RU2173854C1 - Компенсационный акселерометр - Google Patents
Компенсационный акселерометр Download PDFInfo
- Publication number
- RU2173854C1 RU2173854C1 RU2000103856/28A RU2000103856A RU2173854C1 RU 2173854 C1 RU2173854 C1 RU 2173854C1 RU 2000103856/28 A RU2000103856/28 A RU 2000103856/28A RU 2000103856 A RU2000103856 A RU 2000103856A RU 2173854 C1 RU2173854 C1 RU 2173854C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plate
- sensing element
- differential capacitive
- amplifier
- console
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к компенсационным преобразователям линейного ускорения с электростатическим обратным преобразователем. Техническим результатом изобретения является повышение устойчивости компенсационного акселерометра к воздействию ускорений, направление которых не совпадает с направлением измеряемого ускорения, а также повышение диапазона измеряемых ускорений. Акселерометр содержит первую пластину из монокристаллического материала, в которой образованы подвижный элемент, неподвижный элемент, вторую и третью пластины, дифференциальный емкостный преобразователь, двухфазный генератор напряжения переменного тока, источник опорного напряжения постоянного тока, усилитель с двумя противофазными выходами. Подвижный элемент выполнен единым элементом консольной конструкции с одинаковой толщиной по всей длине и ширине консоли, каждый из неподвижных электродов дифференциального емкостного преобразователя выполнен с расположением по длине консоли от границы между подвижным и неподвижным элементами до конца консоли. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.
Description
Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к компенсационным преобразователям линейного ускорения с электростатическим обратным преобразователем.
Известен компенсационный акселерометр, содержащий первую пластину с подвижным элементом, неподвижным элементом и соединяющим их упругим шарниром, вторую и третью пластины, дифференциальный емкостной преобразователь положения подвижного элемента с неподвижными электродами на второй и третьей пластинах, электростатический обратный преобразователь с неподвижными электродами на второй и третьей пластинах, усилитель [1].
Такой компенсационный акселерометр имеет ограничение по верхнему пределу диапазона измеряемых ускорений вследствие того, что лимитируется компенсационная сила, так как на одних и тех же пластинах расположены неподвижные электроды дифференциального емкостного преобразователя и электростатического обратного преобразователя.
Наиболее близким по технической сущности является компенсационный акселерометр [2] , содержащий первую пластину из монокристаллического материала, неподвижный элемент, подвижный элемент в виде консоли с электропроводной поверхностью и соединяющий их упругий шарнир, вторую и третью пластины, дифференциальный емкостной преобразователь с неподвижными электродами на второй и третьей пластинах, генератор переменного тока, усилитель с двумя противофазными выходами, к которым подключены неподвижные электроды. Каждый неподвижный электрод выполнен из нескольких прямоугольных частей, подключаемых к выходам усилителя в зависимости от диапазона измерений без изменения основных конструктивных элементов акселерометра.
Недостатком такого компенсационного акселерометра является пониженная устойчивость к воздействию ускорений, направление которых перпендикулярно направлению измеряемого ускорения, вследствие недостаточной жесткости упругого шарнира в направлениях, отличных от направления измеряемого ускорения.
Техническим результатом данного изобретения является повышение устойчивости компенсационного акселерометра к воздействию ускорений, направление которых не совпадает с направлением измеряемого ускорения, а также повышение диапазона измеряемых ускорений.
