RU204397U1 - Устройство для возбуждения разряда в ВЧИ-плазмотроне - Google Patents

Устройство для возбуждения разряда в ВЧИ-плазмотроне Download PDF

Info

Publication number
RU204397U1
RU204397U1 RU2020142212U RU2020142212U RU204397U1 RU 204397 U1 RU204397 U1 RU 204397U1 RU 2020142212 U RU2020142212 U RU 2020142212U RU 2020142212 U RU2020142212 U RU 2020142212U RU 204397 U1 RU204397 U1 RU 204397U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
frame
plasmatron
discharge
spring
washer
Prior art date
Application number
RU2020142212U
Other languages
English (en)
Inventor
Анатолий Платонович Веселовский
Сергей Юльевич Грачев
Сергей Геннадьевич Зверев
Александр Сергеевич Чистяков
Original Assignee
федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") filed Critical федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ")
Priority to RU2020142212U priority Critical patent/RU204397U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU204397U1 publication Critical patent/RU204397U1/ru

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24Generating plasma
    • H05H1/46Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к области плазменной техники и касается конструкции устройства для возбуждения высокочастотного плазменного разряда в индукционных плазмотронах различного давления плазмообразующих газов. Сущность полезной модели заключается в том, что устройство для возбуждения разряда в ВЧИ-плазмотроне содержит каркас трансформатора, состоящий из кольца и фланца, соединенных стержнями, при этом все детали каркаса изготовлены из диэлектрического материала, внутри каркаса расположена обмотка из проводящего материала для образования «воздушного трансформатора» и гибкий проводник, соединяющий обмотку с подвижным контактирующим электродом, к каркасу через фланец коническим раструбом присоединена труба из диэлектрического материала, другой конец этой трубы через фиксирующее кольцо и направляющую втулку соединен с торцевым стаканом, внутри этой трубы и стакана расположен центральный стержень из диэлектрического материала, проходящий через фланец и соединенный одним концом с контактирующим электродом через муфту, другим концом - с ограничительной шайбой, между ограничительной шайбой и фиксирующим кольцом закреплен пружинный механизм подачи контактирующего стержня, пружинный механизм возврата контактирующего стержня расположен внутри стакана, при этом пружинный механизм состоит из пружины, ограниченной с двух сторон фиксирующей разрезной шайбой и упорной шайбой. Каркас трансформатора, центральный стержень и труба могут быть изготовлены из стекловолокна, фторопласта или полипропилена. Технический результат - упрощение конструкции возбуждающего устройства и снижение вероятности коротких замыканий неизолированных элементов плазмотрона и зажигающих устройств, например, дугового типа, возможность работы устройства, в том числе, в разрядной камере с разрезными стенками. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Полезная модель относится к области плазменной техники и касается конструкции устройства для возбуждения высокочастотного плазменного разряда в индукционных плазмотронах различного давления плазмообразующих газов.
Высокочастотный индукционный (ВЧИ) плазмотрон - это устройство, позволяющее получать и стационарно удерживать плазму с температурой (7...10)⋅103 К. Принцип действия ВЧИ-плазмотрона основан на высокочастотном безэлектродном разряде в газоразрядной камере переменным электромагнитным полем индуктора. Разряд представляет собой безэлектродный кольцевой ток в ионизированном газе, где плазма не загрязнена посторонними примесями, т.к. не имеет постоянного контакта с электродами в зоне разряда.
Известен плазмотрон для плавильной печи (патент RU2524173, Н05Н 1/34; Н05В 7/20, опубл. 27.07.2014). Плавильный плазмотрон включает водоохлаждаемый корпус, каналы для подачи плазмообразующего газа, расположенные параллельно оси плазмотрона и соединенные с вертикально расположенным водоохлаждаемым соплом, электрическую изоляцию, электрическую сеть, вольфрамовый электрод-катод, электрододержатель. Плазмотрон дополнительно снабжен вторым каналом для подачи плазмообразующего газа с соплом, причем сопла установлены симметрично относительно вертикальной оси плазмотрона и под углом 30-35° к вертикальной оси электрододержателя.
Известен комбинированный плазмотрон (патент RU2440701, Н05Н 1/00, опубл. 20.01.2012, Бюл. №2). Данный плазмотрон содержит металлическую водоохлаждаемую камеру с продольными разрезами, которая изготовлена из металлической трубы с толщиной стенки 7-20 мм, в которой выполнены продольные каналы водоохлаждения, с внешней стороны герметично закрытые металлическими накладками. На камеру надета кварцевая труба, выполняющая роль кожуха, установленная на съемные фланцы с возможностью съема. Индуктор охватывает камеру и кварцевую трубу, причем витки индуктора покрыты электроизоляционным материалом. Снизу к камере через газоформирователь, который установлен на входе камеры, подсоединен дуговой плазмотрон.
В этих плазмотронах для зажигания кольцевого индукционного разряда, используется устройство дугового типа. В таких устройствах с раздельной генерацией плазмы необходимо предусматривать защиту от замыканий источника питания через плазму, что приводит к усложнению конструкции плазмотрона.
