RU2043431C1 - Galvanochemical treatment and hot rinse apparatus - Google Patents

Galvanochemical treatment and hot rinse apparatus Download PDF

Info

Publication number
RU2043431C1
RU2043431C1 SU5059509A RU2043431C1 RU 2043431 C1 RU2043431 C1 RU 2043431C1 SU 5059509 A SU5059509 A SU 5059509A RU 2043431 C1 RU2043431 C1 RU 2043431C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
air
collector
gas medium
installation according
aerosols
Prior art date
Application number
Other languages
Russian (ru)
Inventor
А.Н. Алексеев
Original Assignee
Гальвано-унд Фильтертехник Гюнтерсберге ГмбХ (Гальфитек)
Алексеев Андрей Николаевич
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Гальвано-унд Фильтертехник Гюнтерсберге ГмбХ (Гальфитек), Алексеев Андрей Николаевич filed Critical Гальвано-унд Фильтертехник Гюнтерсберге ГмбХ (Гальфитек)
Priority to SU5059509 priority Critical patent/RU2043431C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2043431C1 publication Critical patent/RU2043431C1/en

Links

Images

Abstract

FIELD: galvanic equipment. SUBSTANCE: galvanochemical treatment and hot rinse baths are each provided with pipeline having actuating mechanism for supplying air-gas medium gas, aerosol and vapor shielding device and collector positioned in upper part of device and provided with air-gas jet forming members. Collector is positioned for contacting with pipeline through removable members attached to their respective end surfaces. Apparatus differs from known ones by kind of air-gas medium, actuating mechanism for supplying these medium and construction of collector as well as by usage of removable members and voltage supply device. EFFECT: increased efficiency by reduced consumption of air and liquid medium 6 cl, 3 dwg

Description

Изобретение относится к вентиляции и может быть использовано для активного экранирования и удаления газов, аэрозолей и испарений, образующихся в процессе гальванохимической обработки и горячей промывки деталей погружением на автоматизированных (автоматических) и механизированных линиях гальванопокрытий и очистки. The invention relates to ventilation and can be used for active shielding and removal of gases, aerosols and vapors generated during galvanochemical processing and hot washing of parts by immersion on automated (automatic) and mechanized lines of electroplating and cleaning.

Известна установка для гальванохимической обработки и горячей промывки, содержащая ванны с грузоопорами и бортовыми вентиляционными отсосами, приспособление для размещения обрабатываемых деталей с транспортными кронштейнами и устройством для передачи питающего напряжения, транспортер с грузозахватами и реверсивными приводами для горизонтального и вертикального перемещения приспособления для размещения обрабатываемых деталей [1]
Недостатком известной установки является сравнительно большие затраты на удаление газов, аэрозолей и испарений с поверхности зеркала ванн гальванохимической обработки и горячей промывки.
A known installation for galvanic-chemical processing and hot washing, containing bathtubs with cargo supports and on-board ventilation suction devices, a device for placing workpieces with transport brackets and a device for transmitting power supply, a conveyor with load grippers and reversing drives for horizontal and vertical movement of the device to accommodate the workpiece [ 1]
A disadvantage of the known installation is the relatively high cost of removing gases, aerosols and vapors from the surface of the mirror baths of galvanochemical processing and hot washing.

