RU216337U1 - STRAIGHTNESS METER - Google Patents
STRAIGHTNESS METER Download PDFInfo
- Publication number
- RU216337U1 RU216337U1 RU2022114771U RU2022114771U RU216337U1 RU 216337 U1 RU216337 U1 RU 216337U1 RU 2022114771 U RU2022114771 U RU 2022114771U RU 2022114771 U RU2022114771 U RU 2022114771U RU 216337 U1 RU216337 U1 RU 216337U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- laser
- straightness
- beam splitter
- measuring unit
- base
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Полезная модель относится к измерительной технике, в частности к измерительным средствам для контроля прямолинейности и соосности при монтаже и сборке крупногабаритных изделий на трассе большой протяженности (до 100 метров и более). The utility model relates to measuring technology, in particular to measuring tools for monitoring straightness and alignment during installation and assembly of large-sized products on a long route (up to 100 meters or more).
Измеритель отклонений от прямолинейности содержит расположенные на базовой оптической оси лазерную трубу, включающую лазер и оптическую систему, создающую стабильное базовое направление путем образования кольцевой структуры лазерного пучка лучей, светоделитель, на выходе которого на оптической оси отраженного луча расположен двухкоординатный измерительный блок. Измерительный блок содержит фотоприемник с матрицей и снабжен двумя микрометрическими отсчетными винтами. Лазерная труба, светоделитель и двухкоординатный измерительный блок размещены на общем основании с возможностью через светоделитель оптического взаимодействия лазерного луча с маркой контролируемого объекта - триппельпризмой.The straightness deviation meter contains a laser tube located on the base optical axis, including a laser and an optical system that creates a stable base direction by forming an annular structure of the laser beam beam, a beam splitter, at the output of which a two-coordinate measuring unit is located on the optical axis of the reflected beam. The measuring unit contains a photodetector with a matrix and is equipped with two micrometric readout screws. The laser tube, the beam splitter and the two-coordinate measuring unit are placed on a common base with the possibility through the beam splitter of the optical interaction of the laser beam with the brand of the controlled object - trippelprism.
Технический результат состоит в расширении пределов измерений при контроле отклонений объектов от прямолинейности, соосности, при сохранении точности измерения, для сложных конструкций крупногабаритных изделий.
Description
Полезная модель относится к измерительной технике, в частности к измерительным средствам для контроля прямолинейности и соосности при монтаже и сборке крупногабаритных изделий на трассе большой протяженности (до 100 метров и более).The utility model relates to measuring technology, in particular to measuring tools for monitoring straightness and alignment during installation and assembly of large-sized products on a long route (up to 100 meters or more).
В настоящее время для контроля прямолинейности при монтажных работах и сборке крупногабаритных изделий на больших расстояниях широкое распространение находят лазерные приборы.Currently, laser devices are widely used to control straightness during installation work and assembly of large-sized products over long distances.
Известны лазерные интерферометры для измерения отклонений от прямолинейности на больших расстояниях, например, лазерный интерферометр XL-80 фирмы RENISHAW [1], результаты измерения которого базируются на известной длине волны лазерного излучения, поверка которого выполняется в соответствии с международным стандартом длины. При работе с лазерными интерферометрами необходима строгая компенсация воздействия изменений условий окружающей среды с помощью специальных датчиков, неточность которых изменяет длину волны и приведет к ошибке измерений. Из-за несоблюдения принципа Аббе (совмещения оси движения с осью измеряемого объекта) и отклонения лазерного луча от направления движения объекта также возникают ошибки измерений. Существенным недостатком лазерных интерферометров является исчезновение интерференционной картины, а, следовательно, и результатов измерений, при случайном перекрытии лазерного пучка.Laser interferometers are known for measuring deviations from straightness at large distances, for example, the XL-80 laser interferometer from RENISHAW [1], the measurement results of which are based on a known wavelength of laser radiation, which is verified in accordance with the international length standard. When working with laser interferometers, it is necessary to strictly compensate for the effects of changes in environmental conditions using special sensors, the inaccuracy of which changes the wavelength and will lead to measurement errors. Due to non-observance of the Abbe principle (combination of the axis of motion with the axis of the measured object) and the deviation of the laser beam from the direction of movement of the object, measurement errors also occur. A significant drawback of laser interferometers is the disappearance of the interference pattern, and, consequently, of the measurement results, when the laser beam is accidentally overlapped.
