RU2459188C1 - Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения - Google Patents

Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения Download PDF

Info

Publication number
RU2459188C1
RU2459188C1 RU2011121575/28A RU2011121575A RU2459188C1 RU 2459188 C1 RU2459188 C1 RU 2459188C1 RU 2011121575/28 A RU2011121575/28 A RU 2011121575/28A RU 2011121575 A RU2011121575 A RU 2011121575A RU 2459188 C1 RU2459188 C1 RU 2459188C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
tmd
sensor
flat spring
spring element
mdt
Prior art date
Application number
RU2011121575/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Анатольевич Калинин (RU)
Владимир Анатольевич Калинин
Валерий Антонович Шубарев (RU)
Валерий Антонович Шубарев
Мария Анатольевна Волкова (RU)
Мария Анатольевна Волкова
Светлана Валентиновна Чайчук (RU)
Светлана Валентиновна Чайчук
Original Assignee
Открытое акционерное общество "Авангард"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "Авангард" filed Critical Открытое акционерное общество "Авангард"
Priority to RU2011121575/28A priority Critical patent/RU2459188C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2459188C1 publication Critical patent/RU2459188C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Abstract

Изобретение относится к силоизмерительной технике и может быть использовано для измерения линейных статических и динамических сил и вызванных ими перемещений. Техническим результатом является повышение долговечности, надежности, точности измерения устройства. Чувствительный элемент содержит трансформатор механических деформаций (ТМД) в виде плоского пружинного элемента, с двух сторон которого установлены первичные чувствительные элементы (ПЧЭ) в виде пьезокварцевых резонаторов. Плоский пружинный элемент выполнен из бронзы БрБ2, центрально-симметричным профилем, содержит два равномерно деформируемых участка, на которых при помощи жесткого низкотемпературного припоя с разных сторон плоского пружинного элемента прикреплены ПЧЭ, от двух равномерно деформируемых участков внутрь ТМД отходят две изогнутые консоли, соединенные в центре ТМД с шайбой. 5 ил., 3 табл.

