RU2560755C1 - Способ балансировки металлического беззубцового резонатора волнового твердотельного гироскопа - Google Patents

Способ балансировки металлического беззубцового резонатора волнового твердотельного гироскопа Download PDF

Info

Publication number
RU2560755C1
RU2560755C1 RU2014120933/28A RU2014120933A RU2560755C1 RU 2560755 C1 RU2560755 C1 RU 2560755C1 RU 2014120933/28 A RU2014120933/28 A RU 2014120933/28A RU 2014120933 A RU2014120933 A RU 2014120933A RU 2560755 C1 RU2560755 C1 RU 2560755C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
resonator
electric charge
value
mass
metal
Prior art date
Application number
RU2014120933/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Борис Сергеевич Лунин
Михаил Алексеевич Басараб
Валерий Александрович Матвеев
Евгений Алексеевич Чуманкин
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" (МГТУ им. Н.Э. Баумана)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" (МГТУ им. Н.Э. Баумана) filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" (МГТУ им. Н.Э. Баумана)
Priority to RU2014120933/28A priority Critical patent/RU2560755C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2560755C1 publication Critical patent/RU2560755C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

Изобретение относится к балансировке металлических резонаторов твердотельных волновых гироскопов (ВТГ) и может быть использовано при производстве навигационных приборов различного назначения. Способ балансировки металлического беззубцового цилиндрического резонатора волнового твердотельного гироскопа включает в себя измерение параметров первых четырех форм массового дефекта резонатора, погружение резонатора в ванну с электролитом и пропускание через его поверхность рассчитанного электрического заряда, регулируемого временем пропускания постоянного тока, величину которого выбирают в зависимости от состава электролита и металла резонатора, при этом цилиндрический резонатор погружают в электролит наклонно, устанавливают величину центрального угла цилиндрического клина погруженной части, равную α, и совмещают угол ориентации обрабатываемой поверхности цилиндрического клина с ориентацией удаляемой формы массового дефекта. Технический результат - уменьшение времени и трудоемкости процесса балансировки беззубцовых металлических цилиндрических резонаторов по первым 4-м формам массового дефекта. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Область техники
Изобретение относится к балансировке металлических резонаторов твердотельных волновых гироскопов (ВТГ) и может быть использовано при производстве навигационных приборов различного назначения.
Уровень техники
Резонатор является основной деталью ВТГ, и его качество в основном определяет точность гироскопа. Отклонение геометрии резонатора от идеальной осесимметричной формы приводит к возникновению массового дисбаланса, являющегося источником погрешности гироскопа. Распределение массы резонатора по окружному углу М(φ) можно представить в виде ряда Фурье:
Figure 00000001
где k - номер формы массового дефекта резонатора; М0 - равномерно распределенная масса резонатора по окружному углу; Mk - величина k-й формы массового дефекта резонатора; φk - ориентация k-й формы массового дефекта резонатора относительно единого условного нуля окружного угла.
При отклонении геометрии резонатора от осесимметричной формы Mk≠0. Согласно [Egarmin N.E., Yurin V.E. Introduction to theory of vibratory gyroscopes. M.: Binom, 1993] отличие от нуля M1, М2 или М3 приводит к колебаниям центра масс резонатора при работе гироскопа, дополнительному рассеянию энергии колебаний резонатора в местах его закрепления и к систематической погрешности ВТГ. При М4≠0 возникает расщепление
собственной частоты резонатора, приводящее к случайным погрешностям ВТГ. Для устранения массового дисбаланса резонатор балансируют по этим четырем формам массового дефекта, то есть определяют параметры М1, М2, М3, М4, φ1, φ2, φ3, φ4 и удаляют неуравновешенную массу.
Известен способ балансировки полусферического резонатора ВТГ (аналог) [Патент РФ №2147117, МПК G01C 19/56, Опубликовано: 27.03.2000] В этом способе неуравновешенную массу резонатора из кварцевого стекла измеряют с помощью пьезоэлектрического датчика и удаляют ионным лучом с поверхности резонатора по заданному закону.