Несмотря на высокую точность (±0,5 мкм/м), недостатком лазерных интерферометров является сложность их изготовления и юстировки, настройки в процессе эксплуатации, проблемы аттестации и поверки. Следствием этих недостатков является высокая стоимость и ограниченное применение в цеховых условиях.Despite the high accuracy (±0.5 μm/m), the disadvantage of laser interferometers is the complexity of their manufacture and adjustment, adjustment during operation, certification and verification problems. The consequence of these shortcomings is the high cost and limited use in shop conditions.
Известно отечественное контрольно-измерительное устройство для центрирования по лазерному лучу, [ЛЦИС [2], в основе которого лежит создание реперной оси опорного направления в виде кольцевой структуры лазерного луча. Сложной проблемой всех лазерных измерительных приборов является нестабильность оси опорного направления лазерного луча. Для исключения влияния этой нестабильности в схеме ЛЦИС используется коллиматор - интерферометр, в котором оптические компоненты в виде одной отрицательной и двух положительных линз преобразуют лазерный луч в интерференционную кольцевую структуру опорного луча на больших протяжениях, схожую со сферической аберрацией. Размеры колец, четкость интерференционной картины и распределение освещенности меняются по мере удаления от лазера. В процессе юстировки коллиматора - интерферометра добиваются равномерной контрастности кольцевой структуры, как в ближней, так и в дальней зонах излучения, за счет перемещения средней линзы коллиматора. Однако высокие требования к установке, отладке и юстировке элементов схемы и конструкции осложняют получение четкой картины интерференционных колец, сохраняющейся на всей дистанции контроля. Устройство требует периодической отладки, юстировки и аттестации в специализированных лабораториях. Кроме того, линейные и угловые смещения лазера в процессе измерений, установленного в стороне от коллиматора, или коллиматора относительно лазера, искажают картину кольцевой структуры, вызывая деформацию колец; появляются световые блики, меняется распределение освещенности по мере удаления от лазера, из-за чего снижается точность измерений и ограничивается, дальность измеряемой трассы, а нарушение «гаусового» распределения энергии делает неэффективным применение фотоприемных устройств.Known domestic control and measuring device for centering on the laser beam, [LCIS [2], which is based on the creation of the reference axis of the reference direction in the form of an annular structure of the laser beam. A complex problem of all laser measuring instruments is the instability of the axis of the reference direction of the laser beam. To eliminate the influence of this instability, the LCIS scheme uses a collimator - an interferometer, in which optical components in the form of one negative and two positive lenses convert the laser beam into an interference ring structure of the reference beam over long distances, similar to spherical aberration. The size of the rings, the clarity of the interference pattern, and the distribution of illumination change with distance from the laser. In the process of adjusting the collimator-interferometer, a uniform contrast of the annular structure is achieved, both in the near and in the far radiation zones, by moving the middle lens of the collimator. However, high requirements for installation, debugging and adjustment of circuit and design elements make it difficult to obtain a clear picture of interference rings, which is maintained over the entire inspection distance. The device requires periodic debugging, adjustment and certification in specialized laboratories. In addition, linear and angular displacements of the laser during measurements, installed away from the collimator, or the collimator relative to the laser, distort the picture of the ring structure, causing deformation of the rings; light glare appears, the distribution of illumination changes with distance from the laser, which reduces the accuracy of measurements and limits the range of the measured path, and the violation of the "Gaussian" energy distribution makes the use of photodetectors inefficient.
Практически коллиматор - интерферометр используется на дистанции до 30-50 метров с точностью измерения фотоэлектрическим способом ±0,05 мм.In practice, the collimator - interferometer is used at a distance of up to 30-50 meters with a photoelectric measurement accuracy of ± 0.05 mm.