Данный технический результат достигается в компенсационном акселерометре, содержащем первую пластину из монокристаллического материала, например кремния, в которой образованы подвижный элемент, неподвижный элемент, вторую и третью пластины, дифференциальный емкостный преобразователь, двухфазный генератор напряжения переменного тока, источник опорного напряжения постоянного тока, усилитель, состоящий из усилителя переменного тока, фазового детектора и усилителя постоянного тока с двумя противофазными выходами, причем на второй пластине расположен один из неподвижных электродов дифференциального емкостного преобразователя, на третьей пластине расположен второй неподвижный электрод дифференциального емкостного преобразователя, первая пластина между второй и третьей пластинами с зазором с каждой стороны между подвижным элементом и неподвижными электродами на соответствующей пластине, каждый неподвижный электрод дифференциального емкостного преобразователя на второй и третьей пластинах подсоединен к одному из выходов генератора напряжения переменного тока и одному из противофазных выходов усилителя постоянного тока, отличающимся тем, что подвижный элемент первой пластины выполнен как единый чувствительный элемент консольной конструкции, совмещающий подвижный элемент и упругий шарнир, роль которого выполняет сам подвижный элемент за счет собственной упругости, с одинаковой толщиной по всей длине и всей ширине консоли чувствительного элемента; подвижный электрод дифференциального емкостного преобразователя выполнен в виде электропроводной поверхности чувствительного элемента, подвижный электрод на чувствительном элементе подключен к источнику опорного напряжения постоянного тока и к входу усилителя переменного тока, каждый из неподвижных электродов дифференциального емкостного преобразователя выполнен с расположением по длине консоли чувствительного элемента от границы между чувствительным элементом и неподвижным элементом первой пластина до свободного конца консоли чувствительного элемента или далее, компенсационный акселерометр выполнен с верхним пределом aм диапазона измеряемых ускорений, определяемым соотношением:
где k1 - коэффициент;
ε - относительная диэлектрическая проницаемость среды между чувствительным элементом и неподвижными электродами на второй и третьей пластинах;
Uo - напряжение источника опорного напряжения;
Uм - максимальное выходное напряжение с каждого выхода усилителя постоянного тока;
d - зазор между каждым неподвижным электродом дифференциального емкостного преобразователя и чувствительным элементом;
δ - толщина чувствительного элемента;
где ε абсолютная диэлектрическая проницаемость;
ρ - плотность материала чувствительного элемента;
длина l чувствительного элемента выполнена не менее величины, определяемой в соответствии с соотношением:
где k2 - коэффициент;
где E - модуль упругости первого рода материала чувствительного элемента;
g - ускорение свободного падения.
где k1 - коэффициент;
ε - относительная диэлектрическая проницаемость среды между чувствительным элементом и неподвижными электродами на второй и третьей пластинах;
Uo - напряжение источника опорного напряжения;
Uм - максимальное выходное напряжение с каждого выхода усилителя постоянного тока;
d - зазор между каждым неподвижным электродом дифференциального емкостного преобразователя и чувствительным элементом;
δ - толщина чувствительного элемента;
где ε абсолютная диэлектрическая проницаемость;
ρ - плотность материала чувствительного элемента;
длина l чувствительного элемента выполнена не менее величины, определяемой в соответствии с соотношением:
где k2 - коэффициент;
где E - модуль упругости первого рода материала чувствительного элемента;
g - ускорение свободного падения.
В одном частном случае в компенсационном акселерометре неподвижный элемент первой пластины выполнен одинаковой толщины с чувствительным элементом.
В другом частном случае в компенсационном акселерометре чувствительный элемент выполнен с шириной консоли, равной или большей длины консоли.
Путем выполнения подвижного элемента первой пластины единым чувствительным элементом консольной конструкции, совмещающим подвижный элемент и упругий шарнир, с одинаковой толщиной по всей длине и ширине консоли чувствительного элемента, повышается жесткость консоли чувствительного элемента в направлении оси изгиба чувствительного элемента пропорционально третьей степени отношения ширины консоли чувствительного элемента к суммарной ширине упругих перемычек по сравнению с прототипом. Поэтому повышается устойчивость чувствительного элемента компенсационного акселерометра к воздействию ускорений, направленных вдоль оси чувствительного элемента.
Посредством выполнения подвижного элемента первой пластины единым чувствительным элементом консольной конструкции, совмещающим подвижный элемент и упругий шарнир, выполнения подвижного электрода дифференциального емкостного преобразователя в виде электропроводной поверхности чувствительного элемента, подключения подвижного электрода на чувствительном элементе к источнику опорного напряжения постоянного тока и к входу усилителя переменного тока, выполнения каждого из неподвижных электродов дифференциального емкостного преобразователя с расположением по длине консоли чувствительного элемента от границы между чувствительным элементом и неподвижным элементом первой пластины до свободного конца консоли чувствительного элемента в следящей системе компенсационного акселерометра, обеспечивается большая жесткость чувствительного элемента в направлении вдоль длины консоли по всей длине чувствительного элемента, так как наличие электростатических сил по всей площади чувствительного элемента, перпендикулярных поверхности чувствительного элемента, препятствует деформации чувствительного элемента вдоль длины консоли. В результате повышается устойчивость компенсационного акселерометра к ускорениям, направленным вдоль длины консоли.
