RU2566232C1 - Method of combined ion-plasma treatment of products out of aluminium alloys - Google Patents
Method of combined ion-plasma treatment of products out of aluminium alloys Download PDFInfo
- Publication number
- RU2566232C1 RU2566232C1 RU2014137062/02A RU2014137062A RU2566232C1 RU 2566232 C1 RU2566232 C1 RU 2566232C1 RU 2014137062/02 A RU2014137062/02 A RU 2014137062/02A RU 2014137062 A RU2014137062 A RU 2014137062A RU 2566232 C1 RU2566232 C1 RU 2566232C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- product
- plasma
- coating
- discharge
- bias voltage
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области машиностроения, в частности к технологии упрочнения и повышения коррозионной стойкости лопаток компрессора газотурбинных двигателей нового поколения, а также может быть использовано в области создания накопителей и преобразователей энергии на основе суперконденсаторов с алюминиевыми электродами.The invention relates to the field of engineering, in particular to technology for hardening and improving the corrosion resistance of compressor blades of gas turbine engines of a new generation, and can also be used in the field of energy storage and energy converters based on supercapacitors with aluminum electrodes.
Известен способ защиты поверхности металлов от коррозии [1], включающий предварительную подготовку поверхности изделия, размещение в зоне обработки изделия и токопроводящего материала, создание вакуума в зоне обработки, подачу отрицательного потенциала на изделие и отдельно на токопроводящий материал, возбуждение на токопроводящем материале вакуумной дуги, горящей в парах этого материала с образованием плазмы, бомбардировку, очистку и нагрев поверхности изделия ионами токопроводящего материала, накопление и диффузию токопроводящего материала на поверхности изделия при температуре 400-700°C сначала при отрицательном потенциале на изделии в диапазоне 0-200 В и толщиной 1-10 мкм, а затем при отрицательном потенциале на изделии в диапазоне 300-1000 В и температуре поверхности изделия ниже температуры разупрочнения материала изделия. Недостатками данного способа являются наличие капельной фазы в получаемых покрытиях, что может оказывать негативное влияние на защитные и прочностные свойства покрытий, а также наличие высокой температуры 400-700°C для обеспечения накопления и диффузии токопроводящего материала, что неприемлемо для алюминия и его сплавов.A known method of protecting the surface of metals from corrosion [1], including preliminary preparation of the surface of the product, placing in the processing zone of the product and conductive material, creating a vacuum in the processing zone, applying a negative potential to the product and separately to the conductive material, excitation of a vacuum arc on the conductive material, burning in the vapor of this material with the formation of plasma, bombardment, cleaning and heating of the surface of the product with ions of conductive material, accumulation and diffusion of conductive material on the surface of the product at a temperature of 400-700 ° C, first with a negative potential on the product in the range of 0-200 V and a thickness of 1-10 μm, and then with a negative potential on the product in the range of 300-1000 V and the surface temperature of the product below the softening temperature product material. The disadvantages of this method are the presence of a droplet phase in the resulting coatings, which can adversely affect the protective and strength properties of the coatings, as well as the presence of a high temperature of 400-700 ° C to ensure the accumulation and diffusion of conductive material, which is unacceptable for aluminum and its alloys.
