RU2458318C2 - Optoelectronic device for sheet products thickness control - Google Patents
Optoelectronic device for sheet products thickness control Download PDFInfo
- Publication number
- RU2458318C2 RU2458318C2 RU2010144960/28A RU2010144960A RU2458318C2 RU 2458318 C2 RU2458318 C2 RU 2458318C2 RU 2010144960/28 A RU2010144960/28 A RU 2010144960/28A RU 2010144960 A RU2010144960 A RU 2010144960A RU 2458318 C2 RU2458318 C2 RU 2458318C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- optoelectronic
- heads
- optoelectronic heads
- sheet metal
- sheet products
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, а более конкретно к средствам для бесконтактного контроля листовых изделий, и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения (контроля) геометрических параметров горячего листового проката в условиях производства без остановки технологического процесса.The invention relates to a control and measuring technique, and more particularly to means for contactless control of sheet products, and can be used in ferrous and non-ferrous metallurgy to measure (control) the geometric parameters of hot sheet metal under production conditions without stopping the process.
Установление предшествующего уровня техники.The establishment of the prior art.
В настоящее время существует довольно большое разнообразие методов и средств контроля толщины листовых изделий. Выбор соответствующего метода и средства контроля зависит от величины подлежащего контролю геометрических размеров объекта, необходимой точности измерений, материала, из которого изготовлен объект, условий, при которых должен производиться контроль, и других факторов.Currently, there is a fairly wide variety of methods and means of controlling the thickness of sheet products. The choice of the appropriate method and means of control depends on the size of the subject’s geometric dimensions, the required measurement accuracy, the material from which the object is made, the conditions under which control should be carried out, and other factors.
В рассматриваемом случае из всего разнообразия методов и средств измерения и контроля следует рассмотреть только те, которые используются при автоматическом измерении и контроле. Они подразделяются на контактные и бесконтактные.In the case under consideration, from the whole variety of methods and means of measurement and control, only those that are used in automatic measurement and control should be considered. They are divided into contact and non-contact.
Контактные методы и средства контроля основаны на непосредственном контакте измерителя с поверхностью листового изделия. Контролируемое изделие размещается на плоской поверхности рабочего стола. При измерениях производится механическое ощупывание объекта контроля посредством измерительного наконечника. Перемещение наконечника датчиком перемещения преобразуется в электрический сигнал или передается непосредственно на индикатор. Зная базовое расстояние между измерителем и поверхностью рабочего стола можно установить толщину изделия. [1, 2].Contact methods and controls are based on direct contact of the meter with the surface of the sheet product. The controlled product is placed on a flat surface of the desktop. During measurements, mechanical feeling of the test object is carried out by means of a measuring tip. The movement of the tip by the displacement sensor is converted into an electrical signal or transmitted directly to the indicator. Knowing the base distance between the meter and the surface of the desktop, you can set the thickness of the product. [12].
Недостатки: форма наконечника и усилие прижатия влияют на результаты контроля. К тому же мерительный наконечник подвержен значительному механическому износу.Disadvantages: tip shape and pressure force affect control results. In addition, the measuring tip is subject to significant mechanical wear.
Условно к контактным методам контроля может быть отнесен метод, при котором производится измерение зазора между валками прокатных станов. Далее вычитают из полученной величины известную величину зазора при нулевой толщине полосы и вводят поправку на деформацию валков [3].Conventionally, contact method may include a method in which the gap between the rolls of rolling mills is measured. Next, the known gap value is subtracted from the obtained value at zero strip thickness and a correction for roll deformation is introduced [3].
Бесконтактные методы и средства контроля толщины листовых изделий в основном свободны от указанных выше недостатков.Contactless methods and means of controlling the thickness of sheet products are generally free from the above disadvantages.
Известны бесконтактные оптоэлектронные устройства контроля толщины листовых изделий, содержащие источник и приемник излучения, объектив, блок формирования запускающих импульсов, блок выделения и счетчик видеоимпульсов, масштабную линейку и световое табло [4, 5].Known non-contact optoelectronic devices for controlling the thickness of sheet products containing a radiation source and receiver, a lens, a unit for generating triggering pulses, a selection unit and a counter for video pulses, a scale bar and a light panel [4, 5].
Недостатки: сложность конструкции, влияние вертикальных колебаний листа на точность измерений.Disadvantages: design complexity, the effect of vertical sheet vibrations on the measurement accuracy.
Известны бесконтактные оптоэлектронные устройства контроля толщины листовых изделий, содержащие две оптоэлектронные головки, расположенные по разные стороны от объекта контроля [6-9].Known non-contact optoelectronic devices for controlling the thickness of sheet products containing two optoelectronic heads located on opposite sides of the object of control [6-9].
Помещение объекта контроля между двумя жестко связанными оптоэлектронными головками исключает влияние на точность измерения его вертикальных колебаний во время движения, поскольку при этих смещениях объекта сумма расстояний от оптоэлектронных головок до его поверхности остается постоянной.The placement of the object of control between two rigidly connected optoelectronic heads eliminates the influence on the accuracy of measuring its vertical vibrations during movement, since at these displacements of the object, the sum of the distances from the optoelectronic heads to its surface remains constant.
Известны оптоэлектронные устройства контроля толщины листовых изделий, содержащие две оптоэлектронные головки, установленные по разные стороны от контролируемого объекта и состоящие каждая из источника излучения, объективов и линейного или многоэлементного позиционно-чувствительного фотоприемника, выход которого подключен к соответствующему входу блока обработки информации, например персональной электронной вычислительной машины (ПЭВМ) [10-12].Known optoelectronic devices for controlling the thickness of sheet products containing two optoelectronic heads mounted on opposite sides of the controlled object and each consisting of a radiation source, lenses and a linear or multi-element position-sensitive photodetector, the output of which is connected to the corresponding input of the information processing unit, for example, personal electronic computing machine (PC) [10-12].
Такие устройства характеризуются сложностью схемного решения.Such devices are characterized by the complexity of the circuit design.
Известны бесконтактные оптоэлектронные устройства контроля толщины листовых изделий, также содержащие две или более оптоэлектронные головки, установленные по разные стороны от контролируемого объекта и состоящие каждая из источника излучения, объективов и линейного или многоэлементного позиционно-чувствительного фотоприемников, выходы которых подключены к соответствующим входам блока обработки информации [13-16].Known non-contact optoelectronic devices for controlling the thickness of sheet products, also containing two or more optoelectronic heads mounted on opposite sides of the controlled object and consisting of each radiation source, lenses and linear or multi-element position-sensitive photodetectors, the outputs of which are connected to the corresponding inputs of the information processing unit [13-16].
