RU2402836C1 - Мощный вч и свч широкополосный транзистор - Google Patents

Мощный вч и свч широкополосный транзистор Download PDF

Info

Publication number
RU2402836C1
RU2402836C1 RU2009130144/28A RU2009130144A RU2402836C1 RU 2402836 C1 RU2402836 C1 RU 2402836C1 RU 2009130144/28 A RU2009130144/28 A RU 2009130144/28A RU 2009130144 A RU2009130144 A RU 2009130144A RU 2402836 C1 RU2402836 C1 RU 2402836C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
transistor
conductive
conductive tape
metallized
housing
Prior art date
Application number
RU2009130144/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Олег Митрофанович Булгаков (RU)
Олег Митрофанович Булгаков
Борис Константинович Петров (RU)
Борис Константинович Петров
Владислав Владимирович Лупандин (RU)
Владислав Владимирович Лупандин
Семен Александрович Петров (RU)
Семен Александрович Петров
Original Assignee
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный университет" filed Critical Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный университет"
Priority to RU2009130144/28A priority Critical patent/RU2402836C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2402836C1 publication Critical patent/RU2402836C1/ru

Links

Landscapes

  • Microwave Amplifiers (AREA)

Abstract

Изобретение относится к полупроводниковой электронике. Сущность изобретения: мощный ВЧ и СВЧ широкополосный транзистор содержит ряд из N транзисторных ячеек, первые металлизированные площадки которых соединены первой проводящей лентой с входным электродом корпуса, а вторые металлизированные площадки соединены второй проводящей лентой с общим электродом корпуса, причем между местами соединения лент с металлизированными площадками в лентах имеются выемки. Длина или ширина хотя бы одной проводящей дорожки между выемками в хотя бы одной проводящей ленте отличаются от длин и ширин других проводящих дорожек между выемками, а индуктивности проводящих дорожек с отличающейся длиной и шириной между выемками от контакта с металлизированной площадкой до места соединения с проводящей лентой удовлетворяют определенному условию. Изобретение позволяет увеличить ширину полосы рабочих частот транзистора. 1 ил.