Известен также способ защиты поверхности алюминия от коррозии [2], включающий предварительную подготовку поверхности образца из алюминия, размещение образца в зоне обработки, создание вакуума в зоне обработки, очистку поверхности образца пучком ионов, осаждение металлического покрытия на поверхности образца с одновременной подачей на образец отрицательного напряжения смещения, очистку поверхности образца осуществляют пучком ионов инертного газа с энергией в диапазоне 1-5 кэВ, а осаждение металлического покрытия на поверхность образца производят в два этапа, заключающихся в последовательном нанесении промежуточного и основного защитных слоев из меди, причем осаждение промежуточного слоя с толщинами от 0,5 мкм до 3 мкм производят в магнетронном разряде постоянного тока с твердым катодом из меди, горящем в среде инертного газа, при мощности разряда в диапазоне 1-2,5 кВт, затем путем увеличения мощности разряда до 3-6 кВт расплавляют катод из меди и повышают его температуру до величины, при которой давление паров меди достаточно для поддержания магнетронного разряда, затем после прекращения подачи инертного газа наносят основной слой толщиной 2-10 мкм в разряде, горящем в парах меди, причем в обоих случаях величину отрицательного напряжения смещения на образце изменяют в диапазоне 0-300 В, при этом температура образца изменяется в диапазоне 100-300°C. Недостатком данного способа является тот факт, что эффективная защита от коррозии алюминия медным покрытием не приводит к упрочнению поверхности.There is also known a method of protecting the surface of aluminum from corrosion [2], including preliminary preparation of the surface of the sample from aluminum, placing the sample in the treatment zone, creating a vacuum in the treatment zone, cleaning the surface of the sample with an ion beam, depositing a metal coating on the surface of the sample with a negative feed to the sample bias voltage, cleaning the surface of the sample is carried out by a beam of inert gas ions with an energy in the range of 1-5 keV, and the deposition of a metal coating on the surface of the sample produced in two stages, consisting in the sequential deposition of the intermediate and main protective layers of copper, and the deposition of the intermediate layer with a thickness of 0.5 μm to 3 μm is produced in a direct current magnetron discharge with a solid copper cathode burning in an inert gas medium, discharge power in the range of 1-2.5 kW, then by increasing the discharge power to 3-6 kW, the copper cathode is melted and its temperature is increased to a value at which the vapor pressure of copper is sufficient to maintain the magnetron discharge, then To stop the supply of inert gas, a base layer of 2–10 μm thick is applied in the discharge burning in copper vapor, and in both cases, the negative bias voltage on the sample is changed in the
Наиболее близким по технической сущности и принятым в качестве прототипа является способ комбинированной ионно-плазменной обработки изделий из сталей и твердых сплавов [3], обеспечивающий химическое сродство диффузионно-насыщенного поверхностного слоя изделия с наносимым покрытием, повышение твердости этого поверхностного слоя, улучшение свойств самого покрытия и, в конечном счете, повышение износостойкости всей композиции изделие - покрытие.The closest in technical essence and adopted as a prototype is a method of combined ion-plasma treatment of products from steels and hard alloys [3], providing chemical affinity of the diffusion-saturated surface layer of the product with the coating, increasing the hardness of this surface layer, improving the properties of the coating itself and, ultimately, increasing the wear resistance of the entire product-coating composition.
Способ включает обработку изделия в газоразрядной плазме, содержащей ионы аргона, проведение диффузионного насыщения изделия и нанесение на него покрытия. Диффузионное насыщение проводят в газоразрядной плазме, в которую дополнительно вводят магнетронным распылением мишени-катода ионы компонентов твердого тела, входящих в состав наносимого покрытия, а само покрытие наносят магнетронным распылением мишени-катода с одновременным ассистирующим воздействием газоразрядной плазмы, при этом переход от диффузионного насыщения к нанесению покрытия осуществляют понижением отрицательного потенциала смещения на обрабатываемом изделии. Газоразрядная плазма, в которой проводят диффузионное насыщение и нанесение покрытия, содержит ионы аргона и азота и формируется газовым плазмогенератором с накаленным катодом. Недостатками данного способа являются сложность технологического цикла, заключающегося в непрерывном контроле и управлении многими параметрами, такими как ток накала катода, электрическое смещение на образце, давление и состав газовой среды, а также большая длительность процесса (свыше 5 часов) и наличие высокой температуры 400-500°C для обеспечения диффузионного насыщения образца, что неприемлемо для алюминиевых сплавов.The method includes processing the product in a gas discharge plasma containing argon ions, conducting diffusion saturation of the product and coating it. Diffusion saturation is carried out in a gas-discharge plasma, in which ions of the components of the solid body that make up the coating are additionally introduced by magnetron sputtering of the cathode target, and the coating itself is applied by magnetron sputtering of the cathode target with the simultaneous assisting effect of the gas-discharge plasma, with the transition from diffusion to the coating is carried out by lowering the negative bias potential on the workpiece. A gas-discharge plasma, in which diffusion saturation and coating is carried out, contains argon and nitrogen ions and is formed by a gas plasma generator with a heated cathode. The disadvantages of this method are the complexity of the technological cycle, which consists in the continuous monitoring and control of many parameters, such as the cathode glow current, the electric displacement on the sample, the pressure and composition of the gaseous medium, as well as the long duration of the process (over 5 hours) and the presence of a high temperature of 400- 500 ° C to ensure diffusion saturation of the sample, which is unacceptable for aluminum alloys.
