RU2147117C1 - Способ балансировки полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа - Google Patents

Способ балансировки полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа Download PDF

Info

Publication number
RU2147117C1
RU2147117C1 RU98122643A RU98122643A RU2147117C1 RU 2147117 C1 RU2147117 C1 RU 2147117C1 RU 98122643 A RU98122643 A RU 98122643A RU 98122643 A RU98122643 A RU 98122643A RU 2147117 C1 RU2147117 C1 RU 2147117C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
resonator
balancing
unbalanced mass
hemispherical
mass
Prior art date
Application number
RU98122643A
Other languages
English (en)
Inventor
Б.П. Бодунов
В.М. Лопатин
Б.С. Лунин
Original Assignee
Товарищество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Медикон"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Товарищество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Медикон" filed Critical Товарищество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Медикон"
Priority to RU98122643A priority Critical patent/RU2147117C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2147117C1 publication Critical patent/RU2147117C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

Способ может быть использован в технологии приборостроения при производстве навигационных систем самолетов, кораблей, космических аппаратов, управляемых бурильных головок. Способ балансировки заключается в том, что резонатор закрепляют за ножку, устанавливают пьезоэлектрический датчик на свободном конце ножки, возбуждают колебания, измеряют напряжение датчика для различных ориентаций стоячей волны в резонаторе, рассчитывают неуравновешенную массу математической обработкой полученных экспериментальных данных и удаляют неуравновешенную массу ионным лучом с поверхности полусферической оболочки резонатора. Способ позволяет довести точность балансировки до 30 мкг при сохранении высокой акустической добротности резонатора (107 и выше) и позволяет балансировать резонаторы, не имеющие балансировочных зубцов. 1 табл., 1 ил.

Description

Изобретение относится к балансировке полусферических резонаторов и может быть использовано в технологии приборостроения при производстве навигационных систем самолетов, кораблей, космических аппаратов, управляемых бурильных головок.
Известно, что проводят балансировку полусферических резонаторов волновых твердотельных гироскопов, что вызвано отклонением геометрии реальных полусферических резонаторов от идеальной осесимметричной формы [1].
Известно, что балансировку полусферических резонаторов с добротностью 105, выполненных из алюминиевого сплава, проводят удалением неуравновешенной массы из 4-х участков полусферической оболочки [2].
Для гироскопа авиационной точности полусферический резонатор должен иметь высокую добротность (порядка 107), поэтому в качестве материала для таких резонаторов используют кварцевое стекло, обладающее малым внутренним трением. Удаление неуравновешенной массы с поверхности кварцевого стекла механическим путем приводит в падению акустической добротности полусферического резонатора и к ухудшению характеристик волнового твердотельного гироскопа, поэтому на кромке оболочки резонатора нарезаются специальные балансировочные зубцы [3].
Наиболее близким к предложенному способу является способ балансировки полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа [4]. Способ включает закрепление резонатора за ножку, установление датчиков возбуждения и измерения вблизи кромки резонатора, возбуждение резонатора, определение 4-х динамически неуравновешенных масс по 2-м взаимно перпендикулярным осям, определение статически неуравновешенной массы оптическим методом, распределение статически неуравновешенной массы по 4-м точкам динамически неуравновешенной массы и удаление несбалансированной массы лазерным лучом из 4-х точек резонатора по 2-м взаимно перпендикулярным осям.
Известный способ позволяет определить лишь поперечные колебания резонаторной ножки, продольные перемещения и соответствующая им неуравновешенная масса при этом не определяются. Таким образом, известный способ балансировки не позволяет точно определить неуравновешенную массу, то есть точность балансировки недостаточна.
Решаемой задачей предлагаемого изобретения является повышение точности балансировки.
Предлагаемый способ балансировки заключается в том, что резонатор закрепляют за ножку, устанавливают пьезоэлектрический датчик на свободном конце ножки, возбуждают колебания, измеряют напряжение датчика для различных ориентаций стоячей волны в резонаторе, рассчитывают неуравновешенную массу математической обработкой полученных экспериментальных данных и удаляют неуравновешенную массу ионным лучом с протяженной поверхности резонатора.
Полусферический резонатор (см. чертеж) закрепляют за ножку 1 и устанавливают емкостные датчики 2, которые служат для возбуждения колебаний в резонаторе, и на свободный конец резонаторной ножки устанавливают пьезоэлектрический датчик 3, который измеряет движение свободного конца резонаторной ножки, после чего с помощью датчиков 2 возбуждают стоячую волну в резонаторе.
Движение свободного конца резонаторной ножки зависит от величины несбалансированной массы резонатора. Пусть ρ(φ) - функция распределения массы резонатора в зависимости от азимутального угла φ. Любой дефект реального резонатора может быть описан разложением функции ρ(φ) в ряд Фурье:
Figure 00000002