Путем выполнения чувствительного элемента, совмещающего подвижный элемент и упругий шарнир, с одинаковой толщиной по всей длине и ширине, выполнения подвижного электрода как электропроводной поверхности чувствительного элемента, расположения неподвижных электродов по всей длине чувствительного элемента, обеспечивается повышенная жесткость чувствительного элемента в следящей системе компенсационного акселерометра вдоль измерительной оси компенсационного акселерометра.
При повышенной жесткости чувствительного элемента по всем трем осям появляется возможность выполнения чувствительного элемента толщиной в несколько микрометров. При выполнении толщины чувствительного элемента в несколько микрометров, зазора между чувствительным элементом и неподвижным электродом в несколько микрометров, напряжения опорного источника и выходного напряжения усилителя постоянного тока до 10 В в соответствии с выражением для верхнего предела ам измеряемого ускорения достигается повышение верхнего предела до 10000 м/с2 более независимо от длины и ширины консоли чувствительного элемента.
При выполнении длины l консоли чувствительного элемента в соответствии с расчетным соотношением повышается порог чувствительности компенсационного акселерометра, в результате чего увеличивается диапазон измеряемых ускорений.
На фиг. 1 представлен общий вид компенсационного акселерометра, на фиг. 2 - первая пластина, на фиг. 3 - третья пластина, на фиг. 4 - электрическая схема компенсационного акселерометра.
Компенсационный акселерометр (фиг. 1) содержит корпус 1, в котором установлены первая пластина 2 с единым чувствительным элементом 3 консольного типа, совмещающим подвижный элемент и упругий шарнир, и неподвижным элементом 4, вторая пластина 5 с неподвижным электродом 6 дифференциального емкостного преобразователя и третья пластина 7 с неподвижным электродом 8.
Первая пластина 2 выполнена из монокристаллического кремния и поверхности ее чувствительного элемента 3, обращенные к второй пластине 5 и третьей пластине 7, выполнены электропроводными путем, например применением легирования бором.
Между каждой поверхностью чувствительного элемента 3 и второй пластиной 5 и третьей пластиной 7 образован зазор d путем, например, напыления слоя 9 электроизоляционного материала на вторую пластину 5 и на третью пластину 7.
Консоль длиной l чувствительного элемента 3 образована от границы между неподвижным элементом 4 и чувствительным элементом 3 в месте защемления неподвижного элемента 4 между электроизоляционными слоями 9 на второй пластине 5 и третьей пластине 7 до свободного конца консоли чувствительного элемента 3.
Неподвижный электрод 6 и неподвижный электрод 8 дифференциального емкостного преобразователя расположены по всей длине консоли чувствительного элемента 3 от границы между неподвижным элементом 4 первой пластины 2 и чувствительным элементом 3 до свободного конца консоли чувствительного элемента 3.
Чувствительный элемент 3 выполнен с одинаковой толщиной d по всей его длине l и ширине b (фиг. 2).
Ось изгиба О-О чувствительного элемента 3 расположена на границе чувствительного элемента 3 и неподвижной части 4 первой пластины 2 параллельно плоскости первой пластины 2 и перпендикулярно направлению длины чувствительного элемента 3.
Чувствительный элемент 3 образован в первой пластине 2 путем анизотропного травления кремния до образования промежутков 11', 11'' между чувствительным элементом 3 и первой пластиной 2.
Неподвижные электроды 6 и 8 дифференциального емкостного преобразователя выполнены аналогично. Так неподвижный электрод 8 на третьей пластине 7 выполнен путем напыления электропроводного материала, например меди, на поверхность третьей пластины 7, имеет прямоугольную форму и размеры L ≥ l и B ≥ b (фиг. 3).
