RU2531486C1 - Кольцо скольжения низкого трения, имеющее экономичное алмазное покрытие - Google Patents

Кольцо скольжения низкого трения, имеющее экономичное алмазное покрытие Download PDF

Info

Publication number
RU2531486C1
RU2531486C1 RU2013132975/06A RU2013132975A RU2531486C1 RU 2531486 C1 RU2531486 C1 RU 2531486C1 RU 2013132975/06 A RU2013132975/06 A RU 2013132975/06A RU 2013132975 A RU2013132975 A RU 2013132975A RU 2531486 C1 RU2531486 C1 RU 2531486C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
base body
equal
less
diamond layer
ring according
Prior art date
Application number
RU2013132975/06A
Other languages
English (en)
Inventor
Йоахим ОЧИК
Андреас Шрюфер
Дитер ЦИГЕНБАЙН
Рудольф КОЛЛИНГЕР
Лотер ШЕФЕР
Маркус ХЕФЕР
Маркус АРМГАРДТ
Original Assignee
Иглбургманн Джермани Гмбх Унд Ко. Кг
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Иглбургманн Джермани Гмбх Унд Ко. Кг filed Critical Иглбургманн Джермани Гмбх Унд Ко. Кг
Application granted granted Critical
Publication of RU2531486C1 publication Critical patent/RU2531486C1/ru

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/16Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/34Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/16Sealings between relatively-moving surfaces
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/26Deposition of carbon only
    • C23C16/27Diamond only
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/16Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/34Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
    • F16J15/3496Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member use of special materials

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Mechanical Sealing (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

