RU2583870C1 - Laser processing of nonmetallic plates - Google Patents
Laser processing of nonmetallic plates Download PDFInfo
- Publication number
- RU2583870C1 RU2583870C1 RU2015106122/28A RU2015106122A RU2583870C1 RU 2583870 C1 RU2583870 C1 RU 2583870C1 RU 2015106122/28 A RU2015106122/28 A RU 2015106122/28A RU 2015106122 A RU2015106122 A RU 2015106122A RU 2583870 C1 RU2583870 C1 RU 2583870C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- laser
- pulse
- laser radiation
- temperature
- energy density
- Prior art date
Links
Abstract
Description
Изобретение относится к области технологических процессов и может быть использовано для отжига и легирования пластин из полупроводниковых, керамических и стеклообразных материалов.The invention relates to the field of technological processes and can be used for annealing and alloying plates of semiconductor, ceramic and glassy materials.
Известен способ обработки неметаллических материалов, применяемый для аморфизации кремния и заключающийся в облучении их поверхности импульсом лазерного излучения с плотностью энергии, достаточной для достижения поверхностью температуры плавления материала [1].A known method of processing non-metallic materials used for amorphization of silicon and consisting in irradiating their surface with a laser pulse with an energy density sufficient to reach the surface of the melting temperature of the material [1].
Известен также способ обработки неметаллических материалов, применяемый для отжига ионно-легированного кремния, заключающийся в облучении пластины импульсом лазерного излучения с плотностью энергии, достаточной для достижения поверхностью пластины температуры отжига [2].There is also a method of processing non-metallic materials used for annealing of ion-doped silicon, which consists in irradiating the plate with a laser pulse with an energy density sufficient to reach the annealing surface of the plate [2].
Известен также способ обработки неметаллических материалов, заключающийся в облучении их поверхности одиночным лазерным импульсом прямоугольной формы [3].There is also a method of processing non-metallic materials, which consists in irradiating their surface with a single rectangular laser pulse [3].
Обрабатываемые материалы обладают, как правило, объемным поглощением на длине волны воздействующего лазерного излучения. Недостатком указанных способов является то, что возникающие в материале термоупругие напряжения могут привести к разрушению материала вследствие откола со стороны облучаемой поверхности.The processed materials have, as a rule, volumetric absorption at the wavelength of the acting laser radiation. The disadvantage of these methods is that the thermoelastic stresses arising in the material can lead to destruction of the material due to spallation from the irradiated surface.
Известен также способ обработки неметаллических материалов [4], заключающийся в облучении их поверхности импульсом лазерного излучения, временная форма которого описывается соотношениемThere is also a method of processing non-metallic materials [4], which consists in irradiating their surface with a laser pulse, the temporary shape of which is described by the ratio
где q(t) - плотность мощности лазерного излучения, Вт/м2;where q (t) is the power density of the laser radiation, W / m 2 ;
b1 и b2 - константы, характеризующие фронт и спад лазерного импульса и определяемые из условияb 1 and b 2 are constants that characterize the front and decay of the laser pulse and are determined from the condition
qmax - максимальное значение плотности мощности лазерного излучения в импульсе, Вт/м2;q max - the maximum value of the power density of laser radiation in a pulse, W / m 2 ;
е - основание натурального логарифма;e is the base of the natural logarithm;
τ - длительность лазерного импульса, с;τ is the laser pulse duration, s;
t - текущее время от начала воздействия, с.t is the current time from the onset of exposure, s.
При этом плотность энергии в импульсе должна быть достаточной для достижения поверхностью материала температуры отжига и рассчитывается по соотношениюIn this case, the energy density in the pulse must be sufficient for the surface of the material to reach the annealing temperature and is calculated by the ratio
где Tf - температура отжига материала, К;where T f is the annealing temperature of the material, K;
Т0 - начальная температура материала, К;T 0 - the initial temperature of the material, K;
с - удельная теплоемкость материала, Дж/(кг·К);C is the specific heat of the material, J / (kg · K);
ρ - плотность материала, кг/м3;ρ is the density of the material, kg / m 3 ;
R - коэффициент отражения материала на длине волны лазерного излучения;R is the reflection coefficient of the material at a wavelength of laser radiation;
χ - показатель поглощения материала на длине волны лазерного излучения, м-1.χ is the absorption coefficient of the material at the wavelength of the laser radiation, m -1 .