Компенсационный акселерометр (фиг. 4) содержит двухфазный генератор 12 напряжения переменного тока, источник 13 опорного напряжения постоянного тока, усилитель переменного тока 14, фазовый детектор 15, усилитель постоянного тока 16 с двумя противофазными выходами.
Дифференциальный емкостной преобразователь содержит конденсаторы C1 и C2, образованные электропроводной поверхностью чувствительного элемента 3 и неподвижным электродом 6 на второй пластине 5 и неподвижным электродом 8 на третьей пластине 7. Два выхода двухфазного генератора 12 переменного тока подсоединены через конденсаторы C3 и C4 к дифференциальному емкостному преобразователю.
Электропроводная поверхность чувствительного элемента 3 подключена к источнику 13 опорного напряжения постоянного тока с напряжением и через разделительный конденсатор C5 к входу усилителя переменного тока 14.
К одному из противофазных выходов усилителя постоянного тока 16 посредством резистора R1 подключен неподвижный электрод 6 на второй пластине 5. К другому противофазному выходу усилителя постоянного тока 16 посредством резистора R2 подключен неподвижный электрод 8 на третьей пластине 7.
Компенсационный акселерометр работает следующим образом. При наличии ускорения а по измерительной оси компенсационного акселерометра, перпендикулярной плоскости консоли чувствительного элемента 3, на чувствительный элемент действует инерционный момент Ми:
где b, l, δ - соответственно ширина, длина и толщина чувствительного элемента 3;
ρ - плотность кремния - материала чувствительного элемента 3.
где b, l, δ - соответственно ширина, длина и толщина чувствительного элемента 3;
ρ - плотность кремния - материала чувствительного элемента 3.
Под действием момента Ми чувствительный элемент 3 деформируется относительно оси изгиба О-О. При этом изменяются емкости конденсаторов C1 и C2 дифференциального емкостного преобразователя и с подвижного электрода, образованного электропроводной поверхностью чувствительного элемента 3, на вход усилителя переменного тока 14 поступит сигнал рассогласования следящей системы компенсационного акселерометра.
После усиления переменного сигнала рассогласования по току и амплитуде в усилителе переменного тока 14, преобразования его в сигнал постоянного тока в фазовом детекторе 15 и усиления по амплитуде в усилителе постоянного тока 16 на каждом его противофазном выходе появляется выходное напряжение U, которое подается на неподвижные электроды 6 и 8. При взаимодействии электростатических сил, вызванных напряжением U0U, на чувствительный элемент 3 воздействует компенсационный момент Мк:
где ε - относительная диэлектрическая проницаемость среды между подвижным и неподвижным электродами дифференциального емкостного преобразователя;
εo - абсолютная диэлектрическая проницаемость;
d - зазор между каждым из неподвижных электродов 6, 8 и чувствительным элементом 3.
где ε - относительная диэлектрическая проницаемость среды между подвижным и неподвижным электродами дифференциального емкостного преобразователя;
εo - абсолютная диэлектрическая проницаемость;
d - зазор между каждым из неподвижных электродов 6, 8 и чувствительным элементом 3.
Компенсационный момент Мк уравновешивает инерционный момент Ми, и рассогласование следящей системы устраняется. При этом
Ми = Мк (3)
При подстановке в (3) выражений (1) и (2) получается:
Отсюда
U = Ka, (5)
где K - коэффициент преобразования компенсационного акселерометра.
Ми = Мк (3)
При подстановке в (3) выражений (1) и (2) получается:
Отсюда
U = Ka, (5)
где K - коэффициент преобразования компенсационного акселерометра.
Таким образом, выходное напряжение усилителя постоянного тока 16 пропорционально измеряемому ускорению.
На верхнем пределе ам измеряемых ускорений
а = ам (7)
При этом
U = Uм, (8)
где Uм - максимальное выходное напряжение усилителя постоянного тока 16.
а = ам (7)
При этом
U = Uм, (8)
где Uм - максимальное выходное напряжение усилителя постоянного тока 16.
При подстановке (7), (8) в выражение (4) получается:
Отсюда
где k1 - коэффициент, равный:
Прогиб f свободного конца консоли чувствительного элемента 3
где g - распределенная нагрузка консоли;
E - модуль упругости первого рода.