Данные устройства работают по сложным алгоритмам, обеспечивающим измерение толщины изделий для случаев, когда лучи оптоэлектронных головок «падают» на контролируемую поверхность под углами, отличными от 90°.These devices work according to complex algorithms that provide measurement of the thickness of products for cases when the rays of the optoelectronic heads "fall" onto a controlled surface at angles other than 90 °.
Известно также оптоэлектронное устройство контроля толщины листового проката, содержащее по две формирующие и приемные системы, размещенные симметрично по разные стороны от контролируемого объекта. Каждая из формирующих систем включает в себя источник излучения (лазер), установленные последовательно по ходу его излучения коллимирующий объектив, в фокальной плоскости которого размещен модулятор светового потока, оптический клин, отводящий часть светового потока на фотоприемник и первый сканирующий элемент, состоящий из поворотной платформы с угловым датчиком и закрепленным на ней зеркалом. Каждая из приемных систем включает в себя объектив, формирующий изображение, второй сканирующий элемент, детектор, выполненный в виде четырехквадрантного фотоприемника и набор светофильтров, включающий в себя интерференционный светофильтр на рабочую длину волны излучения. В состав устройства входят также блок обработки, снабженный синхронным детектором, и управляющая ПЭВМ [17].Also known is an optoelectronic device for controlling the thickness of sheet metal, containing two forming and receiving systems placed symmetrically on opposite sides of the controlled object. Each of the forming systems includes a radiation source (laser), a collimating lens installed in series along its radiation, in the focal plane of which a light flux modulator, an optical wedge, which diverts part of the light flux to the photodetector and the first scanning element, consisting of a rotary platform with an angular sensor and a mirror mounted on it. Each of the receiving systems includes an image forming lens, a second scanning element, a detector made in the form of a four-quadrant photodetector, and a set of light filters, which includes an interference filter for the working radiation wavelength. The device also includes a processing unit equipped with a synchronous detector, and a control PC [17].
Световой поток источника проходит через коллимирующий объектив, модулятор светового потока, клин, отводящий часть светового потока на фотоприемник, и попадает на сканирующий элемент формирующей системы. Отражаясь от ее зеркала световой поток попадает на контролируемый объект. Блок обработки определяет угол между оптической осью формирующей системы и направлением падения светового потока на контролируемый объект и далее заносит его в память управляющей ПЭВМ. От контролируемого объекта диффузно-рассеянное излучение попадает на сканирующий элемент приемной системы. Отражаясь от ее зеркала, световой поток проходит через набор светофильтров, объектив и попадает на четырехквадрантный фотоприемник. С него сигнал поступает в блок обработки. Набор светофильтров позволяет пропускать световой поток только рабочей длины волны, частично отсекая фоновое излучение, которое присутствует при производстве горячего проката. Блок обработки имеет электрическую связь с поворотной платформой приемной системы и после анализа пришедшего сигнала дает команду на поиск максимума интенсивности светового потока в диффузно-рассеянном излучении. После того как будет найден указанный максимум, блок обработки определяет угол между оптической осью приемной системы и направлением на максимум интенсивности диффузно-рассеянного излучения. Полученные значения позволяют методом триангуляции получить данные о расстоянии от сканирующих элементов до контролируемого объекта и, далее, вычислить его толщину.The luminous flux of the source passes through a collimating lens, a light flux modulator, a wedge, which diverts part of the luminous flux to the photodetector, and enters the scanning element of the forming system. Reflecting from her mirror, the light flux enters the controlled object. The processing unit determines the angle between the optical axis of the forming system and the direction of incidence of the light flux on the controlled object and then stores it in the memory of the control PC. From the controlled object, diffuse scattered radiation enters the scanning element of the receiving system. Reflecting from its mirror, the light flux passes through a set of filters, the lens and enters a four-quadrant photodetector. From it, the signal enters the processing unit. A set of light filters allows only the working wavelength to pass through, partially cutting off the background radiation that is present in the production of hot rolled products. The processing unit is in electrical communication with the rotary platform of the receiving system and, after analyzing the incoming signal, gives a command to search for the maximum intensity of the light flux in diffuse scattered radiation. After the specified maximum is found, the processing unit determines the angle between the optical axis of the receiving system and the direction of the maximum intensity of the diffuse scattered radiation. The obtained values allow using the triangulation method to obtain data on the distance from the scanning elements to the controlled object and, further, calculate its thickness.
Недостатком данного устройства является сложность его настройки, критичность интерференционного светофильтра к температуре, вибрации, а также к нестабильности его пространственного положения.The disadvantage of this device is the complexity of its settings, the criticality of the interference filter to temperature, vibration, as well as to the instability of its spatial position.
Характеристика и критика прототипа.Characterization and criticism of the prototype.
Наиболее близким изобретением к предлагаемому по наибольшему количеству сходных признаков, технической сущности, схемному решению и достигаемому при использовании техническому результату является оптоэлектронное устройство контроля толщины листового проката, описанное в [18].The closest invention to the proposed according to the greatest number of similar features, technical nature, circuit design and achieved using the technical result is an optoelectronic device for controlling the thickness of sheet metal, described in [18].
Такое устройство, выбранное в качестве прототипа, содержит:Such a device, selected as a prototype, contains:
- массивное неподвижное основание, выполненное в виде рабочего стола с зоной измерений,- a massive fixed base, made in the form of a desktop with a measurement zone,
- две оптоэлектронные головки, размещенные по разные стороны от листового проката, причем каждая из оптоэлектронных головок образована из источника излучения, позиционно-чувствительного фотоприемника и фокусирующего и приемного объективов, а оптические оси источников излучения оптоэлектронных головок лежат на одной прямой,- two optoelectronic heads located on opposite sides of the sheet metal, each of the optoelectronic heads formed from a radiation source, a position-sensitive photodetector and focusing and receiving lenses, and the optical axis of the radiation sources of the optoelectronic heads lie on one straight line,
- продольный электропривод с валками, обеспечивающими подачу листового проката в зону измерений,- a longitudinal electric drive with rolls that supply sheet metal to the measurement zone,
- поперечный электропривод, обеспечивающий перемещение оптоэлектронных головок в зоне измерений в направлении, перпендикулярном направлению подачи листового проката,- transverse electric drive, providing movement of the optoelectronic heads in the measurement zone in the direction perpendicular to the direction of supply of sheet metal,
- и персональную электронную вычислительную машину (ПЭВМ), входы которой подключены к выходам позиционно-чувствительных фотоприемников оптоэлектронных головок, а выходы соединены с входами продольных и поперечных электроприводов.- and a personal electronic computer (PC), the inputs of which are connected to the outputs of position-sensitive photodetectors of optoelectronic heads, and the outputs are connected to the inputs of longitudinal and transverse electric drives.
