RU2212736C2 - Пьезоэлектрический изгибный преобразователь - Google Patents

Пьезоэлектрический изгибный преобразователь Download PDF

Info

Publication number
RU2212736C2
RU2212736C2 RU2001130659/28A RU2001130659A RU2212736C2 RU 2212736 C2 RU2212736 C2 RU 2212736C2 RU 2001130659/28 A RU2001130659/28 A RU 2001130659/28A RU 2001130659 A RU2001130659 A RU 2001130659A RU 2212736 C2 RU2212736 C2 RU 2212736C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plates
transducer
piezoelectric
polarized
series
Prior art date
Application number
RU2001130659/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2001130659A (ru
Inventor
В.К. Доля
В.Ю. Вусевкер
А.Е. Панич
Original Assignee
Научное конструкторско-технологическое бюро "Пьезоприбор" Ростовского государственного университета
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научное конструкторско-технологическое бюро "Пьезоприбор" Ростовского государственного университета filed Critical Научное конструкторско-технологическое бюро "Пьезоприбор" Ростовского государственного университета
Priority to RU2001130659/28A priority Critical patent/RU2212736C2/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2212736C2 publication Critical patent/RU2212736C2/ru
Publication of RU2001130659A publication Critical patent/RU2001130659A/ru

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Изобретение относится к измерительным устройствам и предназначено для работы в датчиках вибрации. Сущность: пьезоэлектрический преобразователь содержит две включенные параллельно сигнальные пьезокерамические пластины и размещенные между ними две включенные последовательно дополнительные пьезокерамические пластины, поляризованные в противоположных направлениях. Отношение толщин дополнительной и сигнальной пластин находится в интервале 1÷2,25. Технический результат: повышение чувствительности по заряду. 1 з.п. ф-лы, 2 ил., 1 табл.