В [4] показано, что при воздействии импульса лазерного излучения, описываемого соотношением (1), в неметаллических материалах возникают наименьшие, по сравнению с другими временными формами импульсов, максимальные растягивающие напряжения и существует минимальная область в плоскости параметров, характеризующих лазерный импульс и свойства материала, в которой происходит откольное разрушение материала со стороны облучаемой поверхности.It was shown in [4] that under the action of a laser pulse described by relation (1), the least tensile stresses arise in nonmetallic materials in comparison with other temporal pulse shapes and there is a minimum region in the plane of parameters characterizing the laser pulse and material properties in which spall destruction of the material occurs on the side of the irradiated surface.
Этот способ выбран в качестве прототипа. Недостатком указанного способа является то, что возникающие в материале термоупругие напряжения могут привести к разрушению материала вследствие откола со стороны облучаемой поверхности.This method is selected as a prototype. The disadvantage of this method is that the thermoelastic stresses arising in the material can lead to destruction of the material due to spallation from the irradiated surface.
Техническим результатом изобретения является уменьшение максимальных растягивающих напряжений в обрабатываемых материалах и исключение откольного разрушения материалов со стороны облучаемой поверхности, что приведет к повышению выхода годных изделий в технологическом процессе обработки.The technical result of the invention is to reduce the maximum tensile stresses in the processed materials and the exclusion of spall fracture of materials from the irradiated surface, which will lead to an increase in the yield of products in the technological processing process.
Технический результат достигается способом лазерной обработки неметаллических материалов, заключающимся в облучении их поверхности импульсом лазерного излучения, временная форма которого описывается соотношениемThe technical result is achieved by the method of laser processing of non-metallic materials, which consists in irradiating their surface with a laser pulse, the temporary shape of which is described by the ratio
где q(t) - плотность мощности лазерного излучения, Вт/м2;where q (t) is the power density of the laser radiation, W / m 2 ;
b1 и b2 - константы, характеризующие фронт и спад лазерного импульса и определяемые из условия:b 1 and b 2 - constants characterizing the front and the decline of the laser pulse and determined from the conditions:
qmax - максимальное значение плотности мощности лазерного излучения в импульсе, Вт/м2;q max - the maximum value of the power density of laser radiation in a pulse, W / m 2 ;
е - основание натурального логарифма;e is the base of the natural logarithm;
τ - длительность лазерного импульса, с;τ is the laser pulse duration, s;
t - текущее время от начала воздействия, с,t is the current time from the onset of exposure, s,
а плотность энергии в импульсе рассчитывают по соотношениюand the energy density per pulse is calculated by the ratio
где Tf - температура отжига материала, К;where T f is the annealing temperature of the material, K;
Т0 - начальная температура материала, К;T 0 - the initial temperature of the material, K;
с - удельная теплоемкость материала, Дж/(кг·К);C is the specific heat of the material, J / (kg · K);
ρ - плотность материала, кг/м;ρ is the density of the material, kg / m;
R - коэффициент отражения материала на длине волны лазерного излучения;R is the reflection coefficient of the material at a wavelength of laser radiation;
χ - показатель поглощения материала на длине волны лазерного излучения, м-1,χ is the absorption coefficient of the material at a wavelength of laser radiation, m -1 ,
материал предварительно нагревают до температуры, рассчитываемой по соотношениюthe material is preheated to a temperature calculated by the ratio
где σПР - предел прочности материала на растяжение, Па;where σ PR is the tensile strength of the material, Pa;
с0 - скорость звука в материале, м/с;with 0 - the speed of sound in the material, m / s;
К - модуль всестороннего сжатия, Па;K is the module of comprehensive compression, Pa;
α - коэффициент линейного расширения материала, К-1.α is the coefficient of linear expansion of the material, K -1 .
Сущность способа лазерной обработки неметаллических материалов состоит в следующем.The essence of the method of laser processing of non-metallic materials is as follows.
