RU2328095C2 - Свч-плазмотрон - Google Patents

Свч-плазмотрон Download PDF

Info

Publication number
RU2328095C2
RU2328095C2 RU2006122590/06A RU2006122590A RU2328095C2 RU 2328095 C2 RU2328095 C2 RU 2328095C2 RU 2006122590/06 A RU2006122590/06 A RU 2006122590/06A RU 2006122590 A RU2006122590 A RU 2006122590A RU 2328095 C2 RU2328095 C2 RU 2328095C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plasma
resonator
gas
cavity
magnetron
Prior art date
Application number
RU2006122590/06A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2006122590A (ru
Inventor
Владимир Федорович Буров (RU)
Владимир Федорович БУРОВ
Original Assignee
Закрытое акционерное общество "КОТЭС-Сибирь"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Закрытое акционерное общество "КОТЭС-Сибирь" filed Critical Закрытое акционерное общество "КОТЭС-Сибирь"
Priority to RU2006122590/06A priority Critical patent/RU2328095C2/ru
Publication of RU2006122590A publication Critical patent/RU2006122590A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2328095C2 publication Critical patent/RU2328095C2/ru

Links

Landscapes

  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

Изобретение относится к плазменной технике, в частности к устройствам генерирования плазмы с использованием микроволновых полей, и может быть использовано для поджига пылевых видов топлив и водоугольных суспензий, плазменной резки и плавки металлов и др. технологических применений. Плазмотрон содержит магнетрон и цилиндрический резонатор с отверстиями в его торцевых стенках, в одно из которых вставлена антенна магнетрона, а второе снабжено соплом и является выводным для плазменного факела. В средней части полости резонатора установлены две перегородки, изготовленные из диэлектрического материала, причем одна из них - газонепроницаемая, а в центре другой выполнено отверстие. В полость между торцевой стенкой резонатора и газонепроницаемой перегородкой введена антенна магнетрона, а сама полость заполнена электроизолирующим газом высокого давления. Две другие полости подсоединены к системе подачи плазмообразующего газа, причем в полость между второй торцевой стенкой резонатора и перегородкой с отверстием плазмообразующий газ подается тангенциально к образующей окружности резонатора. За счет установки в разрядной камере резонатора дополнительной перегородки с центральным отверстием, обеспечивающей возможность подачи плазмообразующего газа двумя независимыми потоками, повышаются стабильность и устойчивость плазменного факела, надежность и к.п.д. плазмотрона. 1 ил.