Description

Изобретение относится к измерительным устройствам и может быть использовано в качестве чувствительного элемента датчика вибрации.
Известен пьезоэлектрический вибропреобразователь с биморфным пьезоэлементом, использующим деформацию изгиба [1]. Вибропреобразователь отличается малой поперечной чувствительностью и повышенной точностью измерения смещения и скорости. Однако рабочий диапазон температур вибропреобразователя ограничен температурной стабильностью клеевого соединения деталей чувствительного элемента.
Наиболее близким аналогом является пьезоэлектрический преобразователь виброизмерительного датчика [2]. Двухслойная конструкция изгибного пьезопреобразователя выполнена путем диффузионной сварки пьезоэлементов по серебряному покрытию, что обеспечивает широкий температурный диапазон работы датчиков и низкий разброс по коэффициенту преобразования.
Однако известный преобразователь имеет недостаточно высокую величину коэффициента электромеханического преобразования, то есть чувствительности по заряду. Недостаток объясняется тем, что средняя линия деформации изгиба проходит в месте соединения двух поляризованных пластин и значительный объем пьезоэлектрических пластин биморфного преобразователя подвергается близким к нулю синфазным деформациям сжатия-растяжения. По этой причине значительный объем пьезоактивной зоны не вырабатывает электрический заряд, что приводит к потере чувствительности по заряду.
Заявляемый в качестве изобретения пьезоэлектрический изгибный преобразователь позволяет повысить чувствительность по заряду при сохранении габаритных размеров, резонансной частоты и рабочего диапазона температур.
Указанный технический эффект достигается тем, что пьезоэлектрический изгибный преобразователь, содержащий две включенные электрически параллельно пьезокерамические пластины, содержит также две включенные электрически последовательно пьезокерамические пластины, поляризованные в противоположных направлениях и размещенные между включенными параллельно пластинами.
Пластины механически жестко соединены между собой, причем средняя линия деформации изгиба проходит в теле пластин, соединенных электрически последовательно.
Оптимальная толщина b включенной электрически последовательно пьезокерамической пластины выбирается в интервале h≤b≤2,25h, где h - толщина включенной электрически параллельно пластины.
Введение в конструкцию устройства дополнительных пластин и их размещение вблизи средней линии деформации изгиба позволяет достичь оптимальной синфазной деформации сжатия-растяжения сигнальных пластин преобразователя за счет более полного использования их объема.
Дополнительные пластины поляризованы в противоположных направлениях, чтобы нейтрализовать образующиеся в них электрические заряды. В то же время весьма существенным является сам факт поляризованности средней зоны преобразователя, поскольку таким образом выравнивается температурный коэффициент линейного расширения во всем объеме преобразователя. По температурному коэффициенту линейного расширения поляризованная пьезокерамика существенно отличается от неполяризованной. Поэтому применение неполяризованной пьезокерамики, как и других электрически пассивных материалов, металлических и неметаллических, существенно сузило бы рабочий диапазон температур.
Оптимальная толщина дополнительной пластины выбирается в интервале 1÷2,25 от толщины сигнальной пластины, так как дальнейшее увеличение отношения толщин приводит к уменьшению чувствительности преобразователя за счет резкого уменьшения объема его сигнальной части.
Таким образом, введением в состав устройства двух включенных последовательно поляризованных в противоположных направлениях пьеэокерамических пластин достигается основной технический эффект изобретения - существенное увеличение чувствительности пьезоэлектрического преобразователя.
Сущность изобретения поясняется нижеследующим описанием и чертежами фиг. 1 и 2. На фиг.1 изображен общий вид пьезоэлектрического преобразователя и схема его электрических соединений в датчике вибраций. На фиг.2 показана схема технологических электрических соединений при поляризации преобразователя.
Устройство содержит сигнальные пьезокерамические пластины 1 и 2 толщиной h и дополнительные пьезокерамические пластины 3 и 4 толщиной b, размещенные между пластинами 1 и 2 (фиг.1). Оптимальное отношение толщины пластин 3, 4 к толщине пластин 1, 2 находится в интервале 1÷2,25. Все пластины снабжены серебряными вожженными электродами и механически соединены диффузионной сваркой. Пластины 1, 2 и 3, 4 попарно включены в схему фиг.2 и поляризованы при помощи отдельных источников напряжения 5 и 6, так как в общем случае сигнальные пластины 1, 2 и дополнительные пластины 3, 4 имеют разную толщину. В соответствии со схемой фиг. 1 поляризованные пластины 3, 4 электрически включены последовательно, а сигнальные пластины 1, 2 включены параллельно и подключены к входному усилителю измерительной системы 7.
Устройство работает следующим образом. При воздействии на преобразователь переменной механической силы он испытывает деформацию изгиба. Сигнальные пластины 1, 2 подвергаются синфазным деформациям сжатия-растяжения, за счет чего на выходе пьезоэлектрического преобразователя появляется электрический заряд, поступающий на вход усилителя 7.
Средняя линия деформации изгиба преобразователя проходит в теле дополнительных пластин 3, 4, принимающих на себя преобразование деформаций, близких к нулю, обеспечивая, таким образом, полное использование объема пластин 1, 2 и увеличение чувствительности преобразователя.
Проведены сравнительные испытания пьезоэлектрических преобразователей с различной величиной отношения толщин дополнительных и сигнальных пластин. Преобразователь выполнен из четырех пластин в виде шайб с наружным диаметром 18 мм и внутренним диаметром 3 мм. Толщина всех образцов преобразователя одинакова и составляет 1,4 мм. Равенство толщин обеспечило равенство резонансных частот всех образцов. Отношение толщин дополнительных и сигнальных пластин изменялось в интервале 0-3. Измерена чувствительность преобразователя по заряду k. При отношении b/h=0, что соответствует конструкции прототипа, измеренная чувствительность ko составила 16,5 пКл/g, где g -ускорение свободного падения. Для других отношений b/h расчитано отношение чувствительностей k/k0. Результаты испытаний сведены в таблицу.
В интервале h≤b≤2,25А отношение k/ko>1,6. Максимальное значение чувствительности получено при b/h=1,5 и составляет k=27,2 пКл/g, что больше чувствительности прототипа в 1,65 раза.
Преимущества предлагаемого пьезоэлектрического преобразователя позволяют существенно повысить чувствительность измерительной системы и применить ее для измерения вибраций в устройствах, работающих в широком интервале температур, в частности в авиационно-космической технике.
Источники информации
1. Кузнецов А. А. Вибрационные испытания элементов и устройств автоматики. - М.: Энергия, 1976, стр.27-28.
2. Гориш А. В., Вусевкер Ю.А., Шевченко Л.А., Старостин В.Н. Низкочастотные пьезоэлектрические преобразователи виброиэмерительных датчиков / Экология, мониторинг и рациональное природопользование / Научн. тр. Вып. 288(11). - М.: МГУЛеса, 1997, стр.86-90.