Пластину из неметаллического материала предварительно нагревают, например, в муфельной печи до температуры Т0, определяемой по уравнению (3). Затем воздействуют на пластину одиночным импульсом лазерного излучения с плотностью энергии, рассчитываемой по уравнению (2). При этом лазер должен работать в режиме моделированной добротности и формировать импульс, временная форма которого описывается уравнением (1). При легировании материалов в формуле (2) для определения требуемой плотности энергии лазерного импульса вместо значения температуры отжига необходимо подставлять значение температуры плавления материала.A plate of non-metallic material is preheated, for example, in a muffle furnace to a temperature T 0 determined by equation (3). Then they act on the plate with a single pulse of laser radiation with an energy density calculated by equation (2). In this case, the laser should operate in a modeled Q-factor mode and form a pulse, the temporal shape of which is described by equation (1). When alloying materials in formula (2), to determine the required energy density of the laser pulse, instead of the annealing temperature, it is necessary to substitute the melting temperature of the material.
В [3] показано, что максимальные растягивающие напряжения, возникающие в материале, описываются уравнениемIt was shown in [3] that the maximum tensile stresses arising in a material are described by the equation
где х - координата, отсчитываемая от поверхности материала вглубь, м.where x is the coordinate measured from the surface of the material deep into, m.
В [4, 5] показано, что максимальные растягивающие напряжения, возникающие при воздействии лазерного импульса, описываемого соотношением (1), имеют минимальное значения по сравнению с напряжениями, возникающими при воздействии лазерных импульсов других временных форм, и рассчитываются по уравнениюIt was shown in [4, 5] that the maximum tensile stresses arising under the action of a laser pulse described by relation (1) have minimum values in comparison with the stresses arising under the action of laser pulses of other temporal forms and are calculated by the equation
Если максимальные растягивающие напряжения превысят предел прочности материала на растяжение, произойдет откольное разрушение материала со стороны облучаемой поверхности. Анализ уравнения (5) показывает, что минимальная плотность энергии, приводящая к отколу материала, имеет место тогда, когда e-2χx стремится к 0. Из (5) найдем минимальную плотность энергии в лазерном импульсе, приводящую к разрушению материала термоупругими напряжениямиIf the maximum tensile stresses exceed the tensile strength of the material, spall fracture of the material from the side of the irradiated surface will occur. An analysis of equation (5) shows that the minimum energy density leading to spallation of the material occurs when e -2χx tends to 0. From (5) we find the minimum energy density in the laser pulse, which leads to the destruction of the material by thermoelastic stresses
Разделив (6) на (2) и поставив условие WT/Wf≥1, после несложных математических преобразований получимDividing (6) by (2) and setting the condition W T / W f ≥1, after simple mathematical transformations we get
Проведем анализ неравенства (7). Левая часть неравенства является константой, характеризующей свойства материала. Правая часть неравенства - функция безразмерного параметра χс0τ. Если неравенство выполняется, то температура отжига (плавления) материала достигается при меньшей плотности энергии, чем разрушения материала термоупругими напряжениями. В противном случае разрушение материала термоупругими напряжениями произойдет при меньшей плотности энергии, чем требуется для достижения поверхностью материала температуры отжига (плавления). Если левая часть неравенства больше 1, то области откольного разрушения материала не существует при любых значениях параметра χс0τ. Это условие выполняется для кварцевых стекол и оптической керамики КО-6.Let us analyze inequality (7). The left side of the inequality is a constant characterizing the properties of the material. The right side of the inequality is the function of the dimensionless parameter χс 0 τ. If the inequality holds, then the temperature of annealing (melting) of the material is achieved at a lower energy density than the destruction of the material by thermoelastic stresses. Otherwise, the destruction of the material by thermoelastic stresses will occur at a lower energy density than is required to reach the annealing (melting) temperature of the material surface. If the left side of the inequality is greater than 1, then the region of spall fracture of the material does not exist for any values of the parameter χс 0 τ. This condition is fulfilled for quartz glasses and optical ceramics KO-6.