Данное устройство не обеспечивает измерения в условиях производства горячего проката, так как сам горячий прокат дает сильное фоновое излучение, в результате чего фотоприемник недостаточно эффективно выделяет световое излучение источника (лазера), что, в конечном счете, снижает достоверность контроля.This device does not provide measurements in the conditions of the production of hot rolled products, since the hot rolled itself gives a strong background radiation, as a result of which the photodetector does not sufficiently emit light from the source (laser), which ultimately reduces the reliability of the control.
Технический результат и его достижение.The technical result and its achievement.
Предлагаемое изобретение направлено на достижение технического результата, а именно обеспечение возможности контроля толщины горячего листового проката при работе устройства в условиях производства без остановки технологического процесса.The present invention is aimed at achieving a technical result, namely, providing the ability to control the thickness of hot sheet metal during operation of the device in production conditions without stopping the process.
Достижение указанного технического результата обеспечивается тем, что известное оптоэлектронное устройство контроля толщины листового проката, содержащее:The achievement of the specified technical result is ensured by the fact that the known optoelectronic device for controlling the thickness of sheet metal, containing:
- массивное неподвижное основание с зоной измерений,- massive fixed base with a measurement zone,
- оптоэлектронные головки, размещенные по разные стороны от листового проката, причем каждая из оптоэлектронных головок образована из источника излучения, позиционно-чувствительного фотоприемника и фокусирующего и приемного объективов, а оптические оси источников излучения оптоэлектронных головок лежат на одной прямой,- optoelectronic heads located on opposite sides of the rolled sheet, each of the optoelectronic heads being formed from a radiation source, a position-sensitive photodetector and focusing and receiving lenses, and the optical axis of the radiation sources of the optoelectronic heads lie on one straight line,
- продольный электропривод с валками, обеспечивающими подачу листового проката в зону измерений,- a longitudinal electric drive with rolls that supply sheet metal to the measurement zone,
- поперечный электропривод, обеспечивающий перемещение оптоэлектронных головок в зоне измерений в направлении, перпендикулярном направлению подачи листового проката,- transverse electric drive, providing movement of the optoelectronic heads in the measurement zone in the direction perpendicular to the direction of supply of sheet metal,
- и персональную электронную вычислительную машину (ПЭВМ), входы которой подключены к выходам позиционно-чувствительных фотоприемников оптоэлектронных головок, а выходы соединены с входами продольного и поперечного электроприводов,- and a personal electronic computer (PC), the inputs of which are connected to the outputs of position-sensitive photodetectors of optoelectronic heads, and the outputs are connected to the inputs of longitudinal and transverse electric drives,
содержит такжеalso contains
- П-образный держатель, на противоположных концах которого установлены оптоэлектронные головки,- U-shaped holder, at the opposite ends of which optoelectronic heads are installed,
- каретку, на которой закреплен П-образный держатель,- a carriage on which a U-shaped holder is fixed,
- вентиляторы, встроенные в корпус оптоэлектронных головок и снабженные воздушными фильтрами,- fans built into the body of the optoelectronic heads and equipped with air filters,
- при этом основание выполнено в виде портала, вдоль горизонтальной балки которого размещены направляющие для перемещения каретки, и снабжено зонами парковки для оптоэлектронных головок, образованными П-образными защитными экранами, прикрепленными к основанию,- the base is made in the form of a portal, along the horizontal beam of which guides for moving the carriage are placed, and is equipped with parking areas for optoelectronic heads formed by U-shaped protective screens attached to the base,
- в каждой оптоэлектронной головке используется источник излучения с диапазоном длин волн излучения менее 0,63 мкм,- in each optoelectronic head a radiation source is used with a radiation wavelength range of less than 0.63 μm,
- а каждая из оптоэлектронных головок снабжена светофильтром, размещенным перед приемным объективом и настроенным на диапазон длин волн излучения источника излучения данной оптоэлектронной головки.- and each of the optoelectronic heads is equipped with a light filter placed in front of the receiving lens and tuned to the radiation wavelength range of the radiation source of this optoelectronic head.
Кроме того,Besides,
- продольный и поперечный электроприводы выполнены реверсивными;- longitudinal and transverse electric drives are made reversible;
- концы направляющих снабжены упорами, ограничивающими перемещение каретки;- the ends of the rails are provided with stops restricting the movement of the carriage;
- один из валков перед зоной измерений снабжен установленным над ним водоотсекателем, выполненным в виде металлической рамы, на нижней части которой вдоль валка закреплена полоска терморезины, при этом проекция рамы на поверхность валка образует острый угол с образующей валка;- one of the rolls in front of the measurement zone is equipped with a water-cutter installed above it, made in the form of a metal frame, on the bottom of which a strip of thermo-rubber is fixed along the roll, while the projection of the frame onto the roll surface forms an acute angle with the roll forming;
- защитные экраны зон парковок для удобства обслуживания оптоэлектронных головок снабжены съемными панелями;- protective screens of parking zones for the convenience of servicing optoelectronic heads are equipped with removable panels;
- вентиляторы оптоэлектронных головок подключены к выходам ПЭВМ.- fans of the optoelectronic heads are connected to the PC outputs.