В патенте РФ №2457434, опубликованным 27.07.2012 по рубрике МПК G01B 11/30, заявлен лазерный измеритель непрямолинейности, содержащий лазер, оптическую систему, создающую стабильное базовое направление путем образования кольцевой структуры лазерного луча, и измерительный блок с позиционно-чувствительным фотоприемником, подключенным к вычислительному блоку, отличающийся тем, что оптическая система состоит из двух компонентов, первым из которых является отрицательная линза, а второй выполнен в виде аксикона с двумя сферическими поверхностями с радиусами R1 и R2, при этом 
В приборе решена задача снижения погрешности измерений из-за нестабильности положения оси диаграммы направленности лазерного излучения. Однако пределы измеряемых отклонений ограничены размером матрицы фотоприемника, а точность измерения ограничена размером пикселя матрицы.The device solves the problem of reducing the measurement error due to the instability of the position of the axis of the laser radiation pattern. However, the limits of the measured deviations are limited by the size of the photodetector matrix, and the measurement accuracy is limited by the size of the matrix pixel.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемой полезной модели является устройство, заявленное в патенте РФ №2603999, опубликованным 10.12.2016 по рубрике МПК G01B 11/26, где описан лазерный измеритель непрямолинейности, содержащий лазер, оптическую систему, создающую стабильное базовое направление путем образования кольцевой структуры лазерного луча, и измерительный блок с фотоприемником, подключенным к вычислительному блоку, отличающийся тем, что оптическая система дополнена узлом из двух оптических клиньев, установленных навстречу друг другу и светоделителем, а измерительный блок дополнен базовой маркой с триппельпризмой и измерительной маркой, состоящей из двух триппельпризм, расположенных симметрично относительно базовой оси, при этом лазер, оптическая система и фотоприемник размещены на одном общем основании.The closest in technical essence and achieved effect to the proposed utility model is the device claimed in the patent of the Russian Federation No. 2603999, published on 10.12.2016 under the heading IPC G01B 11/26, which describes a laser non-straightness meter containing a laser, an optical system that creates a stable base direction by forming an annular structure of the laser beam, and a measuring unit with a photodetector connected to the computing unit, characterized in that the optical system is supplemented with a node of two optical wedges installed towards each other and a beam splitter, and the measuring unit is supplemented with a base mark with a triple prism and a measuring mark, consisting of two trippelprisms located symmetrically about the base axis, while the laser, optical system and photodetector are placed on one common base.
Недостаток прототипа заключается в снижении пределов измерения при измерении отклонений от прямолинейности, несоосности сложных конструкций крупногабаритных изделий.The disadvantage of the prototype is to reduce the measurement limits when measuring deviations from straightness, misalignment of complex structures of large products.
В предлагаемом полезной модели решается задача расширения пределов измерений при контроле отклонений объектов от прямолинейности, соосности, при сохранении точности измерения, в том числе для сложных конструкций крупногабаритных изделий.The proposed utility model solves the problem of expanding the measurement limits when controlling deviations of objects from straightness, coaxiality, while maintaining measurement accuracy, including for complex designs of large-sized products.
Технический результат достигается в измерителе отклонений от прямолинейности, содержащим расположенные на базовой оптической оси лазерную трубу, включающую лазер и оптическую систему, создающую стабильное базовое направление путем образования кольцевой структуры лазерного пучка лучей, светоделитель, на выходе которого на оптической оси отраженного луча расположен двухкоординатный измерительный блок, содержащий фотоприемник с матрицей и снабженный двумя микрометрическими отсчетными винтами, при этом лазерная труба, светоделитель и двухкоординатный измерительный блок размещены на общем основании с возможностью через светоделитель оптического взаимодействия лазерного луча с маркой контролируемого объекта в виде триппельпризмы.The technical result is achieved in a straightness deviation meter containing a laser tube located on the base optical axis, including a laser and an optical system that creates a stable base direction by forming an annular structure of the laser beam, a beam splitter, at the output of which a two-coordinate measuring unit is located on the optical axis of the reflected beam , containing a photodetector with a matrix and equipped with two micrometric readout screws, while the laser tube, beam splitter and two-coordinate measuring unit are placed on a common base with the possibility of optical interaction of the laser beam with the brand of the controlled object in the form of a tripelprism through the beam splitter.
Техническая проблема расширения пределов измеряемых отклонений достигается наличием двухкоординатного блока с двумя микрометрическими отсчетными винтами, пределы измерения которых позволяют значительно расширить пределы отклонений контролируемых параметров объекта, что достигается подбором винтов с определенными параметрами и их точной настройки, что обеспечивает также сохранение точности измерений.The technical problem of expanding the limits of measured deviations is achieved by the presence of a two-coordinate block with two micrometer readout screws, the measurement limits of which allow you to significantly expand the limits of deviations of the controlled parameters of the object, which is achieved by selecting screws with certain parameters and their fine tuning, which also ensures the preservation of measurement accuracy.