Недостатком аналога является низкая производительность процесса балансировки, связанная с небольшой скоростью удаления материала потоком ионов. По оценке авторов время балансировки может составить несколько десятков часов.
Известен способ балансировки металлических зубчатых резонаторов (ближайший аналог) [Матвеев В.А., Лунин Б.С., Басараб М.А., Чуманкин Е.А. Балансировка металлических резонаторов волновых твердотельных гироскопов низкой и средней точности // Наука и образование. Электронное научно-техническое издание. №06, июнь 2013, Интернет-адрес статьи: http://technomag.bmstu.ru/doc/579179.html]. Известный способ балансировки металлического зубчатого резонатора включает измерение параметров неуравновешенной массы М1, М2, М3, М4, φ1, φ2, φ3, φ4, расчет массы, подлежащей удалению с каждого балансировочного зубца, и удаление ее с поверхности балансировочных зубцов путем электрохимического растворения, при этом каждый зубец погружают в отдельную ванну с электролитом и через поверхность каждого зубца пропускают электрический заряд, величину которого регулируют временем пропускания постоянного тока, величину которого выбирают в зависимости от состава электролита и металла резонатора.
Недостаток ближайшего аналога состоит в необходимости изготовления балансировочных зубцов на кромке резонатора, что представляет собой сложную и трудоемкую технологическую задачу.
Раскрытие изобретения
Задачей и техническим результатом предлагаемого способа является устранение недостатков прототипа и аналога, а именно существенное уменьшение времени и трудоемкости балансировки беззубцовых металлических цилиндрических резонаторов по первым четырем формам массового дефекта.
Результат достигается за счет электрохимического удаления неуравновешенной массы с поверхности резонатора, наклонно погруженного в электролит. Заявленный способ балансировки металлического беззубцового резонатора ВТГ включает измерение параметров первых четырех форм массового дефекта резонатора, погружение резонатора в ванну с электролитом и пропускание через поверхность резонатора рассчитанного электрического заряда, регулируемого временем пропускания постоянного тока, величину которого выбирают в зависимости от состава электролита и металла резонатора с помощью экспериментально определяемого коэффициента L, величина которого также зависит от состава электролита и металла резонатора.
При этом цилиндрический резонатор погружают в электролит наклонно, устанавливают величину центрального угла α цилиндрического клина погруженной части и совмещают ориентацию обрабатываемой поверхности цилиндрического клина с ориентацией удаляемой формы массового дефекта.
При удалении 1-й формы массового дефекта величиной M1 устанавливают α=180° и пропускают через обрабатываемую поверхность электрический заряд, равный
Figure 00000002
При удалении 2-й формы массового дефекта величиной М2 устанавливают α=65,9°, пропускают через обрабатываемую поверхность 1/2 электрического заряда
Figure 00000003
поворачивают резонатор вокруг оси симметрии на 180° и пропускают такой же электрический заряд (Q2/2).
При удалении 3-й формы массового дефекта величиной М3 устанавливают α=39,9°, пропускают через обрабатываемую поверхность 1/3 электрического заряда
Figure 00000004
затем дважды последовательно в одном направлении поворачивают резонатор на 120° вокруг оси симметрии и в каждом угловом положении пропускают через обрабатываемую поверхность такой же электрический заряд (Q3/3).
При удалении 4-й формы массового дефекта величиной М4 устанавливают α=29,9°, пропускают через обрабатываемую поверхность 1/4 рассчитанного электрического заряда
Figure 00000005
затем трижды последовательно в одном направлении поворачивают резонатор на 90° вокруг оси симметрии и в каждом угловом положении пропускают через обрабатываемую поверхность такой же электрический заряд (Q4/4).
Преимуществом заявленного способа является малое время и низкая трудоемкость балансировки беззубцовых цилиндрических резонаторов.
Перечень фигур
На фиг. 1 показано расположение резонатора в электрохимической ванне и схема подключения источника тока.
На фиг. 2 показаны зависимости коэффициентов C1, С2, С3, С4 от величины центрального угла цилиндрического клина, образующегося при наклонном погружении резонатора в электролит.