Заявителем не обнаружены устройства, в которых технический результат достигнут аналогичной совокупностью существенных признаков. При этом проведенный анализ уровня техники, включающий поиск по патентным и другим научно-техническим источникам информации и выявление источников, содержащих сведения об аналогах изобретения, позволили установить, что не имеются аналоги, характеризующиеся признаками, идентичными всем существенным признакам изобретения, а выделение из перечня аналогов прототипа обеспечило выявление совокупности существенных по отношению к техническим результатам отличительных признаков заявленного изобретения.The applicant has not found a device in which the technical result is achieved by a similar set of essential features. Moreover, the analysis of the prior art, including a search by patent and other scientific and technical sources of information and identification of sources containing information about analogues of the invention, made it possible to establish that there are no analogues characterized by features identical to all the essential features of the invention, and the selection from the list of analogues the prototype provided the identification of a set of essential in relation to the technical results of the distinguishing features of the claimed invention.
Заявителем проведена также проверка соответствия указанной совокупности существенных признаков устройства трем условиям (критериям) патентоспособности.The applicant has also verified the compliance of the specified set of essential features of the device with three conditions (criteria) of patentability.
Проверка соответствия заявляемого устройства условию патентоспособности «Новизна».Verification of compliance of the claimed device with the patentability condition "Novelty".
Основными признаками, отличающими заявляемое устройство от ближайшего аналога-прототипа, являются:The main features that distinguish the claimed device from the closest analogue of the prototype are:
- наличие П-образного держателя, на противоположных концах которого установлены оптоэлектронные головки,- the presence of a U-shaped holder, at the opposite ends of which optoelectronic heads are installed,
- наличие каретки, на которой закреплен П-образный держатель,- the presence of a carriage on which a U-shaped holder is fixed,
- наличие вентиляторов, встроенных в корпус оптоэлектронных головок и снабженных воздушными фильтрами,- the presence of fans built into the body of the optoelectronic heads and equipped with air filters,
- выполнение основания в виде портала, вдоль горизонтальной балки которого размещены направляющие для перемещения каретки, и снабжение его зонами парковки для оптоэлектронных головок, образованных П-образными защитными экранами, прикрепленными к основанию,- the implementation of the base in the form of a portal, along the horizontal beam of which guides are placed for moving the carriage, and supplying it with parking areas for optoelectronic heads formed by U-shaped protective screens attached to the base,
- использование в каждой оптоэлектронной головке источника излучения с диапазоном длин волн излучения менее 0,63 мкм,- the use of a radiation source in each optoelectronic head with a radiation wavelength range of less than 0.63 μm,
- снабжение каждой из оптоэлектронных головок светофильтром, размещенным перед приемным объективом и настроенным на диапазон длин волн излучения источника излучения данной оптоэлектронной головки.- supplying each of the optoelectronic heads with a light filter placed in front of the receiving lens and tuned to the radiation wavelength range of the radiation source of this optoelectronic head.
Кроме того,Besides,
- выполнение продольной и поперечной электроприводов реверсивными;- the implementation of the longitudinal and transverse electric reversible;
- снабжение концов направляющих упорами, ограничивающими перемещение каретки;- supplying the ends of the guides with stops restricting the movement of the carriage;
- снабжение одого из валков перед зоной измерений установленным над ним водоотсекателем, выполненным в виде металлической рамы, на нижней части которой вдоль валка закреплена полоска терморезины, при этом проекция рамы на поверхность валка образует острый угол с образующей валка;- supplying one of the rolls in front of the measurement zone with a water cutter installed above it, made in the form of a metal frame, on the bottom of which a strip of thermo-rubber is fixed along the roll, while the projection of the frame onto the roll surface forms an acute angle with the roll forming;
- снабжение защитных экранов зон парковок для удобства обслуживания оптоэлектронных головок съемными панелями;- supply of protective screens for parking zones for ease of maintenance of optoelectronic heads with removable panels;
- подключение вентиляторов оптоэлектронных головок к выходам ПЭВМ.- connection of fans of optoelectronic heads to PC outputs.
Наличие указанных признаков обеспечивает соответствие всей совокупности признаков условию патентоспособности «новизна». При этом не обнаружены устройства, в которых технический результат достигнут аналогичной совокупностью существенных признаков.The presence of these features ensures compliance of the totality of features with the condition of patentability “novelty”. However, no devices were found in which the technical result was achieved by a similar set of essential features.
Проверка соответствия заявляемого устройства условию (критерию) патентоспособности «изобретательский уровень».Verification of compliance of the claimed device with the condition (criterion) of patentability "inventive step".
Для проверки соответствия требованию изобретательского уровня заявителем проведен дополнительный поиск и анализ решений с целью выявления признаков, совпадающих с признаками, отсутствующими у выбранного прототипа, результаты которого показали, что заявленный объект явным образом не следует из известного уровня техники, определенного заявителем.To verify compliance with the requirements of inventive step, the applicant conducted an additional search and analysis of solutions in order to identify signs that match the signs that are absent in the selected prototype, the results of which showed that the claimed object does not explicitly follow from the prior art defined by the applicant.
Другими словами, сравнение заявляемого устройства не только с прототипом, но и с другими техническими решениями в данной и смежных областях контрольно-измерительной техники показало, что последние не содержат признаков, сходных с признаками, отличающими заявляемое техническое решение от прототипа. Указанное позволяет сделать вывод, что заявленный объект соответствует условию патентоспособности «изобретательский уровень» по действующему законодательству.In other words, a comparison of the claimed device not only with the prototype, but also with other technical solutions in this and related areas of instrumentation has shown that the latter do not contain features similar to those distinguishing the claimed technical solution from the prototype. The above allows us to conclude that the claimed object meets the condition of patentability "inventive step" under applicable law.
При этом следует отметить, что между совокупностью существенных признаков настоящего изобретения и достигаемым техническим результатом существует причинно-следственная связь, поскольку отличительные признаки не были выявлены ни в одном из аналогов, а достигаемый технический результат достигается лишь при совместном использовании всех без исключения известных и отличительных признаков.It should be noted that there is a causal relationship between the totality of the essential features of the present invention and the achieved technical result, since distinctive features were not identified in any of the analogues, and the achieved technical result is achieved only when all known and distinctive features are used together .