На чертеже представлена структурная схема предлагаемой полезной модели - устройство измерителя отклонений от прямолинейности, где 1 - лазерная труба, включающая 2 - лазер, 3 - аксикон в виде положительного мениска по ходу луча лазера, 4 - расширитель лазерного пучка, 5 - светоделитель, 6 - двухкоординатный блок с установленными на нем двумя микрометрическими отсчетными винтами 7, фотоприемником 8 с матрицей 9. 10 - базовая марка с триппельпризмой. Цифрой II обозначено общее основание устройства. Элементы 1, 5 и 10 находятся на одной оптической оси по ходу луча лазера. Элементы 6, 7, 8, 9 расположены на выходе после светоделителя 5 по ходу отраженного от него луча. Фотоприемник 8 соединен с вычислительным блоком (на чертеже не показан).The drawing shows a block diagram of the proposed utility model - a device for measuring deviations from straightness, where 1 - laser tube, including 2 - laser, 3 - axicon in the form of a positive meniscus along the laser beam, 4 - laser beam expander, 5 - beam splitter, 6 - two-coordinate block with two
Устройство содержит лазерную трубу 1, в которой размещены лазер 2 с блоком питания (на чертеже не показан) и система стабилизации лазерного луча, содержащая аксикон 3 и одну или несколько линз расширителя лазерного пучка 4. Лазерная труба I дополнена, светоделителем 5, маркой с триппельпризмой 10, связанной с контролируемым объектом и двухкоординатным блоком 6 с двумя отсчетными микровинтами 7. На блоке 6 установлен фотоприемник 8 с матрицей 9. Фотоприемник 8 соединен с вычислительным блоком, в котором осуществляется обработка и управление сигналом, полученного с матрицы 9 фотоприемника, и выдача на монитор результатов измерения.The device contains a
Луч лазера в виде кольцевой структуры выходит из лазерной трубы 1, проходит через светоделитель 5 и направляется на базовую марку с триппельпризмой 10. При параллельном смещении «триппельпризмы» на величину «h», отраженный от нее луч смещается параллельно самому себе на ту же величину «b», причем расстояние между падающим и отраженным лучом равно «2b». После отражения от контрольного элемента луч возвращается в обратном направлении на светоделитель 5. Далее часть лазерного луча отражается от светоделительного слоя и принимается фотоприемником 8 с матрицей 9. Конструктивно устройство выполнено таким образом, что лазерная труба 1, светоделитель 5, и двукоординатный блок-стол 6 с фотоприемником 8 размещены на общем основании И.The laser beam in the form of an annular structure leaves the
Процесс измерений осуществляется следующим образом: измеритель отклонений от прямолинейности устанавливают в створе линии измерения, например, для определения взаимного положения одного узла крупногабаритного изделия относительно другого узла, расположенного на удаленном расстоянии. Если прибор настроен на марку, установленную в контрольную точку ближнего контролируемого узла, тогда отраженный от марки луч придет в центр поля матрицы фотоприемника. На рабочем поле монитора компьютера появится перекрестие и изображение кольцевой структуры лазерного луча, совмещенное с центром перекрестия. На экране компьютера появляются нулевые значения координат по осям абсцисс, ординат и результирующего вектора.The measurement process is carried out as follows: a straightness deviation meter is installed in the alignment of the measurement line, for example, to determine the relative position of one node of a large-sized product relative to another node located at a remote distance. If the device is tuned to the brand, set to the control point of the nearest controlled node, then the beam reflected from the brand will come to the center of the field of the photodetector matrix. A crosshair and an image of the annular structure of the laser beam, aligned with the center of the crosshair, will appear on the working field of the computer monitor. Zero values of coordinates appear on the computer screen along the axes of abscissa, ordinate and the resulting vector.
Если центр кольцевой структуры смещен с центра перекрестия, то программа выдаст значения смещения кольцевой структуры по осям абсцисс, ординат и результирующего вектора. Если центр кольцевой структуры находится за пределами поля, необходимо добитьря смещения приемника при помощи микрометрических отсчетных винтов двухкоординатного блока до попадания центра кольцевой структуры в поле изображения для наблюдения его на экране компьютера.If the center of the ring structure is offset from the center of the crosshair, then the program will display the offset values of the ring structure along the abscissa, ordinate and resulting vector axes. If the center of the ring structure is outside the field, it is necessary to adjust the receiver displacement using micrometric reference screws of the two-coordinate block until the center of the ring structure enters the image field to observe it on the computer screen.
Показания микрометрических отсчетных винтов необходимо занести в программное обеспечение (ПО).The readings of the micrometric reading screws must be entered into the software (SW).
