RU2517962C1 - Устройство для позиционирования объекта - Google Patents

Устройство для позиционирования объекта Download PDF

Info

Publication number
RU2517962C1
RU2517962C1 RU2012145973/28A RU2012145973A RU2517962C1 RU 2517962 C1 RU2517962 C1 RU 2517962C1 RU 2012145973/28 A RU2012145973/28 A RU 2012145973/28A RU 2012145973 A RU2012145973 A RU 2012145973A RU 2517962 C1 RU2517962 C1 RU 2517962C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
angular orientation
actuator
movable part
horizontal axes
relative
Prior art date
Application number
RU2012145973/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2012145973A (ru
Inventor
Павел Альбертович Осипов
Константин Васильевич Индукаев
Лев Семенович Кольнер
Александр Юрьевич Бронштейн
Александр Николаевич Заянчуковский
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатории Амфора"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатории Амфора" filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатории Амфора"
Priority to RU2012145973/28A priority Critical patent/RU2517962C1/ru
Publication of RU2012145973A publication Critical patent/RU2012145973A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2517962C1 publication Critical patent/RU2517962C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области приборостроения и может быть применено для точной ориентации объекта в целях наблюдения или обработки, например, в микроскопах. Устройство для позиционирования объекта содержит средство угловой ориентации, состоящее из подвижной и неподвижной частей, и средство вертикальной подачи, связанное с подвижной частью средства угловой ориентации. Средство угловой ориентации обеспечивает угловую ориентацию объекта относительно двух пересекающихся взаимно перпендикулярных горизонтальных осей и может быть выполнено в виде сферического шарнира. Средство вертикальной подачи обеспечивает перемещение объекта относительно подвижной части средства угловой ориентации вдоль вертикальной оси и может быть выполнено в виде линейного электродвигателя или пъезоприводного исполнительного механизма. Обеспечивается нахождение исследуемого фрагмента поверхности в фокусе объектива при выполнении угловой ориентации объектов различной толщины. 7 з.п. ф-лы, 6 ил.