Известен также высокочастотный плазмотрон, описанный в патенте RU2477026, Н05В 7/00, опубл. 27.02.2013 (нагрев электрическими разрядами). В конструкции высокочастотного плазмотрона, состоящей из индуктора и разрядной камеры, охлаждаемой изнутри трубками с водой, которые вынесены за зону кольцевого разряда и образуют продольные щели, индуктор с пылезащитными вводами расположен внутри разрядной камеры соосно и его наружный диаметр в два раза меньше внутреннего диаметра камеры по трубкам, а на входе разрядной камеры соосно расположена электродуговая горелка с промежутком до индуктора менее длины плазменной струи горелки и в который (промежуток) производится ввод разогреваемого газа.
Этот плазмотрон имеет существенный недостаток при обработке чистых материалов. Из-за испарения продуктов сгорания в дуговой камере загрязняется камера индукционного нагрева, что отрицательно сказывается, например, при обработке порошковых материалов. Кроме того, в камеру индукционного нагрева вносятся продукты эрозии при дуговых процессах.
В качестве прототипа выбрано устройство для возбуждения индукционного разряда в ВЧИ-плазмотроне, описанное в патенте RU2113073C1, Н05Н 1/46. Устройство содержит два соосно размещенных электрода и изолятор, снабжено индуктивным витком, укрепленным в изоляторе, при этом концы витка соединены с электродами, расположенными вдоль его продольной оси симметрии, а виток выполнен из материала, обеспечивающего возможность упругой деформации витка. Кроме того, устройство содержит кольцевой сердечник из магнитомягкого материала, размещенный внутри индуктивного витка для увеличения индуктивной связи витка с высокочастотным электромагнитным полем плазмотрона.
Для обеспечения разряда при замыкании и размыкании контактов создана сложная конструкция, включающая индуктивный виток из вольфрамовой проволоки, к концам которого присоединены электроды с контактами. Чтобы обойтись одним витком используют кольцевой сердечник из магнитомягкого материала, размещенный внутри индуктивного витка для увеличения индуктивной связи витка с высокочастотным электромагнитным полем плазмотрона. Как видно из чертежа, устройство совершает возвратно-поступательные перемещения со скольжением внутри разрядной камеры из кварцевой трубы, для возникновения колебаний электродов, обусловленных упругостью витка. В результате этих колебаний должны замыкаться и размыкаться контакты на электродах.
Недостатком устройства является сложность конструкции и высокая трудоемкость изготовления. Кроме того, при осуществлении такого процесса вручную трудно обеспечить надежное замыкание и размыкание контактов. Необходимость действий, перечисленных выше, создает дополнительные трудности при эксплуатации устройства, которое пригодно только для разрядной камеры из кварцевой трубы. Перечисленное выше, не позволяет применить данное устройство в щелевом плазмотроне с разрядной камерой из металлических разрезных водоохлаждаемых стенок.
Таким образом, технической проблемой, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является упрощение конструкции и повышение надежности его работы, а также обеспечение возможности работы предлагаемого устройства, в том числе, в разрядной камере с металлическими разрезными водоохлаждаемыми стенками.
Решение указанной технической проблемы достигается за счет того, что устройство для возбуждения разряда в ВЧИ-плазмотроне содержит каркас трансформатора, состоящий из кольца и фланца, соединенных стержнями, при этом все детали каркаса изготовлены из диэлектрического материала, внутри каркаса расположена обмотка из проводящего материала для образования «воздушного трансформатора» и гибкий проводник, соединяющий обмотку с подвижным контактирующим электродом, к каркасу через фланец коническим раструбом присоединена труба из диэлектрического материала, другой конец этой трубы через фиксирующее кольцо и направляющую втулку соединен с торцевым стаканом, внутри этой трубы и стакана расположен центральный стержень из диэлектрического материала, проходящий через фланец и соединенный одним концом с контактирующим электродом через муфту, другим концом - с ограничительной шайбой, между ограничительной шайбой и фиксирующим кольцом закреплен пружинный механизм подачи контактирующего стержня, пружинный механизм возврата контактирующего стержня расположен внутри стакана, при этом пружинный механизм состоит из пружины, ограниченной с двух сторон фиксирующей разрезной шайбой и упорной шайбой. Каркас трансформатора, центральный стержень и труба могут быть изготовлены из стекловолокна, фторопласта или полипропилена.
В конструкции устройства соосно с индуктором размещают вторичную обмотку воздушного трансформатора в изолирующем каркасе с окнами, устройство кратковременного замыкания вторичной обмотки воздушного трансформатора с подвижным контактом, приводимым в движение пружинным механизмом. Для увеличения индуктивной связи витка с высокочастотным электромагнитным полем плазмотрона достаточно использовать обмотку из нескольких витков, количество которых можно рассчитать.
Технический результат заявляемой полезной модели заключается в снижении вероятности коротких замыканий неизолированных элементов плазмотрона и зажигающих устройств, например, дугового типа, и обеспечивает возможность работы устройства, в том числе, в разрядной камере с металлическими разрезными стенками.