Краткое описание чертежей. Сущность изобретения.A brief description of the drawings. SUMMARY OF THE INVENTION
Сущность изобретения иллюстрируется чертежами:The invention is illustrated by drawings:
- на фиг.1 показан вид устройства спереди;- figure 1 shows a front view of the device;
- на фиг.2 приведен вид устройства сверху;- figure 2 shows a top view of the device;
- на фиг.3 показаны виды основания и держателя устройства с торца и сбоку (вид А-А);- figure 3 shows views of the base and holder of the device from the end and side (view aa);
- на фиг.4 приведены электрические связи в устройстве;- figure 4 shows the electrical connection in the device;
- на фиг.5 и 6 показана конструкция водоотсекателя устройства;- figure 5 and 6 shows the design of the water cutter device;
- на фиг.7 показаны траектории перемещения светового пятна по поверхности листового проката при измерении его длины и ширины;- Fig.7 shows the trajectory of the light spot along the surface of the sheet metal when measuring its length and width;
- на фиг.8 показаны:- Fig. 8 shows:
фиг.8,а - спектральное распределение фонового излучения горячего листового проката, где Аф.и. - амплитуда фонового излучения;Fig, a is the spectral distribution of the background radiation of hot sheet metal, where And f.i. - the amplitude of the background radiation;
фиг.8,б - спектр источника излучения оптоэлектронной головки, где Ки.и. - коэффициент, характеризующий спектр источника излучения (лазера);8, - a spectrum of the radiation source optoelectronic head, where K II - coefficient characterizing the spectrum of the radiation source (laser);
фиг.8,в - спектральный коэффициент пропускания светофильтра оптоэлектронной головки, где Nсф - коэффициент пропускания светофильтра;Fig. 8c is a spectral transmittance of a light filter of an optoelectronic head, where N sf is a transmittance of a light filter;
фиг.8,г - спектральная чувствительность фотоприемника, где Fфп - коэффициент спектральной чувствительности фотоприемника.Fig.8d is the spectral sensitivity of the photodetector, where F fn is the spectral sensitivity coefficient of the photodetector.
Описание конструкции устройства (в статике).Description of the design of the device (in statics).
Оптоэлектронное устройство контроля толщины листового проката содержит (фиг.1-6):The optoelectronic device for controlling the thickness of sheet metal contains (Fig.1-6):
- массивное неподвижное основание 1 с зоной 2 измерений,- massive
- П-образный держатель 3, на противоположных концах которого закреплены оптоэлектронные головки 4 и 5, размещенные по разные стороны от листового проката 6,-
- каретку 7, на которой закреплен П-образный держатель 3,- a
- продольный 8 и поперечный 9 электроприводы (фиг.4),- longitudinal 8 and transverse 9 electric drives (figure 4),
- вентиляторы 10, встроенные в корпус оптоэлектронных головок 4 и 5 и снабженные сменными воздушными фильтрами 11 (фиг.4),-
- водоотсекатель 12, установленный над одним из валков 13 до зоны 2 измерений (фиг.1, 5, 6),- a water cutter 12 mounted above one of the
- и персональную электронную вычислительную машину (ПЭВМ) 14 (фиг.2, 4).- and a personal electronic computer (PC) 14 (Fig.2, 4).
Основание 1 выполнено в виде портала, вдоль горизонтальной балки которого размещены направляющие 15 для перемещения каретки 7 и имеет зоны 16 парковки для оптоэлектронных головок 4 и 5, образованные П-образными защитными экранами 17, прикрепленными к основанию 1. При этом защитные экраны 17 зон 16 парковок для удобства обслуживания оптоэлектронных головок 4 и 5 снабжены съемными панелями (не показаны), а концы направляющих 15 имеют также упоры 18, ограничивающими перемещение каретки 7. Основание 1 жестко закреплено на фундаменте 19.The
Каждая из оптоэлектронных головок 4 и 5 (фиг.4) образована из источника 20 излучения, позиционно-чувствительного фотоприемника 21, фокусирующего 22 и. приемного 23 объективов, и светофильтра 24, размещенного перед приемным объективом 23, причем оптические оси источников 20 излучения оптоэлектронных головок 4 и 5 лежат на одной прямой.Each of the
В каждой оптоэлектронной головке 4 и 5 источник 20 излучения представляет собой источник с относительно узким диапазоном длины волны излучения, причем длины волн в этом диапазоне выбраны меньшими 0,63 мкм. Например, в устройстве, реализованном заявителем, источник 20 выполнен на основе лазера модели DL-LS5010 японской фирмы Sanyo с длиной волны излучения около λ=0,405 мкм (в «фиолетовом» диапазоне).In each
Примечание. При длине волны около 0,63 мкм «красный» спектр горячего проката 6 имеет максимальную амплитуду.Note. At a wavelength of about 0.63 μm, the “red” spectrum of hot rolled 6 has a maximum amplitude.
Светофильтр 24 настроен на диапазон длины волны излучения источника 20 излучения, т.е. пропускает только «соответствующий» спектр, отсекая значительную часть «красного» спектра горячего листового проката 6.The
Конструктивно головки 4 и 5 располагаются по разные стороны от контролируемого листового проката 6 и крепятся к держателю 3 таким образом, чтобы луч источника 20 от верхней головки 4 направлялся вертикально вниз, а от нижней головки 5 - вертикально вверх.Structurally, the
Водоотсекатель 12 выполнен на основе металлической рамы 25, к нижней части которой вдоль валка 13 прикреплена полоска 26 терморезины, при этом проекция 27 рамы 25 на поверхность валка 13 образует острый угол α с образующей 28 валка 13.The water cutter 12 is made on the basis of a metal frame 25, to the bottom of which along the
Продольный 8 и поперечный 9 электроприводы выполнены реверсивными. При этом продольный электропривод 8 связан с валками 13 и вместе с ними обеспечивает подачу листового проката 6 в зону 2 измерений, вывод его оттуда по завершении процедуры контроля для размещения в приемном накопителе 29 или для перемещения листа в обратном направлении при необходимости выполнения повторного контроля (фиг.1, 2).Longitudinal 8 and transverse 9 electric drives are made reversible. At the same time, the longitudinal
Поперечный электропривод 9 обеспечивает перемещение держателя 3, а следовательно, оптоэлектронных головок 4 и 5 в зоне 2 измерений во взаимно-противоположных направлениях, перпендикулярных направлению подачи листового проката 6.The transverse
Листовой прокат 6 может поступать для контроля, например, после обжимных валков клети 30. При этом вращение валков 13 и обжимных валков клети 30 синхронизировано.
Входы ПЭВМ 14 подключены к выходам позиционно-чувствительных фотоприемников 21 оптоэлектронных головок 4 и 5, а выходы соединены с входами продольного 8 и поперечного 9 электроприводов, а также вентиляторов 10.The inputs of the
Общий контроль за работой устройства осуществляется оператором 31 (фиг.2).General control over the operation of the device is carried out by the operator 31 (figure 2).