Отсюда
где k1 - коэффициент, равный:
Прогиб f свободного конца консоли чувствительного элемента 3
где g - распределенная нагрузка консоли;
E - модуль упругости первого рода.
В поле ускорения свободного падения распределенная нагрузка консоли чувствительного элемента 3:
g = bδρg (13)
Для обеспечения высокого порога чувствительного компенсационного акселерометра нужно по крайней мере, чтобы прогиб чувствительного элемента составлял:
f = d (14)
При подстановке в (12) выражений (13), (14) получается:
Отсюда длина консоли чувствительного элемента 3 должна быть не менее величины
где K2 коэффициент, равный:
Для кремниевого чувствительного элемента E = 2 • 1011 H/м2.
g = bδρg (13)
Для обеспечения высокого порога чувствительного компенсационного акселерометра нужно по крайней мере, чтобы прогиб чувствительного элемента составлял:
f = d (14)
При подстановке в (12) выражений (13), (14) получается:
Отсюда длина консоли чувствительного элемента 3 должна быть не менее величины
где K2 коэффициент, равный:
Для кремниевого чувствительного элемента E = 2 • 1011 H/м2.
Тогда K2 = 48,78 м1/4.
Выражениями (10), (16) устанавливается диапазон измеряемых ускорений посредством компенсационного акселерометра от нижнего предела до верхнего.
Так как весь чувствительный элемент 3 компенсационного акселерометра находится в поле действия электростатических сил, то следящей системой акселерометра парируются любые деформации чувствительного элемента, вызванные ускорениями по трем взаимно перпендикулярным осям.
Источники информации
1. Авторское свидетельство СССР N 1620944, кл. G 01 P 15/08 "Электростатический акселерометр", 1991 г.
1. Авторское свидетельство СССР N 1620944, кл. G 01 P 15/08 "Электростатический акселерометр", 1991 г.
2. Патент RU N 2137141 C1, кл. G 01 P 15/13, "Компенсационный акселерометр", 10.09.99.
Claims (3)
1. Компенсационный акселерометр, содержащий первую пластину из монокристаллического материала, кремния, в которой образованы подвижный элемент, неподвижный элемент, вторую и третью пластины, дифференциальный емкостный преобразователь, двухфазный генератор переменного тока, источник опорного напряжения постоянного тока, усилитель, состоящий из усилителя переменного тока, фазового детектора и усилителя постоянного тока с двумя противофазными выходами, причем на второй пластине расположен один из неподвижных электродов дифференциального емкостного преобразователя, на третьей пластине расположен второй неподвижный электрод дифференциального емкостного преобразователя, первая пластина заключена между второй и третьей пластинами с зазором с каждой стороны между подвижным элементов и неподвижным элементом на соответствующей пластине, каждый неподвижный электрод дифференциального емкостного преобразователя на второй и третьей пластинах подсоединен к одному из противофазных выходов усилителя, отличающийся тем, что подвижный элемент первой пластины выполнен единым чувствительным элементом консольной конструкции, совмещающим подвижный элемент и упругий шарнир, с одинаковой толщиной по всей длине и всей толщине консоли чувствительного элемента, подвижный электрод дифференциального емкостного преобразователя выполнен в виде электропроводной поверхности чувствительного элемента, подвижный электрод на чувствительном элементе подключен к источнику опорного напряжения постоянного тока и к входу усилителя переменного тока, каждый из неподвижных электродов дифференциального емкостного преобразователя выполнен с расположением по длине консоли чувствительного элемента от границы между чувствительным элементом и неподвижным элементом первой пластины до свободного конца консоли чувствительного элемента или далее, компенсационный акселерометр выполнен с верхним пределом aм диапазона измеряемых ускорений, определяемым соотношением
где К1 - коэффициент,
ε - относительная диэлектрическая проницаемость среды между чувствительны элементом и неподвижными электродами на второй и третьей пластинах;
Uo - напряжение источника опорного напряжения;
Uм - максимальное выходное напряжение с каждого выхода усилителя постоянного тока;
d - зазор между каждым неподвижным электродом дифференциального емкостного преобразователя и чувствительным элементом;
δ - толщина чувствительного элемента,
где εo - абсолютная диэлектрическая проницаемость;
ρ - плотность материала чувствительного элемента,
длина l консоли чувствительного элемента выполнена не менее величины, определяемой в соответствии с соотношением
где K2 - коэффициент,
где Е - модуль упругости первого рода материала чувствительного элемента;
g - ускорение свободного падения.