Description

Изобретение относится к области приборостроения и может быть применено для точной ориентации объекта в целях наблюдения или обработки, например, в микроскопах.
В патентной публикации JP 7209453 A, G02B 21/26, 11.08.1995 раскрыт предметный столик для микроскопа, позволяющий осуществлять угловую ориентацию объекта наблюдения относительно первой и второй взаимно перпендикулярных горизонтальных осей. Столик содержит неподвижную и подвижную части. Подвижная часть включает нижний и верхний элементы, причем на верхнем элементе расположена площадка с объектом наблюдения. Неподвижная часть содержит опору, имеющую вогнутую цилиндрическую поверхность, продольная ось которой формирует первую горизонтальную ось. На опоре неподвижной части расположен опорный участок нижнего элемента, имеющий выпуклую цилиндрическую поверхность и обеспечивающий возможность поворота нижнего элемента относительно первой горизонтальной оси. Нижний элемент также содержит опору, имеющую вогнутую цилиндрическую поверхность, формирующий вторую горизонтальную ось и на которой установлен опорный участок верхнего элемента, имеющий выпуклую цилиндрическую поверхность, что позволяет верхнему элементу осуществлять поворот относительно второй горизонтальной оси. Таким образом, данное устройство способно обеспечить требуемое угловое положение площадки с объектом наблюдения, например, строго перпендикулярное оси объектива микроскопа.
Данное устройство характеризуется сложностью конструкции, кроме того, как будет показано ниже, при угловой ориентации объекта, толщина которого отличается от расчетной, наблюдаемый фрагмент поверхности объекта будет выходить из фокуса микроскопа.
Из патентной публикации JP 2010134192 A, G02B 21/26, 17.06.2010 известен предметный столик микроскопа, позволяющий осуществлять угловую ориентацию объекта наблюдения относительно первой и второй взаимно перпендикулярных горизонтальных осей. Столик содержит неподвижную и подвижную части, причем площадка с объектом наблюдения расположена на подвижной части. Неподвижная часть содержит опору, имеющую вогнутую сферическую поверхность, центр которой совпадает с точкой пересечения первой и второй горизонтальных осей. На опоре неподвижной части расположен опорный участок подвижной части, имеющий выпуклую сферическую поверхность и обеспечивающий возможность поворота подвижной части относительно указанных осей. Данное устройство характеризуется высокой точностью угловой ориентации объекта и выбрано в качестве прототипа заявленного изобретения.
Следует отметить, что при использовании прототипа в составе микроскопа он должен обеспечить постоянное позиционирование наблюдаемого фрагмента верхней поверхности объекта в фокусе объектива, т.е. угловая ориентация объекта не должна сопровождаться выносом наблюдаемого фрагмента верхней поверхности из фокуса объектива. Проблема решается в том случае, если фокус объектива совпадает с точкой пересечения первой и второй горизонтальных осей. В прототипе указанная точка пересечения осей расположена в наиболее вероятном месте нахождения фокуса объектива, в свою очередь, фокус объектива всегда находится на внешней поверхности объекта. Таким образом, прототип позволяет комфортно наблюдать только объекты заданной толщины, потому как при изменении толщины объекта точка фокуса будет смещена и она больше не будет совпадать с точкой пересечения первой и второй горизонтальных осей, а значит, при угловой ориентации объекта исследуемый фрагмент поверхности будет вынесен из фокуса объектива.
Задачей изобретения является обеспечение нахождения исследуемого фрагмента поверхности в фокусе объектива для объектов различной толщины при выполнении их угловой ориентации.
Для решения поставленной задачи предложено устройство для позиционирования объекта, которое содержит средство угловой ориентации, состоящее из подвижной и неподвижной частей, и средство вертикальной подачи. Средство угловой ориентации обеспечивает угловую ориентацию объекта относительно двух пересекающихся взаимно перпендикулярных горизонтальных осей. Средство вертикальной подачи связано с подвижной частью средства угловой ориентации и обеспечивает перемещение объекта относительно подвижной части средства угловой ориентации вдоль вертикальной оси.
В частном случае изобретения средство угловой ориентации выполнено в виде сферического шарнира.
В другом частном случае изобретения подвижная часть средства угловой ориентации содержит верхний и нижний элементы. Верхний элемент способен к повороту относительно первой из упомянутых горизонтальных осей и расположен на нижнем элементе, который способен к повороту относительно второй из упомянутых горизонтальных осей и расположен на неподвижной части.
В еще одном частном случае изобретения, по меньшей мере, одно из средства вертикальной подачи, подвижной и неподвижной частей средства угловой ориентации способно вращаться относительно вертикальной оси, проходящей через точку пересечения горизонтальных осей.
В частном случае изобретения средство вертикальной подачи представляет собой актуатор, статический элемент которого связан с подвижной частью средства угловой ориентации, а его динамический элемент - с объектом. Актуатор при этом может быть выполнен в виде линейного электродвигателя, причем статическим и динамическим элементами актуатора в этом случае являются соответственно статор и якорь линейного электродвигателя. Однако представляется предпочтительным выполнение актуатора в виде пъезоприводного исполнительного механизма, причем статическим и динамическим элементами актуатора тогда являются соответственно корпус и ходовой элемент пъезоприводного исполнительного механизма.
Предложенное устройство может применяться в микроскопе, причем в этом случае точка пересечения горизонтальных осей совпадает с фокусом объектива микроскопа.
Технический результат изобретения заключается в обеспечении возможности расположения наблюдаемого фрагмента поверхности в области точки пересечения горизонтальных осей для объектов различной толщины.
Осуществление изобретения будет пояснено ссылками на фигуры:
фиг.1 - известное устройство для позиционирования объекта в исходном положении;
фиг.2 - известное устройство для позиционирования объекта в положении поворота вокруг горизонтальной оси;
фиг.3 - предложенное устройство для позиционирования объекта в исходном положении с изображением объекта большей толщины;
фиг.4 - предложенное устройство для позиционирования объекта в положении поворота вокруг горизонтальной оси с изображением объекта большей толщины;
фиг.5 - предложенное устройство для позиционирования объекта в исходном положении с изображением объекта меньшей толщины;
фиг.6 - предложенное устройство для позиционирования объекта в положении поворота вокруг горизонтальной оси с изображением объекта меньшей толщины.
Осуществление изобретения будет представлено на примере его использования в конструкции микроскопа, что, однако, не является ограничением в области использования изобретения.
Известное устройство позиционирования объекта, показанное на фиг.1, представляет собой средство угловой ориентации 1, которое включает неподвижную часть 2 и подвижную часть 3. На подвижной части расположена площадка 4, на которой размещен объект 5 с внешней поверхностью 6. Подвижная и неподвижная части образуют сферический шарнир, обеспечивающий поворот подвижной части относительно горизонтальных взаимно перпендикулярных осей Х и Y, пересекающихся в центре сферы шарнира, обозначенном точкой О.
Если толщина объекта равна расстоянию от площадки до центра сферы шарнира, то наблюдаемый фрагмент A1 совпадает с точкой О (современные фазовые микроскопы способны получать изображение фрагмента поверхности 10×10 мкм, и в контексте данной заявки такой фрагмент допустимо рассматривать как точечный). В этом случае при повороте подвижной части наблюдаемый фрагмент A1 сохранит свое положение относительно точки О, в то время как все остальные точки внешней поверхности 6 будут смещены относительно нее.
Для фокусирования на наблюдаемом фрагменте объектив микроскопа располагают в положении, обеспечивающем заданное расстояние f между объективом и наблюдаемым фрагментом, при этом оптическая ось объектива проходит через точку О. Поскольку точка фокуса микроскопа всегда находится на наблюдаемом фрагменте, то в рассматриваемом случае она также совпадает с точкой О, а объектив при этом будет располагаться в положении 7. При выполнении требуемой угловой ориентации объекта, как видно на фиг.2, фрагмент A1 остается в фокусе объектива.
Однако если толщина объекта будет меньше или больше оптимальной (фиг.1), то наблюдаемые фрагменты, обозначенные соответственно A2 и A3, не совпадут с точкой О. Следовательно, не совпадет с точкой О и точка фокуса микроскопа, так как объектив будет перемещен соответственно в положения 8 и 9.
В процессе угловой ориентации, как видно на фиг.2, наблюдаемые фрагменты A2 и A3 отклоняются от оптической оси объектива и, таким образом, выносятся из его фокуса. Для дальнейшего наблюдения фрагментов A2 и A3 устройство позиционирования объекта должно быть оснащено средствами линейного перемещения вдоль осей Х и Y. Это существенным образом усложняет конструкцию, кроме того, поиск вынесенных из фокуса фрагментов поверхности занимает значительное время.
Предложенное устройство позиционирования объекта, показанное на фиг.3, содержит средство угловой ориентации 1, конструкция которого в целом аналогична конструкции средства угловой ориентации известного устройства. Однако устройство позиционирования объекта согласно заявленному изобретению снабжено средством вертикальной подачи 10, представляющим собой актуатор, статический элемент 11 которого закреплен на подвижной части средства угловой ориентации, а динамический элемент 12 через площадку 4 связан с объектом.
Актуатор может быть выполнен в виде линейного электродвигателя, и тогда статическим элементом актуатора будет являться статор электродвигателя, а динамическим - его якорь. Однако в предпочтительном случае изобретения актуатор выполнен в виде пъезоприводного исполнительного механизма, корпус которого выступает в качестве статического элемента актуатора, а ходовой элемент - в качестве динамического. Данные исполнительные механизмы известны, например, таковыми являются линейные шаговые двигатели PiezoWalk® фирмы NEXLINE®.
В микроскопе, оснащенном предложенным устройством позиционирования объекта, объектив может занимать неизменное положение 7 и обеспечивать постоянное фокусирование в точке пересечения горизонтальных осей Х и Y - точке О. На фиг.3 и фиг.5 показано, что наблюдаемые фрагменты A1 и A2 объектов, имеющих различную толщину, посредством вертикального перемещения площадки могут быть совмещены с неизменной точкой фокуса объектива, совпадающей с точкой О. Таким образом, средство вертикальной подачи позволяет обеспечить нахождение наблюдаемых фрагментов A1 и A2 в фокусе объектива при угловом позиционировании объектов, что проиллюстрировано на фиг.4 и фиг.6.
Микроскоп приобретает дополнительные возможности, если, по меньшей мере, одно из средства вертикальной подачи, подвижной и неподвижной частей средства угловой ориентации способно поворачиваться относительно вертикальной оси Z, проходящей через точку пересечения горизонтальных осей и совпадающей с оптической осью объектива. При использовании в фазовом микроскопе данная опция позволяет получить более точное изображение наблюдаемого фрагмента, выбрав его из нескольких изображений, полученных при разном положении объекта.
Заявленное изобретение может быть реализовано и в том случае, если средство угловой ориентации будет выполнено согласно решению-аналогу, раскрытому в JP 7209453 A, G02B 21/26, 11.08.1995. Подвижная часть такого средства угловой ориентации содержит верхний и нижний элементы. Верхний элемент способен к повороту относительно первой из горизонтальных осей, например оси X, и расположен на нижнем элементе, который способен к повороту относительно второй из горизонтальных осей Y. Нижний элемент при этом расположен на неподвижной части. В этом случае статический элемент актуатора может быть закреплен на нижнем элементе подвижной части либо на ее верхнем элементе.