Наиболее близким к заявляемому по технической сущности и достигаемому результату известным решением, выбранным в качестве прототипа, является установка для гальванохимической обработки и горячей промывки, содержащая стойки загрузки-выгрузки, сушильную камеру, ванны с грузоопорами, бортовыми вентиляционными отсосами и крышками с механизмами открывания-закрывания, приспособление для размещения обрабатываемых деталей с транспортными кронштейнами, устройством экранирования газов, аэрозолей и испарений, выполненными в виде частично замкнутого с торцевых сторон Λ -образного профиля из инертного материала и устройством для передачи питающего напряжения, выполненным в виде по крайней мере одной электропроводной штанги, транспортер с грузозахватами, реверсивными приводами для горизонтального и вертикального перемещения приспособления для размещения обрабатываемых деталей и с датчиками положения, датчики загрузки приспособлений для размещения обрабатываемых деталей в ванны и пульт управления [2]
Известная установка, выбранная в качестве прототипа, имеет сравнительно высокие затраты на удаление образующихся в процессе обработки газов, аэрозолей и испарений, в частности, для ванн, имеющих большие (до 2 и более метров) габариты по ширине.
Closest to the claimed technical essence and the achieved result, the known solution selected as a prototype is an installation for galvanochemical processing and hot washing, containing loading and unloading racks, a drying chamber, bathtubs with load supports, side air exhausts and lids with opening-closing mechanisms , a device for accommodating workpieces with transport brackets, a device for shielding gases, aerosols and fumes, made in the form of partially an Λ -shaped profile made of inert material from the end sides and a device for transmitting voltage, made in the form of at least one conductive rod, a conveyor with load grips, reversible drives for horizontal and vertical movement of the device for placing workpieces and with position sensors, sensors Loading devices for placing workpieces in bathtubs and control panel [2]
The well-known installation, selected as a prototype, has a relatively high cost of removing gases, aerosols and vapors generated during processing, in particular for bathtubs having large (up to 2 and more meters) widths.

Кроме того, реализация известной установки приводит к повышенному (при обеспечении соответствующего качества удаления выделений ванн) уносу жидкой обрабатывающей среды ванн гальванохимической обработки и горячей промывки. In addition, the implementation of the known installation leads to increased (while ensuring the appropriate quality of removal of bath discharge) entrainment of the liquid processing medium of the baths of galvanochemical processing and hot washing.

Новый технический результат заключается в сокращении объемного расхода воздуха на бортовые отсосы ванн и количества выносимой бортовыми отсосами жидкой среды ванн гальванохимической обработки и горячей промывки. A new technical result is to reduce the volumetric flow rate of air to the side suction bathtubs and the amount of galvanochemical treatment baths and hot washing carried out by the suction side of the liquid bath medium.

Он достигается тем, что установка для гальванохимической обработки и горячей промывки, содержащая ванны с грузоопорами, бортовыми вентиляционными отсосами и крышками с механизмами открывания-закрывания, приспособление для размещения обрабатываемых деталей с транспортными кронштейнами, устройством экранирования газов, аэрозолей и испарений, выполненными в виде замкнутого с торцовых сторон Λ -образного профиля из инертного материала и устройством для передачи питающего напряжения, выполненным в виде по крайней мере одной электропроводной штанги, транспортер с грузозахватами, реверсивными приводами для горизонтального и вертикального перемещения приспособления для размещения обрабатываемых деталей и с датчиками положения, датчики загрузки приспособлений для размещения обрабатываемых деталей в ванны и пульт управления, согласно изобретению снабжена расположенным у торцовой стенки каждой из ванн гальванохимической обработки и горячей промывки трубопроводом с исполнительным механизмом для подачи воздушно-газовой среды и размещенным в верхней части устройства экранирования газов, аэрозолей и испарений коллектором с элементами формирования струй воздушно-газовой среды, при этом коллектор установлен с возможностью контактирования с трубопроводом посредством размещенных соответственно на их торцевых поверхностях разъемных элементов. It is achieved by the fact that the installation for galvanochemical processing and hot washing, containing bathtubs with cargo supports, air-conditioning exhaust suction and lids with opening-closing mechanisms, a device for placing workpieces with transport brackets, a gas, aerosol and vapor shielding device made in the form of a closed from the end sides of the Λ-shaped profile of inert material and a device for transmitting power voltage, made in the form of at least one electric wire bottom of the rod, a conveyor with load grips, reversible drives for horizontal and vertical movement of the device for placing workpieces and with position sensors, load sensors of devices for placing workpieces in the bathtub and control panel, according to the invention is equipped with galvanochemical treatment located at the end wall of each bathtub and hot flushing pipeline with an actuator for supplying an air-gas medium and located in the upper part of the device kranirovka gases, aerosols and vapors with a collector with elements of the formation of jets of air-gas medium, while the collector is installed with the possibility of contact with the pipeline by means of releasable elements located respectively on their end surfaces.

Причем в качестве воздушно-газовой среды используются сжатый воздух или очищенные выделения соответствующих ванн. Moreover, compressed air or purified emissions of the respective baths are used as the air-gas medium.