На фиг. 1 представлено графическое решение неравенства (7) для некоторых материалов. Видно, что для оптического стекла К8 и Ge левая часть неравенства равна 0,23 при Т0=300 К и откольное разрушение возможно при значении параметра χс0τ<1,4. Для GaAs левая часть неравенства равна 0,3 при Т0=300 К и откольное разрушение возможно при значении параметра χс0τ<1,2. Для типичных неметаллических материалов с0~5·103 м/с, χ~20 см-1 и при τ~5-10-8 с (характерная длительность импульса излучения лазера, работающего в режиме модулированной добротности) безразмерный параметр χс0τ будет составлять ~1.In FIG. Figure 1 shows a graphical solution of inequality (7) for some materials. It can be seen that for the K8 and Ge optical glass, the left-hand side of the inequality is 0.23 at T 0 = 300 K, and spallation is possible when the parameter χс 0 τ <1.4. For GaAs, the left-hand side of the inequality is 0.3 at T 0 = 300 K, and spall fracture is possible when the parameter χс 0 τ <1.2. For typical nonmetallic materials with 0 ~ 5 · 10 3 m / s, χ ~ 20 cm -1 and at τ ~ 5-10 -8 s (the characteristic pulse width of a laser operating in the modulated Q factor), the dimensionless parameter χс 0 τ will be be ~ 1.
Анализ неравенства (7) показывает, что уменьшение разности (Tf-Т0) приводит к увеличению левой части неравенства. Из уравнения (7) найдем значение температуры Т0, до которой необходимо нагреть материал, чтобы неравенство (7) выполнялосьAn analysis of inequality (7) shows that a decrease in the difference (T f -T 0 ) leads to an increase in the left side of the inequality. From equation (7) we find the temperature T 0 to which it is necessary to heat the material so that inequality (7) is satisfied
Например, для оптического стекла К8 при χс0τ=1 для выполнения условия (7) необходимо предварительно нагреть материал до температуры Т0≥545 К. Исходные данные для расчетов по оптическому стеклу К8 взяты из [3, 6].For example, for K8 optical glass at χс 0 τ = 1 in order to fulfill condition (7), it is necessary to preheat the material to a temperature T 0 ≥545 K. The initial data for calculations on K8 optical glass are taken from [3, 6].
Естественно, после нагрева материала до температуры Т0 плотность энергии лазерного излучения, необходимая для достижения поверхностью температуры отжига будет меньше и рассчитывается по уравнению (2).Naturally, after heating the material to a temperature T 0, the laser energy density required to reach the annealing temperature by the surface will be less and calculated by equation (2).
Таким образом, вышеописанные отличия заявляемого способа лазерной обработки неметаллических материалов от прототипа позволяют снизить растягивающие напряжения в материале и исключить откольное разрушение со стороны облучаемой поверхности.Thus, the above differences of the proposed method of laser processing of non-metallic materials from the prototype can reduce tensile stresses in the material and eliminate spall fracture from the irradiated surface.
ЛитератураLiterature
1. Боязитов P.M. и др. Аморфизация и кристаллизация кремния субнаносекундными лазерными импульсами. Тезисы докладов VIII Всесоюзной конференции по взаимодействию оптического излучения с веществом. Ленинград, 11-18 марта 1988 г., с.24.1. Boyazitov P.M. Amorphization and crystallization of silicon by subnanosecond laser pulses. Abstracts of the VIII All-Union Conference on the interaction of optical radiation with matter. Leningrad, March 11-18, 1988, p.24.
2. Кузменченко Т.А. и др. Лазерный отжиг ионно-легированного кремния излучением с длиной волны 2,94 мкм. Тезисы докладов VIII Всесоюзной конференции по взаимодействию оптического излучения с веществом. Ленинград, 11-18 марта 1988 г., с. 29.2. Kuzmenchenko T.A. et al. Laser annealing of ion-doped silicon by radiation with a wavelength of 2.94 microns. Abstracts of the VIII All-Union Conference on the interaction of optical radiation with matter. Leningrad, March 11-18, 1988, p. 29.
3. Бакеев А.А., Соболев А.П., Яковлев В.И. Исследования термоупругих напряжений, возникающих в поглощающем слое вещества под действием лазерного импульса. ПМТФ. - 1982. - №6. - с. 92-98.3. Bakeev A.A., Sobolev A.P., Yakovlev V.I. Studies of thermoelastic stresses arising in the absorbing layer of a substance under the action of a laser pulse. PMTF. - 1982. - No. 6. - from. 92-98.
4. Атаманюк В.М., Коваленко А.Ф., Левун И.В., Федичев А.В. Способ обработки неметаллических материалов. Патент RU 2211753 С2, опубл. 10.09.2003, бюл. №25.4. Atamanyuk V.M., Kovalenko A.F., Levun I.V., Fedichev A.V. A method of processing non-metallic materials. Patent RU 2211753 C2, publ. 09/10/2003, bull. Number 25.