Осуществление изобретения
Цилиндрический беззубцовый резонатор ВТГ 1 с предварительно определенными на испытательном стенде значениями параметров 1-4 форм массового дефекта М1, М2, М3, М4, φ1, φ2, φ3, φ4 закрепляют в поворотном приспособлении 2 и погружают в электрохимическую ванну с электролитом 3 согласно фиг. 1. Изменением глубины погружения h и угла наклона β устанавливают величину центрального угла цилиндрического клина, равную α, зависящую от номера удаляемой формы массового дефекта. Поворачивают резонатор вокруг оси симметрии и совмещают угол ориентации удаляемой формы массового дефекта φk с ориентацией цилиндрического клина, образованного погруженной частью резонатора. Электрически соединяют резонатор с выходом источника постоянного тока 4. Другую клемму источника тока 4 через выключатель 5 соединяют с электродом 6. При замыкании выключателя 5 на интервал времени t по электрической цепи протекает постоянный ток I, при этом с погруженной в электролит внутренней и внешней поверхности резонатора удаляется равномерный по толщине слой металла массой m. Согласно закону Фарадея
Figure 00000006
где L - постоянный коэффициент, определяемый экспериментально, его величина зависит от состава электролита и металла резонатора.
Удельное распределение удаляемой массы по окружному углу m(φ) разлагается в ряд Фурье с удержанием первых четырех гармоник и постоянной составляющей с учетом соотношений для цилиндрического клина, приведенных в [Harris J.W., Stocker Н. Handbook of Mathematics and Computational Science. - New York: Springer-Verlag, 1998. - pp. 103-1041:
Figure 00000007
где h - максимальная глубина погружения; l - толщина удаленного металлического слоя; ρ - плотность металла резонатора, а коэффициенты Ck (k=1…4) равны
Figure 00000008
Figure 00000009
Figure 00000010
Figure 00000011
Figure 00000012
Коэффициент С0 характеризует равномерно распределенную массу, удаляемую с поверхности резонатора, величина которой не влияет на работу гироскопа.
При балансировке резонатора необходимо удалять 1, 2, 3, 4 формы массового дефекта резонатора независимо друг от друга. При этом следует учитывать, что балансировка любой k-й гармоники приводит к появлению кратных гармоник с номерами nk (n=2, 3, 4 …). Таким образом, при удалении 1-й формы дефекта масс образуются гармоники с номерами 2, 3, 4, а при удалении 2-й формы - гармоника с номером 4. Балансировка же 3-й и 4-й форм дефекта влечет за собой появление лишь старших гармоник с номерами >4, существенно не влияющих на характеристики прибора. В связи с этими обстоятельствами рекомендуемая последовательность удаления форм массового дефекта резонатора - в порядке возрастания номеров: 1, 2, 3, 4.
При удалении 1-й формы массового дефекта удельное распределение удаляемой электрохимическим травлением массы (на единицу окружного угла) описывается формулой
Figure 00000013
l1 - толщина слоя материала, удаляемая при электрохимическом травлении резонатора.
Согласно графику, приведенному на фиг. 2, при значении центрального угла цилиндрического клина α-α1=180° амплитуды гармоник с номерами 2, 3, 4 равны нулю: С234=0. При этом в ходе электрохимического травления удаляется только 1-я форма массового дефекта резонатора. Для этого с поверхности резонатора удаляют слой металла толщиной l1, отвечающей условию:
Figure 00000014
Так как при α=180° коэффициент С1=0,5, то условие (10) выполнено при значении l1 равном
Figure 00000015
Общая величина удаляемой массы m1 с поверхности резонатора при этом равна
Figure 00000016
Для электрохимического растворения этой массы через обрабатываемую поверхность резонатора пропускают электрический заряд Q1, равный
Figure 00000017
Необходимое время электрохимического травления t1 при этом равно
Figure 00000018
При удалении 2-й формы массового дефекта резонатора электрохимическое травление поверхности проводят в два этапа. На первом этапе в установленном положении резонатора пропускают через обрабатываемую поверхность 1/2 рассчитанного электрического заряда. На втором этапе поворачивают резонатор вокруг оси симметрии на 180° и пропускают через обрабатываемую поверхность такой же заряд. В этом случае угловое распределение удаляемой массы (на единицу окружного угла) m2(φ) имеет вид
Figure 00000019