Исполнительный механизм для подачи воздушно-газовой среды выполнен в виде электромагнитного пневмораспределителя или безмасляной воздуходувки. The actuator for supplying an air-gas medium is made in the form of an electromagnetic pneumatic distributor or an oil-free blower.

Коллектор с элементами формирования струй воздушно-газовой среды выполнен Г-образной формы из коррозионно-стойкого материала, например титана, с пазами в части, размещаемой внутри устройства экранирования газов, аэрозолей и испарений. The collector with the elements of formation of jets of air-gas medium is made L-shaped from a corrosion-resistant material, such as titanium, with grooves in the part placed inside the screening device for gases, aerosols and vapors.

Разъемные элементы выполнены в виде усеченных в своей верхней части конусов из коррозионно-стойкого материала, например титана, контактная поверхность, по крайней мере конуса, соединенного с коллектором, выполнена с упругим элементом, например, сильфоном или покрыта резиной. The detachable elements are made in the form of cones truncated in their upper part from a corrosion-resistant material, for example titanium, the contact surface of at least a cone connected to the collector is made with an elastic element, for example, a bellows or coated with rubber.

В качестве коллектора с элементами формирования струй воздушно-газовой среды используется непосредственно электропроводная штанга, выполненная в виде соответствующей формы трубопровода с пазами. As a collector with elements of formation of jets of an air-gas medium, a directly conductive rod is used, made in the form of a corresponding pipeline shape with grooves.

Сопоставительный анализ заявляемого решения с прототипом показывает, что заявляемая установка отличается от известной тем, что она снабжена расположенным у торцевой стенки каждой из ванн гальванохимической обработки и горячей промывки трубопроводом с исполнительным механизмом для подачи воздушно-газовой среды и размещенным в верхней части устройства экранирования газов, аэрозолей и испарений коллектором с элементами формирования струй воздушно-газовой среды, при этом коллектор установлен с возможностью контактирования с трубопроводом посредством размещенных соответственно на их торцевых поверхностях разъемных элементов, а также видом воздушно-газовой среды, исполнительного механизма для ее подачи, выполнением коллектора с элементами формирования струй воздушно-газовой среды, исполнением разъемных элементов и применением электропроводной штанги. Таким образом, заявляемая установка соответствует критерию изобретения "новизна". A comparative analysis of the proposed solution with the prototype shows that the claimed installation differs from the known one in that it is equipped with a pipeline located at the end wall of each bathtub of galvanochemical treatment and hot flushing with an actuator for supplying an air-gas medium and located in the upper part of the gas shielding device, aerosols and vapors by a collector with elements of formation of jets of an air-gas medium, while the collector is installed with the possibility of contacting with a pipe Odom means placed respectively at their end surfaces detachable elements, and a view of air-gas medium, an actuator for its supply, the collector implementation with elements of jet formation air and the gaseous medium, execution of detachable elements and the use of a conductive rod. Thus, the claimed installation meets the criteria of the invention of "novelty."

Известны технические решения [3] в которых используются бортовые отсосы с передувкой. Known technical solutions [3] in which airborne suction pumps with blowing are used.

Однако данная реализация не допускает или делает очень затруднительным их использование на автоматизированных (автоматических) и механизированных линиях гальванопокрытий и очистки, а кроме того, приводит к сравнительно большим энергетическим затратам, обусловленным открытым зеркалом ванн. Это позволяет сделать вывод о соответствии заявляемого технического решения критерию "существенные отличия". However, this implementation does not allow or makes it very difficult to use them on automated (automatic) and mechanized electroplating and cleaning lines, and in addition, leads to relatively high energy costs due to the open mirror of the bathtubs. This allows us to conclude that the claimed technical solution meets the criterion of "significant differences".

На фиг. 1 и 2 изображена установка для гальванохимической обработки и горячей промывки, вид с торцовой стороны ванны, с локальным вырезом, ванная не загружена приспособлением для размещения обрабатыаемых деталей; на фиг.2 то же, ванна загружена приспособлением для размещения обрабатываемых деталей. In FIG. 1 and 2 show the installation for galvanochemical processing and hot washing, view from the front side of the bathtub, with a local cutout, the bathtub is not loaded with a device for accommodating machined parts; figure 2 the same, the bath is loaded with a device for accommodating workpieces.