Изобретение относится к уплотнительному кольцу для механического уплотнения, содержащему базовое тело (2) с алмазным слоем (3), который нанесен на базовое тело (2) и выполнен в качестве поверхности скольжения, в котором алмазный слой (3) имеет толщину (D), которая меньше или равна 4 мкм, в частности меньше или равна 3 мкм, в частности меньше или равна 2 мкм, особо предпочтительно около 1 мкм, и в котором базовое тело (2) не содержит трещин или содержит только трещины, которые имеют максимальное продольное удлинение (L) на поверхности базового тела (2) или в базовом теле (2), меньшее или равное 5 мкм. Изобретение повышает надежность уплотнительного кольца. 10 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Настоящее изобретение относится к уплотнительному кольцу низкого трения, которое содержит недорогое алмазное покрытие в качестве поверхности скольжения. Кроме того, настоящее изобретение относится к механическому уплотнительному узлу, включающему в себя по меньшей мере одно уплотнительное кольцо согласно настоящему изобретению.
Уплотнительные кольца с алмазным покрытием известны из предшествующего уровня техники в различных конфигурациях. Благодаря алмазному покрытию упомянутые уплотнительные кольца обладают высоким сопротивлением фрикционному износу, а также отличными качествами работы без смазки. Помимо отчасти очень высоких производственных затрат, недостатком таких уплотнительных колец с алмазным покрытием также является проблема, которая обусловлена недостаточной связью между алмазным слоем и базовым телом уплотнительного кольца, где могут иметь место отсоединения алмазного слоя с соответствующим повреждением уплотнительного кольца. Для решения упомянутой проблемы в DE 202007 016868.3 U1 предложено уплотнительное кольцо, содержащее базовое тело, состоящее из двухкомпонентного материала, в котором алмазный материал введен в базовое тело. Хотя это дает улучшенную связь между базовым телом и алмазным слоем, такие уплотнительные кольца являются еще более дорогостоящими в их производстве по причине того, что алмазный материал введен в качестве дополнительного материала в базовое тело. Кроме того, DE 202006 006425 U1 раскрывает уплотнительное кольцо, в случае которого базовое тело имеет нанесенный на него с соответствующими усилиями дополнительный несущий слой между базовым телом и алмазным слоем. Кроме того, уплотнительные кольца с алмазным покрытием имеют проблему, состоящую в том, что алмазный слой может полностью отсоединяться с частями базового тела.
Таким образом, целью настоящего изобретения является создание уплотнительного кольца с алмазным покрытием на поверхности скольжения, которое, будучи простым в изготовлении при низких себестоимостях, обеспечивает надежную связь между базовым телом и алмазным покрытием также при экстремальных напряжениях.
Цель достигается посредством уплотнительного кольца, содержащего признаки п.1 формулы изобретения. Зависимые пункты формулы изобретения показывают предпочтительные модификации настоящего изобретения.
Уплотнительное кольцо согласно настоящему изобретению для механического уплотнения с признаками по п.1 формулы изобретения имеет преимущество в том, что оно содержит алмазный слой на поверхности скольжения и таким образом имеет продолжительный срок службы и, в частности, превосходные характеристики работы без смазки. Выполнение алмазного слоя здесь является эффективным по стоимости, поскольку алмазный слой имеет исключительную толщину, меньшую или равную 4 мкм, и обеспечивается отличная связь между алмазным слоем и базовым телом. В частности, проблема, которая до сих пор возникает в предшествующем уровне техники и относится к отсоединению алмазного слоя от базового тела, в особенности вместе с частями базового тела, под действием высоких нагрузок, например, высоких механических нагрузок, может избегаться на механических уплотнениях. Это достигается согласно настоящему изобретению тем, что базовое тело не содержит трещин или содержит только трещины, которые имеют максимальное продольное удлинение, которое меньше или равно 5 мкм. Согласно настоящему изобретению, обнаружено, что в отсутствие трещин или при наличии только очень небольших трещин на поверхности и в базовом теле может быть обеспечена адекватная связь повсеместно между базовым телом и алмазным слоем. Если трещины становятся слишком длинными, в области трещин будут возникать дефекты таким образом, что в этих участках, в частности, под действием высоких нагрузок, например, высоких механических нагрузок, алмазный слой может отсоединяться с частями базового тела и уплотнительное кольцо в конечном итоге может разрушаться. Продольное удлинение трещин меньшее/равное 5 мкм определено согласно настоящему изобретению таким образом, что прямая линия, которая пересекает две точки трещины, имеет длину меньшую или равную 5 мкм в каждой возможной точке пересечения с трещиной между точками пересечения. Предельное значение 5 мкм согласно настоящему изобретению для длины трещины здесь является применимым в отношении трещин на поверхности и трещин в самом базовом теле, которые, например, начинаясь от поверхности, проходят внутрь базового тела. Следовательно, согласно настоящему изобретению базовое тело, как на поверхности, где нанесен алмазный слой, так и в самом базовом теле, совсем не содержит трещин или имеет только трещины с максимальным продольным удлинением 5 мкм. Для достижения, например, размера трещины на поверхности базового тела, как было определено выше, предпочтительно проводится финишная обработка поверхности, например, полировка. Таким образом, согласно настоящему изобретению, можно обеспечить уплотнительное кольцо с алмазным покрытием малой толщины, которое может быть выполнено при низкой себестоимости