Технической задачей, на решение которой направлено настоящее изобретение, является создание более простого экологически чистого способа комбинированной ионно-плазменной обработки изделий из алюминиевых сплавов, позволяющего сократить время их обработки при более низкой температуре и обеспечивающего повышение их твердости и коррозионной стойкости для использования в областях разработки лопаток турбин компрессоров и токосъемных пластин суперконденсаторов.The technical problem to which the present invention is directed is to create a simpler environmentally friendly method for combined ion-plasma treatment of products from aluminum alloys, which allows to reduce the processing time at a lower temperature and to increase their hardness and corrosion resistance for use in the areas of blade development compressor turbines and collector plates of supercapacitors.
Технический результат достигается тем, что в известном способе комбинированной ионно-плазменной обработки изделий, включающем предварительную очистку поверхности изделия с последующем размещением образца в вакуумной камере, подачу отрицательного напряжения смещения на образец, подачу в вакуумную камеру аргона, обработку изделия осуществляют в газоразрядной плазме индукционного высокочастотного разряда в аргоне при отрицательном напряжении смещения на изделии в диапазоне 400-600 В с последующим нанесением на него металлического покрытия в вакууме магнетронным распылением мишени-катода, нагретой до температуры, при которой давление паров металла достаточно для поддержания магнетронного разряда, с одновременным ассистированием плазмой высокочастотного разряда, горящим в парах металла при отрицательном напряжении смещения на изделии в диапазоне 250-400 В и температуре ниже температуры разупрочнения материала изделия из алюминиевого сплава.The technical result is achieved by the fact that in the known method of combined ion-plasma treatment of products, including pre-cleaning the surface of the product with subsequent placement of the sample in a vacuum chamber, applying a negative bias voltage to the sample, applying argon to the vacuum chamber, processing the product is carried out in a high-frequency induction gas discharge plasma discharge in argon at a negative bias voltage on the product in the range of 400-600 V, followed by the application of metal coating on it vacuum in a vacuum by magnetron sputtering of a cathode target heated to a temperature at which the vapor pressure of the metal is sufficient to maintain a magnetron discharge, while plasma assisted by a high-frequency discharge burning in metal vapor at a negative bias voltage on the product in the range of 250-400 V and a temperature below the softening temperature of the material of the aluminum alloy product.
В качестве предварительной обработки изделий и ассистирования основного процесса нанесения покрытий был использован индукционный высокочастотный разряд. Особенностью такого разряда, возбуждаемого плоской магнитной антенной, является возможность получения однородной плазмы с высокой степенью ионизации во всем объеме вакуумной камеры без использования вспомогательных устройств, таких как система поджига или накаленный катод. В такой плазме отсутствуют примеси конструкционных материалов, что чрезвычайно важно в технологии нанесения покрытий.High-frequency induction discharge was used as pre-treatment of products and assisting in the main coating process. A feature of such a discharge, excited by a flat magnetic antenna, is the possibility of obtaining a uniform plasma with a high degree of ionization in the entire volume of the vacuum chamber without the use of auxiliary devices, such as an ignition system or a heated cathode. In such a plasma, there are no impurities of structural materials, which is extremely important in the coating technology.
В процессе обработки изделия в плазме высокочастотного разряда на него подавалось отрицательное напряжение смещения в диапазоне 400-600 В. При напряжении меньше 400 В снижается эффективность очистки поверхности от окислов. При напряжении смещения больше 600 В происходит изменение микрорельефа и шероховатости поверхности изделия за счет ее распыления.During processing of the product in a high-frequency discharge plasma, a negative bias voltage was applied to it in the range of 400-600 V. At a voltage of less than 400 V, the efficiency of cleaning the surface from oxides decreases. At a bias voltage of more than 600 V, the microrelief and surface roughness of the product change due to its spraying.