Установка для гальванохимической обработки и горячей промывки содержит ванны 1 с грузоопорами 2 соответствующего обработке вида, бортовыми вентиляционными отсосами 3 и 4 и крышками для укрытия обрабатывающей среды с механизмами открывания-закрывания, приспособление для размещения обрабатываемых деталей 5 с транспортными кронштейнами 6, устройством экранирования газов, аэрозолей и испарений, выполненным в виде замкнутого с торцовых сторон Λ -образного профиля (экрана) 7 из инертного материала, например титана, и устройством для передачи питающего напряжения, выполненным в виде электропроводной штанги 8, транспортер с грузозахватами и реверсивными приводами для горизонтального и вертикального перемещения приспособления для размещения обрабатываемых деталей 5 и с датчиками положения, датчики 9 загрузки приспособлений для размещения обрабатываемых деталей 5 и пульт управления. The installation for galvanochemical processing and hot washing contains baths 1 with load supports 2 corresponding to the processing type, on-board ventilation suction devices 3 and 4 and covers for covering the processing medium with opening-closing mechanisms, a device for accommodating workpieces 5 with transport brackets 6, a gas shielding device, aerosols and vapors made in the form of an Λ-shaped profile (screen) 7 closed from the end faces of the inert material, such as titanium, and a device for transferring voltage, made in the form of an electrically conductive rod 8, a conveyor with load grips and reversible drives for horizontal and vertical movement of the device to accommodate the workpieces 5 and with position sensors, load sensors 9 to accommodate the workpieces 5 and the control panel.

Каждая из ванн 1 снабжена исполнительным механизмом (ИМ) 10 для подачи воздушно-газовой среды, расположенным на трубопроводе 11. Each of the baths 1 is equipped with an actuator (MI) 10 for supplying an air-gas medium located on the pipe 11.

Устройство экранирования газов, аэрозолей и испарений снабжено расположенным в верхней его части и жестко соединенным с его торцовыми сторонами коллектором 12 с элементами формирования струй воздушно-газовой среды, сочленяемым (расчленяемым), по крайней мере по одной из своих торцовых сторон, в процессе загрузки (разгрузки) ванны 1, с трубопроводом 11 с ИМ 10, с помощью разъемных элементов, расположенных на торцовых поверхностях коллектора 12 и трубопровода 11 соответственно и выполненных в виде усеченных в своей верхней части конусов 13 и 14 из титана. The device for shielding gases, aerosols and vapors is equipped with a collector 12 located in its upper part and rigidly connected to its end faces with elements of formation of jets of air-gas medium, articulated (dismembered), at least on one of its end sides, during loading ( discharge) baths 1, with a pipe 11 with IM 10, using detachable elements located on the end surfaces of the collector 12 and pipe 11, respectively, and made in the form of truncated cones 13 and 14 of Titan.

Коллектор 12 имеет Г-образную (в общем случае П-образную) форму и выполнен в виде трубопровода из инертного материала, например, титана, с выфрезерованными в нем пазами в части, размещаемой внутри устройства экранирования газов, аэрозолей и испарений. The collector 12 has a L-shaped (generally U-shaped) shape and is made in the form of a pipeline of inert material, for example, titanium, with grooves milled in it in the part placed inside the shielding device for gases, aerosols and vapors.

В качестве коллектора 12 в установке может быть использована и штанга 8 указанных выше формы и исполнения. As the collector 12 in the installation can be used and the rod 8 of the above forms and designs.

Установка работает следующим образом. Installation works as follows.

В исходном состоянии в ванне 1 отсутствует приспособление для размещения обрабатываемых деталей 5, в связи с чем на выходе датчика 9 отсутствует сигнал, поступающий на соответствующий вход пульта управления, ИМ 10 находится в выключенном состоянии, крышка ванны 1, выполненная в виде, например, двух створок в виде гармошек, закрыта, а образующееся незначительное количество испарений с поверхности зеркала ванны 1 удаляется отсосами 3 и 4. In the initial state, in the bath 1 there is no device for accommodating the workpieces 5, and therefore, at the output of the sensor 9 there is no signal arriving at the corresponding input of the control panel, the MI 10 is off, the lid of the bath 1, made in the form, for example, of two the casement in the form of accordions is closed, and the resulting small amount of fumes from the surface of the mirror of the bath 1 is removed by suction 3 and 4.