Назначение, функции и особенности конструктивных элементов устройства.Purpose, functions and features of the structural elements of the device.
Основание 1, выполненное в виде массивного портала, является главным несущим и связующим конструктивным элементом устройства и обеспечивает его жесткость и устойчивость и во время выполнения измерений.The
Держатель 3 предназначен для синхронного перемещения оптоэлектронных головок 4 и 5, размещенных по разные стороны от листового проката 6.The
Каретка 7 - конструктивный элемент, предназначенный для перемещения держателя 3. Снабжена электроприводом 9.The
Позиционно-чувствительный фотоприемник 21 может быть реализован на основе CMOS-фотолинейки и предназначен для оптоэлектронного преобразования падающего на него светового луча.The position-
Вентиляторы 10 предназначены для обеспечения избыточного давления воздуха внутри оптоэлектронных головок 4 и 5, препятствуя тем самым попаданию туда пыли, других взвешенных частиц, а также препятствуя повышению температуры внутри головок. При этом воздушные фильтры 11 обеспечивают фильтрацию поступающего внутрь головок воздуха.
Защитные экраны 17 предназначены для защиты оптоэлектронных головок 4 и 5 от засветок и механических повреждений.Protective shields 17 are designed to protect the optoelectronic heads 4 and 5 from exposure to light and mechanical damage.
Клеть 30 с соответствующими обжимными валками обеспечивает обжим листового проката 6.The
Водоотсекатель 12 «выдавливает» с прокатываемых листов 6 воду, которая используется для охлаждения валков. Вода не должна попадать на горячие листы, так как формирующиеся при этом «шарики» кипящей воды на поверхности листа 6 будут приводить к искажениям измеряемого профиля и увеличат погрешность измерений.The water cutter 12 “squeezes” water from the rolled
Принцип действия и работа (описание устройства в динамике).The principle of operation and operation (description of the device in dynamics).
Листовой прокат 6 перед контролем должен иметь чистую поверхность - его измеряемые участки должны быть очищены от воды, ржавчины, нефтепродуктов и т.п., т.е. на его поверхности не должно быть загрязнений, влияющих на значения толщины объекта контроля.Before control,
Перед началом работы в память ПЭВМ 14 записывается программа контроля, эталонные значения толщины листового проката, значения допусков толщины листа и другие данные.Before starting work, a control program, reference values for sheet thickness, sheet thickness tolerances and other data are recorded in the memory of the
Вначале оптоэлектронные головки 4 и 5 находятся в исходном положении - зоне 16 парковки, внутри защитных экранов 17. По команде с ПЭВМ 14 начинают работать вентиляторы 10.Initially, the optoelectronic heads 4 and 5 are in the initial position —
Оптоэлектронные головки 4 и 5 являются главными измерительными элементами устройства и предназначены для измерения расстояния до поверхности листа 6 методом оптической триангуляции. Принцип действия триангуляционного измерителя основан на измерении расстояний от двух заданных точек пространства, расположенных по разные стороны от контролируемого листового проката 6, до его поверхности, при известном расстоянии между указанными точками:Optoelectronic heads 4 and 5 are the main measuring elements of the device and are designed to measure the distance to the surface of the
где h - толщина листового проката 6;where h is the thickness of the rolled
T - расстояние между заданными точками пространства, находящимися по разные стороны от листового проката 6;T is the distance between the given points of space located on different sides of the rolled
Z1 и Z2 - соответственно расстояния от указанных точек до поверхности листового проката. Световое излучение от источника 20 с помощью фокусирующей объектива 22 преобразуется в малое световое пятно на поверхности листового проката 6 (диаметром около 0,1-1,0 мм).Z 1 and Z 2 - respectively, the distance from these points to the surface of sheet metal. The light radiation from the
Рассеянное поверхностью проката 6 излучение проходит через светофильтр 24, настроенный на диапазон длины волны излучения источника 20 излучения, т.е. светофильтр 24 пропускает световой поток только рабочей длины волны, отсекая в значительной степени фоновое излучение горячего проката 6.The radiation scattered by the surface of the rental 6 passes through a
Прошедшее через светофильтр 24 излучение приемным объективом 23 собирается на CMOS-линейке 21, создавая изображение указанного светового пятна на ее светочувствительной поверхности. Линейка 21 преобразует световое пятно в соответствующие электрические сигналы, поступающие на ПЭВМ 14.The radiation transmitted through the
Изменение толщины проката 6 вызывает соответствующее перемещение светового пятна на линейке 21. Другими словами, при таком изменении дальности до поверхности листового проката 6 происходит перемещение светового пятна, а следовательно, его изображения на фотоприемнике 21. Координаты светового пятна на последнем рассчитываются ПЭВМ 14 по параметрам поступающих с фотоприемника сигналов. При этом толщина листа 6 определяется по формуле (1).A change in the thickness of the rolled
Полученные значения толщины программным путем сравниваются в ПЭВМ 14 с эталонным значением толщины. Если отклонения значения толщины листа 6 не превышают заданные допуски, лист 6 отправляется для дальнейшей обработки, если нет - отбраковывается.The obtained thickness values are programmatically compared in a
При одновременном движении в зоне 2 измерений листового проката 6 и головок 4 и 5 относительно проката 6 можно измерять распределение толщины проката вдоль линии сканирования, т.е. его сечение (фиг.7).With simultaneous movement in the
Определение таких параметров листового проката 6 как его длина и ширина основано на программном выявлении резкого изменения значения толщины при попадании светового пятна на кромку (край) листа:The determination of such parameters of
где L∂ и Lш - соответственно значения длины и ширины листового проката;where L ∂ and L W - respectively, the length and width of sheet metal;
Xк и Xн - координаты соответственно конца и начала листового проката;X to and X n - the coordinates of the end and the beginning of sheet metal, respectively;
Yл и Yп - координаты соответственно «левой» и «правой» кромки листового проката.Y l and Y p - the coordinates, respectively, of the "left" and "right" edges of sheet metal.
При попадании на кромку листа по указанному признаку оптоэлектронные головки меняют также на противоположное направление перемещения.When hit on the edge of the sheet on the specified basis, the optoelectronic heads are also changed to the opposite direction of movement.