Description

Изобретение относится к плазменной технике, в частности к средствам генерирования плазмы с использованием микроволновых полей, и может быть использовано для поджига пылевых видов топлив и водоугольных суспензий, плазменной резки и плавки металлов и др. технологических применений.
Известно устройство для получения плазмы (патент RU №2171554, МПК Н05Н 1/24, 2002 г.), содержащее магнетрон, резонатор с примыкающей к нему разрядной камерой и электрод, представляющий собой трубку из токопроводящего материала, пропущенную через разрядную камеру резонатора. Один конец электрода подсоединен к источнику плазмообразующего газа, а другой установлен в разрядной камере в области пучности установившейся в камере стоячей волны и снабжен соплом или кварцевым трубчатым наконечником, выходящими из камеры. При включении магнетрона и подаче плазмообразующего газа в электрод на конце последнего возникает плазменный разряд, частично выдуваемый из камеры плазмообразующим газом.
Недостатком известного плазменного генератора является его низкая надежность, обусловленная тем, что электрод, находящийся под воздействием высокой температуры и светового излучения плазмы, довольно быстро разрушается.
Большей надежностью обладает плазменный генератор, описанный в «JEEE transactions on plasma science, Vol.33, No.2, April, 2005, p.776-781 (Журнал инженеров-электриков, серия «Новости науки о плазме», т.33, №2, апрель 2005 г., стр.776-781)», содержащий магнетрон и цилиндрический резонатор с отверстиями в торцевых стенках, в одно из которых вставлена антенна магнетрона, а другое снабжено соплом и служит в качестве выводного отверстия для плазмы. Полость резонатора посредством газонепроницаемой перегородки из диэлектрического материала разделена на две камеры, одна из которых - вводная заполнена газом под давлением и вмещает антенну магнетрона, а другая - выводная подсоединена к системе подачи плазмообразующего газа.
Для обеспечения электрической прочности резонатора перед началом эксплуатации плазмотрона в его вводную камеру закачивается газ под избыточным давлением. После включения магнетрона в резонаторе возбуждаются СВЧ колебания Е011 типа, характеризующиеся наличием двух пучностей напряженности: одна - вблизи вводного (антенного), другая - у выводного отверстий, при этом перегородка в силу своей электрической «прозрачности» не влияет на условия установления резонанса. В течение приблизительно одной микросекунды после включения магнетрона напряженность СВЧ-поля в области выводного отверстия достигает пробойного значения, и происходит безэлектродный СВЧ-разряд. В области антенного ввода разряд при этом не возникает, что обусловлено более высокой электрической прочностью вводной камеры, заполненной находящимся под давлением газом. Плазма разряда, поглощая СВЧ-энергию, расширяется в свободно парящий плазменный сгусток. Для подпитки разряда и вывода плазмы из камеры, тангенциально к ее образующей, подают плазмообразующий газ, который при входе в выводную камеру закручивается с образованием вихря, смещающегося под воздействием аксиального напорного импульса в направлении выводного отверстия. Вследствие действия центробежных сил, газовый слой вихревого потока оттесняется, преимущественно, к стенкам резонатора и сопла, препятствуя их контакту с плазмой, а плазменный сгусток через выводное отверстие частично выдувается наружу с образованием факела. Как результат, улучшаются условия охлаждения стенок резонатора и сопла, что, в конечном счете, приводит к повышению надежности устройства.
Вместе с тем, разряжение, возникающее в центральной области выводной камеры из-за вихревого характера движения газа, приводит к частичному затягиванию плазмы свободно парящего плазменного сгустка в поток плазмообразующего газа, что обусловливает неустойчивость и частичный распад разряда, нагрев пристеночного охлаждающего газового слоя и, в конечном счете, снижение к.п.д. и надежности устройства.
Кроме того, недостаточно эффективное охлаждение диэлектрической перегородки резонатора, находящейся под воздействием интенсивного теплового и светового излучений плазмы, также снижает надежность устройства.
Задачей изобретения является создание плазмотрона с улучшенными физико-техническими и эксплуатационными характеристиками.
Технические результаты изобретения - повышение устойчивости СВЧ-разряда, оптимизация и стабилизация формы плазменного факела, повышение к.п.д. и надежности плазмотрона.
Результаты изобретения достигаются за счет того, что в плазмотроне, содержащем магнетрон и цилиндрический резонатор, разделенный посредством газонепроницаемой перегородки из диэлектрического материала на вводную, с установленной в ней антенной магнетрона, и выводную, снабженную выводным отверстием с соплом и подсоединенную к системе подачи плазмообразующего газа, камеры, в выводной камере установлена вторая перегородка из диэлектрического материала с отверстием в ее центре, а полость между перегородками подсоединена к системе подачи плазмообразующего газа.
На чертеже приведено схематическое изображение плазмотрона.
Плазмотрон содержит магнетрон 1 с антенной 2, резонатор 3 с выводным отверстием 4 и соплом 5, перегородку 6, вводную 7 и выводную 8 камеры, перегородку 9 с отверстием 10, средства подачи плазмообразующего газа 11, средства закачки электроизолирующего газа 12.
Работа устройства заключается в следующем.
Перед началом эксплуатации плазмотрона в камеру 7 закачивается электроизолирующий газ под избыточным давлением. После включения магнетрона 1 в резонаторе возбуждаются СВЧ-колебания Е011 типа, характеризующиеся наличием двух пучностей напряженности: одна - вблизи антенного ввода 2, другая - у выводного отверстия 4, при этом перегородки 6 и 9 в силу своей электрической «прозрачности» не влияют на условия установления резонанса. В течение приблизительно одной микросекунды после включения магнетрона напряженность СВЧ-поля в области выводного отверстия достигает пробойного значения, и происходит безэлектродный СВЧ-разряд. В области антенного ввода разряд при этом не возникает, что обусловлено более высокой электрической прочностью вводной камеры 7, заполненной находящимся под высоким давлением газом. Плазма разряда, поглощая СВЧ-энергию, расширяется в свободно парящий плазменный сгусток. Для подпитки разряда и вывода плазмы из камеры 8, в последнюю, тангенциально к ее образующей, подают плазмообразующий газ, который при входе в нее закручивается с образованием вихря, смещающегося под воздействием аксиального напорного импульса в направлении выводного отверстия 4. Вследствие действия центробежных сил газовый слой вихревого потока оттесняется, преимущественно, к стенкам резонатора 3 и сопла 5, препятствуя их контакту с плазмой и обеспечивая таким образом эффективное охлаждение стенок резонатора и сопла. Плазменный сгусток при этом через выводное отверстие 4 частично выдувается из камеры 8 с образованием факела. Одновременно в полость между перегородками 6 и 9 подается плазмообразующий газ, который обтекает перегородки 6, 9, обеспечивая их эффективное охлаждение, и через отверстие 10 поступает в камеру 8 ламинарным осевым потоком. Указанный поток плазмообразующего газа компенсирует разряжение в приосевой области камеры 8, обусловленное вихревым характером движения основного потока, препятствуя тем самым затягиванию плазмы из свободно парящего плазменного сгустка в основной поток плазмообразующего газа. Как следствие, повышается стабильность СВЧ-разряда, исключаются частичный распад плазменного сгустка и нагрев пристеночного газового слоя основного потока, повышается эффективность охлаждения стенок резонатора и сопла и, соответственно, надежность устройства, увеличивается к.п.д. плазмотрона.
Кроме того, экранирование излучения плазмы перегородкой 9, эффективно охлаждаемой с двух сторон основным и дополнительным потоками плазмообразующего газа, обеспечивая защиту перегородки 6, дополнительно повышает надежность устройства.