В процессе нанесения металлического покрытия на образец подавалось отрицательное напряжение смещения в диапазоне 250-400 В. При напряжении меньше 250 В не происходит эффективного перемешивания материалов основы и покрытия с образованием переходного слоя на границе. При напряжении смещении смещения больше 400 В происходит распыление растущей пленки металлического покрытия.During the deposition of a metal coating, a negative bias voltage in the range of 250–400 V was applied to the sample. At a voltage of less than 250 V, effective mixing of the base and coating materials does not occur with the formation of a transition layer at the boundary. At a bias bias voltage greater than 400 V, the growing film of the metal coating is sprayed.
Нанесение покрытия в магнетронном разряде с горячим катодом, горящем в парах металла при отсутствии аргона с одновременным ассистированием плазмой высокочастотного разряда, приводит к эффективному образованию переходного слоя подложка-покрытие, повышающего адгезию основного покрытия, обеспечивает в нем отсутствие дефектов за счет захвата газа и создание структуры металлического покрытия высокой плотности. Толщина покрытия составляла величину 5-10 мкм, а толщина переходного слоя - около 2 мкм. При толщине покрытия меньше 5 мкм снижалась эффективность коррозионной защиты. При толщинах более 10 мкм покрытие обладает неудовлетворительной адгезией.Coating in a magnetron discharge with a hot cathode burning in metal vapor in the absence of argon while simultaneously assisting the plasma with a high-frequency discharge, effectively forms a substrate-coating transition layer, which increases the adhesion of the main coating, ensures that it does not have defects due to gas capture and structure formation high density metal coating. The coating thickness was 5-10 μm, and the thickness of the transition layer was about 2 μm. When the coating thickness is less than 5 μm, the effectiveness of corrosion protection decreased. With a thickness of more than 10 μm, the coating has poor adhesion.
Температура образца в процессе обработки не превышала 200°С и достигалась подбором мощностных режимов работы высокочастотного генератора и магнетрона, а также выбором расстояния между каруселью с расположенными на ней образцами и плазменными устройствами.The temperature of the sample during processing did not exceed 200 ° C and was achieved by selecting the power modes of operation of the high-frequency generator and magnetron, as well as by choosing the distance between the carousel with the samples located on it and plasma devices.
Сущность изобретения поясняется примером.The invention is illustrated by example.
Были использованы образцы из алюминиевого сплава Д16 в виде дисков диаметром 30 мм и толщиной 4 мм. Одна сторона каждого образца полировалась на шлифовально-полировальном станке Полилаб П12 до достижения шероховатости Ra 0,2. Затем осуществлялась очистка образцов в ультразвуковой ванне S5 Elmasonic в смеси бензина и изопропилового спирта, а также промывка в этиловом спирте.Samples from D16 aluminum alloy in the form of disks with a diameter of 30 mm and a thickness of 4 mm were used. One side of each sample was polished on a Polilab P12 grinding and polishing machine until a roughness of Ra 0.2 was achieved. Then the samples were cleaned in an S5 Elmasonic ultrasonic bath in a mixture of gasoline and isopropyl alcohol, as well as washing in ethanol.
В качестве материала для защитного покрытия был выбран хром в силу его высокой твердости и коррозионной стойкости.Chromium was chosen as a material for the protective coating because of its high hardness and corrosion resistance.
На Фиг. 1 показана схема установки, на которой проводилось нанесение покрытия. Образцы размещались в вакуумной камере 1 на карусельном механизме 2. Камера откачивалась криогенным насосом до остаточного давления 1,0×10-3 Па. Генерация индукционного высокочастотного разряда производилась с помощью плоской магнитной антенны РПГ-100 (Фиг.1, позиция 3) после напуска в камеру аргона до давления 1,0×10-1 Па. Отрицательное напряжение смещения на вращающемся карусельном механизме составляло 500 В. Мощность высокочастотного разряда составляла 800 Вт. Одновременно с запуском РПГ-100 включался магнетрон 4 с дисковым катодом-мишенью из хрома при закрытой заслонке 5. Мощность магнетронного разряда составляла 2,0 кВт. Производилась обработка образцов в высокочастотной плазме с целью очистки поверхности и удаления окислов в течение 10 минут. За это время происходил нагрев катода магнетрона в газовом разряде до температуры 1500°C, при которой давление паров металла было достаточно для поддержания магнетронного разряда при отключении подачи аргона. Нанесение покрытия из хрома осуществлялось за счет испарения и катодного распыления мишени при открытой заслонке 5. Индукционный высокочастотный разряд при этом горел в парах хрома. Длительность процесса нанесения покрытия составляла 15 минут, при этом толщина покрытия составила 7 мкм.In FIG. 1 shows a diagram of the installation on which the coating was applied. Samples were placed in a
Весь технологический цикл, включая откачку объема, занял 2 часа. Температура образцов в процессе обработки составила 180°C.The entire technological cycle, including pumping volume, took 2 hours. The temperature of the samples during processing was 180 ° C.