где ρ1...ρi - амплитуды гармоник массового дефекта;
φ1...φl - ориентация гармоник массового дефекта относительно полусферической оболочки резонатора.
Первая и третья гармоники ряда (1) приводят к поперечным движениям резонаторной ножки, а вторая гармоника - к ее продольным движениям при 2-ой форме колебаний оболочки резонатора. Именно эти 3 гармоники массового дефекта должны быть определены и устранены при балансировке. Измеряя напряжение датчика 3 при различных ориентациях стоячей волны получаем массив точек Uii), который может быть математически аппроксимирован функцией вида
Figure 00000003

Коэффициенты U1-U3 прямо пропорциональны амплитудам гармоник массового дефекта ρ13, а углы φ13 указывают их ориентацию относительно оболочки резонатора. Эти коэффициенты и углы рассчитывают математической обработкой полученных экспериментальных данных, для чего аппроксимируют массив точек Uii) функцией (2). В результате расчета получают амплитуды гармоник массового дефекта ρ13 и соответствующие углы φ13.
Рассчитанную неуравновешенную массу удаляют ионным лучом с протяженной поверхности резонатора в соответствии с найденным законом распределения этой массы.
Ионное травление не нарушает структуру кварцевого стекла и не снижает добротность резонатора. Поэтому удаление материала проводят непосредственно с поверхности полусферической оболочки, наличие специальных балансировочных зубцов не требуется.
Предложенный способ иллюстрируется следующим примером.
Проводят балансировку беззубцового полусферического резонатора диаметром 30 мм, изготовленного из кварцевого стекла, с рабочей частотой около 8 кГц. Для этого в вакуумной камере резонатор закрепляют за ножку со стороны внутренней полусферы, а на свободном конце ножке со стороны внешней полусферы устанавливают пьезоэлектрический датчик с чувствительностью 50 мВ/см•сек. Вблизи кромки резонатора устанавливают 16 емкостных датчиков, используемых для возбуждения и измерения параметров стоячей волны, зазор между поверхностью емкостного датчика и поверхностью резонатора составляет 100 мкм. После вакуумирования камеры до уровня 10-7 мм рт.ст. возбуждают колебания на рабочей частоте (амплитуда колебаний кромки полусферической оболочки составляет 1 мкм) и измеряют напряжение пьезоэлектрического датчика. После этого ориентацию стоячей волны изменяют с шагом 10 градусов и для каждого положения стоячей волны фазочувствительным вольтметром измеряют напряжение пьезоэлектрического датчика. Полученные экспериментальные данные приведены в таблице.
Отрицательные напряжения датчика означают, что измеряемое напряжение было в противофазе с напряжением датчиков 2.
Математическая обработка экспериментальных данных состояла в аппроксимации этих экспериментальных точек функцией (2). Расчет дает следующие значения неизвестных величин:
U1 = 532 мВ; U2 = 45 мВ; U3 = 107 мВ
φ1 = -276,69o; φ2 = -256,08o; φ3 = -98,86o.
Напряжение Ui и амплитуда соответствующей гармоники неуравновешенной массы Mi связаны соотношением
M=K•U,
где K - постоянный, экспериментально определенный коэффициент, который для данного оборудования составляет 1,36 мкг/мВ. Таким образом, амплитуды гармоник неуравновешенной массы составляют:
M1 = 723,5 мкг; M2 = 61,2 мкг; M3 = 145,5 мкг.
Для удаления неуравновешенной массы используют ионный источник, формирующий поток ионов аргона с энергией ионов 1,5 кэВ, угол падения потока ионов на поверхность резонатора составляет 85o. При удалении неуравновешенной массы мощность ионного потока постоянна, а резонатор вращают с переменной скоростью, чтобы обеспечить удаление каждой гармоники неуравновешенной массы.
После ионного травления было вновь проведено измерение величины неуравновешенной массы по вышеизложенной методике. Были получены следующие значения 1-3 гармоник неуравновешенной массы:
M1 = 23,1 мкг; M2 = 8,2 мкг; M3 = 4,1 мкг.
Общая величина остаточной неуравновешенной массы составила около 30 мкг. Значение систематической составляющей дрейфа гироскопа с таким резонатором равно около 1,3o/час, что позволяет использовать такой гироскоп в навигационных системах авиационной точности.
Таким образом, предложенный способ балансировки полусферических резонаторов позволяет довести точность балансировки до 30 микрограмм при сохранении высокой акустической добротности резонатора (107 и выше) и позволяет балансировать резонаторы, не имеющие балансировочных зубцов.
Источники информации
1. D. D. Lynch "Projected system performance based on recent HRG test results", Procceding of the IEEE/AIAA 5th Digital Avionics Systems Conference, Seattle, WA, October 31 - November 3, 1983, p. 18.1.1-18.1.6.
2. Патент США N 3656354, НКИ 73/505, МКИ G 01 C 19/56, 1969.
3. European patent N 0141621, МКИ G 01 C 19/56, 1983.
4. Авторское свидетельство СССР N 1582799, МКИ G 01 C 19/56, 1988.