Установить базовую марку с триппельпризмой в контрольную точку дальнего узла. Если лазерный луч попадет в рабочую зону марки, тогда на рабочем поле монитора компьютера появится изображение кольцевой структуры лазерной) луча. Если центр кольцевой структуры смещен с центра перекрестия, то программа выдаст значения смещения кольцевой структуры по осям абсцисс, ординат и результирующего вектора. С учетом результатов измерений, полученных программой в ближней точке, определяется величина смещения дальнего узла контролируемого изделия относительно ближнего.Set base mark with triple prism to control point of far node. If the laser beam enters the working area of the brand, then an image of the ring structure of the laser beam will appear on the working field of the computer monitor. If the center of the ring structure is offset from the center of the crosshair, then the program will display the offset values of the ring structure along the abscissa, ordinate and resulting vector axes. Taking into account the results of measurements obtained by the program at the nearest point, the displacement of the far node of the controlled product relative to the near one is determined.
Если центр кольцевой структуры находится за пределами поля матрицы, необходимо добиться смещения фотоприемника 8 при помощи микрометрических отсчетных винтов 7 двухкоординатного блока 6 до попадания центра кольцевой структуры в поле матрицы для наблюдения его на экране компьютера.If the center of the ring structure is outside the matrix field, it is necessary to shift the
Показания микрометрических отсчетных винтов 7 необходимо занести в ПО. Далее программа выдаст значения смещения кольцевой структуры по осям абсцисс, ординат и результирующего вектора. В этом случае с учетом результатов измерений, полученных программой в ближней точке, также определяется величина смещения дальнего узла, контролируемого изделия относительно ближнего.The readings of the
Отличительной особенностью устройства является то, что в результате двойного смещения лазерного луча, отраженного от базовой марки, в два раза повышается чувствительность, а, следовательно, и точность измерения, равную ±0,01 мм на всей трассе измерений - 30 м и более. Однако в этом случае в два раза уменьшаются пределы измеряемых отклонений и составляют ±1,3 мм при размере матрицы 5×6 мм.A distinctive feature of the device is that as a result of the double displacement of the laser beam reflected from the base mark, the sensitivity is doubled, and, consequently, the measurement accuracy is equal to ±0.01 mm along the entire measurement path - 30 m or more. However, in this case, the limits of measured deviations are halved and amount to ±1.3 mm with a matrix size of 5 × 6 mm.
Отличительной особенностью конструкции устройства является то, что для увеличения пределов измерения в устройстве используют двухкоординатный блок с двумя микрометрическими отсчетными винтами. При этом обеспечивается высокая точность измерений на больших дистанциях при получении отраженного сигнала от контролируемого объекта, в том числе в виде сложного крупногабаритного изделия.A distinctive feature of the design of the device is that in order to increase the measurement limits in the device, a two-coordinate block with two micrometric reference screws is used. This ensures high accuracy of measurements at long distances when receiving a reflected signal from a controlled object, including in the form of a complex large-sized product.
Устройство отличает простота конструкции и юстировки.The device is distinguished by simplicity of design and adjustment.
Предлагаемый измеритель отклонения от прямолинейности с наибольшей эффективностью решает целый ряд проблемных задач метрологического и технологического характера при изготовлении сложных крупногабаритных изделий, при выполнении контрольно- измерительных, разметочно-поверочных и монтажных операций на современных промышленных предприятиях. Данный измеритель прошел испытания в производственных условиях на стенде завода «АТОММАШ» для проведения измерений отклонений от базовой оси отдельных узлов реактора и выполнение контроля сборки узлов с корпусом реактора.The proposed straightness deviation meter most effectively solves a number of problematic metrological and technological problems in the manufacture of complex large-sized products, when performing control and measurement, marking, calibration and installation operations at modern industrial enterprises. This meter was tested under production conditions at the stand of the ATOMMASH plant to measure deviations from the base axis of individual reactor units and to control the assembly of units with the reactor pressure vessel.
Применение полезной модели позволит также повысить надежность изготавливаемых объектов, повысить их техническую безопасность в процессе их эксплуатации, повысить производительность контроля, снизить себестоимость контрольно-измерительных операций, обеспечить предельную простоту, наглядность и удобство в работе в цеховых условиях.The use of the utility model will also improve the reliability of manufactured objects, increase their technical safety during their operation, increase the productivity of control, reduce the cost of control and measurement operations, ensure the utmost simplicity, clarity and convenience in work in workshop conditions.