На Фиг. 2 показано поперечное сечение покрытия. Фотография сделана на растровом электронном микроскопе VEGA 3 ТЕ SCAN во вторичных электронах. На границе с подложкой виден плотный переходный слой и основное покрытие.In FIG. 2 shows a cross section of a coating. The photo was taken on a VEGA 3 TE SCAN scanning electron microscope in secondary electrons. A dense transition layer and a main coating are visible at the interface with the substrate.
На Фиг. 3 показано распределение элементов по толщине покрытия и на границе алюминий-хром. Видно, что толщина переходного слоя достигает величины 2 мкм.In FIG. Figure 3 shows the distribution of elements over the thickness of the coating and at the aluminum-chromium interface. It is seen that the thickness of the transition layer reaches 2 μm.
Тесты на коррозионную стойкость полученных покрытий проводились в агрессивной среде - 30 вес.% водном растворе NaOH (рН=15). На исследуемые образцы наносилось несколько капель раствора щелочи, и при помощи оптического стереомикроскопа Микромед МС-3 Zoom визуально отслеживалось наличие изменений на поверхности образца с покрытием. На сплаве без покрытия в месте его контакта с раствором щелочи практически сразу (менее чем через 1 секунду) наблюдалось интенсивное образование большого количества пузырьков с газом. После 10 минут испытаний на поверхности были видны следы сильной эрозии. На образце из Д16 с нанесенным на него хромовым покрытием образование пузырьков не наблюдалось даже после 24 часов испытаний. Исследование поверхности образца на растровом электронном микроскопе после его испытаний в растворе щелочи в течение 24 часов не выявило следов разрушения покрытия или алюминиевой основы.Tests for the corrosion resistance of the obtained coatings were carried out in an aggressive environment - 30 wt.% Aqueous NaOH solution (pH = 15). A few drops of an alkali solution were applied to the samples under study, and the presence of changes on the surface of the coated sample was visually monitored using a Micromed MS-3 Zoom optical microscope. On an uncoated alloy in the place of its contact with the alkali solution, intense formation of a large number of bubbles with gas was observed almost immediately (in less than 1 second). After 10 minutes of testing, traces of severe erosion were visible on the surface. On a sample of D16 with a chromium coating on it, bubble formation was not observed even after 24 hours of testing. Examination of the surface of the sample using a scanning electron microscope after testing it in an alkali solution for 24 hours did not reveal any signs of destruction of the coating or aluminum base.
Были проведены испытания покрытий на солевую коррозию по стандартной методике ускоренных циклических испытаний. После трех циклов очагов коррозии на покрытие обнаружено не было.Salt corrosion coatings were tested using the standard accelerated cyclic test methodology. After three cycles of foci of corrosion on the coating was not found.
Механические свойства покрытий были исследованы с помощью цифрового наноиндентометра DNT-1/5. На Фиг. 4 показано распределение микротвердости по толщине покрытия. Зависимости получены методом Оливера-Фарра. Видно, что твердость поверхности превышает 8 ГПа, а твердость переходного слоя составляет примерно 1 ГПа.The mechanical properties of the coatings were investigated using a DNT-1/5 digital nanoindentometer. In FIG. 4 shows the distribution of microhardness over the thickness of the coating. Dependencies obtained by the Oliver-Farr method. It is seen that the surface hardness exceeds 8 GPa, and the hardness of the transition layer is approximately 1 GPa.