Description

Техническое предложение относится к силоизмерительной технике и может быть использовано для измерения линейных статических и динамических сил и вызванных ими перемещений (деформаций).
Известен «Датчик перемещений» по патенту США №6810753 ВВ от 24.08.2001 года, МПК G01L 1/04 [1], содержащий трансформатор механических деформаций (ТМД) в виде дугообразной пластины (подложки) с плоскими участками для приложения измеряемых усилий и прикрепленными к пластине двумя тензометрами, один измерительный на дугообразном участке и второй опорный - на плоском. Датчик может измерять перемещения в положительную и отрицательную стороны.
Недостатком известного устройства [1] является то, что в нем первичным чувствительным элементом (ПЧЭ) является только один тензометр, который прикреплен на дугообразном участке. Из этого следует низкая чувствительность и точность всего датчика. Ввиду дугообразности пластины, то есть ее несимметричности, измерительный ПЧЭ будет работать по-разному на растяжение и на сжатие, что дополнительно вводит погрешности в показания датчика. Кроме того, датчик имеет низкую термостабилизацию ввиду разнесенности двух его ПЧЭ на значительное расстояние.
Известен «Резонансный датчик усилия с пьезоэлементами» по патенту Франции №2776065 А1 от 17.09.1999 года, МПК G01L 1/16 [2], содержащий ТМД в виде вибрирующего тонкого круглого диска, который по периферии вставлен в жесткий неподвижный корпус, усилие к диску подводится при помощи полого цилиндра, коаксиального диску и соединенного с ним, на диске с противоположных его сторон симметрично расположены два ПЧЭ в виде пьезоэлектрических элементов. Причем первый ПЧЭ предназначен для создания вибраций в структуре, образованной диском и цилиндром, а второй ПЧЭ служит для считывания отклика датчика на приложенное к цилиндру усилие, а именно резонансной частоты.
Недостатком известного устройства [2] также является то, что в нем ПЧЭ является только один пьезоэлектрический элемент, что определяет низкую чувствительность и точность датчика. Кроме того, датчик может работать только на сжатие, что уменьшает область его применения, а также датчик обладает сложностью и дополнительными затратами энергии на создание вибраций во втором пьезоэлектрическом элементе.
Известно «Устройство для измерения силы сжатия» по патенту России №2320968 от 27.03.2008 года, МПК G01L 1/16 - [3], содержащее корпус, упругодеформируемый элемент, выполненный в виде тарельчатой пружины с осевым толкателем, и чувствительный элемент датчика силы сжатия в виде ТМД: Г-образной консоли, закрепленная часть которой на внутренней и наружной поверхностях имеет прорези, обеспечивающие изгиб консоли по длине прорезей, в которых установлены ПЧЭ в виде пьезокварцевых резонаторов.
Недостатками известного аналога [3] являются следующие.
- Большая разность в коэффициентах линейных расширений стальной пластины и ПЧЭ (кварцевого материала), что задает применение устройства в узких температурных диапазонах, снижает его функциональность и увеличивает погрешности измерений. При существенных изменениях температурных условий в высокую или низкую стороны нарастает напряженность клееной конструкции вплоть до ее разрушения.
- Установленные на стальной Г-образной пластине два ПЧЭ в виду несимметричности последней будут работать неодинаково и вносить искажения в работу чувствительного элемента датчика.
- Устройство работает только на сжатие, что сужает его область применения.
Прототипом заявляемого технического решения является «Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения» по патенту России №2401999 от 20.10.2010 года, МПК G01L 1/16 [4], содержащий трансформатор механических деформаций (ТМД), на консоли которого с двух сторон установлены первичные чувствительные элементы (ПЧЭ) в виде пьезокварцевых резонаторов, в качестве ТМД использована пластина из композитного материала с нанесенным слоем металла, консоль внутри пластины выполнена в виде плоской спирали, на которой симметрично с двух сторон установлены пайкой ПЧЭ, контактные площадки которых и проводники к ним выполнены травлением нанесенного слоя металла, причем ПЧЭ выполнены в виде пассивных пьезокварцевых резонаторов на поверхностных акустических волнах (ПАВ).