Description

Заявляемое изобретение относится к полупроводниковой электронике и может быть применено в конструкциях мощных ВЧ и СВЧ полупроводниковых приборов.
Известен мощный ВЧ- и СВЧ-транзистор (Zoroglu D.S. Low Parasitic Microwave Package / D.S.Zoroglu. - US Patent 3784884, Int. C1. H01L 5/00; US C1. 317/234 R. - 8.06.74), содержащий ряд из N транзисторных ячеек, каждая из которых включает в себя две металлизированных площадки, на первую из которых через проволочный проводник подается потенциал входного электрода (эмиттерного в схеме с общей базой, электрода затвора в схеме с общим истоком и т.п.), а на вторую через проволочный проводник подается потенциал одного из двух оставшихся электродов, чаще - общего электрода (базового в схеме с общей базой и т.п.).
Недостатком такого транзистора является большая паразитная индуктивность проводников, соединяющих металлизированные площадки с соответствующими электродами корпуса, что приводит к снижению коэффициента усиления по мощности транзистора [1] и сужению его полосы частот [2].
Наиболее близким по совокупности признаков является мощный СВЧ-транзистор (Кожевников В.А. Мощные низковольтные СВЧ-транзисторы для подвижных средств связи / В.А.Кожевников, В.В.Асессоров, А.В.Асессоров, В.И.Дикарев // Радио. - 1999 - №11. - С.33-34), в котором первые металлизированные площадки транзисторных ячеек соединены с входным электродом корпуса проводящей лентой, а вторая проводящая лента соединяет вторые металлизированные площадки транзисторных ячеек с другим электродом корпуса. Проводящая лента представляет собой фольгу на полиимидной основе [3]. Это позволяет повысить коэффициент усиления по мощности транзистора за счет снижения паразитной индуктивности соединения вторых металлизированных площадок с электродом общего вывода и расширить полосу частот транзистора за счет уменьшения индуктивности первого звена его входной согласующей цепи, включающей в себя индуктивности соединений первых и вторых металлизированных площадок с соответствующими электродами корпуса транзистора. На краях проводящих лент вблизи мест их контактов с металлизированными площадками имеются выемки, что позволяет уменьшить паразитные емкости между проводящими лентами и активными областями транзисторного кристалла, а также обеспечить более надежное соединение проводящих лент с металлизированными площадками.
Совпадение резонансных частот входных цепей транзисторных ячеек препятствует достижению максимальной ширины полосы рабочих частот транзистора.
Реактивные элементы входной цепи какой-либо транзисторной ячейки из их общего количества N представляют собой последовательно соединенные индуктивности входного электрода LB (индуктивность соединения первой металлизированной площадки с конденсатором входной согласующей LC-цепи Cвх) и общего электрода LО (индуктивность соединения шины общего электрода усилителя со второй металлизированной площадкой), а также емкость конденсатора входной согласующей LC-цепи Cвх. В свою очередь,
LВ=LПЛ1+LВЭ,
где LПЛ1 - индуктивность первой проводящей ленты, LВЭ - индуктивность входного электрода корпуса между местами соединений с первой проводящей лентой и конденсатором входной согласующей цепи;
LО=LПЛ2+LОЭ,
LПЛ2 - индуктивность второй проводящей ленты, LОЭ - индуктивность общего электрода корпуса между местами соединений со второй проводящей лентой и шиной нулевого потенциала усилительного каскада.
Индуктивности LПЛ1, LПЛ2, LОЭ и емкость Cвх являются общими для всех транзисторных ячеек, следовательно, резонансные частоты входных цепей всех ячеек равны:
Figure 00000001
В приближении равномерного распределения входной мощности по транзисторным ячейкам частотный коэффициент передачи мощности входной цепью транзистора может быть представлен как среднее арифметическое частотных коэффициентов передачи мощности входных цепей его отдельных ячеек [4]:
Figure 00000002
При совпадении резонансных частот входных цепей транзисторных ячеек результирующая резонансная кривая входной цепи транзистора будет иметь наименьшую ширину.
Заявляемое изобретение предназначено для создания дополнительных резонансных максимумов входных согласующих LC-звеньев транзисторных ячеек в полосе рабочих частот транзистора за счет изменения индуктивностей входных согласующих LC-звеньев отдельных транзисторных ячеек.
Технический результат - увеличение ширины полосы рабочих частот транзистора.
Технический результат решается тем, что в известном мощном ВЧ и СВЧ широкополосном транзисторе, содержащем ряд из N транзисторных ячеек, первые металлизированные площадки которых соединены первой проводящей лентой с входным электродом корпуса, а вторые металлизированные площадки соединены второй проводящей лентой с общим электродом корпуса, причем между местами соединения лент с металлизированными площадками в лентах имеются выемки, согласно изобретению длина или ширина хотя бы одной проводящей дорожки между выемками в хотя бы одной проводящей ленте отличаются от длин и ширин других проводящих дорожек между выемками, а индуктивности проводящих дорожек с отличающейся длиной и шириной между выемками от контакта с металлизированной площадкой до места соединения с проводящей лентой удовлетворяют условию:
Figure 00000003
где n=1, … k - номер транзисторной ячейки из общего количества 1≤k≤N транзисторных ячеек, металлизированные площадки которых контактируют с проводящими дорожками с отличными от других проводящих промежутков длинами или ширинами, Ln1 и Ln2 - соответственно индуктивности проводящих дорожек в первой и второй проводящих лентах, контактирующих с металлизированными площадками n-й транзисторной ячейки, fmin - нижняя граница полосы рабочих частот транзистора, Δf -ширина полосы рабочих частот транзистора, Cвх - емкость конденсатора входной согласующей цепи транзистора; Lвх=LПЛ1+LПЛ2+LВЭ+LОЭ; LПЛ1 и LПЛ2 - соответственно индуктивности первой и второй проводящих лент; LВЭ - индуктивность входного электрода корпуса между местами соединений с первой проводящей лентой и конденсатором входной согласующей цепи; LОЭ - индуктивность общего электрода корпуса между местами соединений со второй проводящей лентой и шиной нулевого потенциала усилительного каскада.
Получаемый при осуществлении изобретения технический результат, а именно увеличение ширины полосы рабочих частот транзистора, достигается за счет того, что придание индуктивностям входных согласующих LC-звеньев k транзисторных ячеек значений, отличных от индуктивностей LC-звеньев остальных N-k ячеек, за счет формирования в проводящих лентах дорожек с различными индуктивностями в соответствии с выражением (2) приводит к появлению дополнительных k максимумов частотной зависимости коэффициента передачи мощности КРСЦ(f) входной согласующей цепи в диапазоне Δf рабочих частот транзистора, по одному на каждый из k поддиапазонов шириной Δf/k. В результате вид зависимости КРСЦ(f) стремится к равноколебательному, что позволяет при заданной неравномерности КРСЦ(f) в полосе Δf расширять полосу частот, увеличивая k.
На чертеже схематично показан заявляемый мощный ВЧ и СВЧ широкополосный транзистор.
Мощный ВЧ и СВЧ широкополосный транзистор состоит из проводящего основания корпуса 1, выполняющего в данном случае функцию общего электрода корпуса, с отверстиями 2 для крепления к теплоотводу, с расположенной на основании диэлектрической теплопроводящей подложкой 3 с участками металлизации 4, на которых размещены полупроводниковый кристалл 5, входной 6 и выходной 7 электроды, а также металлическая балка 8. На полупроводниковом кристалле 5 сформированы транзисторные ячейки 9, первые металлизированные площадки 10 которых соединены первой проводящей лентой 11 с входным электродом 6, а вторые металлизированные площадки 12 соединены второй проводящей лентой 13 с балкой 8, в свою очередь, соединенной с общим электродом 1 посредством металлизации 4. В проводящих лентах 11 и 13 вблизи мест их присоединения к металлизированным площадкам 10 и 12, входному электроду 6 и балке 8 сделаны выемки 14, причем у мест присоединения к отдельным металлизированным площадкам 10 и 12 ширина и длина выемок варьируются. Это приводит к тому, что проводящие дорожки 15 между выемками 14 у мест присоединения к металлизированным площадкам 10 и 12 различных транзисторных ячеек различаются своей длиной и шириной.
При работе мощного ВЧ и СВЧ широкополосного транзистора в составе каскада усиления мощности в составе входной цепи каждой из N транзисторных ячеек оказывается индуктивность:
Lвх n=Ln1+Ln2+LПЛ1+LПЛ2+LВЭ+LОЭ; n=1, …, N.
Индуктивности Ln1 и Ln2 некоторого количества k из N проводящих дорожек, образованных выемками различной длины и ширины в проводящих лентах вблизи мест присоединения лент к площадкам металлизации транзисторных ячеек, оказываются отличными одна от другой и от индуктивностей оставшихся N-k дорожек. Таким образом, индуктивности входных цепей Lвх n k транзисторных ячеек будут различаться между собой и от N-k одинаковых индуктивностей входных цепей транзисторных ячеек, что приведет к появлению в полосе рабочих частот транзистора k резонансных максимумов входных LC-звеньев транзисторных ячеек, не совпадающих с центральной частотой f0, на которую приходится N-k резонансных максимумов входных LC-звеньев транзисторных ячеек.
Выполнение условий неравенства (2) исключает концентрацию дополнительных k резонансных максимумов в узком относительно ширины полосы рабочих частот Δf частотном интервале и обеспечивает формирование таких максимумов слева и справа от f0. В итоге максимум частотной зависимости коэффициента передачи мощности входной согласующей цепью КРСЦ(f0) уменьшится, а функция КРСЦ(f) будет меньше убывать с ростом |f-f0|, что обеспечивает увеличение ширины полосы рабочих частот транзистора Δf.
Литература
1. Никишин В.И. Проектирование и технология производства мощных СВЧ-транзисторов / В.И.Никишин, Б.К.Петров, В.Ф.Сыноров и др. - М.: Радио и связь, 1989. - С.18.
2. Там же, с.46.
3. Асессоров В.В. Бескорпусной СВЧ-транзистор на гибком носителе / В.В.Асессоров, А.В.Асессоров, С.А.Еремин // Тез. докл. IV Всероссийской научно-технической конференции с международным участием "Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники". - Таганрог, 1997. - С.75.
4. Булгаков О.М. Потери мощности во входных цепях оконечных каскадов широкополосных мощных СВЧ транзисторных радиопередатчиков / О.М.Булгаков // Радиотехника (Москва). - 2000. - №9. - С.79-82.