Реализация вышеописанного способа позволит создать экологически чистую технологию создания упрочняющих коррозионно-стойких защитных покрытий изделий из алюминиевых сплавов с плавным переходом состава от основы изделия к наносимому покрытию. Созданные покрытия могут быть использованы в машиностроении и авиационной промышленности для упрочнения и повышения коррозионной стойкости лопаток компрессоров, а также в области энергетики для создания накопителей и преобразователей энергии на основе суперконденсаторов с алюминиевыми электродами.Implementation of the above method will allow you to create an environmentally friendly technology for creating hardening corrosion-resistant protective coatings of products from aluminum alloys with a smooth transition of the composition from the base of the product to the applied coating. The created coatings can be used in mechanical engineering and the aviation industry to harden and increase the corrosion resistance of compressor blades, as well as in the energy field to create energy storage devices and converters based on supercapacitors with aluminum electrodes.
Источники информацииInformation sources
1) Пат. №2188251 RU Рос. Федерация, МПК51 С23С 14/00. Способ обработки поверхности металлического изделия. [Текст] / С.А. Мубояджян, Е.Н. Каблов, С.А. Будиновский, Я.А. Помелов, заявитель и патентообладатель Государственное предприятие Всероссийский научно-исследовательский институт авиационных материалов. - №2000123609/02; заявл. 14.09.2000, опубл. 27.08.2002.1) Pat. No. 2188251 RU Ros. Federation, IPC 51 C23C 14/00. The method of surface treatment of a metal product. [Text] / S.A. Muboyajyan, E.N. Kablov, S.A. Budinovsky, Y.A. Pomelov, applicant and patent holder State enterprise All-Russian Scientific Research Institute of Aviation Materials. - No.2000123609 / 02; declared September 14, 2000, publ. 08/27/2002.
2) Пат. №25228774 RU Рос. Федерация, МПК51 С23С 14/16, С23С 14/35. Способ защиты алюминия от коррозии. [Текст] / М.С. Зибров, Г.В. Ходаченко, А.В. Тумаркин, А.В. Казиев, Т.В. Степанова, А.А. Писарев, М.В. Атаманов. - №2013115138/02; заявл. 05.04.2013, опубл. 20.07.2014.2) Pat. No. 25228774 RU Ros. Federation, IPC 51 C23C 14/16, C23C 14/35. A method of protecting aluminum from corrosion. [Text] / M.S. Zibrov, G.V. Khodachenko, A.V. Tumarkin, A.V. Kaziev, T.V. Stepanova, A.A. Pisarev, M.V. Atamanov. - No. 2013115138/02; declared 04/05/2013, publ. 07/20/2014.
3) Пат. №25228774 RU Рос. Федерация, МПК51 С23С 26/00, С23С 14/16, С23С 8/36. Способ комбинированной ионно-плазменной обработки изделий из сталей и твердых сплавов. [Текст] / В.М. Савостиков, С.М. Сергеев, Ю.П. Пинжин. - №2008101310/02; заявл. 09.01.2008, опубл. 20.10.2009.3) Pat. No. 25228774 RU Ros. Federation, IPC 51 C23C 26/00, C23C 14/16,
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2014137062/02A RU2566232C1 (en) | 2014-09-15 | 2014-09-15 | Method of combined ion-plasma treatment of products out of aluminium alloys |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2014137062/02A RU2566232C1 (en) | 2014-09-15 | 2014-09-15 | Method of combined ion-plasma treatment of products out of aluminium alloys |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2566232C1 true RU2566232C1 (en) | 2015-10-20 |
Family
ID=54327666
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2014137062/02A RU2566232C1 (en) | 2014-09-15 | 2014-09-15 | Method of combined ion-plasma treatment of products out of aluminium alloys |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2566232C1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2612113C1 (en) * | 2015-11-24 | 2017-03-02 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Method for ion-plasma application of wear and corrosion resistant coating on items of aluminum alloys |
RU2640687C1 (en) * | 2016-08-15 | 2018-01-11 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Method for forming nanocrystalline surface layer on details from aluminium alloys (versions) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2058429C1 (en) * | 1993-06-17 | 1996-04-20 | Георгий Владимирович Ходаченко | Method for film spraying |
US6214183B1 (en) * | 1999-01-30 | 2001-04-10 | Advanced Ion Technology, Inc. | Combined ion-source and target-sputtering magnetron and a method for sputtering conductive and nonconductive materials |