На прилагаемых к описанию чертежах дано:
Конструкция устройства для возбуждения разряда в ВЧИ-плазмотроне (фиг. 1).
Воздушный трансформатор, образующийся при внесении устройства, в разрядную камеру плазмотрона и магнитные потоки в нем (фиг. 2).
Конструкция устройства для возбуждения разряда в ВЧИ-плазмотроне представлена на Фиг. 1.
Устройство включает в себя следующие элементы: - каркас трансформатора 1, состоящий из кольца 2 и фланца 3 из диэлектрического материала, например стекловолокна, соединенных стержнями из стеклотекстолита 4, внутри каркаса расположена обмотка из проводящего материала 5, для образования «воздушного трансформатора» и гибкий проводник 6, соединяющий обмотку 5 с контактирующим электродом 7, к каркасу 1 через фланец 3 коническим раструбом присоединена стекловолоконная труба 8, другой конец этой трубы через фиксирующее кольцо 10 и направляющую втулку 11 соединен с торцевым стаканом 12, внутри этой трубы и стакана 12 расположен центральный стержень 13 из диэлектрического материала, например стеклотекстолита, проходящий через фланец 3, и соединенный одним концом с контактирующим электродом 7 через муфту 9, другим концом - с ограничительной шайбой 17, между ограничительной шайбой 17 и фиксирующим кольцом 10 закреплен пружинный механизм подачи контактирующего стержня 18, пружинный механизм возврата контактирующего стержня расположен внутри стакана 12. Он состоит из фиксирующей разрезной шайбы 14, пружины 15 и упорной шайбы 16. Пружинные механизмы подачи и возврата контактирующего стержня обеспечивают замыкание и размыкание контактирующего электрода 7 для получения электрической дуги 19.
Воздушный трансформатор, образующийся при внесении устройства, в разрядную камеру плазмотрона и магнитные потоки, возникающие при этом, представлены на Фиг. 2.
Здесь приняты следующие обозначения: индуктор плазмотрона, содержащий первичную обмотку 20; секции охлаждения разрядной камеры плазмотрона 21 располагаются между обмотками индуктора 20 и устройства для возбуждения разряда 1, кварцевая труба 22. Устройство работает следующим образом.
При подаче напряжения высокой частоты на индуктор плазмотрона 20 формируется высокочастотный кольцевой ток. Однако для получения начальной стадии разряда необходимо в газовой струе, протекающей через индуктор, сформировать проводящую электронно-ионную среду, развивающуюся в кольцевой разряд, т.е. «зажечь» ВЧИ-плазмотрон.
Задачу формирования среды, проводящей электрический ток, выполняет устройство возбуждения разряда, на короткое время (несколько секунд) вводимое в область индуктора, и образующее с ним воздушный трансформатор.
В воздушном трансформаторе возникает потокосцепление взаимной индукции, т.е. потокосцепление, связанное с протеканием тока в индукторе плазмотрона, с индуктивностью устройства возбуждения.
Вторичная обмотка воздушного трансформатора 5 устройства возбуждения помещена в изолирующий каркас 1 с окнами и щелями для пропуска плазмообразующего газа. Изолирующий каркас 1 необходим для устранения коротких замыканий водоохлаждающих секций 19 разрядной камеры плазмотрона с обмоткой устройства возбуждения. Т.к. обмотки индуктора 20 и возбуждающего устройства 5 расположены на расстоянии близком друг от друга (10...20 мм) и содержат w 1 и w 2 витков, то магнитное поле тока индуктора распространяется на область обмотки устройства возбуждения (фиг. 2).
Изменение магнитного потокосцепления взаимной индукции приводит к возбуждению в индуктивно связанных обмотках воздушного трансформатора ЭДС e 2 взаимной индуктивности M
Figure 00000001
(1)
где Ψ = wФ - потокосцепление; M – взаимная индуктивность обмоток;
w - число витков; Ф – магнитный поток; i – ток; t – время.
Значение взаимной индуктивности M в основном зависит от числа витков индуктора и устройства возбуждения, их формы и взаимного расположения.
Степень индуктивной связи индуктора 20 и обмотки устройства возбуждения 5 может изменяться в процессе зажигания плазмы, т.к. при замыкании обмотки устройства возбуждения в ней протекает ток, оказывающий влияние на магнитный поток Ф21 взаимной индукции M.
Коэффициент индуктивной связи k катушек индуктора и возбуждающего устройства
Figure 00000002
(2)
где L 1 и L 2 – индуктивности катушек индуктора и возбуждающего устройства; Ф12 и Ф21 - магнитные потоки взаимоиндукции индуктора с возбуждающим устройством и возбуждающего устройства с индуктором;
Ф1 и Ф2 - магнитные потоки самоиндукции индуктора и возбуждающего устройства.
Для возбуждения кольцевого разряда в плазме необходимо кратковременно внести в разрядную камеру щелевого плазмотрона обмотку возбуждающего устройства 5, расположенную в каркасе 1 и сжать пружинный механизм подачи контактирующего стержня 18. При замыкании подвижного контакта 7 в обмотке 5 индуцируется ЭДС и появится ток короткого замыкания. При отпускании пружинного механизма 18 происходит размыкание контакта обмотки 5 и подвижного контакта 7, что вызывает электрический дуговой или искровой разряд, вследствие высокого напряжения на вторичной обмотке воздушного трансформатора 5. Для ограничения тока короткого замыкания вторичной обмотки трансформатора ее выполняют из высокоомного материала (например, нихрома). Напряжение на вторичной обмотке может достигать 5...10 кВ, что позволяет организовать дуговой или искровой разряд, который перерастает в кольцевой индукционный.