Недостатком прототипа [4] является использование ТМД из композитного материала с нанесенным слоем металла, например текстолита, что обуславливает недолговечность чувствительного элемента датчика линейных сил сжатия-растяжения, так как текстолит не обладает долговременной стабильностью механических свойств в нагруженном состоянии. В результате этого с течением времени погрешности показаний датчика будут дрейфовать и увеличиваться. Кроме того, изготовление плоской пружины ТМД в виде консоли с одним свободным концом не обеспечивает равномерность ее деформации, в виду того, что при прикладывании осевого усилия к ТМД за счет противодействия консоли, распределение воздействующих сил будет происходить по трем пространственным осям ТМД. При этом усилия будут прилагаться не только в одном направлении, что будет приводить к дополнительным погрешностям показания датчика. Концентраторы напряжения на консоли (отверстия и боковые углубления) ослабляют механические свойства пружинного ТМД и в неполной мере решают задачи равномерного распределения напряжений по длине ПЧЭ (по его оси чувствительности).
Недостатки аналогов и прототипа ставят задачи повышения долговечности, надежности, точности измерения устройства.
Сущность предложенного технического решения состоит в том, что в заявляемом чувствительном элементе датчика линейных сил сжатия-растяжения трансформатор механических деформаций (ТМД) выполнен в виде плоского пружинного элемента, с двух сторон которого установлены первичные чувствительные элементы в виде пьезокварцевых резонаторов, плоский пружинный элемент выполнен из бронзы БрБ2, центрально-симметричным профилем, содержит два равномерно деформируемых участка, на которых при помощи жесткого низкотемпературного (например, галлиевого) припоя соответственно прикреплены ПЧЭ, от двух равномерно деформируемых участков внутрь ТМД отходят две изогнутые консоли, соединенные в центре ТМД с шайбой.
Введение плоского пружинного элемента, выполненного из бронзы БрБ2, необходимо для того, чтобы повысить долговременную стабильность механических свойств ТМД и уменьшить погрешность показаний датчика. Кроме того, коэффициенты линейного и объемного расширения бронзы БрБ2 и кварцевых ПЧЭ очень близки друг к другу, что обеспечит температурную стабильность показаний при работе датчика.
Ведение признака «плоский пружинный элемент выполнен центрально-симметричным профилем» и признака «от двух равномерно деформируемых участков внутрь ТМД отходят две изогнутые консоли, соединенные в центре ТМД с шайбой» необходимо для того, чтобы обеспечить равномерность деформации ТМД, сводя ее только к одному направлению, что позволит повысить точность измерений.
Ведение плоского пружинного элемента содержащего… два равномерно деформируемых участка, необходимо для того, чтобы обеспечить равномерную деформацию установленных на них ПЧЭ в виде пьезокварцевых резонаторов, например, на ПАВ. Данный признак позволит обеспечить высокую точность измерений и снижение их погрешности.
Введение признака «при помощи жесткого низкотемпературного галлиевого припоя соответственно прикреплены ПЧЭ» на двух центрально-симметричных равномерно деформируемых участках ТМД и с разных его сторон необходимо для того, чтобы при необходимой прочности крепления обеспечить минимальный температурный гистерезис при температурных расширениях соединения и тем самым уменьшить температурную погрешность показаний датчика. Кроме того, например, галлиевый низкотемпературный припой кристаллизуется при температуре около 120°С, что исключает температурное повреждение ПЧЭ при их креплении.
На фиг.1 представлен чертеж чувствительного элемента датчика линейных сил сжатия-растяжения; на фиг.2 - фотография заявляемого устройства; на фиг.3 - диаграмма распределения механических напряжений по поверхности ТМД; на фиг.4 - результаты (графики) оптимизации конструкции ТМД; на фиг.5 - градуировочная характеристика предложенного устройства.
Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения содержит ТМД в виде плоского пружинного элемента 1 с центрально-симметричным профилем. ПЧЭ 2 и 3 установлены с двух сторон плоского пружинного элемента 1 ТМД соответственно на двух равномерно деформируемых участках 4 и 5 при помощи низкотемпературного галлиевого припоя. ТМД выполнен из бронзы Бр2Б. От двух равномерно деформируемых участков 4 и 5 внутрь плоского пружинного элемента 1 ТМД отходят соответственно две изогнутые консоли 6 и 7, соединенные в центре ТМД шайбой 8.
Работает чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения следующим образом. При воздействии осевой силы (перпендикулярной плоскости плоского пружинного элемента 1 ТМД) в одну или противоположную сторону к месту приложения усилий - соединительной шайбе 8 консоли 6 и 7 изгибаются, увлекая за собой равномерно деформируемые участки 4 и 5, на которых с разных сторон при помощи низкотемпературного галлиевого припоя прикреплены ПЧЭ 2 и 3. В результате этого один из ПЧЭ, например 2, сжимается, а другой 3 растягивается (или наоборот), а их сигналы откликов по навесным проводам (не показаны) поступают на внешнюю схему цепей согласования из пассивных компонентов, а затем в антенну датчика или внешний коаксиальный кабель, вторым концом подключенным к опрашивающему устройству, где суммируется и обрабатывается. Плоский пружинный элемент 1 ТМД неподвижно закреплен в корпусе датчика (не показан) и обеспечивает изгиб двух равномерно деформируемых участков 4 и 5, и, следовательно, равномерную деформацию ПЧЭ 2 и 3, чем достигается сведение к минимуму погрешности измерений всего устройства и повышение его точности.