и дает уплотнительное кольцо с исключительным сроком службы и характеристиками работы без смазки. Алмазный слой может быть нанесен здесь на свободное от трещин базовое тело или на базовое тело, имеющее только небольшие трещины предпочтительно посредством способа химического осаждения из паровой фазы. Это обеспечивает очень большой прикладной потенциал с экономической точки зрения, поскольку фактически все типы уплотнительных колец могут быть покрыты алмазным материалом при низкой себестоимости. Уплотнительное кольцо согласно настоящему изобретению имеет очень низкий коэффициент трения и обеспечивает устойчивую связь между алмазным слоем и базовым телом. Предпочтительно, толщина алмазного слоя является менее 4 мкм, предпочтительно, менее 3 мкм, особо предпочтительно, менее 2 мкм, и толщина алмазного слоя составляет наиболее предпочтительно около 1 мкм. Кроме того, длина трещины менее 3 мкм и, особо предпочтительно, менее 1 мкм является предпочтительной, или трещин совсем нет.
Также предпочтительно, что глубина трещин, начинающихся от поверхности перпендикулярно к поверхности, является меньшей или равной 3 мкм.
Также предпочтительно, что толщина алмазного слоя составляет по меньшей мере 0,5 мкм. Посредством этого предусмотрено, что алмазный слой обеспечивает адекватную защиту против агрессивной или коррозионной среды, с которой уплотнительные кольца могут входить в контакт.
Согласно другой предпочтительной конфигурации настоящего изобретения поверхность базового тела не содержит пор или предпочтительно содержит только поры со средним диаметром поры меньшим/равным 0,4 мм, предпочтительно меньшим/равным 0,3 мм, особо предпочтительно меньшим/равным 0,2 мм.
Также предпочтительно, что поры находятся на расстоянии друг от друга, в зависимости от среднего диаметра поры, в 100 раз большем диаметра поры. Это означает, что когда средний диаметр поры составляет 0,4 мм, расстояние от упомянутой поры до смежной поры, начиная от соответствующих краев пор, составляет по меньшей мере 40 мм. Согласно настоящему изобретению под средним диаметром поры подразумевается диаметр, который соответствует максимальной длине прямой линии, проведенной между двумя периферийными точками через пору, поскольку обычно поры не являются круглыми.
Согласно другой предпочтительной конфигурации настоящего изобретения размер кристаллов алмазного слоя находится в промежутке 0,2-5 мкм, в частности, 0,2-4 мкм, предпочтительно, 0,2-3 мкм, предпочтительно, 0,2-2,5 мкм и, особо предпочтительно, 0,2-1 мкм.
Также предпочтительно, что шероховатость Ra поверхности базового тела меньше/равна 0,2 мкм, в частности, меньше/равна 0.15 мкм и, особо предпочтительно, меньше/равна 0,1 мкм.
Предпочтительно, что содержание SP3 связей в алмазном слое является большим или равным 97%.
Согласно другой предпочтительной конфигурации настоящего изобретения базовое тело имеет твердость по Виккерсу больше или равную 1400 HV.
Для достижения срока службы, который является настолько долгим, насколько возможно, плотность дефектов в алмазном покрытии имеет такой тип, согласно которому отношение площади дефектов к площади покрытой поверхности, которая не содержит дефектов, меньше или равна 200×10-9.
Предпочтительно, что базовое тело выполнено из карбидного материала, в частности, из карбида кремния (SiC) или карбида вольфрама (WC), с минимальным количеством добавок, и/или связующих материалов и/или возможно содержащихся примесей.
Также предпочтительно, что поверхность алмазного слоя соответствует поверхности базового тела с отклонением не более ±0,2 мкм.
Уплотнительное кольцо согласно настоящему изобретению здесь может быть использовано в механических уплотнениях, в случае которого оба уплотнительных кольца выполнены с алмазным покрытием согласно настоящему изобретению. В качестве альтернативы, уплотнительное кольцо согласно настоящему изобретению также может функционировать с уплотнительным кольцом без покрытия, например, из карбида кремния.
Далее будет подробно описан предпочтительный вариант осуществления настоящего изобретения со ссылкой на сопроводительные чертежи,где:
Фиг.1 представляет собой схематический вид сверху на поверхность базового тела для уплотнительного кольца согласно варианту осуществления настоящего изобретения; и
Фиг.2 представляет собой схематичный вид в разрезе через уплотнительное кольцо согласно настоящему изобретению.
Как может быть видно на фиг.2, уплотнительное кольцо 1 содержит базовое тело 2 из карбида кремния и алмазный слой 3, нанесенный не его. Алмазный слой 3 имеет толщину D 1 мкм. Алмазный слой 3 выполнен из кристаллического алмазного материала с очень большим содержанием SP3 связей более 97%.
Фиг.1 представляет собой вид сверху на поверхность базового тела 2 перед нанесением алмазного слоя. Как может быть видно на фиг.1, несколько трещин 4 выполнены в поверхности базового тела 2. Однако трещины 4 выполнены таким образом, чтобы они имели максимальное продольное удлинение, которое составляет менее 5 мкм. На фиг.1 максимальное продольное удлинение L1 и L2, соответственно, которое находится на поверхности, показано для двух трещин. Максимальное продольное удлинение в данном документе определено согласно настоящему изобретению как максимальный прямой отрезок, который соединяет две точки трещины 4 прямолинейным образом.
