimating microscope

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2015150927A RU2015150927A (en) 2017-06-01
RU2630196C2 true RU2630196C2 (en) 2017-09-05

Family

ID=59031680

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015150927A RU2630196C2 (en) 2015-11-27 2015-11-27 Laser autocomlimating microscope

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2630196C2 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6335824B1 (en) * 1998-03-20 2002-01-01 Genetic Microsystems, Inc. Wide field of view and high speed scanning microscopy
US6339498B1 (en) * 1999-04-27 2002-01-15 Olympus Optical Co., Ltd. Ultraviolet microscope optical system and optical filter used in the same optical system
US20020054296A1 (en) * 2000-10-19 2002-05-09 Parks Robert E. Point source microscope: device, methods and assembly procedures
US6396069B1 (en) * 1999-06-25 2002-05-28 Macpherson David C. Topographer for real time ablation feedback having synthetic wavelength generators
US20050012929A1 (en) * 2000-06-15 2005-01-20 Booker David Dickson Universal microplate analyzer
RU2549992C2 (en) * 2010-01-07 2015-05-10 Рсп Системс А/С APPARATUS FOR in vivo NON-INVASIVE ANALYSIS BY RAMAN SCATTERING SPECTROSCOPY

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6335824B1 (en) * 1998-03-20 2002-01-01 Genetic Microsystems, Inc. Wide field of view and high speed scanning microscopy
US6339498B1 (en) * 1999-04-27 2002-01-15 Olympus Optical Co., Ltd. Ultraviolet microscope optical system and optical filter used in the same optical system
US6396069B1 (en) * 1999-06-25 2002-05-28 Macpherson David C. Topographer for real time ablation feedback having synthetic wavelength generators
US20050012929A1 (en) * 2000-06-15 2005-01-20 Booker David Dickson Universal microplate analyzer
US20020054296A1 (en) * 2000-10-19 2002-05-09 Parks Robert E. Point source microscope: device, methods and assembly procedures
RU2549992C2 (en) * 2010-01-07 2015-05-10 Рсп Системс А/С APPARATUS FOR in vivo NON-INVASIVE ANALYSIS BY RAMAN SCATTERING SPECTROSCOPY

Also Published As

Publication number Publication date
RU2015150927A (en) 2017-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100535767C (en) Focusing leveling measuring method and device
CN101715539B (en) Single-polarizer focused-beam ellipsometer
CN109579780B (en) Polarization-based light splitting auto-collimation three-dimensional angle measuring device and method
US20140063491A1 (en) Boresight error monitor for laser radar integrated optical assembly
CN106052596B (en) Based on remote emergent pupil, small pupil diameter than design high precision photoelectric autocollimator
CN102589428B (en) Asymmetric-incidence-based sample axial position tracking and correcting method and device
US7079247B2 (en) Instantaneous polarization measurement system and method
US11668567B2 (en) Surveying instrument
TWI659201B (en) Method of identifying a location of a focal point of an optical system,method of testing devices each of which includes one or more elements,and system for measuring fetures of an optical sistem comprising one or more elements
CN106094234A (en) Self-aligning optical path system with polarization beam splitting element
RU2690723C1 (en) Method and device for automatic adjustment of mirror telescopes
CN104165582A (en) Phase shift point-diffraction interference detection device and method based on reflecting grating
CN102385170A (en) Optical system for measuring and regulating center deviation of optics lens at high precision
CN205942120U (en) Self-aligning optical path system with polarization beam splitting element
CN109387161A (en) Auto-collimation system
CN113465520A (en) System and method for realizing measurement of thickness and inclination angle of transparent material
US9535200B2 (en) Complete-stokes fourier-domain imaging polarimeter
RU2470258C1 (en) Angle measurement device
JP2001091223A (en) Spacing measuring method and device
CN111562001B (en) Double-path four-channel polarization interference imaging system and method
CN106352985B (en) Asymmetric spatial heterodyne spectrometer structure
JP2000241128A (en) Plane-to-plane space measuring apparatus
KR102642068B1 (en) Observing instrument including an autocollimator comprising a mirror mounted on a star tracker
US20140185052A1 (en) Fourier-transform spectrometer and method
RU2630196C2 (en) Laser autocomlimating microscope

Legal Events

Date Code Title Description
QA4A Patent open for licensing

Effective date: 20201009