Claims (2)

1. Устройство для возбуждения разряда в ВЧИ-плазмотроне, содержащее каркас трансформатора, состоящий из кольца и фланца, соединенных стержнями, при этом все детали каркаса изготовлены из диэлектрического материала, внутри каркаса расположена обмотка из проводящего материала для образования «воздушного трансформатора» и гибкий проводник, соединяющий обмотку с подвижным контактирующим электродом, к каркасу через фланец коническим раструбом присоединена труба из диэлектрического материала, другой конец этой трубы через фиксирующее кольцо и направляющую втулку соединен с торцевым стаканом, внутри этой трубы и стакана расположен центральный стержень из диэлектрического материала, проходящий через фланец и соединенный одним концом с контактирующим электродом через муфту, другим концом - с ограничительной шайбой, между ограничительной шайбой и фиксирующим кольцом закреплен пружинный механизм подачи контактирующего стержня, пружинный механизм возврата контактирующего стержня расположен внутри стакана, при этом пружинный механизм состоит из пружины, ограниченной с двух сторон фиксирующей разрезной шайбой и упорной шайбой.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что каркас трансформатора, центральный стержень и труба изготовлены из стекловолокна, фторопласта или полипропилена.
RU2020142212U 2020-12-21 2020-12-21 Устройство для возбуждения разряда в ВЧИ-плазмотроне RU204397U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020142212U RU204397U1 (ru) 2020-12-21 2020-12-21 Устройство для возбуждения разряда в ВЧИ-плазмотроне