Claims (2)

1. Пьезоэлектрический изгибный преобразователь, содержащий две включенные электрически параллельно пьезокерамические пластины, отличающийся тем, что он содержит две включенные электрически последовательно пьезокерамические пластины, поляризованные в противоположных направлениях и размещенные между включенными электрически параллельно пластинами, пьезокерамические пластины механически жестко соединены между собой, причем средняя линия деформации изгиба проходит в теле пьезокерамических пластин, соединенных последовательно.
2. Преобразователь по п. 1, отличающийся тем, что толщина b последовательно включенной пластины выбрана из соотношения h≤b≤2,25h, где h - толщина параллельно включенной пластины.
RU2001130659/28A 2001-11-12 2001-11-12 Пьезоэлектрический изгибный преобразователь RU2212736C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2001130659/28A RU2212736C2 (ru) 2001-11-12 2001-11-12 Пьезоэлектрический изгибный преобразователь

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2001130659/28A RU2212736C2 (ru) 2001-11-12 2001-11-12 Пьезоэлектрический изгибный преобразователь

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2212736C2 true RU2212736C2 (ru) 2003-09-20
RU2001130659A RU2001130659A (ru) 2004-04-20

Family

ID=29777085

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2001130659/28A RU2212736C2 (ru) 2001-11-12 2001-11-12 Пьезоэлектрический изгибный преобразователь

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2212736C2 (ru)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2330389C2 (ru) * 2006-09-21 2008-07-27 Федеральное Государственное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Южный Федеральный Университет" Пьезоэлектрический электромеханический преобразователь
RU2459188C1 (ru) * 2011-05-27 2012-08-20 Открытое акционерное общество "Авангард" Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения
RU2472253C1 (ru) * 2011-08-17 2013-01-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" Пьезоэлектрический прибор и способ его изготовления
RU2582893C2 (ru) * 2012-03-29 2016-04-27 Киосера Корпорейшн Электронное устройство
RU216445U1 (ru) * 2022-11-28 2023-02-06 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство обороны Российской Федерации Чувствительный элемент приемников градиента акустического давления

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3435136A1 (de) * 1983-09-26 1985-04-11 Olympus Optical Co., Ltd., Tokio/Tokyo Biegbares glied zum biegen eines beweglichen teils in einer vorrichtung zum biegen
US5233256A (en) * 1991-01-30 1993-08-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method of driving piezoelectric bimorph device and piezoelectric bimorph device
RU2106609C1 (ru) * 1996-02-01 1998-03-10 Российский Федеральный Ядерный Центр - Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Экспериментальной Физики Дифференциальный пьезоэлектрический преобразователь
RU2119678C1 (ru) * 1995-10-31 1998-09-27 Акционерное общество "Геоакустика" Биморфный пьезоэлектрический сейсмоприемник и способ получения идентичных биморфных пьезоэлектрических сейсмоприемников