RU2370570C1 (en) * | 2008-01-09 | 2009-10-20 | Государственное образовательное учреждение Высшего профессионального образования "Томский государственный университет" | Method of ion-plasma treatment of steel and hard alloy parts |
RU2522874C1 (en) * | 2013-04-05 | 2014-07-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (НИЯУ МИФИ) | Method to protect aluminium surface against corrosion |
-
2014
- 2014-09-15 RU RU2014137062/02A patent/RU2566232C1/en active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2058429C1 (en) * | 1993-06-17 | 1996-04-20 | Георгий Владимирович Ходаченко | Method for film spraying |
US6214183B1 (en) * | 1999-01-30 | 2001-04-10 | Advanced Ion Technology, Inc. | Combined ion-source and target-sputtering magnetron and a method for sputtering conductive and nonconductive materials |
RU2370570C1 (en) * | 2008-01-09 | 2009-10-20 | Государственное образовательное учреждение Высшего профессионального образования "Томский государственный университет" | Method of ion-plasma treatment of steel and hard alloy parts |
RU2522874C1 (en) * | 2013-04-05 | 2014-07-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (НИЯУ МИФИ) | Method to protect aluminium surface against corrosion |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2612113C1 (en) * | 2015-11-24 | 2017-03-02 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Method for ion-plasma application of wear and corrosion resistant coating on items of aluminum alloys |
RU2640687C1 (en) * | 2016-08-15 | 2018-01-11 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Method for forming nanocrystalline surface layer on details from aluminium alloys (versions) |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2161661C1 (en) | Method of applying wear-resistant coatings and improvement of durability of parts | |
CN103805996B (en) | The compounding method of the first plated film of a kind of metal material surface nitriding again | |
CN107164731B (en) | Preparation method of aluminum composite protective layer on surface of magnesium alloy | |
JP2023145435A (en) | Aluminium alloy coating formed by magnetron sputtering and having corrosion resistance and low brittleness on steel surface | |
CA2916769A1 (en) | Tib2 layers and manufacture thereof | |
RU2660502C1 (en) | Method for applying a coating to the surface of a steel product | |
CN111636082A (en) | Method for electrochemically preparing accident fault-tolerant Cr coating of nuclear fuel cladding element | |
RU2566232C1 (en) | Method of combined ion-plasma treatment of products out of aluminium alloys | |
RU2599073C1 (en) | Method of ion-plasma application of multilayer coating on articles from aluminium alloys | |
RU2554828C2 (en) | Application of protective coating on steel article surface | |
RU2522874C1 (en) | Method to protect aluminium surface against corrosion | |
CN101294284A (en) | Ablation-resistant fatigue-resistant plasma surface recombination reinforcing method | |
KR101353451B1 (en) | Coated steel sheet and method for manufacturing the same | |
RU2541261C2 (en) | Method of nanocomposite coating application onto steel article surface | |
US20230032964A1 (en) | Method of ion-plasma application of corrosion-resistant film coatings on articles made from zirconium alloys | |
RU2671026C1 (en) | Method of combined plasma surface treatment of items from titanium alloys | |
RU2415199C1 (en) | Procedure for application of coating | |
CN108441832B (en) | Centrifugal pump impeller surface treatment method and equipment | |
KR20110117528A (en) | Method for coating aluninum on steel | |
RU2515714C1 (en) | Method of nanocomposite coating application onto steel article surface | |
Blesman et al. | The combined ion-plasma method for the superficial modification of the products of constructional steel operating under the conditions of short-term extreme thermal conditions | |
KR100383270B1 (en) | Manufacturing method of Ta films by magnetron sputtering | |
RU2816323C1 (en) | Method for ion-plasma application of corrosion-resistant film coatings on products made of zirconium alloys | |
US8642140B2 (en) | Ceramic coating deposition | |
RU2538880C1 (en) | Thin-film coating of pole tips of endocardial electrodes of cardiostimulators and method of its obtaining |