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020142212U RU204397U1 (ru) 2020-12-21 2020-12-21 Устройство для возбуждения разряда в ВЧИ-плазмотроне

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU204397U1 true RU204397U1 (ru) 2021-05-24

Family

ID=76034267

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2020142212U RU204397U1 (ru) 2020-12-21 2020-12-21 Устройство для возбуждения разряда в ВЧИ-плазмотроне

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU204397U1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2808774C1 (ru) * 2023-02-27 2023-12-05 Дмитрий Алексеевич Бондаренко Способ получения заряженных частиц

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2113073C1 (ru) * 1994-02-24 1998-06-10 Сибирский химический комбинат Устройство для возбуждения разряда в вчи-плазмотроне
JP2011124153A (ja) * 2009-12-11 2011-06-23 Denso Corp プラズマ発生装置
WO2011110391A1 (de) * 2010-03-11 2011-09-15 Reinhausen Plasma Gmbh Plasmaerzeuger
RU2440701C1 (ru) * 2010-08-06 2012-01-20 Государственное научное учреждение "Центральный научно-исследовательский и опытно-конструкторский институт робототехники и технической кибернетики" (ГНУ ЦНИИ РТК) Комбинированный плазмотрон
RU2477026C2 (ru) * 2010-11-17 2013-02-27 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) Высокочастотный плазмотрон

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2113073C1 (ru) * 1994-02-24 1998-06-10 Сибирский химический комбинат Устройство для возбуждения разряда в вчи-плазмотроне
JP2011124153A (ja) * 2009-12-11 2011-06-23 Denso Corp プラズマ発生装置
WO2011110391A1 (de) * 2010-03-11 2011-09-15 Reinhausen Plasma Gmbh Plasmaerzeuger
RU2440701C1 (ru) * 2010-08-06 2012-01-20 Государственное научное учреждение "Центральный научно-исследовательский и опытно-конструкторский институт робототехники и технической кибернетики" (ГНУ ЦНИИ РТК) Комбинированный плазмотрон
RU2477026C2 (ru) * 2010-11-17 2013-02-27 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) Высокочастотный плазмотрон

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2808774C1 (ru) * 2023-02-27 2023-12-05 Дмитрий Алексеевич Бондаренко Способ получения заряженных частиц

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2919370A (en) Electrodeless plasma torch and method
US3324334A (en) Induction plasma torch with means for recirculating the plasma
US6432260B1 (en) Inductively coupled ring-plasma source apparatus for processing gases and materials and method thereof
US5233155A (en) Elimination of strike-over in rf plasma guns
JP5239021B2 (ja) プラズマ発生装置及びそれを用いたプラズマ生成方法
US2587331A (en) High-frequency electrical heating method and apparatus
RU2295206C9 (ru) Многокатушечная индукционная плазменная горелка с твердотельным источником питания
CN111479376B (zh) 基于预电离点火装置的大气压射频热等离子体发生器
EP1786245B1 (en) Apparatus and method for forming a plasma
KR910011094A (ko) 단락에 의해 개시되는 플라즈마 토오치
RU204397U1 (ru) Устройство для возбуждения разряда в ВЧИ-плазмотроне
EP0335448B1 (en) Plasma torch
US7132620B2 (en) Inductive thermal plasma torch
US3543084A (en) Plasma arc gas heater
JP3662621B2 (ja) 誘導プラズマの発生方法および装置
US3501675A (en) Initiation process
US5017751A (en) Inductively-coupled RF plasma torch
JP2001118697A (ja) 誘導プラズマの発生装置
US3153175A (en) Two stage system for initiating an electric arc
TWM628523U (zh) 一種複合式電漿源
US3694619A (en) Gas-shielded arc-welding system
US1534251A (en) Electric light
RU2113073C1 (ru) Устройство для возбуждения разряда в вчи-плазмотроне
US1813580A (en) Mercury vapor lamp
US6399927B1 (en) Method and device for high frequency treatment of products, related materials and uses