l2 - толщина слоя материала, удаляемая при электрохимическом травлении в каждом из двух положений резонатора.
Согласно графику (фиг. 2) при значении угла α=α2=65,9° коэффициент С4=0. В этом случае, согласно (15), при двухэтапном электрохимическом травлении удаляется только 2-я форма массового дефекта резонатора, для чего в каждом из двух положений резонатора удаляют слой металла толщиной l2, отвечающей условию
Figure 00000020
При α=65,9° коэффициент С2=0,273 и условие (16) выполнено при
Figure 00000021
Общая величина массы, удаляемой в ходе вышеуказанной электрохимической обработки, равна
Figure 00000022
Для электрохимического растворения этой массы через обрабатываемую поверхность резонатора пропускают общий электрический заряд, равный
Figure 00000023
При электрохимической обработке в каждом из двух угловых положений резонатора через его обрабатываемую поверхность пропускают 1/2 рассчитанного электрического заряда Q2. Время электрохимического травления t2 в каждом из двух угловых положений резонатора:
Figure 00000024
При удалении 3-й формы массового дефекта резонатора электрохимическое травление поверхности проводят в три этапа. На первом этапе в установленном положении резонатора пропускают через обрабатываемую поверхность 1/3 рассчитанного электрического заряда. На втором этапе поворачивают резонатор вокруг оси симметрии на 120° и пропускают через обрабатываемую поверхность такой же заряд. На третьем этапе поворачивают резонатор вокруг оси симметрии в том же направлении на 120° и пропускают через обрабатываемую поверхность такой же заряд.
В этом режиме электрохимического травления угловое распределение удаляемой массы (на единицу окружного угла) m3(φ) имеет вид
Figure 00000025
где l3 - толщина слоя материала, удаляемая при электрохимическом травлении в каждом из трех положений резонатора.
Согласно графику, приведенному на фиг. 2, при значении α=α3=39,9° величина коэффициента С3 максимальна. При этом значении угла α толщина удаляемого слоя l3, необходимая для устранения массового дефекта резонатора по 3-й форме, минимальна, что обеспечивает максимальную эффективность балансировки, для чего в каждом положении резонатора удаляют слой материала толщиной l3, отвечающей условию
Figure 00000026
При α=39,9° коэффициент С3=0,185 и условие (22) выполнено при
Figure 00000027
Общая величина удаляемой в ходе вышеописанной электрохимической обработки массы m3, необходимая для устранения 3-й формы массового дефекта резонатора величиной М3, равна
Figure 00000028
Для электрохимического растворения слоя общей массой m3 через поверхность резонатора должен быть пропущен общий электрический заряд, равный
Figure 00000029
При электрохимической обработке в каждом из трех положений резонатора через его поверхность пропускают 1/3 рассчитанного электрического заряда Q3. Время электрохимического травления t3 в каждом из трех положений резонатора:
Figure 00000030
При удалении 4-й формы массового дефекта резонатора электрохимическое травление поверхности проводят в четыре этапа. На первом этапе в установленном положении резонатора пропускают через обрабатываемую поверхность 1/4 рассчитанного электрического заряда. На втором этапе поворачивают резонатор вокруг оси симметрии на 90° и пропускают через обрабатываемую поверхность такой же заряд. На третьем этапе поворачивают резонатор вокруг оси симметрии в том же направлении на 90° и пропускают через обрабатываемую поверхность такой же заряд. На четвертом этапе поворачивают резонатор вокруг оси симметрии в том же направлении на 90° и пропускают через обрабатываемую поверхность такой же заряд.
При этом режиме электрохимического травления угловое распределение удаляемой массы (на единицу окружного угла) m4(φ) имеет вид
Figure 00000031
где l4 - толщина слоя материала, удаляемая при электрохимическом травлении в каждом из четырех положений резонатора.
Согласно графику, приведенному на фиг. 2, при значении α=α4=29,9° величина коэффициента С4 максимальна. При этом значении угла α толщина удаляемого слоя l4, необходимая для устранения массового дефекта резонатора по 4-й форме, минимальна, что обеспечивает максимальную эффективность балансировки. Для устранения 4-й формы массового дефекта резонатора величиной М4 в каждом из 4-х положений резонатора удаляют слой металла толщиной l4, отвечающей условию