В сечении согласно фиг.2 изображены две другие трещины 4, которые имеют максимальное продольное удлинение L3 и L4, соответственно, в глубину базового тела 2, при этом каждое составляет менее 5 мкм. В результате, базовое тело 2 согласно настоящему изобретению обеспечено на поверхности и также в самом теле только трещинами 4, которые имеют максимальное продольное удлинение, меньшее или равное 5 мкм. Продольное удлинение определяется прямой линией, которая пересекает две произвольные точки трещины и имеет длину, меньшую или равную 5 мкм в каждой возможной точке пересечения из двух точек трещины. Как показано на фиг.2, трещины 4 с продольным удлинением L3 имеют здесь глубину Т3, которая составляет менее 3 мкм. Фиг.2 изображает другую трещину 4 с продольным удлинением L4 и глубиной T4, которая начинается от первого места поверхности, входит в базовое тело 2 и выходит снова в другом месте поверхности базового тела. Здесь следует отметить, что трещина также может иметь трехмерную область разлома; в этом случае она продолжается на поверхности базового тела 2 и также в виде области в самом базовом теле 2.
Кроме того, на поверхности базового тела 2 образованы множественные поры 5. Поры 5 имеют средний диаметр, меньший или равный 0,4 мм, при этом расстояние между близлежащими точками по меньшей мере в 100 раз больше диаметра поры, а именно, в этом варианте осуществления, составляет 40 мм. Диаметр поры определяется согласно настоящему изобретению как наиболее длинная прямая линия, проведенная через две граничные точки пор, поскольку поры обычно не имеют круглой формы, лишь неровный граничный участок. Поры 5 здесь имеют глубину, соответствующую, главным образом, диаметру пор.
Кроме того, все трещины 4 имеют глубину Т, которая составляет менее 3 мкм. При этом поверхность алмазного слоя соответствует поверхности базового тела с отклонением не более ±0.2 мкм.
Кристаллический алмазный слой согласно настоящему изобретению выполняется на базовом теле 2 следующим образом. Уплотнительное кольцо, подлежащее покрытию, размещают в вакуумной камере, которая затем обеспечивается метаном и водородом. На расстоянии нескольких сантиметров над уплотнительными кольцами для покрытия натягивают проволоки; затем их нагревают до температуры белого каления. Посредством этого газ нагревается таким образом, чтобы углерод осаждался на поверхности базового тела 2 в форме кристаллических алмазов. Благодаря этому образуется химическая связь между алмазным слоем и базовым телом 2. Из-за отсутствия трещин в базовом теле и благодаря условию, согласно которому на или в базовом теле имеют место только трещины, которые имеют максимальное продольное удлинение, меньшее или равное 5 мкм, можно достичь высокую стабильность зоны контакта.
С помощью такого способа базовое тело 2, выполненное из карбида кремния, было покрыто посредством алмазного материала (Пример 1). Базовое тело и алмазный слой, соответственно, имеют следующие свойства:
Пример 1
Характеристика Значение
Толщина 1 мкм
Размер кристаллов 1,0 мкм
Шероховатость Ra 0,1 мкм
Содержание SP3 связей 97%
Максимальный размер пор 0,4 мм
Расстояние между порами >40 мм
Максимальная длина трещины 5 мкм
Максимальная глубина трещины 3 мкм
Твердость по Виккерсу базового тела 2600 HV
Плотность дефектов алмазного покрытия <200×10-9
Толщина алмазного слоя здесь измерена с помощью способа обратного рассеяния бета-излучения. Размер кристаллов измерен с помощью оптического микроскопа со 1000-кратным увеличением. Шероховатость Ra определена посредством интерферометра белого света, и содержание SP3 связей определено посредством спектроскопии рамановского рассеяния. Размеры пор и расстояния между порами определены с помощью оптического микроскопа и длина трещины и глубина трещины, соответственно, с помощью определения распределения количества трещин в ионно-лучевом наклонном разрезе, выполненном через базовое тело 2, при этом разрез имеет минимальную длину резания 1 мм. Жесткость подложки определена посредством теста на твердость по Виккерсу, и плотность дефектов с помощью оптического микроскопа, при этом плотность дефектов определена как отношение площадей непокрытых дефектов поверхности подложки к поверхности с алмазным покрытием.
Таким образом, согласно настоящему изобретению можно обеспечить равномерное и непрерывное алмазное покрытие с толщиной менее 3 мкм на базовой поверхности путем задания различных параметров базового тела 2, что было невозможно до сих пор в предшествующем уровне техники. Основным аспектом настоящего изобретения здесь является то, что базовое тело должно быть выполнено таким образом, чтобы оно было без трещин или содержало только трещины с максимальной длиной, меньшей или равной 5 мкм. Изучая этот параметр, можно затем осуществлять стабильное алмазное покрытие с предельно малой толщиной слоя, менее или равной 4 мм, что приводит к значительному снижению стоимости изготовления, поскольку продолжительность нанесения покрытия может быть уменьшена до нескольких часов. Кроме того, тем самым можно избежать отделения алмазного слоя вместе с частью основного слоя. Таким образом, избегая больших трещин, также можно предусмотреть устойчивую связь в пределах базового слоя. Кроме того, благодаря предельно тонкому алмазному покрытию можно получить уплотнительные кольца с превосходными характеристиками, особенно в отношении продолжительности срока службы и аварийных рабочих характеристик. Поэтому, особенно в производстве масляного или природного газа, сроки службы уплотнительных колец, которые выдерживают только в течение нескольких часов эксплуатации из-за жестких условий работы, могут быть значительно продлены. Кроме того, алмазный слой 3 также обеспечивает отличную защиту от коррозии в отношении уплотнительного кольца. Благодаря идее согласно настоящему изобретению, а именно за счет уменьшения длин трещин на поверхности самого базового тела, можно получить алмазное покрытие с толщиной, менее или равной 4 мкм. Таким образом, впервые становится возможным покрывать алмазным слоем уплотнительные кольца также для обычного применения, например, в серийно выпускаемых насосах, когда себестоимость уплотнительных колец играет важную роль.