5. Коваленко А.Ф. Экспериментальная установка для исследования влияния параметров лазерного импульса на разрушение неметаллических материалов. Приборы и техника эксперимента. - 2004. №4. - С. 119-124.5. Kovalenko A.F. An experimental setup for studying the effect of laser pulse parameters on the destruction of non-metallic materials. Instruments and experimental technique. - 2004. No. 4. - S. 119-124.
6. ГОСТ 13659-88. Стекло оптическое бесцветное. Физико-химические характеристики. - М.: Изд-во стандартов, 1988, 48 с.6. GOST 13659-88. The optical glass is colorless. Physico-chemical characteristics. - M .: Publishing house of standards, 1988, 48 p.
Claims (1)
где q(t) - плотность мощности лазерного излучения, Вт/м2;
b1 и b2 - константы, характеризующие фронт и спад лазерного импульса и определяемые из условия
qmах - максимальное значение плотности мощности лазерного излучения в импульсе, Вт/м2;
е - основание натурального логарифма;
τ - длительность лазерного импульса, с;
t - текущее время от начала воздействия, с,
а плотность энергии в импульсе рассчитывают по соотношению
где Tf - температура отжига материала, К;
Т0 - начальная температура материала, К;
с - удельная теплоемкость материала, Дж/(кг·К);
ρ - плотность материала, кг/м3;
R - коэффициент отражения материала на длине волны лазерного излучения;
χ - показатель поглощения материала на длине волны лазерного излучения,
м-1,
отличающийся тем, что материал предварительно нагревают до температуры, рассчитываемой по соотношению
где σПP - предел прочности материала на растяжение, Па;
с0 - скорость звука в материале, м/с;
К - модуль всестороннего сжатия, Па;
α - коэффициент линейного расширения материала, К-1. The method of laser processing of non-metallic materials, which consists in irradiating their surface with a laser pulse, the temporary form of which is described by the ratio
where q (t) is the power density of the laser radiation, W / m 2 ;
b 1 and b 2 are constants that characterize the front and decay of the laser pulse and are determined from the condition
q max - the maximum value of the power density of laser radiation in a pulse, W / m 2 ;
e is the base of the natural logarithm;
τ is the laser pulse duration, s;
t is the current time from the onset of exposure, s,
and the energy density per pulse is calculated by the ratio
where T f is the annealing temperature of the material, K;
T 0 - the initial temperature of the material, K;
C is the specific heat of the material, J / (kg · K);
ρ is the density of the material, kg / m 3 ;
R is the reflection coefficient of the material at a wavelength of laser radiation;
χ is the absorption coefficient of the material at a wavelength of laser radiation,
m -1
characterized in that the material is preheated to a temperature calculated by the ratio
where σ PP is the tensile strength of the material, Pa;
with 0 - the speed of sound in the material, m / s;
K is the module of comprehensive compression, Pa;
α is the coefficient of linear expansion of the material, K -1 .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015106122/28A RU2583870C1 (en) | 2015-02-25 | 2015-02-25 | Laser processing of nonmetallic plates |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015106122/28A RU2583870C1 (en) | 2015-02-25 | 2015-02-25 | Laser processing of nonmetallic plates |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2583870C1 true RU2583870C1 (en) | 2016-05-10 |
Family
ID=55960228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015106122/28A RU2583870C1 (en) | 2015-02-25 | 2015-02-25 | Laser processing of nonmetallic plates |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2583870C1 (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2624998C1 (en) * | 2016-06-24 | 2017-07-11 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Method of laser processing non-metallic plates |
| RU2646177C1 (en) * | 2017-02-03 | 2018-03-01 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Method of laser processing of nonmetallic materials |
| RU2649054C1 (en) * | 2017-02-03 | 2018-03-29 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Method of laser processing of nonmetallic plates |
| RU2649238C1 (en) * | 2017-02-03 | 2018-03-30 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Method of laser processing of nonmetallic plates |
| RU2685427C1 (en) * | 2018-06-20 | 2019-04-18 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Автоматики Им.Н.Л.Духова" (Фгуп "Внииа") | Method of laser processing of non-metallic plates |