где К1 - коэффициент,
ε - относительная диэлектрическая проницаемость среды между чувствительны элементом и неподвижными электродами на второй и третьей пластинах;
Uo - напряжение источника опорного напряжения;
Uм - максимальное выходное напряжение с каждого выхода усилителя постоянного тока;
d - зазор между каждым неподвижным электродом дифференциального емкостного преобразователя и чувствительным элементом;
δ - толщина чувствительного элемента,
где εo - абсолютная диэлектрическая проницаемость;
ρ - плотность материала чувствительного элемента,
длина l консоли чувствительного элемента выполнена не менее величины, определяемой в соответствии с соотношением
где K2 - коэффициент,
где Е - модуль упругости первого рода материала чувствительного элемента;
g - ускорение свободного падения.
2. Компенсационный акселерометр в соответствии с п.1, отличающийся тем, что неподвижный элемент первой пластины выполнен одинаковой толщиной с чувствительным элементом.
3. Компенсационный акселерометр в соответствии с п.1, отличающийся тем, что чувствительный элемент выполнен с шириной консоли, равной или большей длины консоли.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2000103856/28A RU2173854C1 (ru) | 2000-02-15 | 2000-02-15 | Компенсационный акселерометр |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2000103856/28A RU2173854C1 (ru) | 2000-02-15 | 2000-02-15 | Компенсационный акселерометр |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2173854C1 true RU2173854C1 (ru) | 2001-09-20 |
Family
ID=48231238
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2000103856/28A RU2173854C1 (ru) | 2000-02-15 | 2000-02-15 | Компенсационный акселерометр |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2173854C1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2638919C1 (ru) * | 2016-11-16 | 2017-12-18 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" | Электронная система компенсационного акселерометра |
-
2000
- 2000-02-15 RU RU2000103856/28A patent/RU2173854C1/ru active IP Right Revival
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2638919C1 (ru) * | 2016-11-16 | 2017-12-18 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" | Электронная система компенсационного акселерометра |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5495761A (en) | Integrated accelerometer with a sensitive axis parallel to the substrate | |
JP2765316B2 (ja) | 容量型三軸加速度センサ | |
EP0795122B1 (en) | Sensor with separate actuator and sense fingers | |
US5233213A (en) | Silicon-mass angular acceleration sensor | |
EP0103360A2 (en) | Capacitive load cell | |
CN100334420C (zh) | 包含弹性材料的位置传感器 | |
EP0543901A1 (en) | MONOLITHIC ACCELERATOR. | |
JP5913577B2 (ja) | 圧力及び/又は力を測定するためのセンサ | |
WO2009148156A1 (ja) | 検知センサ | |
US4091680A (en) | Force transducer having a linear transfer characteristic | |
SU1346058A3 (ru) | Трехосный электростатический акселерометр | |
JPH10504387A (ja) | 力又は伸びセンサ | |
RU2173854C1 (ru) | Компенсационный акселерометр | |
EP3226007A1 (en) | A mems accelerometer having high accuracy and low sensitivity to temperature and ageing | |
JP2004170145A (ja) | 容量式力学量センサ | |
CN216593886U (zh) | 微机电谐振式压力敏感结构 | |
JP2760628B2 (ja) | Pwm静電サーボ式加速度計 | |
Solai et al. | SOI structure employed area dependant capacitive MEMS accelerometer with novel C–V converter | |
JP4394212B2 (ja) | 加速度センサ | |
RU2137141C1 (ru) | Компенсационный акселерометр | |
RU2184380C1 (ru) | Компенсационный акселерометр | |
JP2002529684A (ja) | 歪み測定器 | |
RU2140652C1 (ru) | Компенсационный акселерометр | |
US9815686B2 (en) | Microelectromechanical device and system with low-impedance resistive transducer | |
RU2149411C1 (ru) | Компенсационный акселерометр |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20110216 |
|
NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20140910 |