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3435136A1 (de) * 1983-09-26 1985-04-11 Olympus Optical Co., Ltd., Tokio/Tokyo Biegbares glied zum biegen eines beweglichen teils in einer vorrichtung zum biegen
US5233256A (en) * 1991-01-30 1993-08-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method of driving piezoelectric bimorph device and piezoelectric bimorph device
RU2119678C1 (ru) * 1995-10-31 1998-09-27 Акционерное общество "Геоакустика" Биморфный пьезоэлектрический сейсмоприемник и способ получения идентичных биморфных пьезоэлектрических сейсмоприемников
RU2106609C1 (ru) * 1996-02-01 1998-03-10 Российский Федеральный Ядерный Центр - Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Экспериментальной Физики Дифференциальный пьезоэлектрический преобразователь

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ГОРИШ А.В. и др. Низкочастотные пьезоэлектрические преобразователи виброизмерительных датчиков/Экология, мониторинг и рациональное природопользование. Научн. тр., вып.288(11). - М.: МГУЛеса, 1997, с.86-90. *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2330389C2 (ru) * 2006-09-21 2008-07-27 Федеральное Государственное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Южный Федеральный Университет" Пьезоэлектрический электромеханический преобразователь
RU2459188C1 (ru) * 2011-05-27 2012-08-20 Открытое акционерное общество "Авангард" Чувствительный элемент датчика линейных сил сжатия-растяжения
RU2472253C1 (ru) * 2011-08-17 2013-01-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный университет" Пьезоэлектрический прибор и способ его изготовления
RU2582893C2 (ru) * 2012-03-29 2016-04-27 Киосера Корпорейшн Электронное устройство
RU216445U1 (ru) * 2022-11-28 2023-02-06 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство обороны Российской Федерации Чувствительный элемент приемников градиента акустического давления

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4649312A (en) Reinforced piezoelectric transducer and pressure sensor using such a transducer
Niu et al. Design optimization of high pressure and high temperature piezoresistive pressure sensor for high sensitivity
US3978731A (en) Surface acoustic wave transducer
US2558563A (en) Piezoelectric strain gauge
Sun et al. Piezoelectric energy harvesting using single crystal Pb (Mg1/3Nb2/3) O 3-xPbTiO3 (PMN-PT) device
Bilgen et al. Broadband vibration energy harvesting from a vertical cantilever piezocomposite beam with tip mass
Renaud et al. Piezoelectric harvesters and MEMS technology: fabrication, modeling and measurements
CN108731790B (zh) 高灵敏宽频带压电式mems矢量水听器
CN206178120U (zh) 一种降低振动噪声的磁电传感器敏感元件
CN109212264B (zh) 环形剪切式挠曲电加速度传感器及层叠结构加速度传感器
US9810749B2 (en) Magnetic field measuring device with vibration compensation
CN107817045B (zh) 一种磁耦合谐振式频率检测装置及频率检测方法
Smiths et al. Resonant diaphragm pressure measurement system with ZnO on Si excitation
RU2212736C2 (ru) Пьезоэлектрический изгибный преобразователь
Hahn et al. Flexoelectric barium strontium titanate (BST) hydrophones
Hong et al. Single crystal piezoelectric transducers to harvest vibration energy
CN106199462A (zh) 一种降低振动噪声的磁电传感器敏感元件
CN110849469A (zh) 一种圈梁结构高性能压电加速度计
Bouche Calibration of shock and vibration measuring transducers
Shen et al. Proof mass effects on spiral electrode d 33 mode piezoelectric diaphragm-based energy harvester
Qi et al. High-performance spiral piezoelectric energy harvester with wraparound proof mass
CN207894514U (zh) 一种磁耦合谐振式频率检测装置
SU1392397A1 (ru) Акустоэлектронный датчик температуры
US7015625B2 (en) Piezoelectric devices
Bolaniran Development Of A Dynamic Force Sensor

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20071113