Claims (8)

1. Устройство для позиционирования объекта, которое содержит средство угловой ориентации, состоящее из подвижной и неподвижной частей и обеспечивающее угловую ориентацию объекта относительно двух пересекающихся взаимно перпендикулярных горизонтальных осей, и
связанное с подвижной частью средства угловой ориентации средство вертикальной подачи, обеспечивающее перемещение объекта относительно подвижной части средства угловой ориентации вдоль вертикальной оси.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что средство угловой ориентации выполнено в виде сферического шарнира.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что подвижная часть средства угловой ориентации содержит верхний и нижний элементы, причем
верхний элемент способен к повороту относительно первой из упомянутых горизонтальных осей и расположен на нижнем элементе, который способен к повороту относительно второй из упомянутых горизонтальных осей и расположен на неподвижной части.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что, по меньшей мере, одно из средства вертикальной подачи, подвижной и неподвижной частей средства угловой ориентации способно вращаться относительно вертикальной оси, проходящей через точку пересечения горизонтальных осей.
5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что средство вертикальной подачи представляет собой актуатор, статический элемент которого связан с подвижной частью средства угловой ориентации, а его динамический элемент - с объектом.
6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что актуатор выполнен в виде линейного электродвигателя, причем статическим и динамическим элементами актуатора являются соответственно статор и якорь линейного электродвигателя.
7. Устройство по п.5, отличающееся тем, что актуатор выполнен в виде пъезоприводного исполнительного механизма, причем статическим и динамическим элементами актуатора являются соответственно корпус и ходовой элемент пъезоприводного исполнительного механизма.
8. Устройство по п.1, отличающееся тем, что применяется в микроскопе, причем точка пересечения осей совпадает с фокусом объектива микроскопа.
RU2012145973/28A 2012-10-29 2012-10-29 Устройство для позиционирования объекта RU2517962C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012145973/28A RU2517962C1 (ru) 2012-10-29 2012-10-29 Устройство для позиционирования объекта

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012145973/28A RU2517962C1 (ru) 2012-10-29 2012-10-29 Устройство для позиционирования объекта