Claims (11)

1. Уплотнительное кольцо для механического уплотнения, содержащее:
- базовое тело (2) с алмазным слоем (3), который нанесен на базовое тело (2) и выполнен в качестве поверхности скольжения,
- в котором алмазный слой (3) имеет толщину (D), которая меньше или равна 4 мкм, в особенности меньше или равна 3 мкм, в особенности меньше или равна 2 мкм, особо предпочтительно около 1 мкм, и
- в котором базовое тело (2) не содержит трещин или содержит только трещины, которые имеют максимальное продольное удлинение (L) на поверхности базового тела (2) или в базовом теле (2), которое меньше или равно 5 мкм.
2. Уплотнительное кольцо по п. 1, отличающееся тем, что трещины (4) в базовом теле (2) имеют глубину (Т) трещины, меньшую или равную 3 мкм.
3. Уплотнительное кольцо по п. 1, отличающееся тем, что алмазный слой (3) имеет толщину по меньшей мере 0,5 мкм.
4. Уплотнительное кольцо по п. 1, отличающееся тем, что поверхность базового тела (2) не содержит пор, или тем, что поверхность содержит только поры, имеющие средний диаметр поры, меньший или равный 0,4 мм, в особенности меньший или равный 0,3 мм, особо предпочтительно меньший или равный 0,2 мм, и/или тем, что поры (5) находятся на расстоянии друг от друга, по меньшей мере в 100 раз большем диаметра поры.
5. Уплотнительное кольцо по п. 1, отличающееся тем, что размер кристаллов алмазов алмазного слоя (3) находится в промежутке 0,2-5 мкм, в особенности 0,2-4 мкм, предпочтительно 0,2-3 мкм, предпочтительно 0,2-2,5 мкм и, в особенности, 0,2-1 мкм.
6. Уплотнительное кольцо по п. 1, отличающееся тем, что алмазный слой (3) имеет шероховатость (Ra), меньшую или равную 0,2 мкм, в частности меньшую или равную 0,15 мкм, в частности меньшую или равную 0,1 мкм.
7. Уплотнительное кольцо по п. 1, отличающееся тем, что алмазный слой (3) имеет содержание SP3 связей больше или равное 97%.
8. Уплотнительное кольцо по п. 1, отличающееся тем, что базовое тело (2) имеет твердость по Виккерсу, большую или равную 1400 HV.
9. Уплотнительное кольцо по п. 1, отличающееся тем, что плотность дефектов алмазного слоя (3) меньше или равна 200×10-9, при этом плотность дефектов представляет собой отношение площадей дефектов к площади покрытой поверхности, которая не содержит каких-либо дефектов.
10. Уплотнительное кольцо по п. 1, отличающееся тем, что базовое тело (2) выполнено из карбидного материала, в частности из карбида кремния (SiC) или карбида вольфрама (WC).
11. Уплотнительное кольцо по п. 1, отличающееся тем, что поверхность алмазного слоя соответствует поверхности базового тела (2) с отклонением не более ±0,2 мкм.
RU2013132975/06A 2010-12-17 2011-10-04 Кольцо скольжения низкого трения, имеющее экономичное алмазное покрытие RU2531486C1 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102010054875A DE102010054875B4 (de) 2010-12-17 2010-12-17 Reibungsarmer Gleitring mit kostengünstiger Diamantbeschichtung
DE102010054875.8 2010-12-17
PCT/EP2011/004942 WO2012079658A1 (de) 2010-12-17 2011-10-04 Reibungsarmer gleitring mit kostengünstiger diamantbeschichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2531486C1 true RU2531486C1 (ru) 2014-10-20