Claims (1)

  1. Способ балансировки полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа, включающий закрепление резонатора за ножку, установку датчиков возбуждения и измерения и удаление неуравновешенной массы, отличающийся тем, что пьезоэлектрический датчик устанавливают на свободном конце ножки резонатора для измерения его перемещения, возбуждают колебания резонатора, измеряют напряжение пьезоэлектрического датчика для различных ориентаций стоячей волны в резонаторе, рассчитывают неуравновешенную массу путем математической обработки полученных экспериментальных данных и удаляют неуравновешенную массу ионным лучом с поверхности полусферической оболочки резонатора.
RU98122643A 1998-12-04 1998-12-04 Способ балансировки полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа RU2147117C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU98122643A RU2147117C1 (ru) 1998-12-04 1998-12-04 Способ балансировки полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU98122643A RU2147117C1 (ru) 1998-12-04 1998-12-04 Способ балансировки полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2147117C1 true RU2147117C1 (ru) 2000-03-27

Family

ID=20213443

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU98122643A RU2147117C1 (ru) 1998-12-04 1998-12-04 Способ балансировки полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2147117C1 (ru)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2445575C2 (ru) * 2008-06-24 2012-03-20 Симоненко Дмитрий Владимирович Чувствительный элемент вибрационного кориолисова гироскопа
RU2526217C1 (ru) * 2013-01-29 2014-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" Способ балансировки металлического зубчатого резонатора волнового твердотельного гироскопа
RU2526585C2 (ru) * 2012-07-16 2014-08-27 Закрытое акционерное общество "Инерциальные технологии "Технокомплекса" (ЗАО "ИТТ") Способ определения угла ориентации стоячей волны в твердотельном волновом гироскопе
RU2580175C1 (ru) * 2014-12-09 2016-04-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" (МГТУ им. Н.Э. Баумана) Способ балансировки кварцевого полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа
RU2688834C2 (ru) * 2017-10-10 2019-05-22 Акционерное общество "Ижевский электромеханический завод "Купол" Способ определения дисбаланса масс полусферического резонатора твердотельного волнового гироскопа
RU2785956C1 (ru) * 2021-09-01 2022-12-15 Акционерное общество "Мичуринский завод "Прогресс" Волновой твердотельный гироскоп с металлическим резонатором