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012145973A RU2012145973A (ru) 2014-05-10
RU2517962C1 true RU2517962C1 (ru) 2014-06-10

Family

ID=50629218

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012145973/28A RU2517962C1 (ru) 2012-10-29 2012-10-29 Устройство для позиционирования объекта

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2517962C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2598550C1 (ru) * 2015-07-02 2016-09-27 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение Всероссийский научно-исследовательский институт механизации сельского хозяйства (ФГБНУ ВИМ) Автожир для внесения жидких средств химизации

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5119408A (en) * 1990-10-31 1992-06-02 General Electric Company Rotate/rotate method and apparatus for computed tomography x-ray inspection of large objects
RU8486U1 (ru) * 1997-12-23 1998-11-16 Открытое акционерное общество "ЛОМО" Фокусировочный механизм микроскопа
JP2010134192A (ja) * 2008-12-04 2010-06-17 Nikon Corp 傾斜ステージとこれを有する顕微鏡
RU120246U1 (ru) * 2011-12-22 2012-09-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Брянский государственный технический университет" Устройство управления предметным столиком оптического микроскопа leica dm irm

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5119408A (en) * 1990-10-31 1992-06-02 General Electric Company Rotate/rotate method and apparatus for computed tomography x-ray inspection of large objects
RU8486U1 (ru) * 1997-12-23 1998-11-16 Открытое акционерное общество "ЛОМО" Фокусировочный механизм микроскопа
JP2010134192A (ja) * 2008-12-04 2010-06-17 Nikon Corp 傾斜ステージとこれを有する顕微鏡
RU120246U1 (ru) * 2011-12-22 2012-09-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Брянский государственный технический университет" Устройство управления предметным столиком оптического микроскопа leica dm irm

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2598550C1 (ru) * 2015-07-02 2016-09-27 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение Всероссийский научно-исследовательский институт механизации сельского хозяйства (ФГБНУ ВИМ) Автожир для внесения жидких средств химизации

Also Published As

Publication number Publication date
RU2012145973A (ru) 2014-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10001634B2 (en) Method for preparing for and carrying out the acquisition of image stacks of a sample from various orientation angles
JP4915071B2 (ja) 顕微鏡、およびバーチャルスライド作成システム
US10365466B2 (en) Method and microscope for imaging a volume sample
JP2012015029A5 (ru)
JP2005321657A (ja) 顕微鏡の光学系、顕微鏡、及びバーチャルスライド作成システム
JP2013088530A (ja) 拡大観察装置
JP2014514592A (ja) 可変配向照明パターン回転器
JP2016529558A (ja) 側方照明顕微鏡システム及び顕微方法
JP2014163976A (ja) 画像取得装置および画像取得システム
JP2018506733A (ja) 選択的平面照明顕微鏡法機器
US9906729B2 (en) Imaging apparatus and microscope system
US11320639B2 (en) Microscope optical module, microscope, control device for microscope optical module, and multiphoton excitation microscope
RU2517962C1 (ru) Устройство для позиционирования объекта
JP2009025488A (ja) 顕微鏡及びその観測方法
WO1998053730A1 (en) Confocal scanning microscope with angled objective lenses for improved axial resolution
TW201020507A (en) Three-dimensional profile inspecting apparatus
JP5910407B2 (ja) 硬さ試験機および硬さ試験機における硬さ試験方法
KR101162058B1 (ko) 카메라 정렬장치가 구비된 입체 카메라 리그
US11327284B2 (en) Microscope system
US10768405B2 (en) Microscope having an objective-exchanging device
JP5405419B2 (ja) レンズ検査装置
JP2006293223A (ja) ステージ傾き調整装置及び顕微鏡ステージ
JP2004106017A (ja) レーザ加工装置
US20030210460A1 (en) Microscope stage and microscope having microscope stage mounted thereon
JP6401979B2 (ja) 顕微鏡システム

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20151030