Количество N листов 6, прошедших через зону 2 измерений за определенное время, может быть установлено подсчетом количества появляющихся во время измерений сигналов, соответствующих Хк.The number N of
Таким образом, описываемое устройство может быть использовано для бесконтактного оптоэлектронного контроля геометрических параметров горячего листового проката. В частности, устройство, реализованное заявителем, используется для контроля толщины листовых заготовок из циркония с температурой в диапазоне (350-800)C° и гафния с температурой в диапазоне При этом расстояние от оптоэлектронных головок 4 и 5 до поверхности листа находится в пределах 300-450 мм.Thus, the described device can be used for non-contact optoelectronic control of the geometric parameters of hot sheet metal. In particular, the device implemented by the applicant is used to control the thickness of zirconium sheet blanks with a temperature in the range (350-800) C ° and hafnium with a temperature in the range The distance from the optoelectronic heads 4 and 5 to the surface of the sheet is in the range of 300-450 mm.
Проверка соответствия заявляемого устройства условию (критерию) патентоспособности «промышленная применимость»Verification of compliance of the claimed device with the condition (criterion) of patentability "industrial applicability"
По мнению заявителя, сведения, приведенные в описании, достаточны для осуществления описываемого устройства. Такое устройство для контроля листового проката не вызывает затруднений при его изготовлении, а возможность промышленного применения заявленного технического решения подтверждается, например, его успешным внедрением на одном из предприятий Предуралья.According to the applicant, the information given in the description is sufficient to implement the described device. Such a device for controlling sheet metal does not cause difficulties in its manufacture, and the possibility of industrial application of the claimed technical solution is confirmed, for example, by its successful implementation in one of the enterprises of the Urals.
Совокупность существенных признаков, характеризующих сущность изобретения, в принципе может быть многократно использована, например, в прокатном производстве, с получением технического результата, заключающегося в обеспечение возможности контроля толщины листового проката при работе устройства в условиях горячего производства без остановки технологического процесса.The set of essential features characterizing the essence of the invention, in principle, can be repeatedly used, for example, in rolling production, with the technical result, which consists in providing the ability to control the thickness of sheet metal when the device is in hot production without stopping the process.
Указанное позволяет сделать вывод о соответствии изобретения условию патентоспособности «промышленная применимость» по действующему законодательству.The above allows us to conclude that the invention meets the condition of patentability "industrial applicability" under applicable law.
Источники информацииInformation sources
1. Приборы и системы автоматического контроля размеров деталей машин. Рабинович А.Н. Киев: Технiка, 1970, с.220-231.1. Devices and systems for automatic control of the dimensions of machine parts. Rabinovich A.N. Kiev: Technics, 1970, p. 220-231.
2. Чудов В.А. и др. Размерный контроль в машиностроении / В.А.Чудов, Ф.В.Цидулко, Н.И.Фредгейм - М.: Машиностроение, 1982, с.238-250.2. Miracles V.A. et al. Dimensional control in mechanical engineering / V.A. Chudov, F.V. Tsidulko, N.I. Fredheim - M .: Mechanical Engineering, 1982, p.
3. Авт. св. СССР №413376 на изобретение «Способ измерения толщины полосы на прокатных станах». БИ, 1974, №4.3. Auth. St. USSR No. 413376 for the invention "Method for measuring the thickness of the strip on rolling mills." BI, 1974, No. 4.
4. Авт. св. СССР №418724 на изобретение «Способ контроля поперечных размеров и профиля изделия». МПК G01B 19/34. Опубл. 05.03.1974.4. Auth. St. USSR №418724 for the invention "Method for controlling the transverse dimensions and profile of the product."
5. Зарезанков Г.Х. Фотоэлектронные приборы автоматического контроля размеров проката. М.: Металлургия, 1962, с.37.5. Zarezankov G.Kh. Photoelectronic devices for automatic control of rental sizes. M .: Metallurgy, 1962, p. 37.
6. Авт. св. СССР №113949 на изобретение «Фотоэлектрическое устройство для определения толщины листового проката». Опубл. 09.12.1958 г.6. Auth. St. USSR No. 113949 for the invention "Photoelectric device for determining the thickness of sheet metal". Publ. 12/09/1958
7. Вальков В.М. Контроль в ГАП. Л.: Машиностроение, 1986, с.102-103, рис.3.19.7. Valkov V.M. Control in the gap. L .: Engineering, 1986, pp. 102-103, Fig. 3.19.
8. Промышленное применение лазеров / Г.Кебнер, пер с англ. под ред И.В.Зуева, М.: Машиностроение, 1998, с.260-269, рис.16.10.8. Industrial application of lasers / G. Kebner, trans. From English. Edited by I.V. Zuev, M .: Mechanical Engineering, 1998, p. 260-269, Fig. 16.10.
9. Патент РФ №2256150 на изобретение «Устройство для контролирования толщины доски» МПК G01B 11/06. Опубл. 10.08.2004 г.9. RF patent №2256150 for the invention "Device for controlling the thickness of the board"
10. Патент РФ №2254555 на изобретение «Оптоэлектронное устройство контроля геометрических параметров лопатки». МПК G01B 11/24, 21/20. Опубл. 20.02.2005.10. RF patent No. 2254555 for the invention "Optoelectronic device for monitoring the geometric parameters of the scapula".
11. Авторское свидетельство СССР №1647249. Фотоэлектрическое устройство для измерения профиля и толщины изделий сложной формы. МПК G01B 21/00. Опубл. 1991, БИ №17.11. USSR copyright certificate No. 1647249. Photovoltaic device for measuring the profile and thickness of products of complex shape.
12. Патент РФ №2346236 на изобретение «Оптоэлектронное устройство контроля объектов сложной формы». МПК G01B 11/24. Опубл. 10.02.2009 г.12. RF patent No. 2346236 for the invention "Optoelectronic device for monitoring objects of complex shape."
13. Авт.св.СССР №1190191 на изобретение «Способ фотоэлектрического определения толщины листового изделия и устройство для его осуществления». МПК G01B 21/02. Опубл. 07.11.1985 г.13. Autosv.SSSSR No. 1190191 for the invention "Method of photoelectric determination of the thickness of a sheet product and a device for its implementation."