В случае применения ПЧЭ в виде пассивных пьезокварцевых резонаторов на ПАВ 2 и 3 последние подсоединены друг к другу параллельно и непосредственно к антенне передачи данных по радиоканалу. При этом одним из двух проводников является плоский пружинный элемент 1 ТМД, к которому подпаяны одним контактом ПЧЭ, и подключенный к экранирующему проводу антенны. При этом считыватель своей антенной подает сигнал, который принимается антенной резонаторов на ПАВ (датчика), от полученного сигнала они резонируют со смещением, и в зависимости от их деформации и выдают ответный сигнал в антенну датчика, из которой сигнал принимается той же антенной считывателя.
Заявляемое техническое решение - чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения - разработан, изготовлен и испытан в ОАО «Авангард». Плоский пружинный элемент - ТМД чувствительного элемента датчика линейных сил сжатия-растяжения представляет собой круглую пластину из бронзы БрБ2 (фиг.1 и фиг.2) толщиной 1 мм и диаметром 30 мм. Оптимальный ход шайбы ±1000 мкм. Устройство удовлетворяет поставленным задачам, погрешность выходных характеристик датчиков не превышает 5%, а надежность подтверждена расчетно-экспериментальным методом.
Диаграмма распределения механических напряжений по поверхности ТМД, представленная на фиг.3, доказывает правильность выбранной его конструкции, а результаты (графики) оптимизации конструкции ТМД по фиг.4 позволили найти его оптимальную толщину. Градуировочная характеристика предложенного устройства представлена на фиг.5. Технические характеристики заявляемого устройства представлены в таблице 1. Характеристики заявляемого устройства к внешним воздействующим факторам и по надежности представлены в таблице 2. Сравнение характеристик заявляемого устройства с датчиками других производителей представлено в таблице 3.
Таблица 1
Технические характеристики заявляемого устройства
№ п/п Параметр, ед. изм. Значение
1 Диапазон рабочих частот, МГц 433,05-434,79
2 Максимальная измеряемая деформация сжатия/растяжения, мкм ±1000
3 Длина измерительной базы, мм, не менее 150…600
4 Порог чувствительности, мкм 20
5 Относительная приведенная погрешность, % ±5,0
6 Диапазон рабочих температур, °С -30 -+70
Таблица 2
Характеристики заявляемого устройства к внешним воздействующим факторам и по надежности
№ п/п Параметр, ед. изм. Значение
1. Синусоидальная вибрация, Гц 1-1000
2. Механический удар многократного действия, g 10
3. Повышенная влажность, % 95
4. Средняя наработка до отказа, ч, не менее 25000
5. Средний срок службы, лет 15
Таблица 3
Сравнение характеристик заявляемого устройства с датчиками других производителей
Показатель, ед. изм. Заявляемое устройство ПЛДС-125 (ВНИИФ-ТРИ) BS-8FT (Kyowa) Вывод
Диапазон измеряемой деформации, мкм ±1000 ±1000 ±1000 На уровне
Порог чувствительности, мкм 20 (10) 15 10 На уровне
Относительная приведенная погрешность, % ±5 ±10 ±1 На уровне
Диапазон рабочих температур, °С -30…+70 -20…+40 -30…+70 На уровне
Тип чувствительного элемента Пассивный (ПАВ резонатор) Активный (струна) Активный (тензо-резонатор) Лучше
Метод опроса датчика Радиоканальный (по коаксиалу) Проводной Проводной Лучше
Полагаем, что предложенное устройство обладает всеми критериями изобретения, так как
- чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения в совокупности с ограничительными и отличительными признаками формулы изобретения является новым для общеизвестных устройств и, следовательно, соответствует критерию "новизна";
- совокупность признаков формулы изобретения устройства не известна на данном уровне развития техники и не следует общеизвестным правилам конструирования чувствительных элементов датчика линейных сил сжатия-растяжения, что доказывает соответствие критерию "изобретательский уровень";
- конструктивная реализация чувствительного элемента датчика линейных сил сжатия-растяжения не представляет никаких конструктивно-технических и технологических трудностей, откуда следует соответствие критерию "промышленная применимость".
Источники информации
1. Патент США №6810753 ВВ от 24.08.2001 года, МПК G01L 1/04, «Датчик перемещений».
2. Патент Франции №2776065 А1 от 17.09.1999 года, МПК G01L 1/16, «Резонансный датчик усилия с пьезоэлементами».
3. Патент РФ №2320968 от 27.03.2008 года, МПК G01L 1/16, «Устройство для измерения силы сжатия».
4. Патент РФ №2401999 от 20.10.2010 года, МПК G01L 1/16, «Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения», прототип.