| RU2691923C1 (en) * | 2018-10-25 | 2019-06-18 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Автоматики Им.Н.Л.Духова" (Фгуп "Внииа") | Method of laser processing of non-metallic plates |
| RU2695440C1 (en) * | 2018-12-06 | 2019-07-23 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Автоматики Им.Н.Л.Духова" (Фгуп "Внииа") | Method of laser processing of non-metallic materials |
| RU2773255C2 (en) * | 2020-11-05 | 2022-06-01 | Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им.Н.Л.Духова» (ФГУП «ВНИИА») | Method for laser processing of non-metallic materials |
-
2015
- 2015-02-25 RU RU2015106122/28A patent/RU2583870C1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ГОСТ 13659-88. * |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2624998C1 (en) * | 2016-06-24 | 2017-07-11 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Method of laser processing non-metallic plates |
| RU2646177C1 (en) * | 2017-02-03 | 2018-03-01 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Method of laser processing of nonmetallic materials |
| RU2649054C1 (en) * | 2017-02-03 | 2018-03-29 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Method of laser processing of nonmetallic plates |
| RU2649238C1 (en) * | 2017-02-03 | 2018-03-30 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Method of laser processing of nonmetallic plates |
| RU2685427C1 (en) * | 2018-06-20 | 2019-04-18 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Автоматики Им.Н.Л.Духова" (Фгуп "Внииа") | Method of laser processing of non-metallic plates |
| EA036002B1 (en) * | 2018-06-20 | 2020-09-11 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" | Laser treatment method for non-metal wafers |
| RU2691923C1 (en) * | 2018-10-25 | 2019-06-18 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Автоматики Им.Н.Л.Духова" (Фгуп "Внииа") | Method of laser processing of non-metallic plates |
| RU2695440C1 (en) * | 2018-12-06 | 2019-07-23 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Автоматики Им.Н.Л.Духова" (Фгуп "Внииа") | Method of laser processing of non-metallic materials |
| RU2773255C2 (en) * | 2020-11-05 | 2022-06-01 | Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им.Н.Л.Духова» (ФГУП «ВНИИА») | Method for laser processing of non-metallic materials |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2583870C1 (en) | Laser processing of nonmetallic plates | |
| RU2566138C2 (en) | Laser processing of non-metallic materials | |
| Hu et al. | Large aperture N31 neodymium phosphate laser glass for use in a high power laser facility | |
| RU2602402C1 (en) | Method of laser processing of nonmetallic plates | |
| Atkarskaya et al. | Laser ablation of the glass nanocomposites studies | |
| RU2573181C1 (en) | Laser processing of non-metallic plates | |
| Dergachev et al. | Filamentation of IR and UV femtosecond pulses upon focusing in air | |
| Shen et al. | Thermal annealing of laser damage precursors on fused silica surfaces | |
| CN113603359B (en) | Photosensitive glass and glass ceramic and composite glass material made therefrom | |
| RU2630197C1 (en) | Method for laser annealing of non-metallic plates | |
| RU2486628C1 (en) | Method of processing nonmetallic materials | |
| Glenzer et al. | Anomalous absorption of high-energy green laser light in high-Z plasmas | |
| RU2646177C1 (en) | Method of laser processing of nonmetallic materials | |
| RU2692004C1 (en) | Method for laser annealing of nonmetallic materials | |
| RU2649054C1 (en) | Method of laser processing of nonmetallic plates | |
| Gurarie et al. | Crack-arresting compression layers produced by ion implantation | |
| Kovalenko et al. | Method of determining nondestructive pulsed laser annealing modes for dielectric and semiconductor wafers | |
| RU2757537C1 (en) | Method for laser annealing of non-metallic plates | |
| RU2760764C1 (en) | Method for laser processing of non-metallic plates | |
| RU2695440C1 (en) | Method of laser processing of non-metallic materials | |
| RU2624989C1 (en) | Method of laser processing of non-metallic plates | |
| RU2582849C1 (en) | Method for laser punching through-hole in non-metal plate | |
| RU2773255C2 (en) | Method for laser processing of non-metallic materials | |
| RU2691923C1 (en) | Method of laser processing of non-metallic plates | |
| RU2649238C1 (en) | Method of laser processing of nonmetallic plates |