Figure 00000032
При α=29,9° коэффициент С4=0,139 и условие (28) выполнено при
Figure 00000033
Общая величина удаляемой в ходе электрохимической обработки массы m4, необходимая для устранения 4-й формы массового дефекта резонатора величиной М4, равна:
Figure 00000034
Для электрохимического растворения слоя общей массой m4 через поверхность резонатора должен быть пропущен общий электрический заряд, равный
Figure 00000035
При электрохимической обработке в каждом из четырех положений резонатора через его поверхность пропускают 1/4 рассчитанного электрического заряда Q4. Время электрохимического травления t4 в каждом из четырех положений резонатора:
Figure 00000036
Теоретически дефекты могут удаляться в произвольном порядке, но практически, как правило, в порядке убывания амплитуд обычно по порядку номеров: 1, 2, 3, 4 (см. фиг. 2).
Пример
Поясним процедуру удаления массового дисбаланса резонатора следующим примером. Проводят устранение массового дефекта 4-й формы величиной М4=10 мг в металлическом цилиндрическом беззубцовом резонаторе, изготовленном из нержавеющей стали. Пусть ориентация массового дефекта относительно условного нуля резонатора составляет φ4=0°.
Цилиндрический металлический беззубцовый резонатор ВТГ 1 с предварительно определенными значениями параметров 4-й формы массового дефекта закрепляют в поворотном приспособлении 2 и погружают в электрохимическую ванну с электролитом 3 согласно фиг. 1 на глубину h. Изменением угла наклона β устанавливают величину центрального угла цилиндрического клина, равную α=29,9°. Поворачивают резонатор вокруг оси симметрии и совмещают угол ориентации удаляемой формы массового дефекта φ4 с ориентацией цилиндрического клина, образованного погруженной частью резонатора (плоскость O-O12, фиг. 1). Электрически соединяют резонатор с выходом источника постоянного тока 4. Другую клемму источника тока 4 через выключатель 5 соединяют с электродом 6. В качестве электролита могут быть использованы любые известные специалистам электролиты, используемые для электрохимического растворения. Предпочтительны кислотные электролиты, обеспечивающие растворение продуктов, образующихся при электрохимическом растворении металла. Для электрохимической обработки нержавеющей стали может быть использован кислотный электролит следующего состава [Розбери Ф. Справочник по вакуумной технике и технологии. 1972. - М.: Энергия. - 456 с.]:
Азотная кислота концентрированная 70%
Уксусная кислота концентрированная 30%
Экспериментально определенное авторами значение коэффициента L при электрохимическом травлении нержавеющей стали в указанном электролите составляет L=0,176 мг/Кл. Общая удаляемая масса согласно (30) составляет m4=12,65 мг, а общий пропускаемый заряд согласно (31) равен Q4=71,877 Кл. Время электрохимического травления при токе I=0,1 А составляет t4=179,6 с. Для удаления неуравновешенной массы замыкают электрическую цепь выключателем 5 на время 179,6 с. Затем поворачивают резонатор вдоль оси симметрии на 90°, например, по часовой стрелке и замыкают электрическую цепь выключателем 5 на время 179,6 с. Повторяют эту операцию еще два раза, поворачивая каждый раз резонатор на 90° по часовой стрелке и замыкая электрическую цепь на 179,6 с. После электрохимической обработки резонатор промывают дистиллированной водой и сушат.
Удаление других форм массового дефекта резонатора проводят аналогичным образом.
Предложенная процедура удаления неуравновешенной массы позволяет балансировать беззубцовый металлический цилиндрический резонатор ВТГ по 1, 2, 3, 4-й формам его массового дефекта с низкой трудоемкостью (по сравнению с прототипом и аналогом). Из приведенного примера следует, что общее время обработки в предложенном способе составляет около 12 минут. По оценке авторов при удалении такой же неуравновешенной массы ионно-плазменным травлением (аналог) необходимо около 2 часов. При удалении неуравновешенной массы с зубцов (прототип) необходимо примерно такое же время, что и в предложенном способе, однако резонатор должен иметь балансировочные зубцы, нарезка которых требует 2…3 часов. Таким образом, время и трудоемкость балансировки беззубцовых металлических цилиндрических резонаторов ВТГ предложенным способом может снизиться до 10 раз.