Claims (1)

  1. Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения, содержащий трансформатор механических деформаций (ТМД) в виде плоского пружинного элемента, с двух сторон которого установлены первичные чувствительные элементы (ПЧЭ) в виде пьезокварцевых резонаторов, отличающийся тем, что плоский пружинный элемент выполнен из бронзы БрБ2 центрально-симметричным профилем, содержит два равномерно деформируемых участка, на которых при помощи жесткого низкотемпературного припоя соответственно прикреплены ПЧЭ, от двух равномерно деформируемых участков внутрь ТМД отходят две изогнутые консоли, соединенные в центре ТМД с шайбой.
RU2011121575/28A 2011-05-27 2011-05-27 Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения RU2459188C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011121575/28A RU2459188C1 (ru) 2011-05-27 2011-05-27 Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011121575/28A RU2459188C1 (ru) 2011-05-27 2011-05-27 Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2459188C1 true RU2459188C1 (ru) 2012-08-20

Family

ID=46936758

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011121575/28A RU2459188C1 (ru) 2011-05-27 2011-05-27 Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2459188C1 (ru)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2212736C2 (ru) * 2001-11-12 2003-09-20 Научное конструкторско-технологическое бюро "Пьезоприбор" Ростовского государственного университета Пьезоэлектрический изгибный преобразователь
EP1764597A1 (en) * 2005-09-16 2007-03-21 STMicroelectronics S.r.l. Surface acoustic wave pressure sensor
RU2401999C1 (ru) * 2009-09-09 2010-10-20 Открытое акционерное общество "Авангард" Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения
RU2402000C1 (ru) * 2009-09-09 2010-10-20 Открытое акционерное общество "Авангард" Барочувствительный элемент

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2212736C2 (ru) * 2001-11-12 2003-09-20 Научное конструкторско-технологическое бюро "Пьезоприбор" Ростовского государственного университета Пьезоэлектрический изгибный преобразователь
EP1764597A1 (en) * 2005-09-16 2007-03-21 STMicroelectronics S.r.l. Surface acoustic wave pressure sensor
RU2401999C1 (ru) * 2009-09-09 2010-10-20 Открытое акционерное общество "Авангард" Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения
RU2402000C1 (ru) * 2009-09-09 2010-10-20 Открытое акционерное общество "Авангард" Барочувствительный элемент

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105606844B (zh) 具有应变补偿的加速度计
Meti et al. MEMS piezoresistive pressure sensor: a survey
WO2014169540A1 (zh) 非等截面悬臂梁压电式加速度传感器
GB2450952A (en) Piezoelectric quartz accelerometer with axial shock absorbing buffer unit
JP2004053424A (ja) 機械的変形量検出センサ及びそれを用いた加速度センサ、圧力センサ
CN109828123B (zh) 一种基于长周期光纤光栅弯曲特性的二维加速度传感器及测量方法
CN111795763B (zh) 负荷单元
KR101361737B1 (ko) 반도체형 스트레인 게이지를 이용한 변형 측정 장치
EP3835794B1 (en) Resonator including one or more mechanical beams with added mass
US20110100125A1 (en) Acceleration sensor
RU2459188C1 (ru) Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения
RU2401999C1 (ru) Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения
RU2658089C1 (ru) Датчик деформации
CN105004267A (zh) 基于光纤布拉格光栅的谐振式纳米三坐标接触式测头
RU2486646C1 (ru) Датчик на поверхностных акустических волнах для беспроводного пассивного измерения перемещений
Zou et al. Micro-electro-mechanical resonant tilt sensor with 250 nano-radian resolution
US7535158B2 (en) Stress sensitive element
JP2008170203A (ja) 加速度検知ユニット、及び加速度センサ
JP2017129510A (ja) 測定装置及び測定方法
RU2421736C1 (ru) Акселерометр
CN112782426A (zh) 包括一个或多个具有附加质量块的机械梁的谐振器
Cheng et al. Feasibility study of a pressure sensor based on double-ended tuning fork quartz resonator
CN112161722A (zh) 一种基于悬臂梁的高灵敏温度探测装置
RU2348936C1 (ru) Акселерометр на поверхностных акустических волнах с резонатором
RU2586086C1 (ru) Датчик на поверхностных акустических волнах для беспроводного пассивного измерения перемещений

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20170528

NF4A Reinstatement of patent

Effective date: 20181109