После останова транспортера с грузозахватами с приспособлением для размещения обрабатываемых деталей 5 у позиции ванны 1, на выходе датчика положения транспортера появляется сигнал, поступающий на соответствующий вход пульта управления, по которому последний сигналами с соответствующих своих выходов обеспечивает открывание створок крышки с помощью соответствующих механизмов. After stopping the conveyor with the load grips with the device for placing the workpieces 5 at the position of the bath 1, the signal arriving at the output of the conveyor position sensor arrives at the corresponding input of the control panel, by which the signals from its respective outputs open the lid flaps using appropriate mechanisms.

При этом створки крышки находятся в максимально сжатом состоянии (в данном случае)
После этого по сигналу с пульта управления транспортером производится загрузка приспособления для размещения обрабатываемых деталей 5 в ванну 1, по окончании которой (см. фиг.2), на выходе датчика 9 появляется сигнал, поступающий на соответствующий вход пульта управления, по которому с соответствующего выхода последнего выдается управляющий сигнал, поступающий на ИМ 10.
In this case, the lid flaps are in the most compressed state (in this case)
After that, by a signal from the conveyor control panel, the device is loaded to place the workpieces 5 in the bath 1, at the end of which (see Fig. 2), a signal arrives at the output of the sensor 9, which arrives at the corresponding input of the control panel, through which from the corresponding output the latter is issued a control signal supplied to the MI 10.

В процессе загрузки приспособления для размещения обрабатываемых деталей 5 в ванну 1 его штанга 8 попадает в грузоопоры 2, а коллектор 12, через конус 13, внутренняя поверхность которого покрыта резиной (в данном случае), сочленяется с трубопроводом 11 через конус 14, обеспечивая, тем самым, надежное, учитывая вес приспособления для размещения обрабатываемых деталей 5 и незначительное (порядка 0,05 МПа) давление воздушно-газовой среды, соединение коллектора 12 и трубопровода 11. In the process of loading the device for placing the workpieces 5 into the bath 1, its rod 8 enters the load supports 2, and the collector 12, through the cone 13, the inner surface of which is covered with rubber (in this case), is articulated with the pipeline 11 through the cone 14, ensuring that most reliable, given the weight of the device to accommodate the workpieces 5 and a slight (about 0.05 MPa) pressure of the air-gas medium, the connection of the manifold 12 and the pipe 11.

После выдачи управляющего сигнала на ИМ 10 последний открывается, обеспечивая тем самым подачу воздушно-газовой среды (например сжатого воздуха) во внутреннюю полость замкнутого с торцовых сторон Λ -образного экрана 7 и эффективное удаление газов, аэрозолей и испарений с поверхности зеркала ванны 1 ее бортовыми отсосами 3 и 4, при минимальных энергетических затратах и различной ширине ванны 1. After issuing a control signal to the MI 10, the latter opens, thereby supplying an air-gas medium (for example, compressed air) into the internal cavity of the Λ-shaped screen 7 closed from the end faces and efficiently removing gases, aerosols and fumes from the surface of the bath mirror 1 by its side suction 3 and 4, with minimal energy costs and a different width of the bath 1.

По окончании процесса обработки деталей 5 в ванне 1 и последующего перемещения (или нахождения) транспортера с грузозахватами у ее позиции, снимается ранее выданный сигнал на ИМ 10 с соответствующего выхода пульта управления, в связи с чем ИМ 10 отключается и подача сжатого воздуха в коллектор 12 прекращается. At the end of the processing of parts 5 in the bath 1 and the subsequent movement (or finding) of the conveyor with the load grips at its position, the previously issued signal to the IM 10 is removed from the corresponding output of the control panel, and therefore the IM 10 is turned off and the compressed air supply to the manifold 12 ceases.

Далее производится выгрузка приспособления для размещения обрабатываемых деталей 5 из ванны 1, по окончании которой сигналами с соответствующих выходов пульта управления на соответствующие механизмы производится закрывание створок крышки. Next, the device is unloaded to accommodate the workpieces 5 from the bath 1, at the end of which the cover flaps are closed by signals from the corresponding outputs of the control panel to the appropriate mechanisms.