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2445575C2 (ru) * 2008-06-24 2012-03-20 Симоненко Дмитрий Владимирович Чувствительный элемент вибрационного кориолисова гироскопа
RU2526585C2 (ru) * 2012-07-16 2014-08-27 Закрытое акционерное общество "Инерциальные технологии "Технокомплекса" (ЗАО "ИТТ") Способ определения угла ориентации стоячей волны в твердотельном волновом гироскопе
RU2526217C1 (ru) * 2013-01-29 2014-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" Способ балансировки металлического зубчатого резонатора волнового твердотельного гироскопа
RU2580175C1 (ru) * 2014-12-09 2016-04-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" (МГТУ им. Н.Э. Баумана) Способ балансировки кварцевого полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа
RU2688834C2 (ru) * 2017-10-10 2019-05-22 Акционерное общество "Ижевский электромеханический завод "Купол" Способ определения дисбаланса масс полусферического резонатора твердотельного волнового гироскопа
RU2785956C1 (ru) * 2021-09-01 2022-12-15 Акционерное общество "Мичуринский завод "Прогресс" Волновой твердотельный гироскоп с металлическим резонатором

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105865430A (zh) 基于化学刻蚀一体式石英圆柱壳体谐振子修形系统及方法
Pan et al. Observation and analysis of the quality factor variation behavior in a monolithic fused silica cylindrical resonator
RU2147117C1 (ru) Способ балансировки полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа
Anthony The operation and mechanization of the hemispherical resonator gyroscope
Huo et al. High precision mass balancing method for the fourth harmonic of mass defect of fused quartz hemispherical resonator based on ion beam etching process
Gunthner et al. Compensation of parasitic effects for a silicon tuning fork gyroscope
Perelyaev et al. Solid-state wave gyroscope: A new-generation inertial sensor
Wang et al. Frequency splitting of hemispherical resonators trimmed with focused ion beams
Chu et al. Investigation of dynamic characteristics of fused silica hemispherical resonator with shock and harmonic excitation
JP2007071706A (ja) 音叉型振動ジャイロ
Ermakov et al. Development of a vibrational error model of a hemispherical resonator gyroscope
Li et al. Measurement method of frequency splitting for high-Q hemispherical resonator based on standing wave swing effect
US20240053147A1 (en) Vibrating gyrometer with planar structure
Loveday A coupled electromechanical model of an imperfect piezoelectric vibrating cylinder gyroscope
Gallacher et al. Initial test results from a 3-axis vibrating ring gyroscope
RU2616348C2 (ru) Способ юстировки кольцевых резонаторов лазерных гироскопов
US20010010173A1 (en) Piezo-electric vibration gyroscope
Chen et al. Identification and Trimming of the Eccentric Mass in Shell Resonators
RU91159U1 (ru) Установка для балансировки кварцевых резонаторов твердотельных волновых гироскопов и измерения их акустических параметров
WO2000034741A1 (fr) Procede d'equilibrage du resonateur hemispherique d'un gyroscope a corps solide ondulaire
RU2582483C1 (ru) Модифицированный микроакустомеханический гироскоп
Zheng et al. High-precision static and dynamic angular measurements with a ring laser gyro
RU2581396C1 (ru) Способ повышения точности полезного сигнала кольцевого лазера
JPH07113644A (ja) 振動ジャイロ及びその駆動方法
RU2787809C1 (ru) Датчик угла крена на базе волнового твердотельного гироскопа с металлическим резонатором