Family

ID=44759652

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013132975/06A RU2531486C1 (ru) 2010-12-17 2011-10-04 Кольцо скольжения низкого трения, имеющее экономичное алмазное покрытие

Country Status (9)

Country Link
US (1) US9010762B2 (ru)
EP (1) EP2652369B1 (ru)
KR (1) KR20130091777A (ru)
CN (1) CN103261760B (ru)
DE (1) DE102010054875B4 (ru)
DK (1) DK2652369T3 (ru)
ES (1) ES2543559T3 (ru)
RU (1) RU2531486C1 (ru)
WO (1) WO2012079658A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2639437C1 (ru) * 2016-06-15 2017-12-21 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" Способ получения кольца скольжения торцевого уплотнения

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013005926B4 (de) * 2013-04-04 2015-12-03 Eagleburgmann Germany Gmbh & Co. Kg Gleitringdichtungsanordnung mit unterschiedlich harten Gleitflächen
FR3009125B1 (fr) * 2013-07-24 2019-06-28 Areva Np Glace pour garniture d'etancheite pour systeme d'etancheite d'arbre
DE102014208738B3 (de) * 2014-05-09 2015-11-26 Eagleburgmann Germany Gmbh & Co. Kg Gleitringdichtungsanordnung mit verbesserter Gasabscheidung
JP6245239B2 (ja) * 2015-09-11 2017-12-13 日亜化学工業株式会社 半導体レーザ素子の製造方法
US11008655B2 (en) * 2016-03-03 2021-05-18 Lam Research Corporation Components such as edge rings including chemical vapor deposition (CVD) diamond coating with high purity SP3 bonds for plasma processing systems
EP3415797A1 (en) 2017-06-12 2018-12-19 Huhnseal AB Dynamic mechanical seal assembly

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5626908A (en) * 1992-01-28 1997-05-06 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Method for producing silicon nitride based member coated with film of diamond
RU2169640C1 (ru) * 2000-07-17 2001-06-27 Хамзин Шамиль Хурматович Способ изготовления контактных поверхностей торцевых пар трения
US6319439B1 (en) * 1999-04-30 2001-11-20 Korea Institute Of Science And Technology Method of synthesizing even diamond film without cracks
DE202006006425U1 (de) * 2006-04-21 2006-06-29 Burgmann Industries Gmbh & Co. Kg Bauteil, insbesondere Gleitring einer Gleitringdichtungsanordnung
DE202007016868U1 (de) * 2007-12-04 2008-02-14 Burgmann Industries Gmbh & Co. Kg Gleitring einer Gleitringdichtungsanordnung

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3820581A1 (de) * 1988-06-16 1989-12-28 Burgmann Dichtungswerk Feodor Gleitringdichtung
DE8915546U1 (de) * 1989-08-21 1990-09-13 Richter Chemie Technik GmbH, 47906 Kempen Kreiselpumpe mit trockenlaufgeeigneten Keramikgleitflächen
US5909879A (en) * 1993-03-09 1999-06-08 Norton Company Diamond film coating for mating parts
US6209185B1 (en) * 1993-04-16 2001-04-03 Baker Hughes Incorporated Earth-boring bit with improved rigid face seal
JP4420173B2 (ja) * 2002-09-24 2010-02-24 ▲高▼木 敏行 非鏡面ダイヤモンドによる低摩擦摺動面
US20050025973A1 (en) * 2003-07-25 2005-02-03 Slutz David E. CVD diamond-coated composite substrate containing a carbide-forming material and ceramic phases and method for making same
JP2006275286A (ja) 2005-03-02 2006-10-12 Ebara Corp ダイヤモンド被覆軸受又はシール構造並びにその軸受又はシール構造を備えた流体機械
US20090060408A1 (en) * 2005-03-02 2009-03-05 Ebara Corporation Diamond-coated bearing or seal structure and fluid machine comprising the same
US7793940B2 (en) * 2006-05-16 2010-09-14 Skf Usa Inc. Mechanical end face seal with ultrahard face material
DE202006009762U1 (de) * 2006-06-20 2006-08-24 Burgmann Industries Gmbh & Co. Kg Gleitring einer Gleitringdichtungsanordnung
JPWO2008133197A1 (ja) * 2007-04-20 2010-07-22 株式会社荏原製作所 炭素系摺動部材を用いた軸受け又はシール