Установка готова для проведения обработки следующего приспособления для размещения обрабатываемых деталей 5. The installation is ready to carry out processing of the next device to accommodate the workpieces 5.

Таким образом, заявляемая установка для гальванохимической обработки и горячей промывки по сравнению с известной, выбранной в качестве прототипа, позволяет значительно (в 2-3 раза) уменьшить объемный расход воздуха на бортовые отсосы на автоматизированных (автоматических) линиях гальванопокрытий и очистки; сократить (не менее, чем на 50-100%) количество выносимой бортовыми отсосами жидкой обрабатывающей среды ванн. Thus, the inventive installation for galvanochemical processing and hot washing, compared with the known, selected as a prototype, can significantly (2-3 times) reduce the volumetric flow rate of air on board suction on automated (automatic) lines of electroplating and cleaning; reduce (not less than by 50-100%) the amount of bath processing liquid carried by the on-board suction.

Реализация предлагаемой установки довольно проста, не встречает принципиальных затруднений и может быть осуществлена силами большинства из предприятий приборо- и машиностроения. The implementation of the proposed installation is quite simple, does not meet fundamental difficulties and can be carried out by most of the enterprises of instrumentation and engineering.

Claims (6)

1. УСТАНОВКА ДЛЯ ГАЛЬВАНОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ И ГОРЯЧЕЙ ПРОМЫВКИ, содержащая ванны с грузоопорами, бортовыми вентиляционными отсосами и крышками с механизмами открывания и закрывания, приспособление для размещения обрабатываемых деталей с транспортными кронштейнами и датчиками загрузки их в ванны, устройством экранирования газов, аэрозолей и испарений, выполненным в виде замкнутого с торцевых сторон /\ -образного профиля из инертного материала, и устройством для передачи питающего напряжения, выполненным в виде по крайней мере одной электропроводной штанги, транспортера с грузозахватами, реверсивными приводами для горизонтального и вертикального перемещений приспособления для размещения обрабатываемых деталей и с датчиками положения, и пульт управления, отличающаяся тем, что она снабжена расположенным у торцевой стенки каждой из ванн гальванохимической обработки и горячей промывки трубопроводом с исполнительным механизмом для подачи воздушно-газовой среды и размещенным в верхней части устройства экранирования газов, аэрозолей и испарений коллектором с элементами формирования струй воздушно-газовой среды, при этом коллектор установлен с возможностью контактирования с трубопроводом посредством размещенных соответственно на их торцевых поверхностях разъемных элементов. 1. INSTALLATION FOR ELECTROCHEMICAL TREATMENT AND HOT RINSING, containing bathtubs with cargo supports, air vents and lids with opening and closing mechanisms, a device for placing workpieces with transport brackets and sensors for loading them into bathtubs, a screening device for gases, aerosols and fumes, in the form of an inverted / \ -shaped profile made of inert material closed from the end faces, and with a device for transmitting a supply voltage, made in the form of at least one e an electric wire rod, a conveyor with load grips, reversible drives for horizontal and vertical movement of the device for accommodating workpieces and with position sensors, and a control panel, characterized in that it is equipped with a galvanochemical treatment and hot flushing pipe with an actuator located at the end wall of each for supplying an air-gas medium and a collector with an element located in the upper part of the screening device for gases, aerosols and vapors the formation of jets of air-gas medium, while the collector is installed with the possibility of contact with the pipeline by means of releasable elements located respectively on their end surfaces. 2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что в качестве воздушно-газовой среды используются сжатый воздух или очищенные выделения соответствующих ванн. 2. Installation according to claim 1, characterized in that compressed air or purified emissions of the respective baths are used as the air-gas medium. 3. Установка по п.1, отличающаяся тем, что исполнительный механизм для подачи воздушно-газовой среды выполнен в виде электромагнитного пневмораспределителя или безмасляной воздуходувки. 3. The installation according to claim 1, characterized in that the actuator for supplying an air-gas medium is made in the form of an electromagnetic pneumatic distributor or an oil-free blower. 4. Установка по п.1, отличающаяся тем, что коллектор с элементами формирования струй воздушно-газовой среды выполнен Г-образным из коррозионностойкого материала, например титана, с пазами в части, размещаемой внутри устройства экранирования газов, аэрозолей и испарений. 4. Installation according to claim 1, characterized in that the collector with elements for forming jets of air-gas medium is made L-shaped from a corrosion-resistant material, for example titanium, with grooves in the part placed inside the screening device for gases, aerosols and fumes. 5. Установка по п.1, отличающаяся тем, что разъемные элементы выполнены в виде усеченных в верхней части конусов из коррозионностойкого материала, например титана, контактная поверхность по крайней мере конуса, соединенного с коллектором, выполнена с упругим элементом, например сильфоном, или покрыта резиной. 5. Installation according to claim 1, characterized in that the detachable elements are made in the form of truncated cones in the upper part of a corrosion-resistant material, for example titanium, the contact surface of at least a cone connected to the collector is made with an elastic element, for example a bellows, or coated rubber. 6. Установка по пп. 1 и 4, отличающаяся тем, что в качестве коллектора с элементами формирования струй воздушно-газовой среды используется электропроводная штанга, выполненная в виде соответствующей формы трубопровода с пазами. 6. Installation according to paragraphs. 1 and 4, characterized in that as a collector with elements for the formation of jets of air-gas medium, an electrically conductive rod is used, made in the form of an appropriate form of a pipeline with grooves.
SU5059509 1992-08-18 1992-08-18 Galvanochemical treatment and hot rinse apparatus RU2043431C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5059509 RU2043431C1 (en) 1992-08-18 1992-08-18 Galvanochemical treatment and hot rinse apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5059509 RU2043431C1 (en) 1992-08-18 1992-08-18 Galvanochemical treatment and hot rinse apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2043431C1 true RU2043431C1 (en) 1995-09-10