Claims (1)

  1. Мощный ВЧ и СВЧ широкополосный транзистор, содержащий ряд из N транзисторных ячеек, первые металлизированные площадки которых соединены первой проводящей лентой с входным электродом корпуса, а вторые металлизированные площадки соединены второй проводящей лентой с общим электродом корпуса, причем между местами соединения лент с металлизированными площадками в лентах имеются выемки, отличающийся тем, что длина или ширина хотя бы одной проводящей дорожки между выемками в хотя бы одной проводящей ленте отличаются от длин и ширин других проводящих дорожек между выемками, а индуктивности проводящих дорожек с отличающейся длиной и шириной между выемками от контакта с металлизированной площадкой до места соединения с проводящей лентой удовлетворяют условию:
    Figure 00000004

    где n=1, … k - номер транзисторной ячейки из общего количества 1<k<N транзисторных ячеек, металлизированные площадки которых контактируют с проводящими дорожками с отличными от других проводящих промежутков длинами или ширинами, Ln1 и Ln2 - соответственно индуктивности проводящих дорожек в первой и второй проводящих лентах, контактирующих с металлизированными площадками n-й транзисторной ячейки, fmin - нижняя граница полосы рабочих частот транзистора, Δf - ширина полосы рабочих частот транзистора, Свх - емкость конденсатора входной согласующей цепи транзистора; Lвх=LПЛ1+LПЛ2+LВЭ+LОЭ; LПЛ1 и LПЛ2 - соответственно индуктивности первой и второй проводящих лент; LВЭ - индуктивность входного электрода корпуса между местами соединений с первой проводящей лентой и конденсатором входной согласующей цепи; LОЭ - индуктивность общего электрода корпуса между местами соединений со второй проводящей лентой и шиной нулевого потенциала усилительного каскада.
RU2009130144/28A 2009-08-05 2009-08-05 Мощный вч и свч широкополосный транзистор RU2402836C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009130144/28A RU2402836C1 (ru) 2009-08-05 2009-08-05 Мощный вч и свч широкополосный транзистор

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009130144/28A RU2402836C1 (ru) 2009-08-05 2009-08-05 Мощный вч и свч широкополосный транзистор

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2402836C1 true RU2402836C1 (ru) 2010-10-27

Family

ID=44042376

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009130144/28A RU2402836C1 (ru) 2009-08-05 2009-08-05 Мощный вч и свч широкополосный транзистор

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2402836C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2458432C1 (ru) * 2011-04-18 2012-08-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") Мощная гибридная интегральная схема свч-диапазона

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Кожевников В.А. Мощные низковольтные СВЧ-транзисторы для подвижных средств связи. Радио, 1999, № 11, с.33, 34. Никишин В.И. Проектирование и технология производства мощных СВЧ-транзисторов. - М.: Радио и связь, 1989, с.18. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2458432C1 (ru) * 2011-04-18 2012-08-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") Мощная гибридная интегральная схема свч-диапазона

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10284146B2 (en) Amplifier die with elongated side pads, and amplifier modules that incorporate such amplifier die
US10593619B1 (en) Transistor shield structure, packaged device, and method of manufacture
EP3337037B1 (en) Doherty amplifiers and amplifier modules with shunt inductance circuits that affect transmission line length between carrier and peaking amplifier outputs
EP3637462B1 (en) Transistor with non-circular via connections in two orientations
CN109818581B (zh) 具有沿放大器输出端间的反相器的串联组件的多路放大器
EP3771094A2 (en) Power amplifier with shielded transmission lines
US9871501B2 (en) RF circuit with multiple-definition RF substrate and conductive material void under a bias line
CN112271171B (zh) 半导体器件和放大器组件
DE69934717D1 (de) Leistungstransistoranordnung höher frequenz
EP3780387B1 (en) Integrated multiple-path power amplifier with interdigitated transistors
JP2012049909A (ja) 広帯域電力増幅器
CN112468093A (zh) 紧凑型三路多尔蒂放大器模块
US20160112012A1 (en) Radio frequency power amplifier
JP2000500310A (ja) スロットラインから共平面導波路への移行
RU2402836C1 (ru) Мощный вч и свч широкополосный транзистор
KR100265463B1 (ko) 평면 유전체 집적회로
US11069949B2 (en) Hollow-waveguide-to-planar-waveguide transition circuit comprising a coupling conductor disposed over slots in a ground conductor
US20230260935A1 (en) Transistor with integrated passive components
JP7294385B2 (ja) 半導体増幅素子及び半導体増幅装置
US20210281221A1 (en) Doherty amplifier module with compact wideband impedance inverter
IL138980A (en) Multi-plane oscillator circular structures
JP2006020206A (ja) 増幅回路
JPS6286850A (ja) モノリシツクマイクロ波ic

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20110806