Claims (5)

1. Способ балансировки металлического беззубцового цилиндрического резонатора волнового твердотельного гироскопа, включающий измерение параметров первых четырех форм массового дефекта резонатора, погружение резонатора в ванну с электролитом и пропускание через его поверхность рассчитанного электрического заряда, регулируемого временем пропускания постоянного тока, величину которого выбирают в зависимости от состава электролита и металла резонатора, отличающийся тем, что цилиндрический резонатор погружают в электролит наклонно, устанавливают величину центрального угла цилиндрического клина погруженной части, равную α, и совмещают угол ориентации обрабатываемой поверхности цилиндрического клина с ориентацией удаляемой формы массового дефекта.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что при удалении 1-й формы массового дефекта величиной М1 устанавливают α=180° и пропускают через обрабатываемую поверхность электрический заряд, равный Q1=2πM1/L, где L - экспериментально определяемый коэффициент, зависящий от состава электролита и металла резонатора.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что при удалении 2-й формы массового дефекта величиной М2 устанавливают α=65,9°, пропускают через обрабатываемую поверхность 1/2 электрического заряда Q2=2,756М2/L, поворачивают резонатор вокруг оси симметрии на 180° и пропускают такой же электрический заряд (Q2/2).
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что при удалении 3-й формы массового дефекта величиной М3 устанавливают α=39,9°, пропускают через обрабатываемую поверхность 1/3 электрического заряда Q3=1,685М3/L, затем дважды последовательно в одном направлении поворачивают резонатор на 120° вокруг оси симметрии и в каждом угловом положении пропускают через обрабатываемую поверхность такой же электрический заряд (Q3/3).
5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что при удалении 4-й формы массового дефекта величиной М4 устанавливают α=29,9°, пропускают через обрабатываемую поверхность 1/4 электрического заряда Q4=1,265М4/L, затем трижды последовательно в одном направлении поворачивают резонатор на 90° вокруг оси симметрии и в каждом угловом положении пропускают через обрабатываемую поверхность такой же электрический заряд (Q4/4).
RU2014120933/28A 2014-05-23 2014-05-23 Способ балансировки металлического беззубцового резонатора волнового твердотельного гироскопа RU2560755C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014120933/28A RU2560755C1 (ru) 2014-05-23 2014-05-23 Способ балансировки металлического беззубцового резонатора волнового твердотельного гироскопа