Предлагаемый измеритель отклонений от прямолинейности на 30% дешевле своих зарубежных аналогов и не требует закупки импортных материалов и комплектующих, это на 100% российский продукт.The proposed straightness deviation meter is 30% cheaper than its foreign counterparts and does not require the purchase of imported materials and components, it is a 100% Russian product.
Источники информации:Information sources:
1. Лазерный интерферометр XL-80 фирмы RENISHAW, Англия.1. Laser interferometer XL-80 from RENISHAW, England.
2. Вагнер Е.Г. Контроль объектов машиностроения по кольцевой структуре лазерного луча. - Измерительная техника, №4, 1981 г.2. Wagner E.G. Control of mechanical engineering objects by the ring structure of the laser beam. - Measuring equipment, No. 4, 1981
Claims (1)
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU216337U1 true RU216337U1 (en) | 2023-01-30 |
Family
ID=
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5333053A (en) * | 1991-04-26 | 1994-07-26 | Nikon Corporation | Apparatus for measuring straightness |
| RU2094756C1 (en) * | 1994-02-14 | 1997-10-27 | Новосибирская государственная академия строительства | Device for measuring the deviation from rectilinearity |
| CN2653437Y (en) * | 2003-08-12 | 2004-11-03 | 武汉大学 | Laser centring device |
| CN103308004A (en) * | 2013-06-09 | 2013-09-18 | 北京市普锐科创科技有限责任公司 | Laser straightness and displacement measuring device |
| RU2603999C1 (en) * | 2015-06-03 | 2016-12-10 | Акционерное общество "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" | Nonlinearity laser meter |
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5333053A (en) * | 1991-04-26 | 1994-07-26 | Nikon Corporation | Apparatus for measuring straightness |
| RU2094756C1 (en) * | 1994-02-14 | 1997-10-27 | Новосибирская государственная академия строительства | Device for measuring the deviation from rectilinearity |
| CN2653437Y (en) * | 2003-08-12 | 2004-11-03 | 武汉大学 | Laser centring device |
| CN103308004A (en) * | 2013-06-09 | 2013-09-18 | 北京市普锐科创科技有限责任公司 | Laser straightness and displacement measuring device |
| RU2603999C1 (en) * | 2015-06-03 | 2016-12-10 | Акционерное общество "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" | Nonlinearity laser meter |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103791860A (en) | Tiny angle measuring device and method based on vision detecting technology | |
| CN109357631A (en) | A kind of measuring system center scaling method based on laser displacement sensor | |
| CN207180619U (en) | Three-dimensional small angle error simultaneous measuring apparatus based on beam drift compensation | |
| CN108489421A (en) | A kind of fringe projection detection plane component face shape method and device | |
| CN110455226B (en) | Calibration system and method for laser collimation transceiving integrated straightness measurement | |
| CN103322933A (en) | Non-contact type optical mirror surface interval measuring device | |
| CN109579744B (en) | Following type three-dimensional photoelectric auto-collimation method and device based on grating | |
| CN111609997B (en) | Detection apparatus suitable for transmission-type optical element optical path uniformity measurement | |
| CN106225730B (en) | The big working distance autocollimation of portable combined zeroing high-precision laser and method | |
| CN109631767A (en) | Range unit and distance measuring method | |
| RU216337U1 (en) | STRAIGHTNESS METER | |
| CN106247992B (en) | A kind of high-precision, wide scope and big working distance autocollimation and method | |
| CN106323198B (en) | A kind of high-precision, wide scope and big working distance laser auto-collimation apparatus and method | |
| US20230384090A1 (en) | High-precision dual-axis laser inclinometer based on wavefront homodyne interference and measuring method | |
| US3916528A (en) | Apparatus for compensation of dimensional position changes | |
| CN106323197B (en) | The big working distance autocollimation of portable array zeroing high-precision laser and method | |
| CN205209430U (en) | Many laser angle of wavelength correction formula ladder speculum laser interferometer | |
| CN106225726B (en) | The big working distance autocollimation of array zeroing high-precision laser and method | |
| Korolev et al. | A digital autocollimator | |
| RU2457434C2 (en) | Nonlinearity laser meter | |
| RU2502951C1 (en) | Nano- and sub-nanometer accuracy apparatus for controlling position of object | |
| CN106052548B (en) | A kind of big working distance autocollimation of portable high-accuracy and method | |
| CN106247990B (en) | Portable array zeroing high-precision working distance autocollimation and method greatly | |
| CN113091652B (en) | Measuring system and method with rolling angle self-correcting function | |
| RU117020U1 (en) | LINEAR SIZE METER (OPTIONS) |