Family

ID=21611988

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU5059509 RU2043431C1 (en) 1992-08-18 1992-08-18 Galvanochemical treatment and hot rinse apparatus

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2043431C1 (en)

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Ямпольский Я.М. Пути экономии и рационализации в гальванотехнике. Л.: Лениздат, 1964, с.79-81, рис.47. *
2. Дасоян Н.А. и Пальмская И.Я. Оборудование цехов электрохимических покрытий. Л.: Машиностроение, 1979, с.103-106, 108-114. *
3. Гибкие автоматизированные гальванические линии. Справочник. Под ред. Зубченко В.Л. М.: Машиностроение, 1989, с.282 и 283, рис.1 в. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW411524B (en) Apparatus for and method of cleaning objects to be processed
EP0884764A3 (en) Cleaning and drying apparatus for objects to be processed
JPH118218A (en) Cleaning/drying process and apparatus therefor
US5338248A (en) Ventilation apparatus for removing vapors
US6006767A (en) Door/sill interface for a warewasher
JPH0531472A (en) Washing device
RU2043431C1 (en) Galvanochemical treatment and hot rinse apparatus
US4756322A (en) Means for restoring the initial cleanness conditions in a quartz tube used as a reaction chamber for the production of integrated circuits
JPH1034094A (en) Washing method for substrate cassette rack
JP2000308857A (en) Method and device for liquid treatment
JP2002334863A (en) Method and apparatus for cleaning and drying door shell for foup
JP3560011B2 (en) Substrate holder
CN114951134A (en) Full-automatic cleaning equipment for quartz products and using method thereof
JPH07213966A (en) Coating booth
CN213583712U (en) Liquid removing tank and cleaning equipment
EP1045439B1 (en) Device for processing wafer
US4317426A (en) Blow-off apparatus for articles within tumbling barrel
RU2080425C1 (en) Line for electrodeposition working of parts
KR0167864B1 (en) A cleaning and drying apparatus for electronic parts
JPH05136116A (en) Semiconductor wafer washing device
CN219996933U (en) Multifunctional pretreatment structure
RU2036256C1 (en) Method to control screening and removing of gasses, sprays and vapor from electrochemical plating process and hot cleansing tanks
RU2043429C1 (en) Part galvanochemical treating line
KR100212694B1 (en) A cleaning apparatus
JPH04334579A (en) Cleaning apparatus