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5626908A (en) * 1992-01-28 1997-05-06 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Method for producing silicon nitride based member coated with film of diamond
US6319439B1 (en) * 1999-04-30 2001-11-20 Korea Institute Of Science And Technology Method of synthesizing even diamond film without cracks
RU2169640C1 (ru) * 2000-07-17 2001-06-27 Хамзин Шамиль Хурматович Способ изготовления контактных поверхностей торцевых пар трения
DE202006006425U1 (de) * 2006-04-21 2006-06-29 Burgmann Industries Gmbh & Co. Kg Bauteil, insbesondere Gleitring einer Gleitringdichtungsanordnung
DE202007016868U1 (de) * 2007-12-04 2008-02-14 Burgmann Industries Gmbh & Co. Kg Gleitring einer Gleitringdichtungsanordnung

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2639437C1 (ru) * 2016-06-15 2017-12-21 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" Способ получения кольца скольжения торцевого уплотнения

Also Published As

Publication number Publication date
EP2652369B1 (de) 2015-04-29
US20130313785A1 (en) 2013-11-28
CN103261760B (zh) 2015-06-24
DE102010054875B4 (de) 2012-10-31
DK2652369T3 (en) 2015-08-03
CN103261760A (zh) 2013-08-21
DE102010054875A1 (de) 2012-06-21
KR20130091777A (ko) 2013-08-19
ES2543559T3 (es) 2015-08-20
US9010762B2 (en) 2015-04-21
EP2652369A1 (de) 2013-10-23
WO2012079658A1 (de) 2012-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2531486C1 (ru) Кольцо скольжения низкого трения, имеющее экономичное алмазное покрытие
EP2406466B1 (fr) Ensemble d&#39;anneau de turbine
Abreu et al. Friction and wear performance of HFCVD nanocrystalline diamond coated silicon nitride ceramics
JP5319295B2 (ja) 窒化クロムイオンプレーティング皮膜及びその製造方法並びに内燃機関用ピストンリング
JP5630931B2 (ja) 非晶質炭素被膜部材の製造方法
KR20160106737A (ko) 슬라이딩 요소, 특히 피스톤 링
Ming'e et al. Morphology and mechanical properties of TiN coatings prepared with different PVD methods
PT2432913E (pt) Elemento deslizante
JP5508657B2 (ja) 非晶質炭素被膜部材
JP6902609B2 (ja) 合成ダイヤモンド板
KR20090129394A (ko) 탄소질 도가니의 보호 방법 및 단결정 인상 장치
JP2012184152A (ja) セラミックス基材支持具及びセラミックス部材の製造方法
BR112012022008B1 (pt) Mola helicoidal de compressão para um anel raspador de óleo de um pistão de um motor de combustão interna, e método para o revestimento de uma mola helicoidal de compressão
EP2230327A1 (en) Diamond coating for cutting tool
KR20150061252A (ko) 자외선 발광 다이오드 및 그것을 제조하는 방법
BR102014007893A2 (pt) elemento deslizante, motor de combustão interna e processo de obtenção de elemento deslizante
US20060110575A1 (en) Slide element and method for production of said slide element
US10538463B2 (en) Composite ceramic comprising a corrosion protection layer and production method
US7527583B2 (en) Paper machine press roll with a ceramic coating
FR3041650A1 (fr) Substrat luminescent contenant des particules abrasives, et son procede de preparation
US5634370A (en) Composite diamond wire die
JP2006237498A (ja) サセプタ
US20020074744A1 (en) Graphite-coated shaped body made of sintered silicon carbide
SE1950611A1 (en) Crystal efficient SiC device wafer production
KR101562950B1 (ko) 다이아몬드 코팅공구 및 그 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
QB4A Licence on use of patent

Free format text: LICENCE FORMERLY AGREED ON 20200430

Effective date: 20200430