Claims (1)

  1. СВЧ-плазмотрон, содержащий магнетрон и цилиндрический резонатор, разделенный посредством газонепроницаемой перегородки из диэлектрического материала на вводную, с установленной в ней антенной магнетрона, и выводную, снабженную отверстием с соплом и подсоединенную к системе подачи плазмообразующего газа, камеры, отличающийся тем, что в выводной камере установлена вторая перегородка из диэлектрического материала с отверстием в ее центре, а полость между перегородками подсоединена к системе подачи плазмообразующего газа.
RU2006122590/06A 2006-06-23 2006-06-23 Свч-плазмотрон RU2328095C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006122590/06A RU2328095C2 (ru) 2006-06-23 2006-06-23 Свч-плазмотрон

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006122590/06A RU2328095C2 (ru) 2006-06-23 2006-06-23 Свч-плазмотрон

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2006122590A RU2006122590A (ru) 2008-01-10
RU2328095C2 true RU2328095C2 (ru) 2008-06-27

Family

ID=39019753

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006122590/06A RU2328095C2 (ru) 2006-06-23 2006-06-23 Свч-плазмотрон

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2328095C2 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2819979C2 (ru) * 2019-05-31 2024-05-28 Ласикс Лтд. Производство лабораторно-выращенных алмазов

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JEEE transactions on plasma science, Vol.33, No.2, April, 2005, p.776-781. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2819979C2 (ru) * 2019-05-31 2024-05-28 Ласикс Лтд. Производство лабораторно-выращенных алмазов

Also Published As

Publication number Publication date
RU2006122590A (ru) 2008-01-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6417625B1 (en) Apparatus and method for forming a high pressure plasma discharge column
KR101286348B1 (ko) 마이크로파 플라즈마 반응기
CN107801286B (zh) 一种基于介质阻挡放电预电离的微波等离子体激发系统
JP4714868B2 (ja) 放電灯装置
JP5239021B2 (ja) プラズマ発生装置及びそれを用いたプラズマ生成方法
WO2011147230A1 (zh) 一种微波等离子体点燃器
JP5672564B2 (ja) 複合プラズマ発生装置
CN111970807A (zh) 一种基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置
CN101346032A (zh) 大气压微波等离子体发生装置
JPS5939178B2 (ja) 活性化ガス発生装置
CN201230400Y (zh) 一种大气压微波等离子体发生装置
KR100954486B1 (ko) 전자파 플라즈마토치에서 발생한 활성입자의 화학반응 장치
RU2328095C2 (ru) Свч-плазмотрон
KR100394994B1 (ko) 전자파를 이용한 플라즈마토치
EA020329B1 (ru) Плазменная печь
RU183873U1 (ru) СВЧ-плазмотрон
CN109104808A (zh) 一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置
RU200241U1 (ru) Источник излучения
US3480829A (en) Electric arc light source and method
US8829770B2 (en) Electrode cooling system in a multi-electrode microwave plasma excitation source
CN208836438U (zh) 一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置
JPH06290896A (ja) 高周波プラズマヒータおよびその運転方法
WO2009128741A1 (ru) Свч-плазмотрон
SU1094569A1 (ru) Высокочастотный факельный плазмотрон, дл нагрева дисперсного материала
RU2045102C1 (ru) Плазменный эмиттер ионов

Legal Events

Date Code Title Description
HE4A Notice of change of address of a patent owner
RH4A Copy of patent granted that was duplicated for the russian federation

Effective date: 20101110

PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20110304

PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20111003

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20140624

NF4A Reinstatement of patent

Effective date: 20150710