14. Авторское свидетельство СССР №1728647 на изобретение «Способ измерения толщины листовых изделий. МПК G01B 11/06. Опубл. 23.04.1992.14. USSR copyright certificate No. 1728647 for the invention “Method for measuring the thickness of sheet products.
15. Авторское свидетельство СССР №1826697 на изобретение «Способ бесконтактного измерения толщины объекта. МПК G01B 11/06. Опубл. 10.06.1996.15. USSR author's certificate No. 1826697 for the invention “Method of non-contact measurement of the thickness of an object.
16. Авторское свидетельство СССР №1826698 на изобретение «Способ бесконтактного измерения толщины. МПК G01B 11/06. Опубл. 10.06.1996.16. USSR author's certificate No. 1826698 for the invention “Method of non-contact thickness measurement.
17. Патент РФ №2153647 на изобретение «Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции». МПК G01B 11/06. Опубл. 27.07.2000 г.17. RF patent No. 2153647 for the invention "Device for controlling linear dimensions by the principle of triangulation."
18. Патент РФ №2242712 на изобретение «Способ триангуляционного измерения толщины листовых изделий и устройство для его осуществления». МПК G01B 11/03, 11/06. Опубл. 20.12.2004 г. (прототип).18. RF patent No. 22272712 for the invention "Method of triangulation measurement of the thickness of sheet products and a device for its implementation."
Claims (6)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2010144960/28A RU2458318C2 (en) | 2010-11-02 | 2010-11-02 | Optoelectronic device for sheet products thickness control |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2010144960/28A RU2458318C2 (en) | 2010-11-02 | 2010-11-02 | Optoelectronic device for sheet products thickness control |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2010144960A RU2010144960A (en) | 2012-05-10 |
RU2458318C2 true RU2458318C2 (en) | 2012-08-10 |
Family
ID=46311979
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2010144960/28A RU2458318C2 (en) | 2010-11-02 | 2010-11-02 | Optoelectronic device for sheet products thickness control |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2458318C2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2574864C1 (en) * | 2014-09-15 | 2016-02-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук (ИТ СО РАН) | Method of cloud triangulation of hot-rolled products thickness |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1826698A1 (en) * | 1990-05-25 | 1996-06-10 | Ленинградский институт текстильной и легкой промышленности им.С.М.Кирова | Method of contactless thickness measurement |
RU2153647C2 (en) * | 1998-01-09 | 2000-07-27 | Государственный научно-исследовательский испытательный лазерный центр РФ "Радуга" | Device for check of linear sizes by triangulation method |
RU2242712C1 (en) * | 2003-05-05 | 2004-12-20 | Галиулин Равиль Масгутович | Method of and device for triangular measurement of thickness of sheet articles |
RU2346236C2 (en) * | 2007-04-09 | 2009-02-10 | Марат Ренатович Гафаров | Optoelectronic device for irregular-shaped item control |
-
2010
- 2010-11-02 RU RU2010144960/28A patent/RU2458318C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1826698A1 (en) * | 1990-05-25 | 1996-06-10 | Ленинградский институт текстильной и легкой промышленности им.С.М.Кирова | Method of contactless thickness measurement |
RU2153647C2 (en) * | 1998-01-09 | 2000-07-27 | Государственный научно-исследовательский испытательный лазерный центр РФ "Радуга" | Device for check of linear sizes by triangulation method |
RU2242712C1 (en) * | 2003-05-05 | 2004-12-20 | Галиулин Равиль Масгутович | Method of and device for triangular measurement of thickness of sheet articles |
RU2346236C2 (en) * | 2007-04-09 | 2009-02-10 | Марат Ренатович Гафаров | Optoelectronic device for irregular-shaped item control |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2574864C1 (en) * | 2014-09-15 | 2016-02-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук (ИТ СО РАН) | Method of cloud triangulation of hot-rolled products thickness |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2010144960A (en) | 2012-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103180094B (en) | The assay method of tool sizes and determinator | |
JP6953242B2 (en) | Height detector and laser machining equipment | |
CN104034276B (en) | shape measuring apparatus | |
DE4312565C2 (en) | Bending machine for bending flat workpieces | |
JP2015531481A (en) | Detection system based on modulation of glass line structure laser image | |
CN104385059B (en) | A kind of knife face wear detecting method and its device | |
JP6802012B2 (en) | Measuring device | |
CN109270047A (en) | Femtosecond laser machined parameters confocal Raman spectra in-situ monitoring method and device | |
CN102735191A (en) | Device for determining verticality of honeycomb ceramics | |
TW201816358A (en) | Thickness measuring device capable of efficiently measuring the thickness of a plate-like object in a short period of time | |
CN101762250A (en) | Grinding workpiece surface quality optical real-time detection device | |
IT202000006880A1 (en) | Combined optical system for dimensional and thermal measurements, and related operating procedure | |
CN109187492A (en) | The femtosecond laser for being divided pupil differential confocal Raman-LIBS spectrographic detection processes monitoring method | |
CN109211876A (en) | Femtosecond laser machined parameters are divided the confocal Raman spectrum in-situ monitoring method of pupil and device | |
CN109187725A (en) | The femtosecond laser processing monitoring method and device of confocal Raman-LIBS- mass spectrometry detection | |
TW201805590A (en) | Measurement apparatus capable of efficiently measuring a thickness or height of a plate-like object in a short time | |
RU2458318C2 (en) | Optoelectronic device for sheet products thickness control | |
CN109187493A (en) | It is divided the femtosecond laser processing monitoring method and device of the confocal Raman-LIBS spectrographic detection of pupil | |
JP2005014026A (en) | Weld zone inspection method, and welding support system | |
US10203201B2 (en) | Measurement device | |
CN109187495A (en) | Femtosecond laser machined parameters are divided pupil differential confocal Raman spectrum monitoring method and apparatus | |
US20160151880A1 (en) | Method for producing a mirror substrate blank of titanium-doped silica glass for euv lithography, and system for determining the position of defects in a blank | |
CN106556360A (en) | A kind of step segment difference On-line Measuring Method | |
JP2899875B2 (en) | Non-contact surface roughness measuring method and its measuring device | |
KR102062641B1 (en) | Apparatus for measuring width of rolled steel plate |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TK4A | Correction to the publication in the bulletin (patent) |
Free format text: AMENDMENT TO CHAPTER -FG4A- IN JOURNAL: 22-2012 |
|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20131103 |