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014120933/28A RU2560755C1 (ru) 2014-05-23 2014-05-23 Способ балансировки металлического беззубцового резонатора волнового твердотельного гироскопа

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2560755C1 true RU2560755C1 (ru) 2015-08-20

Family

ID=53880821

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014120933/28A RU2560755C1 (ru) 2014-05-23 2014-05-23 Способ балансировки металлического беззубцового резонатора волнового твердотельного гироскопа

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2560755C1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2792945C1 (ru) * 2022-08-12 2023-03-28 Акционерное общество "Инерциальные технологии "Технокомплекса" (АО "ИТТ") Способ настройки вибрационного кольцевого датчика угловых скоростей
CN116839560A (zh) * 2023-08-31 2023-10-03 湖南二零八先进科技有限公司 半球谐振陀螺及其半球谐振子质量调平方法、设备及介质

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6282958B1 (en) * 1998-08-11 2001-09-04 Bae Systems Plc Angular rate sensor
RU2362121C2 (ru) * 2007-07-09 2009-07-20 Закрытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Медикон" Малогабаритный твердотелый волновой гироскоп
US20100154542A1 (en) * 2005-05-31 2010-06-24 Innalabs Technologies, Inc. Sensing element of coriolis force gyroscope

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6282958B1 (en) * 1998-08-11 2001-09-04 Bae Systems Plc Angular rate sensor
US20100154542A1 (en) * 2005-05-31 2010-06-24 Innalabs Technologies, Inc. Sensing element of coriolis force gyroscope
RU2362121C2 (ru) * 2007-07-09 2009-07-20 Закрытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Медикон" Малогабаритный твердотелый волновой гироскоп

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Матвеев В.А., Лунин Б.С, Басараб М.А., Чуманкин Е.А. "Балансировка металлических резонаторов волновых твердотельных гироскопов низкой и средней точности", Наука и образование, Электронное научно-техническое издание. N06, июнь 2013, стр. 252-263. *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2792945C1 (ru) * 2022-08-12 2023-03-28 Акционерное общество "Инерциальные технологии "Технокомплекса" (АО "ИТТ") Способ настройки вибрационного кольцевого датчика угловых скоростей
CN116839560A (zh) * 2023-08-31 2023-10-03 湖南二零八先进科技有限公司 半球谐振陀螺及其半球谐振子质量调平方法、设备及介质
CN116839560B (zh) * 2023-08-31 2023-11-10 湖南二零八先进科技有限公司 半球谐振陀螺及其半球谐振子质量调平方法、设备及介质

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5389311B2 (ja) 信号処理装置
Basarab et al. Balancing of hemispherical resonator gyros by chemical etching
Basarab et al. Static balancing of metal resonators of cylindrical resonator gyroscopes
MY183579A (en) Wafer producing method and processing feed direction detecting method
RU2560755C1 (ru) Способ балансировки металлического беззубцового резонатора волнового твердотельного гироскопа
RU2007123850A (ru) Способ многоэтапного электролитно-плазменного полирования изделий из титана и титановых сплавов
CN110702089A (zh) 一种壳体振动陀螺的频率调整修形方法
CN105865430A (zh) 基于化学刻蚀一体式石英圆柱壳体谐振子修形系统及方法
CN116372376B (zh) 飞秒激光与离子束刻蚀联合修调半球谐振子的方法及装置
RU2754394C1 (ru) Способ балансировки металлического резонатора волнового твердотельного гироскопа
RU2526217C1 (ru) Способ балансировки металлического зубчатого резонатора волнового твердотельного гироскопа
JP2015032517A (ja) リチウムイオン二次電池の製造方法
RU2012137211A (ru) Неразрушающий способ детектирования пережогов при обработке стали с очень высокой стойкостью и набор образцов для градуирования пережогов при обработке этой стали
KR20160124170A (ko) 막 두께 감시장치용 센서, 그것을 구비한 막 두께 감시장치, 및 막 두께 감시장치용 센서의 제조방법
Hoersch Non-radial harmonic vibrations within a conical horn
RU2147117C1 (ru) Способ балансировки полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа
Guo et al. Line field analysis and complex variable method for solving elastic-plastic fields around an anti-plane elliptic hole
KR20130026159A (ko) Ti-Nb-X계 타이타늄 합금의 에칭방법
Tietze et al. Investigation of the surface condition of an electrode after electropolishing under the influence of surface acoustic waves
CN111144036A (zh) 螺旋桨噪声的多尺度仿真分析方法
JP2016066909A (ja) 水晶振動子、この水晶振動子を有するセンサヘッド、成膜制御装置、および成膜制御装置の製造方法
WO2000034741A1 (fr) Procede d'equilibrage du resonateur hemispherique d'un gyroscope a corps solide ondulaire
WANG et al. Frequency split elimination of fused silica cylindrical resonators by chemical etching
Šimko et al. The theory of asymmetrical delay line with the surface acoustic wave for non-electric sensors
RU2785080C1 (ru) Способ определения фактической частоты колебаний кварцевого полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20190524